JPS6084748A - ガスパフ形プラズマｘ線源 - Google Patents
ガスパフ形プラズマｘ線源Info
- Publication number
- JPS6084748A JPS6084748A JP58190743A JP19074383A JPS6084748A JP S6084748 A JPS6084748 A JP S6084748A JP 58190743 A JP58190743 A JP 58190743A JP 19074383 A JP19074383 A JP 19074383A JP S6084748 A JPS6084748 A JP S6084748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- switch
- gas
- valve
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はガスバフ形プラズマＸ線源の改良に係り、特に
、この種のＸ線源における放電のトリガ手段に関するも
のである。
、この種のＸ線源における放電のトリガ手段に関するも
のである。
軟Ｘ線発生装置の有力な方法の１つにガスバフ形プラズ
マＸ線装置がある。この装置の構成を第１図に示す。放
電容器３内に一対の電極１．２が対抗して設置しである
。放電容器３内は排気管３１を介して常に排気されてい
る。電極２の中央部にはラバールノズル２１が設けてあ
り高速開閉パルプ７を介して高圧ガスボンベ（図示して
いない）に通じている。他方の電極１の中央部にもラバ
ールノズル２１からのガス流を取シ込むための穴１１が
設けである。電極１，２は高速スイッチ５を介して高圧
コンデンサ４に接続しである。
マＸ線装置がある。この装置の構成を第１図に示す。放
電容器３内に一対の電極１．２が対抗して設置しである
。放電容器３内は排気管３１を介して常に排気されてい
る。電極２の中央部にはラバールノズル２１が設けてあ
り高速開閉パルプ７を介して高圧ガスボンベ（図示して
いない）に通じている。他方の電極１の中央部にもラバ
ールノズル２１からのガス流を取シ込むための穴１１が
設けである。電極１，２は高速スイッチ５を介して高圧
コンデンサ４に接続しである。
動作は次の通シである。軟Ｘ線を発生する動作気体は同
時に発生したＸ線を吸収する。このため、Ｘ線が発生す
る電極１．２間には高密度のガスがあシ、他の空間はカ
スが十分低密度であることが望ましい。この目的のため
に高速開閉パルプ７と２バールノズル２を用い、電極１
，２間に超音速ガス流を形成する。このガス流を通して
放電を行なう。ところで、放電容器３の容積は有限であ
るため、超音速ガス流を用いても容器３内のガス密度は
高速パルプ７が開放した後、急速に上昇するので、Ｘ線
発生に最適な管内ガス密度分布が得られる期間は数マイ
クロ秒程度の短時間である。よって、放電はこの期間に
一致するようにスイッチ５を制御しなければならない。
時に発生したＸ線を吸収する。このため、Ｘ線が発生す
る電極１．２間には高密度のガスがあシ、他の空間はカ
スが十分低密度であることが望ましい。この目的のため
に高速開閉パルプ７と２バールノズル２を用い、電極１
，２間に超音速ガス流を形成する。このガス流を通して
放電を行なう。ところで、放電容器３の容積は有限であ
るため、超音速ガス流を用いても容器３内のガス密度は
高速パルプ７が開放した後、急速に上昇するので、Ｘ線
発生に最適な管内ガス密度分布が得られる期間は数マイ
クロ秒程度の短時間である。よって、放電はこの期間に
一致するようにスイッチ５を制御しなければならない。
ところが、放電には破壊遅れ時間があり、また、電極間
のガス密度電極表面状態によっても放電破壊遅れ時間が
大きく変化する。このため、スイッチ５０投入と同時に
電極１，２間で放電が生じるようにする必要がある。
のガス密度電極表面状態によっても放電破壊遅れ時間が
大きく変化する。このため、スイッチ５０投入と同時に
電極１，２間で放電が生じるようにする必要がある。
上記の目的のためにトリガ放電を用いる。電極１の中心
部にトリガ用電極８１が絶縁物８２を介して埋めこんで
ある。電極１とトリガ電極８１はスイッチ９を介してコ
ンデンサ８に接続しである。
部にトリガ用電極８１が絶縁物８２を介して埋めこんで
ある。電極１とトリガ電極８１はスイッチ９を介してコ
ンデンサ８に接続しである。
スイッチ９はスイッチ５の投入に先立って投入される。
すると、電極１，８１間でトリガ放電が生じ、電極１の
周辺に微弱なプラズマを形成するため、スイッチ５０投
入と同時に容易に主放電が生じる。
周辺に微弱なプラズマを形成するため、スイッチ５０投
入と同時に容易に主放電が生じる。
ところが、第１図の構成のトリガ方式では次のような問
題点がある。
題点がある。
電極１の中心部には超音速ガス流が電極１の表面で散乱
されないように穴１１が設けており、トリガ電極８１は
穴１１の中にある。いま、図示のようにトリガ電極８１
を包む絶縁物８２の端面が穴１１の深い位置にある場合
、トリガ放電が穴１１の深い位置で生じてしまい、主電
極間トリガには効果が生じない。一方、絶縁物８２の端
面を電極１の端面とほぼ同位置とすれば、今度は穴１１
をうめてしまい、超音速ガス流を散乱させる。
されないように穴１１が設けており、トリガ電極８１は
穴１１の中にある。いま、図示のようにトリガ電極８１
を包む絶縁物８２の端面が穴１１の深い位置にある場合
、トリガ放電が穴１１の深い位置で生じてしまい、主電
極間トリガには効果が生じない。一方、絶縁物８２の端
面を電極１の端面とほぼ同位置とすれば、今度は穴１１
をうめてしまい、超音速ガス流を散乱させる。
トリガ電極８１が超音速ガス流の下流にある場合、トリ
ガ放電によυ生じたプラズマが電極２に拡がるのが抑止
され、主放電のトリガになりにくい。
ガ放電によυ生じたプラズマが電極２に拡がるのが抑止
され、主放電のトリガになりにくい。
トリガ放電を生じさせるためのコンデンサ８の充電電圧
は速い放電破壊を生じるのに充分なだけ高くなければな
らない。
は速い放電破壊を生じるのに充分なだけ高くなければな
らない。
したがって、本発明の目的は良好なトリガを与えるトリ
ガ手段を備えたガスバフ形プラズマＸ線源を提供するこ
とにある。
ガ手段を備えたガスバフ形プラズマＸ線源を提供するこ
とにある。
上記目的を達成するため本発明においては、放電ガスの
供給を制御する開閉ノくルプとそのシール面との間に電
流を流し、この開閉ノ（ルブの開放と同時に開閉パルプ
とシール面との間で放電を生じさせるようにガスパフ形
プラズマＸ線源を構成したことを特徴としている。
供給を制御する開閉ノくルプとそのシール面との間に電
流を流し、この開閉ノ（ルブの開放と同時に開閉パルプ
とシール面との間で放電を生じさせるようにガスパフ形
プラズマＸ線源を構成したことを特徴としている。
以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。
第２図は本発明によるガスノくフ形プラズマＸ線源の基
本構成を示す。トリガ放電に関係する部分以外は第１図
と同一であるので共通部分の説明は省略する。トリガ用
電源８′はスイッチ９、インタツタ−９１を介して一端
は高速開閉ノ５ルブ７に、他端は電極２に接続しである
。電極２と／クルフ゛７が気密シールしている面６とは
電気的に導通している。いま、スイッチ９を閉じると、
電源８′→スイツチ９→インダクター９１→ノくルプ７
→シール面６→電極２→電＠ Ｓ ／と電流が流れる。
本構成を示す。トリガ放電に関係する部分以外は第１図
と同一であるので共通部分の説明は省略する。トリガ用
電源８′はスイッチ９、インタツタ−９１を介して一端
は高速開閉ノ５ルブ７に、他端は電極２に接続しである
。電極２と／クルフ゛７が気密シールしている面６とは
電気的に導通している。いま、スイッチ９を閉じると、
電源８′→スイツチ９→インダクター９１→ノくルプ７
→シール面６→電極２→電＠ Ｓ ／と電流が流れる。
／（ルブ７が急速に開くと、シール面６と）くルプ７と
の間に単離アークを発生する。このアークにより生じた
プラズマを高速ガス流で主電極１，２間に運ぶため、主
電極１，２間放電を容易に生じさせる。
の間に単離アークを発生する。このアークにより生じた
プラズマを高速ガス流で主電極１，２間に運ぶため、主
電極１，２間放電を容易に生じさせる。
本構成では、特に、トリガ電極を設けないため、ガス流
を乱す仁とは全くない。また、パルプ７と、シール面６
とは最初、接触しているから、電源８′の電圧は放電破
壊を起させるに必要な値である必要はなく、放電維持に
十分な値であればよい。インダクター９１はトリガ電流
が遮断されるのを防止するだめのものであり、必ずしも
必要ではない。
を乱す仁とは全くない。また、パルプ７と、シール面６
とは最初、接触しているから、電源８′の電圧は放電破
壊を起させるに必要な値である必要はなく、放電維持に
十分な値であればよい。インダクター９１はトリガ電流
が遮断されるのを防止するだめのものであり、必ずしも
必要ではない。
以上述べたごとく本発明によれば、確実に良好なトリガ
放電が形成できるため、主回路のスイッチ投入と同時に
主電極間に確実に放電を生じさせられるという顕著な効
果が得られる。
放電が形成できるため、主回路のスイッチ投入と同時に
主電極間に確実に放電を生じさせられるという顕著な効
果が得られる。
第１図は従来のガスバフ形プラズマＸ線装置の基本構成
を示す図、第２図は本発明によるカスバフ形プラズマＸ
線装置の基本構成を示す図である。 １．２・・・主電極、３・・・放電容器、４．８・・・
コンデンサ、５．９・・・スイッチ、６・・・シール面
、７・・・開閉バルブ、８′・・・電源、１１・・・穴
、２１・・・ラバールノズル、３１・・・排気管、８１
・・・トリガ用電極、第 １ 口 第 ２ 図 手続補正書 昭和５軽１２月１６日 特許庁長官殿 事件の表示 昭和５８年特許願第１９０７４３号事件と
の関係 特許出願人 名称（５１０） 株式会社日 立製作所「図面の簡単な
説明」の欄および凶凹 補正の内容 ■９本願明細書第２頁第２行目「対抗」を「対向」に補
正する。 ２、同第６頁第１０行目と第１１行目との間に次の文章
を挿入する。 「異なる実施例を第３図に示す。第２図の実施例では気
密シール面で同時に電気的接続をとる場合を示した。 可動部の気密シールには一般に弾性変形が可能なゴムま
たはプラスチックのオーリングが用いられる。これらの
素材は、電気的には絶縁材であり電気的接触は得られな
い。第３図はその点を考慮した例で、十分な気密シール
と電気的接触とが同とで気密シールを保っている。バル
ブ７の側面には軸対称に２〜４個の板バネ７２が固定さ
れており、板バネ７２の先には接点７１が設けられてい
る。接点７１は電極２側の受け６２に接触しており、ご
こでバルブ７と電極２とは電気的接触を保っている。こ
の構造ではバルブ７が電極２に対して接触する圧力は気
密シールの観点からのみ決めることができ、電気的接触
圧は板バネ７２で決めることができる。 第３図では電気接点がオーリング６１の外側にある例を
示したが、この場合接点７１・６２間で発生するアーク
によりオーリング６１が劣化する場合がある。そこで、
第４図は電気接点をオーリング６１の内側に設けた例で
ある。接一点７ビはリング状接点であり、バネ７２′に
より電極２と接触している。この構造では気流に対しオ
ーリング６】が上流側になるので、接点７１’でのアー
クによりオーリング６１が劣化することはない。 また、ノズルのノド２２を狭く設計すれば、接点７１’
によってノズル２から噴き出る気流はオ障害を受けな
い。 このように、第３，４図の構成では気密シールと電気的
接触とが確実に得られ、さらに第４図ではオーリングの
劣化をも防止可能となる。」３、同第６頁第１９行目の
ｒ図である。」を「図、第３，４図は他の実施例の構成
図である。１面の如く補正する。 ５、同図面として別添の「第３図および第４図」を追加
する。 以上 第２Ｉ￥］ ＜Ｓ 第３剪 ２ノ 第４ 図
を示す図、第２図は本発明によるカスバフ形プラズマＸ
線装置の基本構成を示す図である。 １．２・・・主電極、３・・・放電容器、４．８・・・
コンデンサ、５．９・・・スイッチ、６・・・シール面
、７・・・開閉バルブ、８′・・・電源、１１・・・穴
、２１・・・ラバールノズル、３１・・・排気管、８１
・・・トリガ用電極、第 １ 口 第 ２ 図 手続補正書 昭和５軽１２月１６日 特許庁長官殿 事件の表示 昭和５８年特許願第１９０７４３号事件と
の関係 特許出願人 名称（５１０） 株式会社日 立製作所「図面の簡単な
説明」の欄および凶凹 補正の内容 ■９本願明細書第２頁第２行目「対抗」を「対向」に補
正する。 ２、同第６頁第１０行目と第１１行目との間に次の文章
を挿入する。 「異なる実施例を第３図に示す。第２図の実施例では気
密シール面で同時に電気的接続をとる場合を示した。 可動部の気密シールには一般に弾性変形が可能なゴムま
たはプラスチックのオーリングが用いられる。これらの
素材は、電気的には絶縁材であり電気的接触は得られな
い。第３図はその点を考慮した例で、十分な気密シール
と電気的接触とが同とで気密シールを保っている。バル
ブ７の側面には軸対称に２〜４個の板バネ７２が固定さ
れており、板バネ７２の先には接点７１が設けられてい
る。接点７１は電極２側の受け６２に接触しており、ご
こでバルブ７と電極２とは電気的接触を保っている。こ
の構造ではバルブ７が電極２に対して接触する圧力は気
密シールの観点からのみ決めることができ、電気的接触
圧は板バネ７２で決めることができる。 第３図では電気接点がオーリング６１の外側にある例を
示したが、この場合接点７１・６２間で発生するアーク
によりオーリング６１が劣化する場合がある。そこで、
第４図は電気接点をオーリング６１の内側に設けた例で
ある。接一点７ビはリング状接点であり、バネ７２′に
より電極２と接触している。この構造では気流に対しオ
ーリング６】が上流側になるので、接点７１’でのアー
クによりオーリング６１が劣化することはない。 また、ノズルのノド２２を狭く設計すれば、接点７１’
によってノズル２から噴き出る気流はオ障害を受けな
い。 このように、第３，４図の構成では気密シールと電気的
接触とが確実に得られ、さらに第４図ではオーリングの
劣化をも防止可能となる。」３、同第６頁第１９行目の
ｒ図である。」を「図、第３，４図は他の実施例の構成
図である。１面の如く補正する。 ５、同図面として別添の「第３図および第４図」を追加
する。 以上 第２Ｉ￥］ ＜Ｓ 第３剪 ２ノ 第４ 図
Claims (1)
- １、放電容器中に一対の電極が対向して設置してあり、
上記一方の電極の中心部にノズルが設けてあシ、上記ノ
ズルが開閉パルプを介して高圧動作ガスボンベにつなが
れているガスバフ形プラズマＸ線源におりて、上記開閉
パルプとそのシール面との間に電流を流し、上記開閉パ
ルプの開放と同時に上記開閉パルプと上記シール面との
間で放電を生じさせるようにしてなることを特徴とする
ガスパフ形プラズマＸ線源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58190743A JPS6084748A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | ガスパフ形プラズマｘ線源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58190743A JPS6084748A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | ガスパフ形プラズマｘ線源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6084748A true JPS6084748A (ja) | 1985-05-14 |
Family
ID=16263015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58190743A Pending JPS6084748A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | ガスパフ形プラズマｘ線源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6084748A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0195495A2 (en) * | 1985-02-27 | 1986-09-24 | Maxwell Laboratories, Inc. | System for generating soft X rays |
| US5474040A (en) * | 1993-06-07 | 1995-12-12 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Cylinder block for an internal combustion engine |
-
1983
- 1983-10-14 JP JP58190743A patent/JPS6084748A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0195495A2 (en) * | 1985-02-27 | 1986-09-24 | Maxwell Laboratories, Inc. | System for generating soft X rays |
| US5474040A (en) * | 1993-06-07 | 1995-12-12 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Cylinder block for an internal combustion engine |
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