JPS6090998A - 多段油回転真空ポンプ - Google Patents
多段油回転真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS6090998A JPS6090998A JP19877283A JP19877283A JPS6090998A JP S6090998 A JPS6090998 A JP S6090998A JP 19877283 A JP19877283 A JP 19877283A JP 19877283 A JP19877283 A JP 19877283A JP S6090998 A JPS6090998 A JP S6090998A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- pump chamber
- opening
- partition wall
- pump
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- Granted
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、縦続接続され共通の回転軸を有する複数の
油回転真空ポンプを共通の油ｉ曹内に浸漬した多段式ポ
ンプにおいて、各ポンプ内の給油量を制御するものであ
る。
油回転真空ポンプを共通の油ｉ曹内に浸漬した多段式ポ
ンプにおいて、各ポンプ内の給油量を制御するものであ
る。
この種のポンプは、動作中に油温が上昇し、それによる
油の粘性の変化によシ、ポンプ内の給油量が変動する。
油の粘性の変化によシ、ポンプ内の給油量が変動する。
一方、油回転真空ポンプは到達圧力に接近するにつれて
排気弁音が高まシ、かつポンプ内の給油量が多過ぎると
きは排気弁音が一層高まって騒音となるので、給油量を
極限附近にまで制限しているが、上述の油温上昇が起れ
ば給油量が増大し、排気弁音の抑制がきかなくなる。
排気弁音が高まシ、かつポンプ内の給油量が多過ぎると
きは排気弁音が一層高まって騒音となるので、給油量を
極限附近にまで制限しているが、上述の油温上昇が起れ
ば給油量が増大し、排気弁音の抑制がきかなくなる。
上述のような事実に鑑み、この発明は、油温の変化に拘
らず給油量をほぼ一定に維持し、これによシ油温上昇時
にも効果的に排気弁音を抑制することを目的とする。
らず給油量をほぼ一定に維持し、これによシ油温上昇時
にも効果的に排気弁音を抑制することを目的とする。
この発明においては、各ポンプのポンプ室は隔壁を挾ん
で隣接配置され、各ポンプ室内にそれぞれ設けられてい
る回転子は、上記隔壁を鼠通ずる共通の回転軸に取付け
られていて、全体が共通の槽内の油中に浸漬されている
。そして、前段ポンプの排気路は後段ポンプの吸気路に
接続され、終段ポンプの排気路は外界に開放されている
。給油路は、油槽内に開口した収入口がら終段ポンプの
ポンプ室内、望ましくは同ポンプ室の排気弁近傍に通じ
、同ポンプの回転子と上記隔壁との間隙、」１記隔壁と
上記回転軸との間隙及び前段ポンプの回転子と上記隔壁
との間隙を順に通過して、前段のポンプ室内に到ってお
り、最１旬段のポンプの排気弁を通って油ｊ曹内へ戻っ
ている。
で隣接配置され、各ポンプ室内にそれぞれ設けられてい
る回転子は、上記隔壁を鼠通ずる共通の回転軸に取付け
られていて、全体が共通の槽内の油中に浸漬されている
。そして、前段ポンプの排気路は後段ポンプの吸気路に
接続され、終段ポンプの排気路は外界に開放されている
。給油路は、油槽内に開口した収入口がら終段ポンプの
ポンプ室内、望ましくは同ポンプ室の排気弁近傍に通じ
、同ポンプの回転子と上記隔壁との間隙、」１記隔壁と
上記回転軸との間隙及び前段ポンプの回転子と上記隔壁
との間隙を順に通過して、前段のポンプ室内に到ってお
り、最１旬段のポンプの排気弁を通って油ｊ曹内へ戻っ
ている。
この発明を実施するために、上記収入口には油温に応動
して流量を制御する弁が設けられ、油温か上昇した際は
流量を絞るよう構成されている。
して流量を制御する弁が設けられ、油温か上昇した際は
流量を絞るよう構成されている。
その結果、ポンプ内の給油量を、油温の変動に拘らず大
略一定に維持することができる。また、必要に応じ上記
隔壁と回転軸との間には、後段ポンプ室よりｍ）段ポン
プ室へ向う油滑を規制する手段が設けられる。
略一定に維持することができる。また、必要に応じ上記
隔壁と回転軸との間には、後段ポンプ室よりｍ）段ポン
プ室へ向う油滑を規制する手段が設けられる。
以下、この発明を図示の実施例に基いて説明する。
第１図において、■は油槽で、その１側壁１ａの内面に
は１段口ポンプの固定子２が収付られ、固定子２の他端
面（Ｃは隔壁３が、そして隔壁３のイ四面には２段目ポ
ンプの固定子４が、順に取付けられている。固定子２の
内部には側壁１ａと隔壁３とに挾１れたポンプ室５が、
固定子４の内部にはその端壁４ａと隔壁３とに挾まれた
ポンプ室６が、それぞれ形成される。
は１段口ポンプの固定子２が収付られ、固定子２の他端
面（Ｃは隔壁３が、そして隔壁３のイ四面には２段目ポ
ンプの固定子４が、順に取付けられている。固定子２の
内部には側壁１ａと隔壁３とに挾１れたポンプ室５が、
固定子４の内部にはその端壁４ａと隔壁３とに挾まれた
ポンプ室６が、それぞれ形成される。
７は回転軸で、油槽側壁１ａ１隔壁３、固定子端壁４ａ
を貫通しており、軸受８及び９によって側壁１ａと端壁
４ａとにそれぞれ支持され、隔壁３は緩く貫通している
。第２図並びに第４図に示すように、回転軸７には、ポ
ンプ室５内においては回転子１０が、ポンプ室６内にお
いては回転子１１が、それぞれ収付けられている。これ
らの回転子１０及び１１は、それぞれベーン１２．１２
及び１３、＋３を有する。
を貫通しており、軸受８及び９によって側壁１ａと端壁
４ａとにそれぞれ支持され、隔壁３は緩く貫通している
。第２図並びに第４図に示すように、回転軸７には、ポ
ンプ室５内においては回転子１０が、ポンプ室６内にお
いては回転子１１が、それぞれ収付けられている。これ
らの回転子１０及び１１は、それぞれベーン１２．１２
及び１３、＋３を有する。
なお、１４．１４は側ｉ １ ａと回転軸ツとの間に設
けたオイルシール、１５は端壁４ａに回転軸７の端面を
覆って設けた端蓋である。
けたオイルシール、１５は端壁４ａに回転軸７の端面を
覆って設けた端蓋である。
第２図に示すように、固定子２の上面からは、ポンプ室
６内の吸気側と排気側とに向って吸気路１６及び排気路
１７が穿孔され、吸気路１６は油槽１の上壁１ｂを貫通
して槽外へ伸びる吸気管１日に接続されておシ、排気路
１７は排気弁１９を介して槽内の油２０中に開放される
一方、隔壁３の方向へ向う分岐路２１に連通ずる。
６内の吸気側と排気側とに向って吸気路１６及び排気路
１７が穿孔され、吸気路１６は油槽１の上壁１ｂを貫通
して槽外へ伸びる吸気管１日に接続されておシ、排気路
１７は排気弁１９を介して槽内の油２０中に開放される
一方、隔壁３の方向へ向う分岐路２１に連通ずる。
第４図に示すように、固定子４の上面からも、ポンプ室
６内の吸気側と排気側とに向って吸気路２２及び排気路
２３が穿孔され、吸気路２２はその開口を蓋体２４によ
り閉塞され、かつ浦壁３の方向へ向う分岐路２５に連通
し、排気路２３は排気弁２６を介して、；１Ｗ内の油２
０中に開放されている。そして、隔壁３の内部には、第
３図に示すように、固定子２側の分岐路２１と固定子４
側の分岐路２５とを連通させる連通路２７が穿設されて
いる。なお、油槽上壁１ｂには、排気弁１９及び２６か
ら槽内へ排出された排気を外界へ導くために、排気口２
日が設けられている。
６内の吸気側と排気側とに向って吸気路２２及び排気路
２３が穿孔され、吸気路２２はその開口を蓋体２４によ
り閉塞され、かつ浦壁３の方向へ向う分岐路２５に連通
し、排気路２３は排気弁２６を介して、；１Ｗ内の油２
０中に開放されている。そして、隔壁３の内部には、第
３図に示すように、固定子２側の分岐路２１と固定子４
側の分岐路２５とを連通させる連通路２７が穿設されて
いる。なお、油槽上壁１ｂには、排気弁１９及び２６か
ら槽内へ排出された排気を外界へ導くために、排気口２
日が設けられている。
２段目ポンプのポンプ室６内に油を導くために、第３図
及び第４図に示すように、槽内の油２０中からポンプ室
６の排気側へ通ずる給油路２９が隔壁３に穿設されてお
り、槽内側の開口２９ａに対面して流量制御弁３０が螺
子３１により隔壁３の側面に収（＝Ｊけられている。流
量制御弁３０バイメタルで構成され、油温か上昇するに
従って開口２９ａに接近し、開口２９ａに対面する部分
には微細孔３２を有していて、弁３０が開口２９ａの周
辺に密着した際に開口２９が完全に閉塞されることがな
いようにしである。
及び第４図に示すように、槽内の油２０中からポンプ室
６の排気側へ通ずる給油路２９が隔壁３に穿設されてお
り、槽内側の開口２９ａに対面して流量制御弁３０が螺
子３１により隔壁３の側面に収（＝Ｊけられている。流
量制御弁３０バイメタルで構成され、油温か上昇するに
従って開口２９ａに接近し、開口２９ａに対面する部分
には微細孔３２を有していて、弁３０が開口２９ａの周
辺に密着した際に開口２９が完全に閉塞されることがな
いようにしである。
隔壁３の回転軸７が貫通する部分には、第５図に示すよ
うに、回転軸径よシもか′にり大きな内１条の貫通孔３
３が穿孔されており、貫通孔３３の１段目ポンプ室６側
は、更に内径が拡大された拡大部３３ａを形成されてい
る。拡大部３３ａ内においては、覗状の流量制御体３４
が、回転軸７に０リング３５を挾んで嵌合されている。
うに、回転軸径よシもか′にり大きな内１条の貫通孔３
３が穿孔されており、貫通孔３３の１段目ポンプ室６側
は、更に内径が拡大された拡大部３３ａを形成されてい
る。拡大部３３ａ内においては、覗状の流量制御体３４
が、回転軸７に０リング３５を挾んで嵌合されている。
流量制御体３４は、周面に訂１１かい環状溝３４ａを有
し、拡大部３３ａの内面と１８１ｄＩＩでかつ適当な間
隙を隔てて対画している。
し、拡大部３３ａの内面と１８１ｄＩＩでかつ適当な間
隙を隔てて対画している。
上述のポンプにおいて、回転軸７を駆動するときは、吸
気管１８から１段目ポンプ室５内へ吸引された空気は、
排気弁１９から槽ｌ内の油中に排出されると共に、連通
路２７を通って２段目ポンプ力て６内へ吸引され、排気
弁２６よシ油中へ排出される。
気管１８から１段目ポンプ室５内へ吸引された空気は、
排気弁１９から槽ｌ内の油中に排出されると共に、連通
路２７を通って２段目ポンプ力て６内へ吸引され、排気
弁２６よシ油中へ排出される。
そして、イ（’ｌ’ Ｉ内の油中へ排出されたこれらの
空気は、排気口２８を通って槽外へ出る。吸気管１８側
の真空度が成る値に到達すると、１段目ポンプの排気弁
１９から排出される空気は殆ど無くなシ、１段目及び２
段目の各ポンプを縦続的に経由して真空排気が行われ、
吸気管１日側は所定の真空度に到達する。
空気は、排気口２８を通って槽外へ出る。吸気管１８側
の真空度が成る値に到達すると、１段目ポンプの排気弁
１９から排出される空気は殆ど無くなシ、１段目及び２
段目の各ポンプを縦続的に経由して真空排気が行われ、
吸気管１日側は所定の真空度に到達する。
その間、槽１内の油２０は、給油路２９から２段目ポン
プ室６内に入り、回転軸７と囚−、ａ孔３３の間隙を通
って１段目ポンプ室５内へ移行し、排気弁１９から槽１
内−＼排出される。上述のポンプの運転により油２０が
昇温すると、流獣制呻弁３０が移動して給油路２９の開
口面積を狭める。従って、油２０の昇温に半う粘度の低
下に拘らず、ポンプ内を循環する油の量はほぼ一定する
。なお、外界の気温が低くポンプが冷却している場合に
は、運転開始半切に流量制御弁３Ｑが給油路開口２９ａ
から逆に遠ざかった位置にあるので、油２０が高粘度に
なっているにも拘らず、適正な量の油を２段目ポンプ室
６内へ導入することができる。
プ室６内に入り、回転軸７と囚−、ａ孔３３の間隙を通
って１段目ポンプ室５内へ移行し、排気弁１９から槽１
内−＼排出される。上述のポンプの運転により油２０が
昇温すると、流獣制呻弁３０が移動して給油路２９の開
口面積を狭める。従って、油２０の昇温に半う粘度の低
下に拘らず、ポンプ内を循環する油の量はほぼ一定する
。なお、外界の気温が低くポンプが冷却している場合に
は、運転開始半切に流量制御弁３Ｑが給油路開口２９ａ
から逆に遠ざかった位置にあるので、油２０が高粘度に
なっているにも拘らず、適正な量の油を２段目ポンプ室
６内へ導入することができる。
ポンプ￥６からポンプ室５へ向う油の中に１、鉄粉その
他の異物が混入していた場合には、貫通化拡大部３３ａ
と流量制御体３４との間隙に詰って、流量制御体３４は
回転不能に陥るが、回転軸７自体は０す／グ３５の内面
を滑って回転し続けることができる。従って、貫通孔３
″：５と軸１との間隙を狭くして、ここで油流量を調節
しようとする場合に起る軸７の焼付きを防ぐことができ
る。
他の異物が混入していた場合には、貫通化拡大部３３ａ
と流量制御体３４との間隙に詰って、流量制御体３４は
回転不能に陥るが、回転軸７自体は０す／グ３５の内面
を滑って回転し続けることができる。従って、貫通孔３
″：５と軸１との間隙を狭くして、ここで油流量を調節
しようとする場合に起る軸７の焼付きを防ぐことができ
る。
なお、図示の実施例はゲーデ型回転真空ポンプに関する
ものであるが、その他の型式の多段油回転真空ポンプに
もこの発明は実施することができ、また、流量制御弁３
２としても図示型式のものに１恨らず、温度に応動して
流量を調節できる適宜の型式のものを使用することがで
きる。
ものであるが、その他の型式の多段油回転真空ポンプに
もこの発明は実施することができ、また、流量制御弁３
２としても図示型式のものに１恨らず、温度に応動して
流量を調節できる適宜の型式のものを使用することがで
きる。
以上のように、この発明によるときは、油温の変化によ
るポンプ内の循環油量の変動を４ｉｐ制し、常に循環油
量を最適直に推持することができる。
るポンプ内の循環油量の変動を４ｉｐ制し、常に循環油
量を最適直に推持することができる。
図はこの発明の一実施例を示し、第１図は油槽を切截し
て内部のポンプを示す側面図、第２図は第１図における
Ａ−Ａ線の断面図、第３図は第１図におけるＢ−Ｂ線の
断面図、第４図は第１図におけるＣ−Ｃ線の断面図、第
５図は隔壁を回転軸が貫通する部分の拡大１祈面図であ
る。 Ｉ・・・油槽、２・・・１段目固定子、３・・・隔壁、
４・・・２段目固定子、５及び６・・・ポンプ室、マ・
・・回４云軸、ＩＯ及びＩＩ・・・回転子、１６及び２
２・・・吸気路、１７及び２３・・・排気路、２７・・
・連通路、２９・・・第１の給油路、３０・・・流量制
御弁。 特許出願人 神港精磯株式会社 代 理 人 清 水 肯 ほか２名 ズ ｌ 図
て内部のポンプを示す側面図、第２図は第１図における
Ａ−Ａ線の断面図、第３図は第１図におけるＢ−Ｂ線の
断面図、第４図は第１図におけるＣ−Ｃ線の断面図、第
５図は隔壁を回転軸が貫通する部分の拡大１祈面図であ
る。 Ｉ・・・油槽、２・・・１段目固定子、３・・・隔壁、
４・・・２段目固定子、５及び６・・・ポンプ室、マ・
・・回４云軸、ＩＯ及びＩＩ・・・回転子、１６及び２
２・・・吸気路、１７及び２３・・・排気路、２７・・
・連通路、２９・・・第１の給油路、３０・・・流量制
御弁。 特許出願人 神港精磯株式会社 代 理 人 清 水 肯 ほか２名 ズ ｌ 図
Claims (1)
- （１）内部にポンプ室が形成された各固定子を隔壁の両
面に結合し、上記隔壁を貫通する回転軸に上記各ポンプ
室内においてそれぞれ回転子を設け、上記固定子及び隔
壁を油中に浸漬し、上記ポンプ室の一方の排気側を他方
の吸引側に連結した多段油回転真空ポンプにおいて、上
記固定子または隔壁にその外面から後段側ポンプ室内へ
通ずる第１の給油路を１設すると共に、上記隔壁の上記
回転軸が貫通している孔に後段側ポンプ室から前段側ポ
ンプ室へ向う第２の給油路を形成し、第１の給油路の上
記固定子または隔壁の外面における開口に、上記油の温
度に応動しその昇温に従って上記開口の断面積を縮少す
る流量制御弁を設けたことを特徴とする多段油回転真空
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19877283A JPS6090998A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 多段油回転真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19877283A JPS6090998A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 多段油回転真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6090998A true JPS6090998A (ja) | 1985-05-22 |
| JPS6338557B2 JPS6338557B2 (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=16396669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19877283A Granted JPS6090998A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 多段油回転真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6090998A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61200485U (ja) * | 1985-06-05 | 1986-12-15 | ||
| JPH01211684A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-24 | Anlet Co Ltd | ドライ式多段型ロータリーベーンポンプ |
| US7854601B2 (en) * | 2006-12-13 | 2010-12-21 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Lubricant-tight vane rotary vacuum pump |
-
1983
- 1983-10-24 JP JP19877283A patent/JPS6090998A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61200485U (ja) * | 1985-06-05 | 1986-12-15 | ||
| JPH0350312Y2 (ja) * | 1985-06-05 | 1991-10-28 | ||
| JPH01211684A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-24 | Anlet Co Ltd | ドライ式多段型ロータリーベーンポンプ |
| US7854601B2 (en) * | 2006-12-13 | 2010-12-21 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Lubricant-tight vane rotary vacuum pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6338557B2 (ja) | 1988-08-01 |
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