JPS61101112A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS61101112A JPS61101112A JP22225484A JP22225484A JPS61101112A JP S61101112 A JPS61101112 A JP S61101112A JP 22225484 A JP22225484 A JP 22225484A JP 22225484 A JP22225484 A JP 22225484A JP S61101112 A JPS61101112 A JP S61101112A
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- acoustic wave
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- wave device
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は弾性表面波装置（以下、ｒＳＡＷデバイス」と
称する）に関するものであり、特に高周波信号フィルタ
等に用いられる表面すべり波を用いた共振形ＳＡＷデバ
イスに関する。
称する）に関するものであり、特に高周波信号フィルタ
等に用いられる表面すべり波を用いた共振形ＳＡＷデバ
イスに関する。
３従来の技術及び発明が解決しようとする問題点〕ＳＡ
Ｗデバイスが高周波信号用フィルタとして好適に用いら
れることはすでに知られている。特２こ３０ＭＨｚ以上
の高周波信号フィルタとしては、損失の少ない共振形Ｓ
ＡＷデバイスが好ましいと考えらでいる。共振形ＳＡＷ
デバイスとしては、すだれ電極の外にグレーティング電
極を設けたグレーティング形ＳＡＷデバイスと端面反射
形ＳＡＷデバイスとがある。これらのＳＡＷデバイスを
フィルタ等に用いるに当たっては、共振周波数が設計値
どおり正確に実現されていることが重要となる。
Ｗデバイスが高周波信号用フィルタとして好適に用いら
れることはすでに知られている。特２こ３０ＭＨｚ以上
の高周波信号フィルタとしては、損失の少ない共振形Ｓ
ＡＷデバイスが好ましいと考えらでいる。共振形ＳＡＷ
デバイスとしては、すだれ電極の外にグレーティング電
極を設けたグレーティング形ＳＡＷデバイスと端面反射
形ＳＡＷデバイスとがある。これらのＳＡＷデバイスを
フィルタ等に用いるに当たっては、共振周波数が設計値
どおり正確に実現されていることが重要となる。
一般に共振周波数ｆｏｎは、ｎをモード次数、■を弾性
波の伝播速度、ＬをＳＡＷデバイス長、Ｎをすだれ電極
対数とした場合、 で与えられる。従って最近の製造プロセスの向上、加工
技術の向上等により上記条件を満足するようなＳＡＷデ
バイスが実現されつつある。
波の伝播速度、ＬをＳＡＷデバイス長、Ｎをすだれ電極
対数とした場合、 で与えられる。従って最近の製造プロセスの向上、加工
技術の向上等により上記条件を満足するようなＳＡＷデ
バイスが実現されつつある。
しかしながら、共振周波数の正確さが益々要求されてお
り、製造プロセスの向上、加工技術の向上があるとは云
え、か・る要求に対してはかなりの製造バラツキが生じ
ている。
り、製造プロセスの向上、加工技術の向上があるとは云
え、か・る要求に対してはかなりの製造バラツキが生じ
ている。
明らかなように、ＳＡＷデバイスは一旦製造されてしま
うと、温度等の依存性はあるものの、固有の一定した特
性を示す。従って、例えば製造バラツキ等に起因して、
要求した共振周波数等の特性を満足しないものは使用で
きず、いわゆる歩留りを低下させるという問題を生じて
いる。
うと、温度等の依存性はあるものの、固有の一定した特
性を示す。従って、例えば製造バラツキ等に起因して、
要求した共振周波数等の特性を満足しないものは使用で
きず、いわゆる歩留りを低下させるという問題を生じて
いる。
〔問題を解決するための手段および作用〕本発明は上述
の問題を解決し、ＳＡＷデバイスの歩留りを向上するこ
とを目的とするものであり、本発明によれば、例えば第
１図に図示の如く、圧電基板１上に対向的に設けられた
少なくとも１対のすだれ状電極２，３、及び該すだれ状
電極から発せられた弾性表面波の伝播方向に前記圧電基
板１上に周波数調整可能な制御電極手段４．５、を具備
する弾性表面波装置が提供される。
の問題を解決し、ＳＡＷデバイスの歩留りを向上するこ
とを目的とするものであり、本発明によれば、例えば第
１図に図示の如く、圧電基板１上に対向的に設けられた
少なくとも１対のすだれ状電極２，３、及び該すだれ状
電極から発せられた弾性表面波の伝播方向に前記圧電基
板１上に周波数調整可能な制御電極手段４．５、を具備
する弾性表面波装置が提供される。
すなわち、本発明においては、すだれ状電極の外に予め
制御電極手段を形成させてＳＡＷデバイスを製造し、製
造後にＳＡＷデバイスの特性検査とこより所定の共振周
波数を満足しないものについては制御電極手段を加工６
して、共振周波数を微調整する。
制御電極手段を形成させてＳＡＷデバイスを製造し、製
造後にＳＡＷデバイスの特性検査とこより所定の共振周
波数を満足しないものについては制御電極手段を加工６
して、共振周波数を微調整する。
以下本発明の実施例について添付図面を参照して下記に
述べる。
述べる。
本発明の第１実施例を第１図に示す。
第１図に図示のＳΔＷデバイスは、圧電基板ｌの上にす
だれ状電極２及び３が図示の如く形成され、さらにすだ
れ状電極２，３から発せられる弾性波の伝播方向であっ
て両端部に周波数調整用の制御電極としてへ夕電極４及
び５が形成されている。このＳＡＷデバイスは、いわゆ
る端面反射形ＳＡＷデバイスであり、その長さはＬであ
る。またヘタ電極４，５の幅（長さ）はそれぞれβａ、
７！ｂである。通常はＸａ−βｂとして製造する。
だれ状電極２及び３が図示の如く形成され、さらにすだ
れ状電極２，３から発せられる弾性波の伝播方向であっ
て両端部に周波数調整用の制御電極としてへ夕電極４及
び５が形成されている。このＳＡＷデバイスは、いわゆ
る端面反射形ＳＡＷデバイスであり、その長さはＬであ
る。またヘタ電極４，５の幅（長さ）はそれぞれβａ、
７！ｂである。通常はＸａ−βｂとして製造する。
長さＬのＳＡＷデバイスの共振周波数ｆｏｎは前述の如
く、ｆｏｎ−ｎｖ／ （Ｌ／Ｎ）として定まるが、弾性
波の伝播速度■は、制御電極がない場合を■、とした場
合、制御電極を形成させた場合の伝播速度Ｖ、は圧電効
果及び質量付加効果により、一般にｖｆｆｉ〈ｖｆとし
て与えられる。従って、制御電極を設けた場合、同じ長
さしについて制御電極がない場合に比し共振周波数が低
下することとなる。一方、第１図に図示のＳＡＷデバイ
スは、当初から制御電極４，５を設けるようにしている
ので、この場合の伝播速度Ｖ、について所定の共振周波
数が得られるように、制御電極がない場合の長さより短
い長さのＳＡＷデバイスとして製造している。従って、
制御電極４．５を設けたとしても設計上得られる共振周
波数は制御電極がない場合と同様である。
く、ｆｏｎ−ｎｖ／ （Ｌ／Ｎ）として定まるが、弾性
波の伝播速度■は、制御電極がない場合を■、とした場
合、制御電極を形成させた場合の伝播速度Ｖ、は圧電効
果及び質量付加効果により、一般にｖｆｆｉ〈ｖｆとし
て与えられる。従って、制御電極を設けた場合、同じ長
さしについて制御電極がない場合に比し共振周波数が低
下することとなる。一方、第１図に図示のＳＡＷデバイ
スは、当初から制御電極４，５を設けるようにしている
ので、この場合の伝播速度Ｖ、について所定の共振周波
数が得られるように、制御電極がない場合の長さより短
い長さのＳＡＷデバイスとして製造している。従って、
制御電極４．５を設けたとしても設計上得られる共振周
波数は制御電極がない場合と同様である。
このようにして形成されたＳＡＷデバイスについて特性
試験を行い、所定の周波数より低い共振周波数であった
場合、第１図において破線で示したように制御電極４の
一部４ａ、及び、制御電極５の一部５ｂ、又はいずれか
一方をレーザー等でトリミングして除去する。もとの制
御電極４．５の長さがそれぞれＡａ、／ｂであり、この
時の伝播速度をｖ、とし、βｏ ＝Ｌ （ｊ２ａ ＋
ｊ２ｂ ）とした場合、それぞれΔｌａ 、ΔＡｂだけ
除去することにより、共振周波数ｆｏ’は 但し、ｎ＝１ で規定される。すなわち、上式で規定されるように、制
御電極４及び５又はいずれか一方の一部を、長さΔ（ｌ
ａ 、Δｌｂだけ除去することにより、共振周波数を
高める方向でＨ’ｌＪ整することが可能となる。
試験を行い、所定の周波数より低い共振周波数であった
場合、第１図において破線で示したように制御電極４の
一部４ａ、及び、制御電極５の一部５ｂ、又はいずれか
一方をレーザー等でトリミングして除去する。もとの制
御電極４．５の長さがそれぞれＡａ、／ｂであり、この
時の伝播速度をｖ、とし、βｏ ＝Ｌ （ｊ２ａ ＋
ｊ２ｂ ）とした場合、それぞれΔｌａ 、ΔＡｂだけ
除去することにより、共振周波数ｆｏ’は 但し、ｎ＝１ で規定される。すなわち、上式で規定されるように、制
御電極４及び５又はいずれか一方の一部を、長さΔ（ｌ
ａ 、Δｌｂだけ除去することにより、共振周波数を
高める方向でＨ’ｌＪ整することが可能となる。
制御電極の一部をトリミングすることにより微調整する
ことは共振周波数を高める方向に行う。従って制御電極
を形成させる際は、共振周波数がやや低くなるように設
計することが好ましい。
ことは共振周波数を高める方向に行う。従って制御電極
を形成させる際は、共振周波数がやや低くなるように設
計することが好ましい。
第２図に本発明の他の実施例を示す。
第２図に図示のＳＡＷデバイスも端面反射形ＳＡＷデバ
イスであり、圧電基板１上の一方に形成されたすだれ状
電極６，７と制御電極８を有している。
イスであり、圧電基板１上の一方に形成されたすだれ状
電極６，７と制御電極８を有している。
本実施例の制御電極８は一方の端部に設けたものである
が、その原理は第１図のＳＡＷデバイスと同様である。
が、その原理は第１図のＳＡＷデバイスと同様である。
すなわち、第２図に図示の如く形成させたＳＡＷデバイ
スを検査し、製造バラツキ等による共振周波数のずれが
あった場合、前述と同様制御電極８の一部８ａを除去す
ることにより、所望の共振周波数を得ることができる。
スを検査し、製造バラツキ等による共振周波数のずれが
あった場合、前述と同様制御電極８の一部８ａを除去す
ることにより、所望の共振周波数を得ることができる。
第３図に本発明のさらに他の実施例を示す。
第３に図示のＳＡＷデバイスも端面反射形Ｓ Ａ Ｗデ
バイスであり、圧電基板１の両端部に、すだれ状電極対
、１０：１３ ．１１：１４が形成され、それぞれの電
極が接Ｖｔ”Ｌ体１２ 、１５により電気的に接続され
ている。
バイスであり、圧電基板１の両端部に、すだれ状電極対
、１０：１３ ．１１：１４が形成され、それぞれの電
極が接Ｖｔ”Ｌ体１２ 、１５により電気的に接続され
ている。
これら電極対の間に制御電極１６が形成されている。
この実施例においても、前述と同様、調整すべき周波数
の大きに応じて、制御電極１６の一部１６ａ及び１６ｂ
又はいずれか一方を除去する。
の大きに応じて、制御電極１６の一部１６ａ及び１６ｂ
又はいずれか一方を除去する。
第４図に本発明の他の実施例を示す。
第４図に図示のＳＡＷデバイスも前述のものと同様端面
反射形ＳＡＷデバイスであり、圧電基板１のは・・中央
にすだれ状電極２０ 、２１が図示の如く形成され、該
すだれ状電極２０ 、２１の両側にはしご状電極２２゜
２３が形成されている。
反射形ＳＡＷデバイスであり、圧電基板１のは・・中央
にすだれ状電極２０ 、２１が図示の如く形成され、該
すだれ状電極２０ 、２１の両側にはしご状電極２２゜
２３が形成されている。
本実施例のＳＡＷデバイ・スの長さはＬであり、その共
振周波数は前述と同様に定められる。
振周波数は前述と同様に定められる。
本実施例においては、制御電極としてのはしご状電極２
２ 、２３が第１図〜第３図に図示のベタ電極と構造が
異なっている。各はしご状電極、例えば一方のはしご状
電極２２について述べると、複数の金属条帯（ストリッ
プ）２２１〜２２４ と、これらを同電位に保つための
金属条帯２２５ 、２２６とで構成されている。
２ 、２３が第１図〜第３図に図示のベタ電極と構造が
異なっている。各はしご状電極、例えば一方のはしご状
電極２２について述べると、複数の金属条帯（ストリッ
プ）２２１〜２２４ と、これらを同電位に保つための
金属条帯２２５ 、２２６とで構成されている。
第４図に図示の金属条帯２２３ 、２２４は２２ａ 、
２２ｂにおいて部分的に切断されているが、ＳＡＷデ
バイス製造時には全てが一体的に接続されている。各金
属条帯２２１〜２２４はすだれ状電極２０ 、２１から
発せられ伝播される弾性表面波の伝播方向と直交し、且
つ、弾性表面波の波長人とはパ同じ距離を保って形成さ
れている。
２２ｂにおいて部分的に切断されているが、ＳＡＷデ
バイス製造時には全てが一体的に接続されている。各金
属条帯２２１〜２２４はすだれ状電極２０ 、２１から
発せられ伝播される弾性表面波の伝播方向と直交し、且
つ、弾性表面波の波長人とはパ同じ距離を保って形成さ
れている。
これらのはしご状電極２２ 、２３も制御電極として質
量付加効果を与え、弾性表面波の伝播速度を低下させる
役割を有することは前述の場合と同様である。
量付加効果を与え、弾性表面波の伝播速度を低下させる
役割を有することは前述の場合と同様である。
従って、第４図に図示のＳＡＷデバイスも、はしご状電
極２２ 、２３を形成させた状態において所望の共振周
波数が得られるようにＳＡＷデバイスを設計、製造する
ことは前述の場合と同様である。
極２２ 、２３を形成させた状態において所望の共振周
波数が得られるようにＳＡＷデバイスを設計、製造する
ことは前述の場合と同様である。
しかしながら、製造バラツキ等により所望の共振周波数
が得られないことが特性検査で判った場合には、第４に
図示の如く、金属条帯の一部、この実施例でははしご状
電極２２については金属条帯２２３゜２２４について、
レーザー等によるトリミングによって、同電位接続用金
属条帯２２６から切り離す。すなわち、金属条帯を電気
的に切断することにより’ｆｆｆｉ付加効果を変化させ
、共振周波数を増加させる方向に８周整することができ
る。
が得られないことが特性検査で判った場合には、第４に
図示の如く、金属条帯の一部、この実施例でははしご状
電極２２については金属条帯２２３゜２２４について、
レーザー等によるトリミングによって、同電位接続用金
属条帯２２６から切り離す。すなわち、金属条帯を電気
的に切断することにより’ｆｆｆｉ付加効果を変化させ
、共振周波数を増加させる方向に８周整することができ
る。
第４図に図示のＳＡＷデバイスについて、トリミングし
たストリップ数Ｎ１と周波数変化Δｆ／ｆとの関係につ
いて、下記により製造したＳＡＷデバイスの具体例を第
５図に示す。
たストリップ数Ｎ１と周波数変化Δｆ／ｆとの関係につ
いて、下記により製造したＳＡＷデバイスの具体例を第
５図に示す。
ＳＡＷデバイス仕様
基板： ４０’ ｒｏｔ Ｙ−ＬｉＴａ０３（Ｘ方向伝
播）構成：第４図参照 すだれ状電極（第４図、２０ 、２１に相当）フィンガ
本数 Ｎ−８０ フィンガ長 ｘ＝６００μｍ フィンガピンチＰ−６８μｍ 電極材料及び膜厚：Ｎ１Ｃｒ（５００人） ／Ａｕ（２
５００人）制御電極（第４図、２２ 、２３に相当）フ
ィンガ本数 Ｎ″＝２０ フィンガ長、フィンガピッチ、電極材料及び膜厚：すだ
れ状電極と同じ 第５図に図示の実施例では、第４図におけるはしご状制
ｉ’ｊｌｌ電極２２ 、２３の両方について同じ数だけ
金属状帯をトリミングした場合を示している。従って、
第５図に図示の如き特性曲線に則して、調整すべき周波
数に応じて、トリミングすべき金属条帯の数が定まる。
播）構成：第４図参照 すだれ状電極（第４図、２０ 、２１に相当）フィンガ
本数 Ｎ−８０ フィンガ長 ｘ＝６００μｍ フィンガピンチＰ−６８μｍ 電極材料及び膜厚：Ｎ１Ｃｒ（５００人） ／Ａｕ（２
５００人）制御電極（第４図、２２ 、２３に相当）フ
ィンガ本数 Ｎ″＝２０ フィンガ長、フィンガピッチ、電極材料及び膜厚：すだ
れ状電極と同じ 第５図に図示の実施例では、第４図におけるはしご状制
ｉ’ｊｌｌ電極２２ 、２３の両方について同じ数だけ
金属状帯をトリミングした場合を示している。従って、
第５図に図示の如き特性曲線に則して、調整すべき周波
数に応じて、トリミングすべき金属条帯の数が定まる。
尚、第５図には、トリミングにより変化する共振抵抗Ｒ
５について併記している。
５について併記している。
またこのようなトリミングによって、ＳＡＷデバイスを
フィルタに用いる場合等、対象とする周波数帯域にスプ
リアスが混入するか否かが問題となる。
フィルタに用いる場合等、対象とする周波数帯域にスプ
リアスが混入するか否かが問題となる。
端面反射形ＳＡＷデバイスは理論的にはスプリアスが生
じないとされているが、加工精度上の制限により現実に
はスプリアスが生じ、フィルタに用いる場合等、対象と
する周波数帯域にスプリアスが生じないように設計して
いるが、上述の如くトリミングすることにより周波数帯
域にスプリアスが混入するのは好ましくないからである
。
じないとされているが、加工精度上の制限により現実に
はスプリアスが生じ、フィルタに用いる場合等、対象と
する周波数帯域にスプリアスが生じないように設計して
いるが、上述の如くトリミングすることにより周波数帯
域にスプリアスが混入するのは好ましくないからである
。
かかる観点から上述のＳＡＷデバイスについて実際に測
定した周波数特性図を第６図に示す。第６図において、
横軸に周波数ＦＲＥＱ（ＭＨｚ） 、縦軸に減衰振幅（
ｄ Ｂ ）を採っており、 曲線ＣＮ０Ｎ ：制御電極なしの場合曲線Ｃｏ二制御
電極あり （金属条帯＝２０）但し、トリミング条帯な
し 曲線０４〜Ｃ２゜ニドリミングした金属条帯数４〜２０
の場合 を表す。
定した周波数特性図を第６図に示す。第６図において、
横軸に周波数ＦＲＥＱ（ＭＨｚ） 、縦軸に減衰振幅（
ｄ Ｂ ）を採っており、 曲線ＣＮ０Ｎ ：制御電極なしの場合曲線Ｃｏ二制御
電極あり （金属条帯＝２０）但し、トリミング条帯な
し 曲線０４〜Ｃ２゜ニドリミングした金属条帯数４〜２０
の場合 を表す。
第６図から明らかなように、トリミング数が増大するこ
とによりスプリアスが大きくなり、対象とする周波数帯
域の近傍に近づくが、トリミング数４〜８木の場合は殆
んど問題にならず、全てトリミングしたとしても、対象
周波数帯域の２倍程度外側にあり実質上問題はない。
とによりスプリアスが大きくなり、対象とする周波数帯
域の近傍に近づくが、トリミング数４〜８木の場合は殆
んど問題にならず、全てトリミングしたとしても、対象
周波数帯域の２倍程度外側にあり実質上問題はない。
本発明のさらに他の実施例を第７図に図示する。
第７図に図示の５ＡＷ−’バイスは圧電基板１上にすだ
れ状電極２４ 、２５のみが図示の如く形成された、端
面反射形ＳＡＷデバイスを示す。このＳＡＷデバイスは
特に前述の如き周波数調整用の金属電極を設：すていな
いが、すだれ状電極２４ 、２５の両端方向の電極が制
御電極としての役割を持っている。従って、第７図に図
示の如く、すだれ状電極を構成している金属条帯の一部
をそれぞれ、２４ａ 、２４ｂ及び２５ａ。
れ状電極２４ 、２５のみが図示の如く形成された、端
面反射形ＳＡＷデバイスを示す。このＳＡＷデバイスは
特に前述の如き周波数調整用の金属電極を設：すていな
いが、すだれ状電極２４ 、２５の両端方向の電極が制
御電極としての役割を持っている。従って、第７図に図
示の如く、すだれ状電極を構成している金属条帯の一部
をそれぞれ、２４ａ 、２４ｂ及び２５ａ。
２５ｂにおいてトリミングによりすだれ状電極２４ 、
２５から電気的に切離すことにより、周波数を調整する
ことができる。
２５から電気的に切離すことにより、周波数を調整する
ことができる。
以上の実施例において、第１図〜第３図の実施例ではへ
夕制御電極の一部を除去して、また第４図及び第７図の
実施例では金属条帯を切離すことにより、それぞれ周波
数を増加させることについての調整について述べた。し
かしながら理論的には、へ夕制御電極の質量付加効果を
大きくして周波数を減少させるように調整することも可
能である。同様に、電気的に非接続の金属条帯を設けて
おき、これらを接続することにより周波数を減少させる
ことも可能である。
夕制御電極の一部を除去して、また第４図及び第７図の
実施例では金属条帯を切離すことにより、それぞれ周波
数を増加させることについての調整について述べた。し
かしながら理論的には、へ夕制御電極の質量付加効果を
大きくして周波数を減少させるように調整することも可
能である。同様に、電気的に非接続の金属条帯を設けて
おき、これらを接続することにより周波数を減少させる
ことも可能である。
上述のトリミングに際しては、圧電基板を極刃傷めない
ようにすることが望ましい。
ようにすることが望ましい。
以上に述べたように本発明においては、周波数調整用の
制御電極を設けておくことにより、製造バラツキ等によ
り所定の特性が得られないＳＡＷデバイスであっても製
造電極に加工を施すこ、とにより所望の特性のＳＡＷデ
バイスを得ることが可能となり、ＳＡＷデバイスの歩留
りが向上するという効果を奏する。
制御電極を設けておくことにより、製造バラツキ等によ
り所定の特性が得られないＳＡＷデバイスであっても製
造電極に加工を施すこ、とにより所望の特性のＳＡＷデ
バイスを得ることが可能となり、ＳＡＷデバイスの歩留
りが向上するという効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例としてのＳＡＷデバイスの平
面図、 第２図は本発明の他の実施例としてのＳＡＷデハイスの
平面図、 第３図は本発明のさらに他の実施例としてのＳＡ＼Ｖテ
ハイスの平面図、 第４図は本発明の他の実施例としてのＳＡＷデバイスの
平面図、 第５図は第４図に図示のＳＡＷデバイスにおける周波数
変化を表す例示的な特性図、 第・６図は第４図に図示のＳＡＷデバイスにおける例示
的な減衰特性曲線図、 第７図は本発明のさらに他の実施例としてのＳＡ〜Ｖデ
バイスの平面図である。 （符号の説明） １・・・圧電基板、 ２．３：６，７・・・すだれ電極、 ４、．５．８・・・制御電極。 ＄１図 第２図 第３図 第４図 第５図 ］０ ２０ →ＮＴ 第６図 ＦＲＥＱ（Ｍト−ｉｚ）
面図、 第２図は本発明の他の実施例としてのＳＡＷデハイスの
平面図、 第３図は本発明のさらに他の実施例としてのＳＡ＼Ｖテ
ハイスの平面図、 第４図は本発明の他の実施例としてのＳＡＷデバイスの
平面図、 第５図は第４図に図示のＳＡＷデバイスにおける周波数
変化を表す例示的な特性図、 第・６図は第４図に図示のＳＡＷデバイスにおける例示
的な減衰特性曲線図、 第７図は本発明のさらに他の実施例としてのＳＡ〜Ｖデ
バイスの平面図である。 （符号の説明） １・・・圧電基板、 ２．３：６，７・・・すだれ電極、 ４、．５．８・・・制御電極。 ＄１図 第２図 第３図 第４図 第５図 ］０ ２０ →ＮＴ 第６図 ＦＲＥＱ（Ｍト−ｉｚ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、圧電基板上に対向的に設けられた少なくとも１対の
すだれ状電極、及び該すだれ状電極から発せられた弾性
表面波の伝播方向に前記圧電基板上に周波数調整可能な
制御電極手段、を具備する弾性表面波装置。 ２、前記すだれ状電極と弾性表面波装置の端部との間の
少なくとも一方に前記制御電極手段を設けたことを特徴
とする、特許請求の範囲第１項に記載の弾性表明波装置
。 ３、前記制御電極手段は帯状電極である、特許請求の範
囲第２項に記載の弾性表面波装置。 ４、前記帯状電極は若干大きく形成され、調整周波数量
に応じて削除されることを特徴とする、特許請求の範囲
第３項に記載の弾性表面波装置。 ５、前記制御電極手段は所定の間隔で設けられ電気的に
接続された複数の金属条帯である、特許請求の範囲第２
項に記載の弾性表面波装置。 ６、前記複数の金属条帯は若干多く形成され、調整周波
数量に応じて所定数の金属条帯が電気的に非接続にされ
ることを特徴とする、特許請求の範囲第５項に記載の弾
性表面波装置。 ７、前記すだれ状電極が弾性表面波装置の両端部領域に
設けられ、前記制御電極手段がそれらのすだれ状電極間
に設けられたことを特徴とする、特許請求の範囲第１項
に記載の弾性表面波装置。 ８、前記制御電極手段は帯状電極である、特許請求の範
囲第７項に記載の弾性表面波装置。 ９、前記帯状電極は若干大きく形成され、調整周波数量
に応じて削除されることを特徴とする、特許請求の範囲
第８項に記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22225484A JPS61101112A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22225484A JPS61101112A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61101112A true JPS61101112A (ja) | 1986-05-20 |
Family
ID=16779509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22225484A Pending JPS61101112A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61101112A (ja) |
-
1984
- 1984-10-24 JP JP22225484A patent/JPS61101112A/ja active Pending
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