JPS6083812A - ダイシング用粘着シ−ト - Google Patents
ダイシング用粘着シ−トInfo
- Publication number
- JPS6083812A JPS6083812A JP58193236A JP19323683A JPS6083812A JP S6083812 A JPS6083812 A JP S6083812A JP 58193236 A JP58193236 A JP 58193236A JP 19323683 A JP19323683 A JP 19323683A JP S6083812 A JPS6083812 A JP S6083812A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- sheet
- dry
- dicing
- force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明ｔユ、牛尋捧つエノ）ｔり１シングＶ（よリテッ
プ化する除に用いるウエノＳ１建用の栢肩シートに関す
る〇 一般に千尋停工条ｙｃνいて、來植回踊寺の半−素子（
以下チップと称す）は、シリコン準結晶等よりなる円板
上に１柚子状の被数個の回路パターンを同時に形成した
ウーハを制御【（ダイシング）することにより侍られて
いる０このダイシング力法としては、ダイシングソウと
称するダイヤモンド等の回転刃を用いて高速でウェハ厚
み方間に完全切断（フルカット）する方法が、ナラプリ
寸法精度の良いことからに近多く用いら扛るようになっ
て１し このフルカットの除、 −ｆｆｖｃにテップリアドレス
保持や切啼ｆ時のテップ７１＜ ＃防止ｒ目的として粘
腐シートが使用さｆ’Ｌるｏ ９Ｊ〜１塾ｊしたナツク
は、Ｊ４空吸引お心いは粘盾シートの表からチップ忙針
状体で突き上ける寺ＶＣより柘瘤シートから剥嘔さｎ１
次工程において基板上に５ｉ−Ａｕ共晶接曾なとの方法
により固足さ扛る０上ｆ４を工程において、ウヱハ切１
１７１時ｒｃｌユタイシングソウの回転速度が５０．０
００−程度と重連な為ＩＮ３層シートの粘腐力は、こり
回転速度にｌえうる品枯漕力を必要とする０ ｔ７ｊｃＯＩＩＬダ１シンクソウへＱ枯瘤Δりり鴨庸が
あゐと、切ＦｆＪｒ性か劣り、頻繁なダイシンクソウの
取換を必要とすることから村億的でない。
プ化する除に用いるウエノＳ１建用の栢肩シートに関す
る〇 一般に千尋停工条ｙｃνいて、來植回踊寺の半−素子（
以下チップと称す）は、シリコン準結晶等よりなる円板
上に１柚子状の被数個の回路パターンを同時に形成した
ウーハを制御【（ダイシング）することにより侍られて
いる０このダイシング力法としては、ダイシングソウと
称するダイヤモンド等の回転刃を用いて高速でウェハ厚
み方間に完全切断（フルカット）する方法が、ナラプリ
寸法精度の良いことからに近多く用いら扛るようになっ
て１し このフルカットの除、 −ｆｆｖｃにテップリアドレス
保持や切啼ｆ時のテップ７１＜ ＃防止ｒ目的として粘
腐シートが使用さｆ’Ｌるｏ ９Ｊ〜１塾ｊしたナツク
は、Ｊ４空吸引お心いは粘盾シートの表からチップ忙針
状体で突き上ける寺ＶＣより柘瘤シートから剥嘔さｎ１
次工程において基板上に５ｉ−Ａｕ共晶接曾なとの方法
により固足さ扛る０上ｆ４を工程において、ウヱハ切１
１７１時ｒｃｌユタイシングソウの回転速度が５０．０
００−程度と重連な為ＩＮ３層シートの粘腐力は、こり
回転速度にｌえうる品枯漕力を必要とする０ ｔ７ｊｃＯＩＩＬダ１シンクソウへＱ枯瘤Δりり鴨庸が
あゐと、切ＦｆＪｒ性か劣り、頻繁なダイシンクソウの
取換を必要とすることから村億的でない。
一方、広工程にけ／ｂ帖虐シートからのナソグ剥離時に
おいてに、低粘有力でないと剥ｈｕか困難でめす１強引
Ｋ ＩＡＩ醸した礪せ粘ノｕ割かテップ囲に転層し、汚
東ｒ律度に撫う牛専捧用としては使用不ロＪ能となる。
おいてに、低粘有力でないと剥ｈｕか困難でめす１強引
Ｋ ＩＡＩ醸した礪せ粘ノｕ割かテップ囲に転層し、汚
東ｒ律度に撫う牛専捧用としては使用不ロＪ能となる。
使って本用途のための枯眉シートの必役瞥社は切〜１時
に＾粘肩力紮必要とし、剥啼時にμ低枯盾力が必要であ
ゐという矛盾した粘虐的圧ｒ必袈とし、さらにダイシン
クソウおよび５１ｊＩ醸敗のチップ囲ＦＣは枯Ｎ創の転
層がないことｒ必仮とする０ こｔｔｖｃ対して、梃米の粘′／に／−トには土ｔじ必
女栄件を竺て満足するものはなく、欠点り必ゐ１国使用
さｎているのが現状でめる０ たとえは薗粘盾力を倚るために〃ｌ熟鮎付τおこなった
ｖ１ダイシングツ＋７τ頻素に取り例えたり、ｌた剥＃
時にはチップおよび枯冶シートを氷づけして枯漕耐葡１
＆（することで剥離性τ同上き一＋！：た９、めるいは
テップ…」への枯盾剤の転層除去のために巾慎浴酌や超
晋波による洗浄等の＋段τ用いることで枯腐シートを通
用していた０ 本発明は上記入点ＶＣ鑑今なさ２したもの一仁、その目
的はウェハ切ル「時のナツプ’；ｒ−ｙＩ４散せずに株
角し、なおかつダイシンクソウへの枯肘８すの私Ｎが少
な（、ｆたテップの剥隘吋１１ｉは枯盾却」の転／＆］
な（容易に剥＾１［できるタインンク用枯盾シートヶ提
供することＶＣある。
に＾粘肩力紮必要とし、剥啼時にμ低枯盾力が必要であ
ゐという矛盾した粘虐的圧ｒ必袈とし、さらにダイシン
クソウおよび５１ｊＩ醸敗のチップ囲ＦＣは枯Ｎ創の転
層がないことｒ必仮とする０ こｔｔｖｃ対して、梃米の粘′／に／−トには土ｔじ必
女栄件を竺て満足するものはなく、欠点り必ゐ１国使用
さｎているのが現状でめる０ たとえは薗粘盾力を倚るために〃ｌ熟鮎付τおこなった
ｖ１ダイシングツ＋７τ頻素に取り例えたり、ｌた剥＃
時にはチップおよび枯冶シートを氷づけして枯漕耐葡１
＆（することで剥離性τ同上き一＋！：た９、めるいは
テップ…」への枯盾剤の転層除去のために巾慎浴酌や超
晋波による洗浄等の＋段τ用いることで枯腐シートを通
用していた０ 本発明は上記入点ＶＣ鑑今なさ２したもの一仁、その目
的はウェハ切ル「時のナツプ’；ｒ−ｙＩ４散せずに株
角し、なおかつダイシンクソウへの枯肘８すの私Ｎが少
な（、ｆたテップの剥隘吋１１ｉは枯盾却」の転／＆］
な（容易に剥＾１［できるタインンク用枯盾シートヶ提
供することＶＣある。
すなわち本発明はウェハ切−「時のタイ７ングソウの回
転速度および切１１１７Ｈ，たテップの剥１１１１時の
速度に冶目し、柘虐沖ｊか粘弾・凸体−Ｃりゐことから
剥蹄速度恒存性およびガラス転移点ｒ市うること、モら
にダイシンクソウおよびチップ１１１１へのＶ５盾ハリ
転盾防止のための枯盾沖」り引加力天芒に層目して％鋭
恵枳ｄｌの結果、本丸四に到りｆＣもので４５る０ 然して本発明り安上に千専俸ウェハのタイシング用粘肩
シートにおいて、枯宥Δり層か少くと４２０ｋｇ／ａ［
Ｐの引走強度τ勺し、剥離速成１０１肌１／秒時のウェ
ハに刈す／）１８０度馴掬ｉ（頻度か２０ ｇ／ Ｌ９
＋ｎｕ＋以上でめり、かつ剥融迷度１０６ｍｍ ／秒時
（ＡＬ！＝ １０’ｌ’ｍイ苓時（Ｂ） Ｖ（おける１
８ｏ度引剥強度の比（Ａ／Ｂ）が１．５〜４，０でめゐ
ことｒ付敵とするダイシング用枯眉シートにりゐ〇一般
にウェハ切〜「時のダイシンクソウの回転速度は１０，
０００〜５０．００Ｕｆｌｌａ程度でありダイシンクソ
ウの直径ｔユ１０Ｑ＋ｕ…φ程度が標＃−Ｆｌジで少る
ことからこの時の腺迷度μ５．．５ＸＩＣ１’〜２．７
Ｘ １０’ ｍ１ｔ１／秒でりる０このことから切断
時のダイシングソウの線速度’ｆ １０’ｎ１ｍ ／抄
と児なし、この速度におｔフるウエノ１と粘漸シートと
の枯腐力ｋＡとし、またウェハ切〜〔恢のチップ剥除時
の剥離速成は１０’ｌｌｌ１ｎ／抄程展でφりこの時の
柿眉力ｉＢとすると、ダイシング用枯盾シートとしてに
Ａ／Ｂが１．５〜４．０ ＶＣりゐものが迩し゛ている
。Ａ／Ｂが１．５禾硲では切〜「時にチップの飛散机尿
か発生し、４．０に越えるとテップの剥離が困難となる
０ ここで枯宥力はＪＩＳ ＺＯ２５７Ｖｃ準拠し７ｃ１８
０°剥離法による引剥！ｉ！ＩＬ度であるが剥瀦速朋ｒ
上配の如（シ、抜眉体はウェハとするＯｌた粘膚′酌は
一般ｖｃ粘弾注悴であることがらＶ３有力は速匹依存任
勿もち、カラス転移点（以下Ｔｇと略）が低い程尚連τ
ｉｌ＋で枯癩力は面（なる０ 検討した結果、切断時のチップ成敗防止の為には桿ｉ沿
列りはＴｇ＝−５５°゛Ｃ以上か必要でめることがわか
ったｏ′ｌ゛ｇがｔ（７２／）と帛渦状妙におけるωξ
集力は一廐的Ｖこ１な下する。”Ｉ’ｇ＝−５５℃以上
では、ウェハ貼付１１ｆＶｃタツクが小足丁ゐため力ｌ
＃貼１すなとの補助→・坂が必要となる０次に低速１１
１１１すなわちチップ剥附時の連ｌ現ＶＣおける枯漕力
ｔｌるべく低くうるには架偶による方法が−メダ的でり
る０ このための架惧＋段としては、枯層介すＶ（目能羞とし
てカルボキシルｌ古、水版赫、アミノ丞。
転速度および切１１１７Ｈ，たテップの剥１１１１時の
速度に冶目し、柘虐沖ｊか粘弾・凸体−Ｃりゐことから
剥蹄速度恒存性およびガラス転移点ｒ市うること、モら
にダイシンクソウおよびチップ１１１１へのＶ５盾ハリ
転盾防止のための枯盾沖」り引加力天芒に層目して％鋭
恵枳ｄｌの結果、本丸四に到りｆＣもので４５る０ 然して本発明り安上に千専俸ウェハのタイシング用粘肩
シートにおいて、枯宥Δり層か少くと４２０ｋｇ／ａ［
Ｐの引走強度τ勺し、剥離速成１０１肌１／秒時のウェ
ハに刈す／）１８０度馴掬ｉ（頻度か２０ ｇ／ Ｌ９
＋ｎｕ＋以上でめり、かつ剥融迷度１０６ｍｍ ／秒時
（ＡＬ！＝ １０’ｌ’ｍイ苓時（Ｂ） Ｖ（おける１
８ｏ度引剥強度の比（Ａ／Ｂ）が１．５〜４，０でめゐ
ことｒ付敵とするダイシング用枯眉シートにりゐ〇一般
にウェハ切〜「時のダイシンクソウの回転速度は１０，
０００〜５０．００Ｕｆｌｌａ程度でありダイシンクソ
ウの直径ｔユ１０Ｑ＋ｕ…φ程度が標＃−Ｆｌジで少る
ことからこの時の腺迷度μ５．．５ＸＩＣ１’〜２．７
Ｘ １０’ ｍ１ｔ１／秒でりる０このことから切断
時のダイシングソウの線速度’ｆ １０’ｎ１ｍ ／抄
と児なし、この速度におｔフるウエノ１と粘漸シートと
の枯腐力ｋＡとし、またウェハ切〜〔恢のチップ剥除時
の剥離速成は１０’ｌｌｌ１ｎ／抄程展でφりこの時の
柿眉力ｉＢとすると、ダイシング用枯盾シートとしてに
Ａ／Ｂが１．５〜４．０ ＶＣりゐものが迩し゛ている
。Ａ／Ｂが１．５禾硲では切〜「時にチップの飛散机尿
か発生し、４．０に越えるとテップの剥離が困難となる
０ ここで枯宥力はＪＩＳ ＺＯ２５７Ｖｃ準拠し７ｃ１８
０°剥離法による引剥！ｉ！ＩＬ度であるが剥瀦速朋ｒ
上配の如（シ、抜眉体はウェハとするＯｌた粘膚′酌は
一般ｖｃ粘弾注悴であることがらＶ３有力は速匹依存任
勿もち、カラス転移点（以下Ｔｇと略）が低い程尚連τ
ｉｌ＋で枯癩力は面（なる０ 検討した結果、切断時のチップ成敗防止の為には桿ｉ沿
列りはＴｇ＝−５５°゛Ｃ以上か必要でめることがわか
ったｏ′ｌ゛ｇがｔ（７２／）と帛渦状妙におけるωξ
集力は一廐的Ｖこ１な下する。”Ｉ’ｇ＝−５５℃以上
では、ウェハ貼付１１ｆＶｃタツクが小足丁ゐため力ｌ
＃貼１すなとの補助→・坂が必要となる０次に低速１１
１１１すなわちチップ剥附時の連ｌ現ＶＣおける枯漕力
ｔｌるべく低くうるには架偶による方法が−メダ的でり
る０ このための架惧＋段としては、枯層介すＶ（目能羞とし
てカルボキシルｌ古、水版赫、アミノ丞。
敵アミド端寺に４１すゐモノマーを単独めるいｔユ被合
して共Ｍ８させるかめるいにこｌしらＨ舵かｔもったと
えはポリエステルやフェノールイに旬ｍ寺ｔプレ／ドレ
イソシアネート築、メナロール示、アルキルエーテル化
メチロール糸青τ市する架倫削によって架惧さゼゐのが
一般的で必る。
して共Ｍ８させるかめるいにこｌしらＨ舵かｔもったと
えはポリエステルやフェノールイに旬ｍ寺ｔプレ／ドレ
イソシアネート築、メナロール示、アルキルエーテル化
メチロール糸青τ市する架倫削によって架惧さゼゐのが
一般的で必る。
また、たとえば天然ゴム等にめっては、良く知られてい
／）睨黄架橋、側＋＋ｉ７架偏静によっても艮い０こｎ
ら架偶＋段ｒ用いる除、金Ｈ１ｓ石ケン。
／）睨黄架橋、側＋＋ｉ７架偏静によっても艮い０こｎ
ら架偶＋段ｒ用いる除、金Ｈ１ｓ石ケン。
蚊等の触媒？併用することで戊応迷１隻か薗盪ゐことか
ら幼果的に使用でさる。
ら幼果的に使用でさる。
テップ剥靜時の枯虐力ｆＩ２０ｇ／１９圃１以１ζでは
切〜ｌ Ｌ−１’ ＶＬテップが前年に枯瘤囲から羽ｊ
晦するため、チップのアドレス株ｆケの慎龍炉無くなっ
てしまう。またテップサイスは徨々異なゐためテップ剥
馳時の帖眉力の上限は特定できないが、一般的１１ユナ
ツプサイズか小石い土１面柿７ｉ力忙必安とすゐ。
切〜ｌ Ｌ−１’ ＶＬテップが前年に枯瘤囲から羽ｊ
晦するため、チップのアドレス株ｆケの慎龍炉無くなっ
てしまう。またテップサイスは徨々異なゐためテップ剥
馳時の帖眉力の上限は特定できないが、一般的１１ユナ
ツプサイズか小石い土１面柿７ｉ力忙必安とすゐ。
粘盾ハリのチツプ面およびクイシンクンウへの転層防止
のためＩ／Ｃは、粘滲剤の凝集力かめ６凪以上必僚とな
る。このａｋ集力について根６；Ｉした結果、枯麿酌の
引畑強さか２０ｋｇ／ａｎ’以上で。
のためＩ／Ｃは、粘滲剤の凝集力かめ６凪以上必僚とな
る。このａｋ集力について根６；Ｉした結果、枯麿酌の
引畑強さか２０ｋｇ／ａｎ’以上で。
粘ｆｆｌ Ａｌｌの転層のないことｒ見出した０（凝集
力の同上も、前記架橋手段が儒効に活用でさるＯ引張強
さが２０ｋｇ／ば以トでは、枯＞Ｍ ｆｉ’Ｊか転層し
易く、刷１ｋｌＬ困轍となり易い０枯涜剤に架偶牛段τ
用いない揚台り引愈強σμｍ１］ｋｇ／ａ♂以下が一般
的でるゐ。
力の同上も、前記架橋手段が儒効に活用でさるＯ引張強
さが２０ｋｇ／ば以トでは、枯＞Ｍ ｆｉ’Ｊか転層し
易く、刷１ｋｌＬ困轍となり易い０枯涜剤に架偶牛段τ
用いない揚台り引愈強σμｍ１］ｋｇ／ａ♂以下が一般
的でるゐ。
こ扛ら枯盾酌中にｉ’Ｊ：、心安Ｖ（心して枯虜何与却
）、 ａｓ朦却ｊ寺の粘看任幽螢削を用いることもｐＪ
１ｊヒでのゐ０ 萱たテソフ゛Ｆ、Ｉギ占盾Ｒリイ多イ■り他Ｖと、小月
ｔｌｌＱ勿の小多行も嫌９ｏたとえは、シリコンＶこ対
する拡散やアルミ寺の自己−ｊ高貴の点からＮ ａ 、
ｋ＜ 、寺のアルカリ金麹イオンおよびＣｅ寺のハロ
ケンイオンは十嵜体物注Ｖ（与える影響が大きい０した
がって、これらｉｔ！ｉ廂ハリおよび架儲痢、その他の
必加刑は光分ＶＣ和製吟味場７したものケ用いることが
好ましい０ 粘埴ハリの塗布厚Ｕ３〜５０μｍか適当でりゐ０６μｍ
以下では心安な粘眉力が侍彪〈、５０μｍ以上ではツエ
ハ切断時に切叩「き扛たナツプか枯看創中に埋没し易く
剥除が（ホ）難とな０゜上す１１６４首り組戟物ｒボリ
エナレン、ボリア′ロビレン、ポリ塊化ビニル、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリアミド、ポリイミドフィル
ム卿ｆの一般的な粘材フィル土に堡布乾珠丁ゐことＶＣ
より木目的の枯庸シートか倚ら１しる０壽相フイルムに
アルカリｆｆ１Ｍやノ為ロケンイオンが召’−ｆｒして
いても、ンイルム目捧（・まｔ山７凸月りｌ′介してウ
ェハおよびテッグ囲と依するりで旭ｉφＩ４′４シはな
い０ 弘エカ法としては、ロールコータ、）く−コーク寺の−
ｊ設的な方法か通用でさ必要Ｖｔ比、して栢７ａ囲には
セパレータ盆かふぜゐかのるいμ丞祠の背量ｌ／Ｉｌ−
剥ｔｉｌｌ処珈を何つ等り刀ｔムも胸ハ」でさゐ０ｙｚ
ｂ″Ａ−釦明は、２ルタ′インンクＶＣ＞いて的に効朱
か太きいが、その他の７・−２タイシングやスクライビ
ング法等ｖｃふ゛いてもｈ’Ｆ４助ＶＣ虐用−〇＠／ｂ
。
）、 ａｓ朦却ｊ寺の粘看任幽螢削を用いることもｐＪ
１ｊヒでのゐ０ 萱たテソフ゛Ｆ、Ｉギ占盾Ｒリイ多イ■り他Ｖと、小月
ｔｌｌＱ勿の小多行も嫌９ｏたとえは、シリコンＶこ対
する拡散やアルミ寺の自己−ｊ高貴の点からＮ ａ 、
ｋ＜ 、寺のアルカリ金麹イオンおよびＣｅ寺のハロ
ケンイオンは十嵜体物注Ｖ（与える影響が大きい０した
がって、これらｉｔ！ｉ廂ハリおよび架儲痢、その他の
必加刑は光分ＶＣ和製吟味場７したものケ用いることが
好ましい０ 粘埴ハリの塗布厚Ｕ３〜５０μｍか適当でりゐ０６μｍ
以下では心安な粘眉力が侍彪〈、５０μｍ以上ではツエ
ハ切断時に切叩「き扛たナツプか枯看創中に埋没し易く
剥除が（ホ）難とな０゜上す１１６４首り組戟物ｒボリ
エナレン、ボリア′ロビレン、ポリ塊化ビニル、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリアミド、ポリイミドフィル
ム卿ｆの一般的な粘材フィル土に堡布乾珠丁ゐことＶＣ
より木目的の枯庸シートか倚ら１しる０壽相フイルムに
アルカリｆｆ１Ｍやノ為ロケンイオンが召’−ｆｒして
いても、ンイルム目捧（・まｔ山７凸月りｌ′介してウ
ェハおよびテッグ囲と依するりで旭ｉφＩ４′４シはな
い０ 弘エカ法としては、ロールコータ、）く−コーク寺の−
ｊ設的な方法か通用でさ必要Ｖｔ比、して栢７ａ囲には
セパレータ盆かふぜゐかのるいμ丞祠の背量ｌ／Ｉｌ−
剥ｔｉｌｌ処珈を何つ等り刀ｔムも胸ハ」でさゐ０ｙｚ
ｂ″Ａ−釦明は、２ルタ′インンクＶＣ＞いて的に効朱
か太きいが、その他の７・−２タイシングやスクライビ
ング法等ｖｃふ゛いてもｈ’Ｆ４助ＶＣ虐用−〇＠／ｂ
。
本発明γ以下呆施例Ｖｔもとすきさらり（耐相に説明す
る０なお枯眉納の配合比ｅよ固形分でのルー配付比であ
る。
る０なお枯眉納の配合比ｅよ固形分でのルー配付比であ
る。
夾施例１
ガラス転移点−６５′Ｃのアクリル糸粘眉ハリ（官有ヒ
示として水敵詰２％ｒせ南）１００都と多官■ヒホリイ
ソシア不一ト（Ｈ本ポリウレタン■製コロ洋−トＬ）２
都よ０なゐ枯眉六り組成９勿ｒ厚み５０μｍのポリエチ
レンフィルム上Ｖｃ乾昧佼（１）堕イレ厚か１０μｍと
なるよりＶＣ口〜ルコーターで準亜乾保して粘有シート
を傅たＯＣＱ粘盾シートに集積回路を形成した１００１
皿φウェノ・忙回路囲が線用するようｖｃ貼・可け５０
、０００ ＲＩ’Ｍでフルカットし１０皿１月のテップ
忙倚だ。ナツプの枯盾シートからの剥１４１１は兵窒吸
引により行なりｌこ０この給米ｆｆ１ｍ１表に示すＯ 央〃用１りＩＪ２ ガラス転移点−４５℃のアクリル糸ＩＮ５盾創（′呂寵
丞としてカルボン酸基２％を言上）ｔｏｏｍと１反応触
媒としてバラトルエンスルホン［＊ ｕ Ｉ Ｌ−１５
と、架償酌としてメチル化メラミン側脂（三相化成＠栽
ＭＷ−３０〕５都よりなゐ枯７Ｍ刑＃１成ｗＪケ厚み２
５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に乾Ｒ
故の塗布厚が２０μｍとなるよう咳、ロールコータ−で
砧布乾保して枯盾シート’；ｔｆｆｉ敗した０この枯眉
シートに実施？ｌ１１と同体ＶＣ１０Ｑ ｎｒｍφウェ
ハ忙貼付切−［、剥ｌ！１瞳して５ｒｎｒｎ角のナツプ
ｔえた。
示として水敵詰２％ｒせ南）１００都と多官■ヒホリイ
ソシア不一ト（Ｈ本ポリウレタン■製コロ洋−トＬ）２
都よ０なゐ枯眉六り組成９勿ｒ厚み５０μｍのポリエチ
レンフィルム上Ｖｃ乾昧佼（１）堕イレ厚か１０μｍと
なるよりＶＣ口〜ルコーターで準亜乾保して粘有シート
を傅たＯＣＱ粘盾シートに集積回路を形成した１００１
皿φウェノ・忙回路囲が線用するようｖｃ貼・可け５０
、０００ ＲＩ’Ｍでフルカットし１０皿１月のテップ
忙倚だ。ナツプの枯盾シートからの剥１４１１は兵窒吸
引により行なりｌこ０この給米ｆｆ１ｍ１表に示すＯ 央〃用１りＩＪ２ ガラス転移点−４５℃のアクリル糸ＩＮ５盾創（′呂寵
丞としてカルボン酸基２％を言上）ｔｏｏｍと１反応触
媒としてバラトルエンスルホン［＊ ｕ Ｉ Ｌ−１５
と、架償酌としてメチル化メラミン側脂（三相化成＠栽
ＭＷ−３０〕５都よりなゐ枯７Ｍ刑＃１成ｗＪケ厚み２
５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に乾Ｒ
故の塗布厚が２０μｍとなるよう咳、ロールコータ−で
砧布乾保して枯盾シート’；ｔｆｆｉ敗した０この枯眉
シートに実施？ｌ１１と同体ＶＣ１０Ｑ ｎｒｍφウェ
ハ忙貼付切−［、剥ｌ！１瞳して５ｒｎｒｎ角のナツプ
ｔえた。
こり結果を粥１表ｒｔｃボす０
≧＾ｉｉ＝？す６
天然ゴム１級（６０分系株９品９１００厘量都とポリテ
ルペン側胎（軟化点１００℃）５０茄１１都と４ＪＡｔ
黄５１に鮒郡よりなゐ枯雇ＭＩＪ組既９勿領実施９ｉ４
１〜２と同様にして厚み１００μｍの軟負ポリ塩化ビニ
ルンート上Ｖ（乾脈仮ｃ／）崖イｉＪ厚２０μｍとなる
ように、ロールコータで塗イＩＪ乾燥して積層シートを
侍た０ この積層シートを用いて実施例１〜２と回イ求に７５ｍ
１Ｌｌφつｚ”ｒ貼付、切１’／＋ｂ剥喘忙何ｌい住５
ｍａｎ角のトランジスタチップ【えた。
ルペン側胎（軟化点１００℃）５０茄１１都と４ＪＡｔ
黄５１に鮒郡よりなゐ枯雇ＭＩＪ組既９勿領実施９ｉ４
１〜２と同様にして厚み１００μｍの軟負ポリ塩化ビニ
ルンート上Ｖ（乾脈仮ｃ／）崖イｉＪ厚２０μｍとなる
ように、ロールコータで塗イＩＪ乾燥して積層シートを
侍た０ この積層シートを用いて実施例１〜２と回イ求に７５ｍ
１Ｌｌφつｚ”ｒ貼付、切１’／＋ｂ剥喘忙何ｌい住５
ｍａｎ角のトランジスタチップ【えた。
この結果２第１次に示す０
以上の夾ＩＪｍ ？ｌＪ ｖｃ示しｌこもＶ）はいず牡
も枯庸シート囲へのウェハ貼付が室瀝″′ｉ、′司龍で
あ、す、切ｌ＃ｒ時のテップブ１叱敢もな（良好に切〜
「ｑ」畦であったＯ １７ｊ ５．０００２イン切断故りダイシングソウを糾
倣鯨欽祭したか枯冶却」の皆、７ＭはみらｎなかったＯ １た積層シートからのチップ剥離もＩＩＩ牢にイ■うこ
とが０Ｊ龍でめリナップ囲ヘリ帖１８ ｔＶＩＪ獣盾も
崩倣鋺鮫祭で勃ら牡なかつ１こ。
も枯庸シート囲へのウェハ貼付が室瀝″′ｉ、′司龍で
あ、す、切ｌ＃ｒ時のテップブ１叱敢もな（良好に切〜
「ｑ」畦であったＯ １７ｊ ５．０００２イン切断故りダイシングソウを糾
倣鯨欽祭したか枯冶却」の皆、７ＭはみらｎなかったＯ １た積層シートからのチップ剥離もＩＩＩ牢にイ■うこ
とが０Ｊ龍でめリナップ囲ヘリ帖１８ ｔＶＩＪ獣盾も
崩倣鋺鮫祭で勃ら牡なかつ１こ。
比層ら（１シリ１
実施レリ１と同様でめゐが、朱槁創を用いなかった。す
なわち、カラス転移点−５５”Ｃのアクリル糸枯盾炸」
のみｔポリエチレンフィルム土に。
なわち、カラス転移点−５５”Ｃのアクリル糸枯盾炸」
のみｔポリエチレンフィルム土に。
乾朦故（１）厚今が１０μｍとなめよ’）ＶＣして砧腐
シート忙［ト成して、 ’Ａｉ也ψリー１と同様な計１
曲を何なった０ この紹米′Ｔ：第１＄ｃｒｔ−示し１ζが、貼１寸およ
び切〜Ｌは町ＩＪヒであったが、粘庸囲からのチップ剥
離が若干困揺でめり、り゛インン′グンウおよびチップ
囲に枯Ｍ／１１転庸が与らｎた。
シート忙［ト成して、 ’Ａｉ也ψリー１と同様な計１
曲を何なった０ この紹米′Ｔ：第１＄ｃｒｔ−示し１ζが、貼１寸およ
び切〜Ｌは町ＩＪヒであったが、粘庸囲からのチップ剥
離が若干困揺でめり、り゛インン′グンウおよびチップ
囲に枯Ｍ／１１転庸が与らｎた。
比較例２
夾ｈｖ例１と同様でめるが、架橋酌拍ケア都と＃４かし
た積層シート２１゛「成し笑／１１１例−１と１０Ｊ４
ポな計ＩＩ山ｔイ丁なつ７ｊ。
た積層シート２１゛「成し笑／１１１例−１と１０Ｊ４
ポな計ＩＩ山ｔイ丁なつ７ｊ。
この嗣曾、剥陥連ｌ屹ＡＶＣおけ勾枯盾力か低いため切
町時にチップがン１鑓叙し切回小口ＪＮに′１：Φった
０ ま１こブ１９赦したチップがダイシングソウＶ（めたＶ
り′イシングンウμ破損してしまったｎ比軟？ｌ１５ 央〃Ｉ￥ｌ倒６と同体でのるか、栄偶Ｒすγに用しなか
った。
町時にチップがン１鑓叙し切回小口ＪＮに′１：Φった
０ ま１こブ１９赦したチップがダイシングソウＶ（めたＶ
り′イシングンウμ破損してしまったｎ比軟？ｌ１５ 央〃Ｉ￥ｌ倒６と同体でのるか、栄偶Ｒすγに用しなか
った。
こり紹朱忙第１衣［７バすが、り助は’Ｊ ｔｌｉ５７
ζりｌこかタイ７ングンウへの帽６廟角り私有が（ｈ又
しいため頻京なタイ７ングンウのＪ４Ｊｌ！侠を心安と
した０また帖瑠シート７Ｊ１らのチップの剥削も困好−
こりクナップ囲Ｖ（μ枯虐細か転層した０ 第１表中において １）粘着剤の引張強さ：シリコン処理したセパレータ上
に粘着剤配合液を塗布乾燥し、１０ｍｍ×１００ｍｍの
短冊状に打抜き後、セパレータを剥離し粘着剤のみの引
張強さを万能引張試験機によりめた。
ζりｌこかタイ７ングンウへの帽６廟角り私有が（ｈ又
しいため頻京なタイ７ングンウのＪ４Ｊｌ！侠を心安と
した０また帖瑠シート７Ｊ１らのチップの剥削も困好−
こりクナップ囲Ｖ（μ枯虐細か転層した０ 第１表中において １）粘着剤の引張強さ：シリコン処理したセパレータ上
に粘着剤配合液を塗布乾燥し、１０ｍｍ×１００ｍｍの
短冊状に打抜き後、セパレータを剥離し粘着剤のみの引
張強さを万能引張試験機によりめた。
測定条件は、引張速度５００ｍｍ／分、測定は２０℃−
６５％ＲＨで行なった。
６５％ＲＨで行なった。
２）粘着力：ＪＩＳ Ｚ−０２３７に準拠した１８０度
剥離で行なったが、剥離時の速度を１×１０５ｍｍ／秒
（Ａ）と１×１０１ｍｍ／秒（Ｂ）について２０℃−６
５％ＲＨにおいて測定した。
剥離で行なったが、剥離時の速度を１×１０５ｍｍ／秒
（Ａ）と１×１０１ｍｍ／秒（Ｂ）について２０℃−６
５％ＲＨにおいて測定した。
なお被着体はウェハの裏面とした。
５）つ１ハの切断性およびナツプの剥離性：目視判定に
より良好な場合に○、良好でない場合を×とした。
より良好な場合に○、良好でない場合を×とした。
４）粘漕創り転層：５０００ライン切断後のタイシング
ソウおよび、剥離後のテップ面を２０倍の顕微鏡で観察
して次の判定規準により評価した。
ソウおよび、剥離後のテップ面を２０倍の顕微鏡で観察
して次の判定規準により評価した。
○二積鳩削の転／＋１＃なし
△：枯崩創のわずかな松本あり
Ｘ：枯宥痢υ転盾顕著
以上詳述したように木梶切になめターイシ７タ用帖涜シ
ートは枯盾創Ｊ−の引張りす（ざが２０ｋｇ／ａＩ！′
以上でめることから、テップ囲およびタイシングンウヘ
り粘盾却ｊ転層かない。
ートは枯盾創Ｊ−の引張りす（ざが２０ｋｇ／ａＩ！′
以上でめることから、テップ囲およびタイシングンウヘ
り粘盾却ｊ転層かない。
ま１ζ枯盾力の剥船連鼓６に好性の脚部ｔζより、ウェ
ハの貼付忙通富のＭｊ率な方法で何なりことが口」能と
なり切断時のダイシングソウの商迷回転によってもウェ
ハおよびナツプの飛敗〃）な（剥甑時の運吸においてａ
問半に剥蘭でμる０したかって牛碑坏土朱に１′ト采能
率の同上ふ・よひ原１助低戯τもたらしｓ １ａ租性の
菌いテッグτ恍供丁ゐことか７″きる。
ハの貼付忙通富のＭｊ率な方法で何なりことが口」能と
なり切断時のダイシングソウの商迷回転によってもウェ
ハおよびナツプの飛敗〃）な（剥甑時の運吸においてａ
問半に剥蘭でμる０したかって牛碑坏土朱に１′ト采能
率の同上ふ・よひ原１助低戯τもたらしｓ １ａ租性の
菌いテッグτ恍供丁ゐことか７″きる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、牛４捧ウエノ九のイ“、イシング用ｆ！ｌＳ層シー
トＶＣおいて、粘漕創層刀為少（とも２０ｋｇ／ｃｆｆ
Ｐの引張強度’ｃＭしｓ剥醸速菱１ｇ’ｍｍＺ秒時のワ
エハに対す６１８０度剥陥強度か２０ｇ／ｌνｍｍ以上
でめハかつ剥隘速槻１０’ｍｍ／抄時（５）トＩＯ’ｕ
ｏｎ／秒時（Ｂ）Ｋおけ／ｂ１８ＣＢＪｔ引剥５虫度の
比（Ａ／Ｂ ）が１．５〜４．０でめることｔ性徴とす
るダイシング用帖膚シート。 Ｚ 帖増割成分りカラス転移点が一５５′Ｃ以トでめる
時針請求の範囲第１横犯躯のダ１シング用粘虐シート０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58193236A JPS6083812A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | ダイシング用粘着シ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58193236A JPS6083812A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | ダイシング用粘着シ−ト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6083812A true JPS6083812A (ja) | 1985-05-13 |
| JPH039949B2 JPH039949B2 (ja) | 1991-02-12 |
Family
ID=16304589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58193236A Granted JPS6083812A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | ダイシング用粘着シ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6083812A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6258638A (ja) * | 1985-09-07 | 1987-03-14 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 半導体ウエハの保護部材 |
| JPS63205209A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | 太陽誘電株式会社 | セラミツク配線基板の裁断方法 |
-
1983
- 1983-10-14 JP JP58193236A patent/JPS6083812A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6258638A (ja) * | 1985-09-07 | 1987-03-14 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 半導体ウエハの保護部材 |
| JPS63205209A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | 太陽誘電株式会社 | セラミツク配線基板の裁断方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH039949B2 (ja) | 1991-02-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0194807B1 (en) | Hydrated adhesive gel and method for preparing the same | |
| US3214501A (en) | Method of making non-adhesive, highly cohesive microporous plastic bandage material or the like | |
| JPH05202349A (ja) | アルキルメチルシロキサン・ワックス含有のシリコーン感圧接着剤及び関連の方法及びデバイス | |
| PL163801B1 (pl) | Sposób wytwarzania usieciowanego hydrozelu PL PL | |
| ATE87511T1 (de) | Schnelles aufloesen polymerer zusammensetzungen und verwendungen. | |
| KR890017328A (ko) | 실온에서 우수한 노출시간을 갖고 내크리이프성 접착을 제공하는 고온-용융 접착제 | |
| JPS63111809A (ja) | 化粧品試供用構造体 | |
| JPS5978280A (ja) | 耐湿性の湿潤面用感圧接着剤及び感圧接着ラベル材 | |
| JPS6083812A (ja) | ダイシング用粘着シ−ト | |
| JPS628464B2 (ja) | ||
| JPH09251272A (ja) | 易剥離性ラベルおよびその剥離方法 | |
| JP2002541285A (ja) | 水系接着剤用途におけるポリアミノ酸塩の使用 | |
| FR2664283B1 (fr) | Composition thermoplastique comprenant un copolymere a base d'ethylene et d'anhydride maleique, et articles industriels obtenus a partir d'une telle composition. | |
| JPH05173487A (ja) | 剥離性の容易な粘着ラベルおよびその製造方法 | |
| JPS58222170A (ja) | 合成樹脂板用表面保護材 | |
| JPS54130654A (en) | Preparation of polyolefin resin composition and its laminate | |
| JPS6210180A (ja) | 表面保護用粘着フイルムの剥離方法 | |
| JPS59122534A (ja) | 新規なポリイソブチレンエマルジヨン | |
| JP4173659B2 (ja) | 接着剤組成物 | |
| JPS5879027A (ja) | ポリビニルアルコール系フィルム | |
| US2220700A (en) | Protein composition and foam abatement | |
| JPH11148061A (ja) | 接着剤組成物 | |
| JP4022837B2 (ja) | 経皮薬剤用基材 | |
| JP4600622B2 (ja) | 生分解性剥離剤組成物及び生分解性剥離テープ | |
| CN1048153C (zh) | 一种透气透湿的护邮夹及其制备方法 |