JPS6078443A - 光不溶性樹脂組成物 - Google Patents

光不溶性樹脂組成物

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JPS6078443A
JPS6078443A JP18639883A JP18639883A JPS6078443A JP S6078443 A JPS6078443 A JP S6078443A JP 18639883 A JP18639883 A JP 18639883A JP 18639883 A JP18639883 A JP 18639883A JP S6078443 A JPS6078443 A JP S6078443A
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JP
Japan
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resin composition
photo
unsatd
ketone
insoluble resin
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JP18639883A
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JPH0565869B2 (ja
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Kunihiro Ichimura
市村 国宏
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
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Publication date
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/029Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は優れた感度を示す光年溶性樹脂組成物、さらに
詳しくは、アミノフェニル不飽和ケトン類とジアリール
ヨードニウム塩との組合わせを光重合開始剤とすること
を特徴とする光年溶性樹脂組成物に関するものである。
光重合を原理とする光不溶性樹脂の感光速度を増大させ
るためには多くの研究がなされているが、その多くは紫
りを線に活性な光重合開始剤に関するものである。一方
、光不溶性樹脂はフォトレジスト、インキ、塗料、フェ
ス、印刷製版材料などはもとより、レーザ光を用いる画
像形成材料や銀塩に代る感光材料としても注目されてい
る。しかし、とのレーザ用としての感光特性は従来のも
のでは甚だ不十分のものでしかない。そのため、感光波
長領域を拡大し、しかも感光速度を飛躍的に増大させる
必要がある。
可視光線に感光する光重合性樹脂としてはいくつかの提
案がなされている。特開昭48−36281号において
は、エチレン系不飽和によるトリアジン環と共役された
少な(とも1つのトリハロメチル基と少なくとも1つの
発色団部分を有するS−)リアジンを光重合開始剤とす
る方法が提案されている。また、特開昭54−1552
92号においては、p−ジアルキルアミノアリリデンと
共役した不飽和ケトンを光重合開始剤とする組成物が提
案されている。あるいはまた、特開昭52−13469
2号においては、多環性キノンと3級アミンを光重合開
始系とする組成物が提案されている。
これらはいずれも従来の光重合性樹脂に比べてより長波
長光に感する材料を与えることが出来るが、レーザ用感
光材料や銀塩代替材料などとして利用するにはなお一層
高い感光速度が望まれる。
本発明は、光分解により酸を発生するジアリールヨード
ニウム塩の増感分解反応を検討する過程で、アミノフェ
ニル体が効率良くヨードニウム塩の光分解を増感するこ
とを見い出し、その知見に基づいて完成されたものであ
る。
すなわち、本発明は、重合能を有するエチレン性不飽和
結合を少なくとも1つ有する化合物および光重合開始剤
からなる光不溶性樹脂組成物において、一般式(I) (式中のR1、R2、R5、R6はアルキル基を示し、
R3、R4は水素原子またはその両者で環状Ir1l造
を形成する01〜C3のアルキレン残基を示し、nはO
または1を示す。)で表わされる不飽和ケトンとレアリ
ールヨードニウム塩との組合わせを光重合開始剤とする
ことを特徴とする光不溶性樹脂組成物に関するものであ
る。
光重合開始剤を構成する一般式(I)で表わされる不飽
和ケトンとしては、ジアルキルアミノフェニル基と共役
した以下の化合物を例示することかできる。
)2 光重合開始系を構成する今一つの成分としてのジアリー
ルヨードニウム塩は、 E式(11)(式中、R7、R
8は水素原子、低級アルキル基、メトキシ基またはニト
ロ基を示し、X−はハロゲンイオン、BF4−1PFs
−またはAsF5−を示す)で表わされる化合物である
。本発明で用いられる一般式+IIIで表わされる化合
物としては、Macromolecule!。
10.1307 (1977)に記載の化合物、たとえ
ば、ジフェニルヨードニウム、ジトリルヨードニウム、
フェニル(p−アニシル)ヨードニウム、ビス(m−ニ
トロフェニル)ヨードニウム、ビス(を−tert−ブ
チルフェニル)ヨードニウムなどのヨードニウムのクロ
リド、プロミドあるいはホウフッ化塩、ヘキサフルオロ
ホスフェート塩、ヘキザフルオロアルセネート塩をあげ
ることができる。
本発明の光不溶性樹脂組成物を構成するエチレン性不飽
和結合を少なくとも1つ持つ化合物としては、ビニル系
モノマーの他にオリゴマーを含み、さらには、高分子量
化合物でもよい。具体的には、アクリル酸、メタクリル
酸、イタコン酸、マレイン酸、アクリルアミド、メタア
クリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、2−ヒドロ
キシエチルアクリレート、N−ビニルカルバゾール、N
−ビニルピロリドンなどの高沸点モノマー及び、エチレ
ングリコール、ジエチレンクリコール、1. 3−フロ
パンジオール、1,4−ブタンジオール、J、5−ベン
タンジオール、1.6−ヘキサンジオール、1.10−
デカンジオール、トリメチロールエタン、ペンタエリス
リトール、ソルビトール、マンニトールなどのジあるい
はポリ (メタ)アクリルエステル、さらには、(メタ
)アクリル化されたエポキシ樹脂、ポリエステルアクリ
レートオリゴマー、(メタ)アクリル化ウレタンオリゴ
マー、アクロレイン化ポリビニルアルコールなどをあげ
ることが出来るが、この限りではない。
本発明の光子溶性樹脂組成物中に含有され2光重合開始
剤の量は、一般式(Ilで表わされるアミ・ツフェニル
体とエチレン性不飽和結合を持つ化合物の重量比で約1
=5から約1=500までの広い範囲をとることが可能
であり、好ましくは1:1゜から1:100の範囲であ
る。また、アミノフェニル体とジアリールヨードニウム
塩との重量比は約10=1から約1:10までの範囲で
あり、好ましくは約2:1から約1:5までの範囲であ
る。
本発明の光不溶j゛]:樹脂f!1[代物には所望に応
じて公知のバインダー、熱重合禁止剤、可塑剤などの添
加剤を加えても良い。
本発明のm酸物に適した光源としては、高圧水銀灯、超
高圧水銀灯、高圧キセノン灯、ハロダンランプ、蛍光灯
のほかに、He−Ca、Ar、I−Ie Neなどのレ
ーザが利用てきる。
本発明の光不溶1=1:樹脂組成物は1rC3にの光重
合「1゜組成物よりも優れた感度を有しているので、平
版や凸版用製版材料、レリーフの作製、非銀基面11!
の作成、プリンl−配線板の作成など幅広い分’pFi
l?W応用できる。
実施例1〜3 クロロメチルスチレンとメタクリル酸メチルとの1:1
共重合体にメタクリロイル基を導入して得たポリマーの
10重量%ジオキサン溶液1部に、ジフェニルヨードニ
ウム・へキザフルオロホス7二−ト0.01部とビス(
p−ジメチルアミノベンジリデン)アセトン0.01部
を添加し、陽極酸化アルミ板にスピン塗布して感度を測
定した。Xe灯を光源とした時には、東京応化工業製T
PRの約32倍の感度が得られた。一方、アルゴンレー
ザの4880mの光を照射ルだ結果、0.9 mJ /
cr11 の露光量でビーム径(0,7mm)と同じ大
きさのスポットで象を得た。
ビス(?−ジメチルアミノベンジリデン)アセトンの代
りに、2,5−ビス(p−ジメチルアミノベンジリデン
)シクロペンタノン、2.6−ビス(p−ジメチルアミ
ノベンジリデン)シクロヘキサノンを用いたときも、は
ぼ同程度の感度が得られた。
実施例4 ポリメタクリル酸メチル1部、ペンタエリスリトールト
リアクリレート1部、ジフェニルヨードニウム・ヘキサ
フルオロホス7エー)0.1部オヨびビス(p−ジメチ
ルアミノベンジリデン)アセトン0.1部からなる組成
物のジオキサン溶液を陽極酸化アルミ板上にスピン塗布
し、キセノン灯を用いて感度を測定した。これを脱気乍
で露光したところ、TPRの約10倍の感度を示した。
実施例5 52%のジメチルアミノ基で置換されたポリ−l−カプ
ラミド(東し製:AQナイロン)の20%エタノール溶
液に、ポリマーに対して5重量%のジフェニルヨードニ
ウム塩とビス(p−ジメチルアミノベンジリデン)アセ
トンおよびポリマーに対して50重量%のペンタエリス
リトールトリアクリレートを添加し、これを陽極酸化ア
ルミ板に塗布して感度を測定した。N先後水道水で現像
した結果、TPRに対して約8倍の感度を示した。
昭和58年11月2日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 L 小作の表示 昭和58年 特許願 第186398号a 発明の名称 光歪溶性樹脂組成物 3、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 東京都千代田区謬が関1丁目3番1号 (114)工業技術院長 川 1) 裕 部本 指定代
理人 6、補正により増加する発明の数 0 7、 補正の対象 明細aの発明の詳細な説明の楠 (1) 明細書第5ページ第4行目の構造式に訂正しま
す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)重合能を有するエチレン性不飽和結合を少なくと
    も1つ有する化合物および光重合開始剤からなる光年溶
    性樹脂組成物において、一般式 (式中のR1,R2、R5、R6はアルキル基を示し、
    R3、R4は水素原子またはその両者で環状構造を形成
    する01〜C3のアルキレン残基を示し、nは0または
    1を示す。) で表わされる不飽和ケトンとジアリールヨードニウム塩
    との組合わせを光重合開始剤とすることを特徴とする光
    年溶性樹脂組成物。
JP18639883A 1983-10-05 1983-10-05 光不溶性樹脂組成物 Granted JPS6078443A (ja)

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