JPS6079242A - 圧力変換器 - Google Patents
圧力変換器Info
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- JPS6079242A JPS6079242A JP58187044A JP18704483A JPS6079242A JP S6079242 A JPS6079242 A JP S6079242A JP 58187044 A JP58187044 A JP 58187044A JP 18704483 A JP18704483 A JP 18704483A JP S6079242 A JPS6079242 A JP S6079242A
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- JP
- Japan
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- glass
- circuit
- pipe
- base
- thick film
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- Granted
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/141—Monolithic housings, e.g. molded or one-piece housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/003—Fluidic connecting means using a detachable interface or adapter between the process medium and the pressure gauge
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、圧力変換器に係り、ｔｌケに絶対圧基準形の
圧力変換器に関する。
圧力変換器に関する。
従来の絶対圧基準形出力変換器の一例として、例えは、
特開昭５６−２９１３５号に開示宴れたものが知られて
いる。この公知のものは、シリコンチップの一方の面を
エツチングにより加工し、薄肉化し、その反対面に拡散
によりピエゾ抵抗を形成している。そして、このシリコ
ンチップの四部の方を基台に接着し、四部２真空祭とす
りものである。測定用の圧力は、ピエゾ抵抗の形成面ｆ
ｌｌｌｌに導入される。この基台は、このゲー ジから
の出力信号の増「ｌ］、温度補償を行う厚膜回路基板と
ともに、樹脂製ハウジング内に収納埒れる。
特開昭５６−２９１３５号に開示宴れたものが知られて
いる。この公知のものは、シリコンチップの一方の面を
エツチングにより加工し、薄肉化し、その反対面に拡散
によりピエゾ抵抗を形成している。そして、このシリコ
ンチップの四部の方を基台に接着し、四部２真空祭とす
りものである。測定用の圧力は、ピエゾ抵抗の形成面ｆ
ｌｌｌｌに導入される。この基台は、このゲー ジから
の出力信号の増「ｌ］、温度補償を行う厚膜回路基板と
ともに、樹脂製ハウジング内に収納埒れる。
この従来例にあって問題となるのは、ピエゾＵ（抗形成
面側に圧力を導入する点にめる。Ｊ−なわち、湿度の高
い気体や、腐食性の気体などを測に１７ようとすると、
ピエゾ抵抗が変化する。したがって、被測定気体が限定
されることになる。
面側に圧力を導入する点にめる。Ｊ−なわち、湿度の高
い気体や、腐食性の気体などを測に１７ようとすると、
ピエゾ抵抗が変化する。したがって、被測定気体が限定
されることになる。
それに対し−Ｃ、シリコンチップの四部側に被測定気体
を導入ｆ−るものとしこ、例えシ」′、特開昭５７−１
８６１３７ 、５７ １８６］ ３８写などのものが・
ハコられている。このものにあ−９てに１．ピエゾ抵抗
形成面側を金属ケースの内面側にむけるようにし、この
ケース内を真空室とするようにしている。さらに、この
ケース内に、増Ｉｌｌ ’ ？ｌｒａ度補償用の厚膜回
路基板を内蔵して、全体を小型化している。
を導入ｆ−るものとしこ、例えシ」′、特開昭５７−１
８６１３７ 、５７ １８６］ ３８写などのものが・
ハコられている。このものにあ−９てに１．ピエゾ抵抗
形成面側を金属ケースの内面側にむけるようにし、この
ケース内を真空室とするようにしている。さらに、この
ケース内に、増Ｉｌｌ ’ ？ｌｒａ度補償用の厚膜回
路基板を内蔵して、全体を小型化している。
しかしながら、このような溝成にあっては、ケース内に
厚膜回路基板を固定するために、有機系の接着剤を用い
ている。そのため、この接着剤からのアウトガスにより
、真空室の真空度全保持できず、検出誤差をもたらすこ
とになる。
厚膜回路基板を固定するために、有機系の接着剤を用い
ている。そのため、この接着剤からのアウトガスにより
、真空室の真空度全保持できず、検出誤差をもたらすこ
とになる。
このような問題に対しては、厚膜回路基板全外付けすれ
ばよいわけであるが、そうすると、小型化が達成しえな
くなる。
ばよいわけであるが、そうすると、小型化が達成しえな
くなる。
本発明の目的は、被測定気体について制限されることな
く、小型で、しかも検出精度のよい絶対圧基準型圧力変
換器を提供するにある。
く、小型で、しかも検出精度のよい絶対圧基準型圧力変
換器を提供するにある。
〔発明の概−決〕
本発明は、ピエゾ抵抗形成面は真空室側にむけることに
より耐久性を向上し、検出回路を真空ケース内に設ける
ことにより小型化を図り、さらに、検出回路はケースの
一部に設けたほうろう部の上に厚膜印刷により形成し、
検出精度を得るようにしたものである。
より耐久性を向上し、検出回路を真空ケース内に設ける
ことにより小型化を図り、さらに、検出回路はケースの
一部に設けたほうろう部の上に厚膜印刷により形成し、
検出精度を得るようにしたものである。
本発明の一実施例について、第１図および第２図を用い
て説明する、。
て説明する、。
プレス加工された金属製のベースＪのうち、中央円形の
ほうろう部２には、メッキ処見１！が施□される。その
上で、全面にガラスコープ・ｆングが施され、高温隔着
される。メツギ処理がされたほうろう部２は、ガラス被
覆が形成さ７段）。それ以外のガラスコート除去部３で
リス１、全屈ベース１にガラスが隔着し＝Ｃいため、は
うろうは形成されない。
ほうろう部２には、メッキ処見１！が施□される。その
上で、全面にガラスコープ・ｆングが施され、高温隔着
される。メツギ処理がされたほうろう部２は、ガラス被
覆が形成さ７段）。それ以外のガラスコート除去部３で
リス１、全屈ベース１にガラスが隔着し＝Ｃいため、は
うろうは形成されない。
このようにして、部分はうろうされたｔ！、うろう基板
４の中のほうろう部２の上に、温度補償回路、増巾回路
となる厚膜回路６が印刷形成されろ。
４の中のほうろう部２の上に、温度補償回路、増巾回路
となる厚膜回路６が印刷形成されろ。
ベース１の中央にもうけ１）れた穴に、圧力導入用パイ
プ８が、ガラス１０ ＶＣよりノ・−メチツク封止され
る。また、別の穴には、入出力用リー ドビン７と真空
引き用パイプ９が、それズれガラス１０により・・−メ
チツク封止される。
プ８が、ガラス１０ ＶＣよりノ・−メチツク封止され
る。また、別の穴には、入出力用リー ドビン７と真空
引き用パイプ９が、それズれガラス１０により・・−メ
チツク封止される。
圧力導入パイプ８の上には、カラスダイ１１およびノリ
コンダイアフラム５が接合される、ダイアフラム５には
凹部がエツ≠／グによシ形成され、との凹部と、ガラス
ダイ１１およびノ２イグ８の圧力導入穴１２が位置合せ
られる。ダイアフラム５の凹部の反対側には、ピエゾ抵
抗が形成される。
コンダイアフラム５が接合される、ダイアフラム５には
凹部がエツ≠／グによシ形成され、との凹部と、ガラス
ダイ１１およびノ２イグ８の圧力導入穴１２が位置合せ
られる。ダイアフラム５の凹部の反対側には、ピエゾ抵
抗が形成される。
ダイアフラム５上のピエゾ抵抗と厚膜回路６の間、およ
び厚膜回路６とリードビン７０間は、ワイヤボンディン
グにより接続される。
び厚膜回路６とリードビン７０間は、ワイヤボンディン
グにより接続される。
回路の接合完了後、金属キャップ１４を、ホーロー基板
４のガラスコート除去部３に、抵抗溶接され、真空引き
用パイプ９により、真空引きし、抵抗溶接によりパイプ
を封［ヒすることにより、真空室１５を形成する。
４のガラスコート除去部３に、抵抗溶接され、真空引き
用パイプ９により、真空引きし、抵抗溶接によりパイプ
を封［ヒすることにより、真空室１５を形成する。
本発明によれば、ノリコンテツブおよびその補償回路、
増ｌ］回路を容易に真壁封止できる。
増ｌ］回路を容易に真壁封止できる。
本発明の他の実施例Ｖこついて、第３図を用いて説明す
る。
る。
本実施例は、前記実施例と真空封止前まで同一であるが
、真空引き用パイプ９を有せＪ“、金属キャップ１４を
真空中で溶接することにより、真空ｄ４Ｆ／−コＣ１＋
４纂−）−７−−に−に、、ＩＴ：→１：１ｔ１［’Ｒ
ｈ：ｌイ１ＡＩ＋ロー例けにより取付けである。
、真空引き用パイプ９を有せＪ“、金属キャップ１４を
真空中で溶接することにより、真空ｄ４Ｆ／−コＣ１＋
４纂−）−７−−に−に、、ＩＴ：→１：１ｔ１［’Ｒ
ｈ：ｌイ１ＡＩ＋ロー例けにより取付けである。
本発明の実施例によれ畝真空捌止の簡略化、圧力導入ボ
ートの接合強度ｌ釘止を図れる。
ートの接合強度ｌ釘止を図れる。
本発明のその他の実施例を第４図を用いて説明する。
本実施例は、絶対圧基準圧力変換器１７とＥＧ几制御バ
ルブ１８を一体化したもので心り、ホーロー基板４の金
属ヘソグ１の一部をプレスにより加工し、ＥＧ刊制御バ
ルブ１Ｂの（１ｆ；造と一体化したものである。絶対圧
基準圧力変換器１７にエリ、排気マニホールドの圧力１
９を検出すＺ）ことによす、電気信号をコントロールユ
ニット１９に送り、コントロールユニット１９で、ソレ
ノイトノくルフ′２０を制御することにより、Ｅ ＯＲ
制省）１１ノ４ノ【・フ′１８に通じる負圧導入通路２
１を開閉する。
ルブ１８を一体化したもので心り、ホーロー基板４の金
属ヘソグ１の一部をプレスにより加工し、ＥＧ刊制御バ
ルブ１Ｂの（１ｆ；造と一体化したものである。絶対圧
基準圧力変換器１７にエリ、排気マニホールドの圧力１
９を検出すＺ）ことによす、電気信号をコントロールユ
ニット１９に送り、コントロールユニット１９で、ソレ
ノイトノくルフ′２０を制御することにより、Ｅ ＯＲ
制省）１１ノ４ノ【・フ′１８に通じる負圧導入通路２
１を開閉する。
本実施例によれば、絶対圧基準圧力変換器１７がアクチ
ュエータの構造の一部ヲ形成し句る。
ュエータの構造の一部ヲ形成し句る。
本発明によれは、信頼性が高く、小型でしかも、検出精
度を高めることができる。
度を高めることができる。
第１図および第２図は、本発明の一実施例の平面図およ
び断面図であ、す、８１’！３図は、本発明の他の実施
例の断面図であり、第４図は、本発明のその他の実施例
の１所面図である。 １・・・ベース、４・・・ポーロー基板、５・・・ノリ
コンダイアノンム、６・・・厚膜回路、１４・・ギャッ
プ。 代即人 弁理士 高橋明夫 第１図 第２図
び断面図であ、す、８１’！３図は、本発明の他の実施
例の断面図であり、第４図は、本発明のその他の実施例
の１所面図である。 １・・・ベース、４・・・ポーロー基板、５・・・ノリ
コンダイアノンム、６・・・厚膜回路、１４・・ギャッ
プ。 代即人 弁理士 高橋明夫 第１図 第２図
Claims (1)
- １、少なくとも一部にほうろう部の加工された金属のベ
ースと、このベースに固定され一面にピエゾ抵抗の形成
さＺｌ、ている半導体ダイアノラムと、上記はうろう部
上に厚膜印刷により形成されノＣ圧力検出回路と、上記
半導体ダイアノラムのピエゾ抵抗面と圧力検出回路金お
おうように、−上記はうろう部以外のところで上記ベー
スに固着びれ、内部に真空室を形成する金属のカバーと
を有することを特徴とする圧力変換器５、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58187044A JPS6079242A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58187044A JPS6079242A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 圧力変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6079242A true JPS6079242A (ja) | 1985-05-07 |
| JPH0544616B2 JPH0544616B2 (ja) | 1993-07-06 |
Family
ID=16199189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58187044A Granted JPS6079242A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6079242A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0441644U (ja) * | 1990-08-08 | 1992-04-08 | ||
| JPH0447641U (ja) * | 1990-08-24 | 1992-04-22 | ||
| WO1998005934A1 (de) * | 1996-08-06 | 1998-02-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektronisches sensor-bauelement |
| US7102259B2 (en) | 2001-11-15 | 2006-09-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Rotor of a synchronous induction electric motor |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55124035A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-24 | Thomson Csf | Pressure detector |
| JPS5636109A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Matsushita Electric Works Ltd | Monostable type polar electromagnet |
| JPS57186137A (en) * | 1981-05-12 | 1982-11-16 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | Pressure sensor |
| JPS5823494A (ja) * | 1981-08-05 | 1983-02-12 | 株式会社東芝 | 厚膜集積回路の製造方法 |
-
1983
- 1983-10-07 JP JP58187044A patent/JPS6079242A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55124035A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-24 | Thomson Csf | Pressure detector |
| JPS5636109A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Matsushita Electric Works Ltd | Monostable type polar electromagnet |
| JPS57186137A (en) * | 1981-05-12 | 1982-11-16 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | Pressure sensor |
| JPS5823494A (ja) * | 1981-08-05 | 1983-02-12 | 株式会社東芝 | 厚膜集積回路の製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0441644U (ja) * | 1990-08-08 | 1992-04-08 | ||
| JPH0447641U (ja) * | 1990-08-24 | 1992-04-22 | ||
| WO1998005934A1 (de) * | 1996-08-06 | 1998-02-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektronisches sensor-bauelement |
| GB2330418A (en) * | 1996-08-06 | 1999-04-21 | Siemens Ag | Electronic sensor component |
| GB2330418B (en) * | 1996-08-06 | 2000-06-07 | Siemens Ag | Electronic pressure sensor component |
| US7102259B2 (en) | 2001-11-15 | 2006-09-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Rotor of a synchronous induction electric motor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0544616B2 (ja) | 1993-07-06 |
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