JPS6082667A - 真空装置用回転導入機 - Google Patents
真空装置用回転導入機Info
- Publication number
- JPS6082667A JPS6082667A JP58189642A JP18964283A JPS6082667A JP S6082667 A JPS6082667 A JP S6082667A JP 58189642 A JP58189642 A JP 58189642A JP 18964283 A JP18964283 A JP 18964283A JP S6082667 A JPS6082667 A JP S6082667A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- housing
- transmission shaft
- vessel
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空容器内の被駆動体に容器外より回転力を伝
達する真空装置用回転導入機に関するしのである。
達する真空装置用回転導入機に関するしのである。
近年゛、産業のあらゆる分野に83いて基板の表面に精
瓜良く簿膜を形成する需要があり、この為の有力な手段
どしη真空蒸着や真空スパッタリン、ノがある。ところ
で、長尺基板や連続生産品は真空炉内を」ンベj?等に
よつ゛C搬送りるが、上記二IIンベア等に炉外の駆動
源より駆動力を伝達づるlζめに上記回転導入機が使用
される。したがって、回転導入機は回転力を効率良く伝
達するとともに、炉内の真空雰囲気を保つためにシール
性が良好であることが要求され、しかも実用」二はコン
パクトて゛あることが望ましい。
瓜良く簿膜を形成する需要があり、この為の有力な手段
どしη真空蒸着や真空スパッタリン、ノがある。ところ
で、長尺基板や連続生産品は真空炉内を」ンベj?等に
よつ゛C搬送りるが、上記二IIンベア等に炉外の駆動
源より駆動力を伝達づるlζめに上記回転導入機が使用
される。したがって、回転導入機は回転力を効率良く伝
達するとともに、炉内の真空雰囲気を保つためにシール
性が良好であることが要求され、しかも実用」二はコン
パクトて゛あることが望ましい。
従来、この種の回転導入機としては、真空容器に連結し
たハウジング内に回転伝達軸を貫通せしめ、これににり
真空容器内の被駆動体にへ望容器外の駆動源にり回転力
を伝達し、かつ上記回転伝達軸のハウジング内頁通部に
は磁性流体にJ、る戸空シール部を段りで真空容器の機
雷(llを保つJ、うにしたものがある。
たハウジング内に回転伝達軸を貫通せしめ、これににり
真空容器内の被駆動体にへ望容器外の駆動源にり回転力
を伝達し、かつ上記回転伝達軸のハウジング内頁通部に
は磁性流体にJ、る戸空シール部を段りで真空容器の機
雷(llを保つJ、うにしたものがある。
ところで、磁性流体を使用した真空シール部は耐差几が
約0 、1 K(] /cmiと低いために、高真空(
例えば0.1 Torr )の真空容器の機密性を保つ
ためには、上記回転伝達軸の軸方向に多数段(通常は1
0段程度)のシール部を並設する必要があり、この為に
回転導入機が大形化するという問題があった。
約0 、1 K(] /cmiと低いために、高真空(
例えば0.1 Torr )の真空容器の機密性を保つ
ためには、上記回転伝達軸の軸方向に多数段(通常は1
0段程度)のシール部を並設する必要があり、この為に
回転導入機が大形化するという問題があった。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、少数の磁
性流体シール部によって高真空の真空容器をシール可能
となすことにより、コンバク!・な回転導入機を提供す
ることを目的とするものである。
性流体シール部によって高真空の真空容器をシール可能
となすことにより、コンバク!・な回転導入機を提供す
ることを目的とするものである。
′rJなわち、本発明の回転導入機は、一端を真空容器
ど連通せしめて設置した筒状ハウジングと、該ハウジン
グ内を貫通し、一端を真空容器内の被駆動体に連結する
とともに他端をハウジング外の回転駆動源に連結した回
覧伝達軸と、上記真空容器の機密性を保つべく回転伝達
軸のハウジング内囚通部回りに段t:I ICl性流体
による真空シール部と、上記ハウジング内の他端側に形
成して上記真空シール部と連通せしめるとともに所定の
真空度に保持せしめた真空室を具備している。
ど連通せしめて設置した筒状ハウジングと、該ハウジン
グ内を貫通し、一端を真空容器内の被駆動体に連結する
とともに他端をハウジング外の回転駆動源に連結した回
覧伝達軸と、上記真空容器の機密性を保つべく回転伝達
軸のハウジング内囚通部回りに段t:I ICl性流体
による真空シール部と、上記ハウジング内の他端側に形
成して上記真空シール部と連通せしめるとともに所定の
真空度に保持せしめた真空室を具備している。
しかして、本発明によれば、真空シール部に印加される
差圧は小さくなるから、シール部の段数を減少せしめる
ことが可能であり、これによつC回転導入機本体を小形
化づることができる。
差圧は小さくなるから、シール部の段数を減少せしめる
ことが可能であり、これによつC回転導入機本体を小形
化づることができる。
以下、図示の実施例によって本発明を説明−4る。
図において、1は回転導入機、2は真空容器、3は炉外
に設けた駆動用モータである。真空容器2内には図示し
ない基板を搬送すべくヂ1−ン21が敷設してあり、チ
ェーン21を懸架するスブロケツ1−22の回転軸22
aは、容器壁に設置J /ζパイプフランジ23中に突
出IしめCある。バイブフランジ23の間口には連結用
フランジ部23aが形成し−Cあり、該フランジ部23
aには銅ガスケツ]〜24を介して回転導入機1の筒状
ハウジング11のtgJ端(図の左端)が連結しである
。
に設けた駆動用モータである。真空容器2内には図示し
ない基板を搬送すべくヂ1−ン21が敷設してあり、チ
ェーン21を懸架するスブロケツ1−22の回転軸22
aは、容器壁に設置J /ζパイプフランジ23中に突
出IしめCある。バイブフランジ23の間口には連結用
フランジ部23aが形成し−Cあり、該フランジ部23
aには銅ガスケツ]〜24を介して回転導入機1の筒状
ハウジング11のtgJ端(図の左端)が連結しである
。
上記ハウジング11の中心にはベアリング′12に支持
されて回転自在となした磁性体よりなる1j;遠軸13
が周設してあり、その一端は被駆動体たる上記スプロケ
ット22の回転軸22aに連結され、他端は途中カップ
リング31を介して駆動源lこる上記し−93に連結し
である。
されて回転自在となした磁性体よりなる1j;遠軸13
が周設してあり、その一端は被駆動体たる上記スプロケ
ット22の回転軸22aに連結され、他端は途中カップ
リング31を介して駆動源lこる上記し−93に連結し
である。
イして、上記伝達軸13回りには、軸に冶つIζ4ケ所
に=11」イド状の磁性流体14を配して真空シール部
としである。
に=11」イド状の磁性流体14を配して真空シール部
としである。
Jなわら、伝達軸13の外周を覆うように設()たリン
グ状の永久磁石15には、その前後に、同じくリング状
で、かつ伝達軸13の外周と所定の間隔を保った磁性体
製のヨーク16が設()である。
グ状の永久磁石15には、その前後に、同じくリング状
で、かつ伝達軸13の外周と所定の間隔を保った磁性体
製のヨーク16が設()である。
永久磁石15は、その前方に配したヨーク16より伝達
Qi+ 13を経て後方に配しlζヨーク1Gに至る順
路で磁路を形成しており、上記磁性流体14は、漸次肉
厚を傅くしたヨーク16の内周面と伝達軸13の外周面
間の間隙に、上記永久磁石15の磁ツノにJ、って保持
されている。伝達軸′13に治っC4ケ所に段1ノだ上
記真空シール部によって約0、4ko/am’の圧ツノ
差までは完全にシールづることができる。
Qi+ 13を経て後方に配しlζヨーク1Gに至る順
路で磁路を形成しており、上記磁性流体14は、漸次肉
厚を傅くしたヨーク16の内周面と伝達軸13の外周面
間の間隙に、上記永久磁石15の磁ツノにJ、って保持
されている。伝達軸′13に治っC4ケ所に段1ノだ上
記真空シール部によって約0、4ko/am’の圧ツノ
差までは完全にシールづることができる。
上記真空シール部の、伝達軸13に沿った後方には2ケ
所にOリング18が配設してあり、これらOリング18
の間には真空室17が設けである。
所にOリング18が配設してあり、これらOリング18
の間には真空室17が設けである。
真空室17はこれに通じるバイブ171を介して真空ポ
ンプ4に接続しである。バイブ17′1と真空ポンプ4
どの間には途中真空z142にJ:り開閉せしめられる
電磁弁41が設置ノ’Uあり、これによって上記真空室
17は常に絶対圧0 、4 kg/cm’近くの真空度
に保たれる。このように真空室17を段りることにより
、真空シール部の低真空側は常に絶対圧0.4kg/a
m’程度の真空度に維持きれ、この結果真空シール部全
体の差圧は0.4に!1/C…2以内に抑えられて(容
器内は通常0.1TOr r程度)、真空シール部は良
好なシニル性をイイ!つ。
ンプ4に接続しである。バイブ17′1と真空ポンプ4
どの間には途中真空z142にJ:り開閉せしめられる
電磁弁41が設置ノ’Uあり、これによって上記真空室
17は常に絶対圧0 、4 kg/cm’近くの真空度
に保たれる。このように真空室17を段りることにより
、真空シール部の低真空側は常に絶対圧0.4kg/a
m’程度の真空度に維持きれ、この結果真空シール部全
体の差圧は0.4に!1/C…2以内に抑えられて(容
器内は通常0.1TOr r程度)、真空シール部は良
好なシニル性をイイ!つ。
またハウジング1′1の外周部は2川間状として全周に
熱交換室19が形成しCある。熱交換°室19にはこれ
に通じるバイブ191を介してつA−タボンプ5より冷
u1水が供給される。冷IJI水は。
熱交換室19が形成しCある。熱交換°室19にはこれ
に通じるバイブ191を介してつA−タボンプ5より冷
u1水が供給される。冷IJI水は。
バイブフランジ2:3に設【プた温度削52にJ、つ(
開閉される電磁弁51により、ぞの流通を制御され、こ
れによってハウジング11内の温度が一定に保たれる。
開閉される電磁弁51により、ぞの流通を制御され、こ
れによってハウジング11内の温度が一定に保たれる。
すなわち、通常、真空容器2内は容器壁へのガスの11
着を防止するために300℃程度に保たれており、この
熱は回転導入機1にも伝達される。イして、磁性流体1
4は100℃を越えると粘性が低下してその真空シール
性能が急激に低下りる。例えば常温では、前述の如く、
差圧が0 、1 ka/ cm” まではほぼ完全に気
密性を保つが、100℃以上に温度が上Rづ−ると耐差
圧は20%稈a (0,08ka/cm” )も低下J
る。しかして、本発明によれば、上記熱交換室19に流
通づる冷IJI水によ一ンて磁性流体14は常に常温付
近に保たれるから、そのシール性能が低下りることはな
い。
着を防止するために300℃程度に保たれており、この
熱は回転導入機1にも伝達される。イして、磁性流体1
4は100℃を越えると粘性が低下してその真空シール
性能が急激に低下りる。例えば常温では、前述の如く、
差圧が0 、1 ka/ cm” まではほぼ完全に気
密性を保つが、100℃以上に温度が上Rづ−ると耐差
圧は20%稈a (0,08ka/cm” )も低下J
る。しかして、本発明によれば、上記熱交換室19に流
通づる冷IJI水によ一ンて磁性流体14は常に常温付
近に保たれるから、そのシール性能が低下りることはな
い。
以上の如く、本発明の回転導入機は、回転自在に設(プ
Iこ伝達軸ににっで、真空容器外の駆動源より真空容器
内の非駆動体へ効率良く回転力を伝達するようになし、
かつ回転軸回りには磁性流体による真空シール部を設(
〕て真空気密性を確保するとどもに真空シール部を介し
lζ低真空側には所定の真空度に保った真空室を設り゛
(、上記真空シール部に印加される差圧を小さくなして
真空シール部の設置数(段数)を減少せしめ、これにに
って回転導入機本体をコンバク1〜になしたものである
。
Iこ伝達軸ににっで、真空容器外の駆動源より真空容器
内の非駆動体へ効率良く回転力を伝達するようになし、
かつ回転軸回りには磁性流体による真空シール部を設(
〕て真空気密性を確保するとどもに真空シール部を介し
lζ低真空側には所定の真空度に保った真空室を設り゛
(、上記真空シール部に印加される差圧を小さくなして
真空シール部の設置数(段数)を減少せしめ、これにに
って回転導入機本体をコンバク1〜になしたものである
。
さらに本発明では、熱交換室を設【ノることによって、
回転導入機め温度上昇を防止し、真空シール部のシール
性能を高く維持している。
回転導入機め温度上昇を防止し、真空シール部のシール
性能を高く維持している。
/J iJ3 、上記実施例において、真空室の真空度
を」こげれば真空シール部の段数はさらに少なくでさる
が、真空υ1気系のコストは上昇する。したがって、実
施例程痕の段数と覆るのが現実的である。
を」こげれば真空シール部の段数はさらに少なくでさる
が、真空υ1気系のコストは上昇する。したがって、実
施例程痕の段数と覆るのが現実的である。
またOリングに代えて、オイルシールあるいはメカニカ
ルシールを使用しても良い。
ルシールを使用しても良い。
図は、駆動用モータの回転力を真空容器内のヂL−ンに
伝達1べく設りた回転導入機の仝休所面図である。 1・・・・・・・・・回転導入機 11・・・・・・ハウジング 13・・・・・・回転伝達軸 14・・・・・・磁性流体 15・・・・・・永久磁石 17・・・・・・真空室 19・・・・・・熱交換室 \ 2・・・・・・・・・真空容器 21・・・・・・f−1−ン 22・・・・・・スブロケツ1−(被駆動体)3・・・
・・・・・・駆動用モータく回転駒FJJ R)1・・
・・・・・・・真空ポンプ 5・・・・・・・・・ウオータポンプ
伝達1べく設りた回転導入機の仝休所面図である。 1・・・・・・・・・回転導入機 11・・・・・・ハウジング 13・・・・・・回転伝達軸 14・・・・・・磁性流体 15・・・・・・永久磁石 17・・・・・・真空室 19・・・・・・熱交換室 \ 2・・・・・・・・・真空容器 21・・・・・・f−1−ン 22・・・・・・スブロケツ1−(被駆動体)3・・・
・・・・・・駆動用モータく回転駒FJJ R)1・・
・・・・・・・真空ポンプ 5・・・・・・・・・ウオータポンプ
Claims (1)
- 真?;?容器内の被駆動イホに真空容器外J、り回転力
を伝達づる真空装置用回転導入機にJ3いC1一端を上
記真空容器と連通せしめで設置した筒状のハウジングと
、該ハウジング内を貫通し、一端を上記被駆動体に連結
りるとともに他端をハウジング外の回転駆動源に連結し
た回転伝達軸と、上記真空容器の機密1で1を保つべく
上記回転伝達軸のハウジング内貫通部回りに設+Jた磁
性流体にJ、る真空シール部と、上記ハウジング内の他
端側に形成して」−記真空シール部と連通せしめるとと
6に所定の真空度に保持せしめた真空室を具備したこと
を特徴どする真空装置用回転導入機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58189642A JPS6082667A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 真空装置用回転導入機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58189642A JPS6082667A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 真空装置用回転導入機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6082667A true JPS6082667A (ja) | 1985-05-10 |
Family
ID=16244721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58189642A Pending JPS6082667A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 真空装置用回転導入機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6082667A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01108458U (ja) * | 1988-01-13 | 1989-07-21 | ||
DE102004051684A1 (de) * | 2004-10-23 | 2006-04-27 | Krauss-Maffei Kunststofftechnik Gmbh | Bearbeitungsvorrichtung mit Hoch- oder Unterdruckkammer |
CN103603954A (zh) * | 2013-11-04 | 2014-02-26 | 北京卫星环境工程研究所 | 真空低温环境下大口径旋转动密封*** |
CN103759015A (zh) * | 2014-01-17 | 2014-04-30 | 北京交通大学 | 用于密封液体的微泵式上游泵送磁性液体密封装置 |
CN112728108A (zh) * | 2021-01-12 | 2021-04-30 | 清华大学 | 磁场可调式磁性液体密封装置 |
-
1983
- 1983-10-11 JP JP58189642A patent/JPS6082667A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01108458U (ja) * | 1988-01-13 | 1989-07-21 | ||
DE102004051684A1 (de) * | 2004-10-23 | 2006-04-27 | Krauss-Maffei Kunststofftechnik Gmbh | Bearbeitungsvorrichtung mit Hoch- oder Unterdruckkammer |
CN103603954A (zh) * | 2013-11-04 | 2014-02-26 | 北京卫星环境工程研究所 | 真空低温环境下大口径旋转动密封*** |
CN103603954B (zh) * | 2013-11-04 | 2017-02-08 | 北京卫星环境工程研究所 | 真空低温环境下大口径旋转动密封*** |
CN103759015A (zh) * | 2014-01-17 | 2014-04-30 | 北京交通大学 | 用于密封液体的微泵式上游泵送磁性液体密封装置 |
CN112728108A (zh) * | 2021-01-12 | 2021-04-30 | 清华大学 | 磁场可调式磁性液体密封装置 |
CN112728108B (zh) * | 2021-01-12 | 2022-02-01 | 清华大学 | 磁场可调式磁性液体密封装置 |
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