JPS61102734A - X線露光装置 - Google Patents
X線露光装置Info
- Publication number
- JPS61102734A JPS61102734A JP59223955A JP22395584A JPS61102734A JP S61102734 A JPS61102734 A JP S61102734A JP 59223955 A JP59223955 A JP 59223955A JP 22395584 A JP22395584 A JP 22395584A JP S61102734 A JPS61102734 A JP S61102734A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- mask
- atmosphere chamber
- helium gas
- atmospheric chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 17
- 239000001307 helium Substances 0.000 abstract description 15
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- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 15
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は軟xIv11を用いてウェハ上に形成されたレ
ジスト破膜に1 マスクに形成されたパターンを露光す
るX線ik光装置に関するものである。
ジスト破膜に1 マスクに形成されたパターンを露光す
るX線ik光装置に関するものである。
従来のX線露光装mは米国特許第4403556号に記
載のようにX線発生手段のX線取出窓側に、内部にxI
V31t−透過させる気体を収容した雰囲気チャンバ全
配置し、この雰囲気チャンバの、X線取出窓と対向する
面に形成された穴11ように、所要のパターンを形成し
たマスクを1直接取付け、雰囲気チャンバ外でマスクと
対向するように保持したウェハ全移動させるステージと
を設け、大気中にウェハを置いて露光するようにしてい
る。マスクを雰囲気チャンバに取付けるには、第6図に
示すように雰囲気チャンバ1のマスク取付面2に溝3を
設け、溝を真窒源4に接続する。マスク取付面2とマス
ク5の表面あらさ、うねり、傷等により、マスク取付面
2とマスク5との間に隙き間を生じるため、雰囲気チャ
ンバ外の外気が溝6へ流入すると同時に、雰囲気チャン
バ内のヘリウムガスも溝3へ流入し、雰囲気チャンバ内
の圧力が外気より低くなリ、マスクの変形、ヘリウムガ
ス純度の低下を生じる。これを防止するため雰囲気チャ
ンバ内へヘリウムボンベ15より常にヘリウムガスを注
入する必要があり、ガスの消費量が多いという問題があ
った。
載のようにX線発生手段のX線取出窓側に、内部にxI
V31t−透過させる気体を収容した雰囲気チャンバ全
配置し、この雰囲気チャンバの、X線取出窓と対向する
面に形成された穴11ように、所要のパターンを形成し
たマスクを1直接取付け、雰囲気チャンバ外でマスクと
対向するように保持したウェハ全移動させるステージと
を設け、大気中にウェハを置いて露光するようにしてい
る。マスクを雰囲気チャンバに取付けるには、第6図に
示すように雰囲気チャンバ1のマスク取付面2に溝3を
設け、溝を真窒源4に接続する。マスク取付面2とマス
ク5の表面あらさ、うねり、傷等により、マスク取付面
2とマスク5との間に隙き間を生じるため、雰囲気チャ
ンバ外の外気が溝6へ流入すると同時に、雰囲気チャン
バ内のヘリウムガスも溝3へ流入し、雰囲気チャンバ内
の圧力が外気より低くなリ、マスクの変形、ヘリウムガ
ス純度の低下を生じる。これを防止するため雰囲気チャ
ンバ内へヘリウムボンベ15より常にヘリウムガスを注
入する必要があり、ガスの消費量が多いという問題があ
った。
本発明の目的はヘリウムガスの消費量の小ないX線露光
装置を提供することにある。
装置を提供することにある。
そのため本発明においてはマスク取付面の真空源に接続
した溝の内側に、外気に接続した別の溝を設けることを
特徴とするX線露光装置にある。
した溝の内側に、外気に接続した別の溝を設けることを
特徴とするX線露光装置にある。
以下、本発明の一実施例を第1図、第2図により説明す
る。
る。
X線発生手段6のX線取出窓7が雰囲気チャンバ1とジ
ャバラ8で気密結合され、雰囲気チャンバの下面のX線
取出窓と対向する面に形成されたyc9を覆うように、
所要のパターンを形成したマスク5を取付ける。マスク
と対向する様に保持したウェハ10ヲ移動させるステー
ジ11を設け、雰囲気チャンバ内部に設けたアライメ7
トス”:1−/’12によシマスフとウェハのパターン
の位置合せを行なった後に、X線発生手段6よυ軟X線
を発生させて、マスクのパターンをウェハへ露光する。
ャバラ8で気密結合され、雰囲気チャンバの下面のX線
取出窓と対向する面に形成されたyc9を覆うように、
所要のパターンを形成したマスク5を取付ける。マスク
と対向する様に保持したウェハ10ヲ移動させるステー
ジ11を設け、雰囲気チャンバ内部に設けたアライメ7
トス”:1−/’12によシマスフとウェハのパターン
の位置合せを行なった後に、X線発生手段6よυ軟X線
を発生させて、マスクのパターンをウェハへ露光する。
雰囲気チャンバの内部にはヘリウムt#fcL、軟X線
の減すいを防止する。雰囲気チャンバ1のマスク5を取
付ける面2には穴9を取かこむ2重の環状の溝3,15
を設置し、外側の溝3を従来と同じく真空源4に接続し
、内側の海13は穴14によシ雰囲気チャンバ外に接続
する。これによシ溝13の圧力は、はぼ外気と同じとな
り、マスク取付面2とマスク5との隙き間全通って溝3
の内側より溝3へ流入する気体は、主として溝13よシ
供給され、雰囲気チャンバ内のヘリウムガスが吸引され
ることが小ない。これにより雰囲気チャンバ内へ注入す
るヘリウムガスの量を減らすことができ、従来毎分1リ
ツトル必要としたものを毎分0.3リツトルに減らすこ
とができ九。
の減すいを防止する。雰囲気チャンバ1のマスク5を取
付ける面2には穴9を取かこむ2重の環状の溝3,15
を設置し、外側の溝3を従来と同じく真空源4に接続し
、内側の海13は穴14によシ雰囲気チャンバ外に接続
する。これによシ溝13の圧力は、はぼ外気と同じとな
り、マスク取付面2とマスク5との隙き間全通って溝3
の内側より溝3へ流入する気体は、主として溝13よシ
供給され、雰囲気チャンバ内のヘリウムガスが吸引され
ることが小ない。これにより雰囲気チャンバ内へ注入す
るヘリウムガスの量を減らすことができ、従来毎分1リ
ツトル必要としたものを毎分0.3リツトルに減らすこ
とができ九。
実施例では内側の溝15を外気に解放するだけであるが
、ポンプ(図示せず)によシ窒気を溝15に注入し、溝
13内の圧力を雰囲気チャンバ内のヘリウムガスの圧力
と一致する様に注入1kft調整すれば、さらにヘリウ
ムガスの消費量全滅らすことができる。
、ポンプ(図示せず)によシ窒気を溝15に注入し、溝
13内の圧力を雰囲気チャンバ内のヘリウムガスの圧力
と一致する様に注入1kft調整すれば、さらにヘリウ
ムガスの消費量全滅らすことができる。
以上説明し友ように本発明によればヘリウムガスの注入
R’fc’に減らすことができるので、ヘリウムガスの
消51量を減らす経済的効果がある。
R’fc’に減らすことができるので、ヘリウムガスの
消51量を減らす経済的効果がある。
第1図は本発明による露光装置の断面図、第21ΔはP
41図のマスクIl&着面2′lr:示す図、t43図
は従来の露光装置を示す図である。 1・・・雰囲気チャンバ 2・・・マスク吸着面3・
・・外俳1の溝 4・・・真空域13、・・内
側の溝 14・・・外気へ接続する穴児1図
41図のマスクIl&着面2′lr:示す図、t43図
は従来の露光装置を示す図である。 1・・・雰囲気チャンバ 2・・・マスク吸着面3・
・・外俳1の溝 4・・・真空域13、・・内
側の溝 14・・・外気へ接続する穴児1図
Claims (1)
- 1、軟X線を用いてマスクに形成されたパターンをウェ
ハに露光するX線露光装置において、X線発生手段と、
前記X線発生手段に接続され内部にX線の透過率の高い
気体を満たした雰囲気チャンバと、前記雰囲気チャンバ
に取付けられるマスクと、前記マスクと対向する位置に
設置するウェハを含み、前記雰囲気チャンバの前記マス
クを取付ける面に2個以上のほぼ環状の溝を設け、内側
の溝を前記雰囲気チャンバの外側の空間に接続し、外側
の溝を真空源に接続することを特徴とするX線露光装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59223955A JPS61102734A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | X線露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59223955A JPS61102734A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | X線露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61102734A true JPS61102734A (ja) | 1986-05-21 |
Family
ID=16806312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59223955A Pending JPS61102734A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | X線露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61102734A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63140546A (ja) * | 1986-12-02 | 1988-06-13 | Toshiba Corp | 露光装置 |
JPS6433927A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-03 | Canon Kk | Mask holder and mask conveying method using the same |
JPH0217627A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-22 | Fujitsu Ltd | X線露光装置 |
-
1984
- 1984-10-26 JP JP59223955A patent/JPS61102734A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63140546A (ja) * | 1986-12-02 | 1988-06-13 | Toshiba Corp | 露光装置 |
JPS6433927A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-03 | Canon Kk | Mask holder and mask conveying method using the same |
JPH0217627A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-22 | Fujitsu Ltd | X線露光装置 |
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