JPS6083812A - ダイシング用粘着シ−ト - Google Patents
ダイシング用粘着シ−トInfo
- Publication number
- JPS6083812A JPS6083812A JP58193236A JP19323683A JPS6083812A JP S6083812 A JPS6083812 A JP S6083812A JP 58193236 A JP58193236 A JP 58193236A JP 19323683 A JP19323683 A JP 19323683A JP S6083812 A JPS6083812 A JP S6083812A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- sheet
- dry
- dicing
- force
- Prior art date
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- Granted
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明tユ、牛尋捧つエノ)tり1シングV(よリテッ
プ化する除に用いるウエノS1建用の栢肩シートに関す
る〇 一般に千尋停工条ycνいて、來植回踊寺の半−素子(
以下チップと称す)は、シリコン準結晶等よりなる円板
上に1柚子状の被数個の回路パターンを同時に形成した
ウーハを制御【(ダイシング)することにより侍られて
いる0このダイシング力法としては、ダイシングソウと
称するダイヤモンド等の回転刃を用いて高速でウェハ厚
み方間に完全切断(フルカット)する方法が、ナラプリ
寸法精度の良いことからに近多く用いら扛るようになっ
て1し このフルカットの除、 −ffvcにテップリアドレス
保持や切啼f時のテップ71< #防止r目的として粘
腐シートが使用さf’Lるo 9J〜1塾jしたナツク
は、J4空吸引お心いは粘盾シートの表からチップ忙針
状体で突き上ける寺VCより柘瘤シートから剥嘔さn1
次工程において基板上に5i−Au共晶接曾なとの方法
により固足さ扛る0上f4を工程において、ウヱハ切1
171時rclユタイシングソウの回転速度が50.0
00−程度と重連な為IN3層シートの粘腐力は、こり
回転速度にlえうる品枯漕力を必要とする0 t7jcOIILダ1シンクソウへQ枯瘤Δりり鴨庸が
あゐと、切FfJr性か劣り、頻繁なダイシンクソウの
取換を必要とすることから村億的でない。
プ化する除に用いるウエノS1建用の栢肩シートに関す
る〇 一般に千尋停工条ycνいて、來植回踊寺の半−素子(
以下チップと称す)は、シリコン準結晶等よりなる円板
上に1柚子状の被数個の回路パターンを同時に形成した
ウーハを制御【(ダイシング)することにより侍られて
いる0このダイシング力法としては、ダイシングソウと
称するダイヤモンド等の回転刃を用いて高速でウェハ厚
み方間に完全切断(フルカット)する方法が、ナラプリ
寸法精度の良いことからに近多く用いら扛るようになっ
て1し このフルカットの除、 −ffvcにテップリアドレス
保持や切啼f時のテップ71< #防止r目的として粘
腐シートが使用さf’Lるo 9J〜1塾jしたナツク
は、J4空吸引お心いは粘盾シートの表からチップ忙針
状体で突き上ける寺VCより柘瘤シートから剥嘔さn1
次工程において基板上に5i−Au共晶接曾なとの方法
により固足さ扛る0上f4を工程において、ウヱハ切1
171時rclユタイシングソウの回転速度が50.0
00−程度と重連な為IN3層シートの粘腐力は、こり
回転速度にlえうる品枯漕力を必要とする0 t7jcOIILダ1シンクソウへQ枯瘤Δりり鴨庸が
あゐと、切FfJr性か劣り、頻繁なダイシンクソウの
取換を必要とすることから村億的でない。
一方、広工程にけ/b帖虐シートからのナソグ剥離時に
おいてに、低粘有力でないと剥huか困難でめす1強引
K IAI醸した礪せ粘ノu割かテップ囲に転層し、汚
東r律度に撫う牛専捧用としては使用不ロJ能となる。
おいてに、低粘有力でないと剥huか困難でめす1強引
K IAI醸した礪せ粘ノu割かテップ囲に転層し、汚
東r律度に撫う牛専捧用としては使用不ロJ能となる。
使って本用途のための枯眉シートの必役瞥社は切〜1時
に^粘肩力紮必要とし、剥啼時にμ低枯盾力が必要であ
ゐという矛盾した粘虐的圧r必袈とし、さらにダイシン
クソウおよび51jI醸敗のチップ囲FCは枯N創の転
層がないことr必仮とする0 こttvc対して、梃米の粘′/に/−トには土tじ必
女栄件を竺て満足するものはなく、欠点り必ゐ1国使用
さnているのが現状でめる0 たとえは薗粘盾力を倚るために〃l熟鮎付τおこなった
v1ダイシングツ+7τ頻素に取り例えたり、lた剥#
時にはチップおよび枯冶シートを氷づけして枯漕耐葡1
&(することで剥離性τ同上き一+!:た9、めるいは
テップ…」への枯盾剤の転層除去のために巾慎浴酌や超
晋波による洗浄等の+段τ用いることで枯腐シートを通
用していた0 本発明は上記入点VC鑑今なさ2したもの一仁、その目
的はウェハ切ル「時のナツプ’;r−yI4散せずに株
角し、なおかつダイシンクソウへの枯肘8すの私Nが少
な(、fたテップの剥隘吋11iは枯盾却」の転/&]
な(容易に剥^1[できるタインンク用枯盾シートヶ提
供することVCある。
に^粘肩力紮必要とし、剥啼時にμ低枯盾力が必要であ
ゐという矛盾した粘虐的圧r必袈とし、さらにダイシン
クソウおよび51jI醸敗のチップ囲FCは枯N創の転
層がないことr必仮とする0 こttvc対して、梃米の粘′/に/−トには土tじ必
女栄件を竺て満足するものはなく、欠点り必ゐ1国使用
さnているのが現状でめる0 たとえは薗粘盾力を倚るために〃l熟鮎付τおこなった
v1ダイシングツ+7τ頻素に取り例えたり、lた剥#
時にはチップおよび枯冶シートを氷づけして枯漕耐葡1
&(することで剥離性τ同上き一+!:た9、めるいは
テップ…」への枯盾剤の転層除去のために巾慎浴酌や超
晋波による洗浄等の+段τ用いることで枯腐シートを通
用していた0 本発明は上記入点VC鑑今なさ2したもの一仁、その目
的はウェハ切ル「時のナツプ’;r−yI4散せずに株
角し、なおかつダイシンクソウへの枯肘8すの私Nが少
な(、fたテップの剥隘吋11iは枯盾却」の転/&]
な(容易に剥^1[できるタインンク用枯盾シートヶ提
供することVCある。
すなわち本発明はウェハ切−「時のタイ7ングソウの回
転速度および切1117H,たテップの剥1111時の
速度に冶目し、柘虐沖jか粘弾・凸体−Cりゐことから
剥蹄速度恒存性およびガラス転移点r市うること、モら
にダイシンクソウおよびチップ1111へのV5盾ハリ
転盾防止のための枯盾沖」り引加力天芒に層目して%鋭
恵枳dlの結果、本丸四に到りfCもので45る0 然して本発明り安上に千専俸ウェハのタイシング用粘肩
シートにおいて、枯宥Δり層か少くと420kg/a[
Pの引走強度τ勺し、剥離速成101肌1/秒時のウェ
ハに刈す/)180度馴掬i(頻度か20 g/ L9
+nu+以上でめり、かつ剥融迷度106mm /秒時
(AL!= 10’l’mイ苓時(B) V(おける1
8o度引剥強度の比(A/B)が1.5〜4,0でめゐ
ことr付敵とするダイシング用枯眉シートにりゐ〇一般
にウェハ切〜「時のダイシンクソウの回転速度は10,
000〜50.00Uflla程度でありダイシンクソ
ウの直径tユ10Q+u…φ程度が標#−Flジで少る
ことからこの時の腺迷度μ5..5XIC1’〜2.7
X 10’ m1t1/秒でりる0このことから切断
時のダイシングソウの線速度’f 10’n1m /抄
と児なし、この速度におtフるウエノ1と粘漸シートと
の枯腐力kAとし、またウェハ切〜〔恢のチップ剥除時
の剥離速成は10’lll1n/抄程展でφりこの時の
柿眉力iBとすると、ダイシング用枯盾シートとしてに
A/Bが1.5〜4.0 VCりゐものが迩し゛ている
。A/Bが1.5禾硲では切〜「時にチップの飛散机尿
か発生し、4.0に越えるとテップの剥離が困難となる
0 ここで枯宥力はJIS ZO257Vc準拠し7c18
0°剥離法による引剥!i!IL度であるが剥瀦速朋r
上配の如(シ、抜眉体はウェハとするOlた粘膚′酌は
一般vc粘弾注悴であることがらV3有力は速匹依存任
勿もち、カラス転移点(以下Tgと略)が低い程尚連τ
il+で枯癩力は面(なる0 検討した結果、切断時のチップ成敗防止の為には桿i沿
列りはTg=−55°゛C以上か必要でめることがわか
ったo′l゛gがt(72/)と帛渦状妙におけるωξ
集力は一廐的Vこ1な下する。”I’g=−55℃以上
では、ウェハ貼付11fVcタツクが小足丁ゐため力l
#貼1すなとの補助→・坂が必要となる0次に低速11
111すなわちチップ剥附時の連l現VCおける枯漕力
tlるべく低くうるには架偶による方法が−メダ的でり
る0 このための架惧+段としては、枯層介すV(目能羞とし
てカルボキシルl古、水版赫、アミノ丞。
転速度および切1117H,たテップの剥1111時の
速度に冶目し、柘虐沖jか粘弾・凸体−Cりゐことから
剥蹄速度恒存性およびガラス転移点r市うること、モら
にダイシンクソウおよびチップ1111へのV5盾ハリ
転盾防止のための枯盾沖」り引加力天芒に層目して%鋭
恵枳dlの結果、本丸四に到りfCもので45る0 然して本発明り安上に千専俸ウェハのタイシング用粘肩
シートにおいて、枯宥Δり層か少くと420kg/a[
Pの引走強度τ勺し、剥離速成101肌1/秒時のウェ
ハに刈す/)180度馴掬i(頻度か20 g/ L9
+nu+以上でめり、かつ剥融迷度106mm /秒時
(AL!= 10’l’mイ苓時(B) V(おける1
8o度引剥強度の比(A/B)が1.5〜4,0でめゐ
ことr付敵とするダイシング用枯眉シートにりゐ〇一般
にウェハ切〜「時のダイシンクソウの回転速度は10,
000〜50.00Uflla程度でありダイシンクソ
ウの直径tユ10Q+u…φ程度が標#−Flジで少る
ことからこの時の腺迷度μ5..5XIC1’〜2.7
X 10’ m1t1/秒でりる0このことから切断
時のダイシングソウの線速度’f 10’n1m /抄
と児なし、この速度におtフるウエノ1と粘漸シートと
の枯腐力kAとし、またウェハ切〜〔恢のチップ剥除時
の剥離速成は10’lll1n/抄程展でφりこの時の
柿眉力iBとすると、ダイシング用枯盾シートとしてに
A/Bが1.5〜4.0 VCりゐものが迩し゛ている
。A/Bが1.5禾硲では切〜「時にチップの飛散机尿
か発生し、4.0に越えるとテップの剥離が困難となる
0 ここで枯宥力はJIS ZO257Vc準拠し7c18
0°剥離法による引剥!i!IL度であるが剥瀦速朋r
上配の如(シ、抜眉体はウェハとするOlた粘膚′酌は
一般vc粘弾注悴であることがらV3有力は速匹依存任
勿もち、カラス転移点(以下Tgと略)が低い程尚連τ
il+で枯癩力は面(なる0 検討した結果、切断時のチップ成敗防止の為には桿i沿
列りはTg=−55°゛C以上か必要でめることがわか
ったo′l゛gがt(72/)と帛渦状妙におけるωξ
集力は一廐的Vこ1な下する。”I’g=−55℃以上
では、ウェハ貼付11fVcタツクが小足丁ゐため力l
#貼1すなとの補助→・坂が必要となる0次に低速11
111すなわちチップ剥附時の連l現VCおける枯漕力
tlるべく低くうるには架偶による方法が−メダ的でり
る0 このための架惧+段としては、枯層介すV(目能羞とし
てカルボキシルl古、水版赫、アミノ丞。
敵アミド端寺に41すゐモノマーを単独めるいtユ被合
して共M8させるかめるいにこlしらH舵かtもったと
えはポリエステルやフェノールイに旬m寺tプレ/ドレ
イソシアネート築、メナロール示、アルキルエーテル化
メチロール糸青τ市する架倫削によって架惧さゼゐのが
一般的で必る。
して共M8させるかめるいにこlしらH舵かtもったと
えはポリエステルやフェノールイに旬m寺tプレ/ドレ
イソシアネート築、メナロール示、アルキルエーテル化
メチロール糸青τ市する架倫削によって架惧さゼゐのが
一般的で必る。
また、たとえば天然ゴム等にめっては、良く知られてい
/)睨黄架橋、側++i7架偏静によっても艮い0こn
ら架偶+段r用いる除、金H1s石ケン。
/)睨黄架橋、側++i7架偏静によっても艮い0こn
ら架偶+段r用いる除、金H1s石ケン。
蚊等の触媒?併用することで戊応迷1隻か薗盪ゐことか
ら幼果的に使用でさる。
ら幼果的に使用でさる。
テップ剥靜時の枯虐力fI20g/19圃1以1ζでは
切〜l L−1’ VLテップが前年に枯瘤囲から羽j
晦するため、チップのアドレス株fケの慎龍炉無くなっ
てしまう。またテップサイスは徨々異なゐためテップ剥
馳時の帖眉力の上限は特定できないが、一般的11ユナ
ツプサイズか小石い土1面柿7i力忙必安とすゐ。
切〜l L−1’ VLテップが前年に枯瘤囲から羽j
晦するため、チップのアドレス株fケの慎龍炉無くなっ
てしまう。またテップサイスは徨々異なゐためテップ剥
馳時の帖眉力の上限は特定できないが、一般的11ユナ
ツプサイズか小石い土1面柿7i力忙必安とすゐ。
粘盾ハリのチツプ面およびクイシンクンウへの転層防止
のためI/Cは、粘滲剤の凝集力かめ6凪以上必僚とな
る。このak集力について根6;Iした結果、枯麿酌の
引畑強さか20kg/an’以上で。
のためI/Cは、粘滲剤の凝集力かめ6凪以上必僚とな
る。このak集力について根6;Iした結果、枯麿酌の
引畑強さか20kg/an’以上で。
粘ffl Allの転層のないことr見出した0(凝集
力の同上も、前記架橋手段が儒効に活用でさるO引張強
さが20kg/ば以トでは、枯>M fi’Jか転層し
易く、刷1klL困轍となり易い0枯涜剤に架偶牛段τ
用いない揚台り引愈強σμm1]kg/a♂以下が一般
的でるゐ。
力の同上も、前記架橋手段が儒効に活用でさるO引張強
さが20kg/ば以トでは、枯>M fi’Jか転層し
易く、刷1klL困轍となり易い0枯涜剤に架偶牛段τ
用いない揚台り引愈強σμm1]kg/a♂以下が一般
的でるゐ。
こ扛ら枯盾酌中にi’J:、心安V(心して枯虜何与却
)、 as朦却j寺の粘看任幽螢削を用いることもpJ
1jヒでのゐ0 萱たテソフ゛F、Iギ占盾Rリイ多イ■り他Vと、小月
tllQ勿の小多行も嫌9oたとえは、シリコンVこ対
する拡散やアルミ寺の自己−j高貴の点からN a 、
k< 、寺のアルカリ金麹イオンおよびCe寺のハロ
ケンイオンは十嵜体物注V(与える影響が大きい0した
がって、これらit!i廂ハリおよび架儲痢、その他の
必加刑は光分VC和製吟味場7したものケ用いることが
好ましい0 粘埴ハリの塗布厚U3〜50μmか適当でりゐ06μm
以下では心安な粘眉力が侍彪〈、50μm以上ではツエ
ハ切断時に切叩「き扛たナツプか枯看創中に埋没し易く
剥除が(ホ)難とな0゜上す1164首り組戟物rボリ
エナレン、ボリア′ロビレン、ポリ塊化ビニル、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリアミド、ポリイミドフィル
ム卿fの一般的な粘材フィル土に堡布乾珠丁ゐことVC
より木目的の枯庸シートか倚ら1しる0壽相フイルムに
アルカリff1Mやノ為ロケンイオンが召’−frして
いても、ンイルム目捧(・まt山7凸月りl′介してウ
ェハおよびテッグ囲と依するりで旭iφI4′4シはな
い0 弘エカ法としては、ロールコータ、)く−コーク寺の−
j設的な方法か通用でさ必要Vt比、して栢7a囲には
セパレータ盆かふぜゐかのるいμ丞祠の背量l/Il−
剥till処珈を何つ等り刀tムも胸ハ」でさゐ0yz
b″A−釦明は、2ルタ′インンクVC>いて的に効朱
か太きいが、その他の7・−2タイシングやスクライビ
ング法等vcふ゛いてもh’F4助VC虐用−〇@/b
。
)、 as朦却j寺の粘看任幽螢削を用いることもpJ
1jヒでのゐ0 萱たテソフ゛F、Iギ占盾Rリイ多イ■り他Vと、小月
tllQ勿の小多行も嫌9oたとえは、シリコンVこ対
する拡散やアルミ寺の自己−j高貴の点からN a 、
k< 、寺のアルカリ金麹イオンおよびCe寺のハロ
ケンイオンは十嵜体物注V(与える影響が大きい0した
がって、これらit!i廂ハリおよび架儲痢、その他の
必加刑は光分VC和製吟味場7したものケ用いることが
好ましい0 粘埴ハリの塗布厚U3〜50μmか適当でりゐ06μm
以下では心安な粘眉力が侍彪〈、50μm以上ではツエ
ハ切断時に切叩「き扛たナツプか枯看創中に埋没し易く
剥除が(ホ)難とな0゜上す1164首り組戟物rボリ
エナレン、ボリア′ロビレン、ポリ塊化ビニル、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリアミド、ポリイミドフィル
ム卿fの一般的な粘材フィル土に堡布乾珠丁ゐことVC
より木目的の枯庸シートか倚ら1しる0壽相フイルムに
アルカリff1Mやノ為ロケンイオンが召’−frして
いても、ンイルム目捧(・まt山7凸月りl′介してウ
ェハおよびテッグ囲と依するりで旭iφI4′4シはな
い0 弘エカ法としては、ロールコータ、)く−コーク寺の−
j設的な方法か通用でさ必要Vt比、して栢7a囲には
セパレータ盆かふぜゐかのるいμ丞祠の背量l/Il−
剥till処珈を何つ等り刀tムも胸ハ」でさゐ0yz
b″A−釦明は、2ルタ′インンクVC>いて的に効朱
か太きいが、その他の7・−2タイシングやスクライビ
ング法等vcふ゛いてもh’F4助VC虐用−〇@/b
。
本発明γ以下呆施例Vtもとすきさらり(耐相に説明す
る0なお枯眉納の配合比eよ固形分でのルー配付比であ
る。
る0なお枯眉納の配合比eよ固形分でのルー配付比であ
る。
夾施例1
ガラス転移点−65′Cのアクリル糸粘眉ハリ(官有ヒ
示として水敵詰2%rせ南)100都と多官■ヒホリイ
ソシア不一ト(H本ポリウレタン■製コロ洋−トL)2
都よ0なゐ枯眉六り組成9勿r厚み50μmのポリエチ
レンフィルム上Vc乾昧佼(1)堕イレ厚か10μmと
なるよりVC口〜ルコーターで準亜乾保して粘有シート
を傅たOCQ粘盾シートに集積回路を形成した1001
皿φウェノ・忙回路囲が線用するようvc貼・可け50
、000 RI’Mでフルカットし10皿1月のテップ
忙倚だ。ナツプの枯盾シートからの剥1411は兵窒吸
引により行なりlこ0この給米ff1m1表に示すO 央〃用1りIJ2 ガラス転移点−45℃のアクリル糸IN5盾創(′呂寵
丞としてカルボン酸基2%を言上)toomと1反応触
媒としてバラトルエンスルホン[* u I L−15
と、架償酌としてメチル化メラミン側脂(三相化成@栽
MW−30〕5都よりなゐ枯7M刑#1成wJケ厚み2
5μmのポリエチレンテレフタレートフィルム上に乾R
故の塗布厚が20μmとなるよう咳、ロールコータ−で
砧布乾保して枯盾シート’;tffi敗した0この枯眉
シートに実施?l11と同体VC10Q nrmφウェ
ハ忙貼付切−[、剥l!1瞳して5rnrn角のナツプ
tえた。
示として水敵詰2%rせ南)100都と多官■ヒホリイ
ソシア不一ト(H本ポリウレタン■製コロ洋−トL)2
都よ0なゐ枯眉六り組成9勿r厚み50μmのポリエチ
レンフィルム上Vc乾昧佼(1)堕イレ厚か10μmと
なるよりVC口〜ルコーターで準亜乾保して粘有シート
を傅たOCQ粘盾シートに集積回路を形成した1001
皿φウェノ・忙回路囲が線用するようvc貼・可け50
、000 RI’Mでフルカットし10皿1月のテップ
忙倚だ。ナツプの枯盾シートからの剥1411は兵窒吸
引により行なりlこ0この給米ff1m1表に示すO 央〃用1りIJ2 ガラス転移点−45℃のアクリル糸IN5盾創(′呂寵
丞としてカルボン酸基2%を言上)toomと1反応触
媒としてバラトルエンスルホン[* u I L−15
と、架償酌としてメチル化メラミン側脂(三相化成@栽
MW−30〕5都よりなゐ枯7M刑#1成wJケ厚み2
5μmのポリエチレンテレフタレートフィルム上に乾R
故の塗布厚が20μmとなるよう咳、ロールコータ−で
砧布乾保して枯盾シート’;tffi敗した0この枯眉
シートに実施?l11と同体VC10Q nrmφウェ
ハ忙貼付切−[、剥l!1瞳して5rnrn角のナツプ
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こり結果を粥1表rtcボす0
≧^ii=?す6
天然ゴム1級(60分系株9品9100厘量都とポリテ
ルペン側胎(軟化点100℃)50茄11都と4JAt
黄51に鮒郡よりなゐ枯雇MIJ組既9勿領実施9i4
1〜2と同様にして厚み100μmの軟負ポリ塩化ビニ
ルンート上V(乾脈仮c/)崖イiJ厚20μmとなる
ように、ロールコータで塗イIJ乾燥して積層シートを
侍た0 この積層シートを用いて実施例1〜2と回イ求に75m
1Llφつz”r貼付、切1’/+b剥喘忙何lい住5
man角のトランジスタチップ【えた。
ルペン側胎(軟化点100℃)50茄11都と4JAt
黄51に鮒郡よりなゐ枯雇MIJ組既9勿領実施9i4
1〜2と同様にして厚み100μmの軟負ポリ塩化ビニ
ルンート上V(乾脈仮c/)崖イiJ厚20μmとなる
ように、ロールコータで塗イIJ乾燥して積層シートを
侍た0 この積層シートを用いて実施例1〜2と回イ求に75m
1Llφつz”r貼付、切1’/+b剥喘忙何lい住5
man角のトランジスタチップ【えた。
この結果2第1次に示す0
以上の夾IJm ?lJ vc示しlこもV)はいず牡
も枯庸シート囲へのウェハ貼付が室瀝″′i、′司龍で
あ、す、切l#r時のテップブ1叱敢もな(良好に切〜
「q」畦であったO 17j 5.0002イン切断故りダイシングソウを糾
倣鯨欽祭したか枯冶却」の皆、7MはみらnなかったO 1た積層シートからのチップ剥離もIII牢にイ■うこ
とが0J龍でめリナップ囲ヘリ帖18 tVIJ獣盾も
崩倣鋺鮫祭で勃ら牡なかつ1こ。
も枯庸シート囲へのウェハ貼付が室瀝″′i、′司龍で
あ、す、切l#r時のテップブ1叱敢もな(良好に切〜
「q」畦であったO 17j 5.0002イン切断故りダイシングソウを糾
倣鯨欽祭したか枯冶却」の皆、7MはみらnなかったO 1た積層シートからのチップ剥離もIII牢にイ■うこ
とが0J龍でめリナップ囲ヘリ帖18 tVIJ獣盾も
崩倣鋺鮫祭で勃ら牡なかつ1こ。
比層ら(1シリ1
実施レリ1と同様でめゐが、朱槁創を用いなかった。す
なわち、カラス転移点−55”Cのアクリル糸枯盾炸」
のみtポリエチレンフィルム土に。
なわち、カラス転移点−55”Cのアクリル糸枯盾炸」
のみtポリエチレンフィルム土に。
乾朦故(1)厚今が10μmとなめよ’)VCして砧腐
シート忙[ト成して、 ’Ai也ψリー1と同様な計1
曲を何なった0 この紹米′T:第1$crt−示し1ζが、貼1寸およ
び切〜Lは町IJヒであったが、粘庸囲からのチップ剥
離が若干困揺でめり、り゛インン′グンウおよびチップ
囲に枯M/11転庸が与らnた。
シート忙[ト成して、 ’Ai也ψリー1と同様な計1
曲を何なった0 この紹米′T:第1$crt−示し1ζが、貼1寸およ
び切〜Lは町IJヒであったが、粘庸囲からのチップ剥
離が若干困揺でめり、り゛インン′グンウおよびチップ
囲に枯M/11転庸が与らnた。
比較例2
夾hv例1と同様でめるが、架橋酌拍ケア都と#4かし
た積層シート21゛「成し笑/111例−1と10J4
ポな計II山tイ丁なつ7j。
た積層シート21゛「成し笑/111例−1と10J4
ポな計II山tイ丁なつ7j。
この嗣曾、剥陥連l屹AVCおけ勾枯盾力か低いため切
町時にチップがン1鑓叙し切回小口JNに′1:Φった
0 ま1こブ19赦したチップがダイシングソウV(めたV
り′イシングンウμ破損してしまったn比軟?l15 央〃I¥l倒6と同体でのるか、栄偶Rすγに用しなか
った。
町時にチップがン1鑓叙し切回小口JNに′1:Φった
0 ま1こブ19赦したチップがダイシングソウV(めたV
り′イシングンウμ破損してしまったn比軟?l15 央〃I¥l倒6と同体でのるか、栄偶Rすγに用しなか
った。
こり紹朱忙第1衣[7バすが、り助は’J tli57
ζりlこかタイ7ングンウへの帽6廟角り私有が(h又
しいため頻京なタイ7ングンウのJ4Jl!侠を心安と
した0また帖瑠シート7J1らのチップの剥削も困好−
こりクナップ囲V(μ枯虐細か転層した0 第1表中において 1)粘着剤の引張強さ:シリコン処理したセパレータ上
に粘着剤配合液を塗布乾燥し、10mm×100mmの
短冊状に打抜き後、セパレータを剥離し粘着剤のみの引
張強さを万能引張試験機によりめた。
ζりlこかタイ7ングンウへの帽6廟角り私有が(h又
しいため頻京なタイ7ングンウのJ4Jl!侠を心安と
した0また帖瑠シート7J1らのチップの剥削も困好−
こりクナップ囲V(μ枯虐細か転層した0 第1表中において 1)粘着剤の引張強さ:シリコン処理したセパレータ上
に粘着剤配合液を塗布乾燥し、10mm×100mmの
短冊状に打抜き後、セパレータを剥離し粘着剤のみの引
張強さを万能引張試験機によりめた。
測定条件は、引張速度500mm/分、測定は20℃−
65%RHで行なった。
65%RHで行なった。
2)粘着力:JIS Z−0237に準拠した180度
剥離で行なったが、剥離時の速度を1×105mm/秒
(A)と1×101mm/秒(B)について20℃−6
5%RHにおいて測定した。
剥離で行なったが、剥離時の速度を1×105mm/秒
(A)と1×101mm/秒(B)について20℃−6
5%RHにおいて測定した。
なお被着体はウェハの裏面とした。
5)つ1ハの切断性およびナツプの剥離性:目視判定に
より良好な場合に○、良好でない場合を×とした。
より良好な場合に○、良好でない場合を×とした。
4)粘漕創り転層:5000ライン切断後のタイシング
ソウおよび、剥離後のテップ面を20倍の顕微鏡で観察
して次の判定規準により評価した。
ソウおよび、剥離後のテップ面を20倍の顕微鏡で観察
して次の判定規準により評価した。
○二積鳩削の転/+1#なし
△:枯崩創のわずかな松本あり
X:枯宥痢υ転盾顕著
以上詳述したように木梶切になめターイシ7タ用帖涜シ
ートは枯盾創J−の引張りす(ざが20kg/aI!′
以上でめることから、テップ囲およびタイシングンウヘ
り粘盾却j転層かない。
ートは枯盾創J−の引張りす(ざが20kg/aI!′
以上でめることから、テップ囲およびタイシングンウヘ
り粘盾却j転層かない。
ま1ζ枯盾力の剥船連鼓6に好性の脚部tζより、ウェ
ハの貼付忙通富のMj率な方法で何なりことが口」能と
なり切断時のダイシングソウの商迷回転によってもウェ
ハおよびナツプの飛敗〃)な(剥甑時の運吸においてa
問半に剥蘭でμる0したかって牛碑坏土朱に1′ト采能
率の同上ふ・よひ原1助低戯τもたらしs 1a租性の
菌いテッグτ恍供丁ゐことか7″きる。
ハの貼付忙通富のMj率な方法で何なりことが口」能と
なり切断時のダイシングソウの商迷回転によってもウェ
ハおよびナツプの飛敗〃)な(剥甑時の運吸においてa
問半に剥蘭でμる0したかって牛碑坏土朱に1′ト采能
率の同上ふ・よひ原1助低戯τもたらしs 1a租性の
菌いテッグτ恍供丁ゐことか7″きる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、牛4捧ウエノ九のイ“、イシング用f!lS層シー
トVCおいて、粘漕創層刀為少(とも20kg/cff
Pの引張強度’cMしs剥醸速菱1g’mmZ秒時のワ
エハに対す6180度剥陥強度か20g/lνmm以上
でめハかつ剥隘速槻10’mm/抄時(5)トIO’u
on/秒時(B)Kおけ/b18CBJt引剥5虫度の
比(A/B )が1.5〜4.0でめることt性徴とす
るダイシング用帖膚シート。 Z 帖増割成分りカラス転移点が一55′C以トでめる
時針請求の範囲第1横犯躯のダ1シング用粘虐シート0
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58193236A JPS6083812A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | ダイシング用粘着シ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58193236A JPS6083812A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | ダイシング用粘着シ−ト |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6083812A true JPS6083812A (ja) | 1985-05-13 |
JPH039949B2 JPH039949B2 (ja) | 1991-02-12 |
Family
ID=16304589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58193236A Granted JPS6083812A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | ダイシング用粘着シ−ト |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6083812A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6258638A (ja) * | 1985-09-07 | 1987-03-14 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 半導体ウエハの保護部材 |
JPS63205209A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | 太陽誘電株式会社 | セラミツク配線基板の裁断方法 |
-
1983
- 1983-10-14 JP JP58193236A patent/JPS6083812A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6258638A (ja) * | 1985-09-07 | 1987-03-14 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 半導体ウエハの保護部材 |
JPS63205209A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | 太陽誘電株式会社 | セラミツク配線基板の裁断方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH039949B2 (ja) | 1991-02-12 |
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