JPS6072750A - 感熱記録ヘツド - Google Patents
感熱記録ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6072750A JPS6072750A JP58182147A JP18214783A JPS6072750A JP S6072750 A JPS6072750 A JP S6072750A JP 58182147 A JP58182147 A JP 58182147A JP 18214783 A JP18214783 A JP 18214783A JP S6072750 A JPS6072750 A JP S6072750A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistive film
- resistance
- recording head
- oxidation
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
プリンタには、レーザプリンタなどのように感光ドラム
に静電潜像を形成し、それを現像して印字媒体に転写す
る静電式ないし電子写真式のものと、印字媒体をインク
リボンの上からワイヤで選択的に加圧してインパクト式
に印字するものと、感熱記録ヘッドで熱転写リボンを選
択的に過熱溶融させて転写する熱転写式あるいは感熱記
録ヘッドで感熱紙を選択的に加熱し発色させる感熱プリ
ンタとがある。本発明は、後者の熱転写リボンを選択的
に加熱して熱転写したり、感熱紙を選択的に加熱して印
字する感熱記録ヘッドに関する。
に静電潜像を形成し、それを現像して印字媒体に転写す
る静電式ないし電子写真式のものと、印字媒体をインク
リボンの上からワイヤで選択的に加圧してインパクト式
に印字するものと、感熱記録ヘッドで熱転写リボンを選
択的に過熱溶融させて転写する熱転写式あるいは感熱記
録ヘッドで感熱紙を選択的に加熱し発色させる感熱プリ
ンタとがある。本発明は、後者の熱転写リボンを選択的
に加熱して熱転写したり、感熱紙を選択的に加熱して印
字する感熱記録ヘッドに関する。
第１図は、従来の感熱記録ヘッドの断面図である。■は
アルミナを焼結して成る基板で、その」−にＴａＮ （
窒化タンタル）から成る抵抗膜をスパッタし、抵抗１＊
２を形成しである。そして該抵抗膜２の両側に、ＮｉＣ
ｒ、 Ａｕ、 Ｃｒを順次蒸着し、ホトリソグラフィ技
法によりパターニングを行なって電極ＩＩ！３１．３２
を形成する。第２図は、このように基板１上で抵抗膜２
の両側に電極ＩＩＪ３１．３２を設けた状態の斜視図で
ある。この図から明らかなように、両側に電極膜３１．
３２を備えた抵抗膜２・・・が１列に配設されている。
アルミナを焼結して成る基板で、その」−にＴａＮ （
窒化タンタル）から成る抵抗膜をスパッタし、抵抗１＊
２を形成しである。そして該抵抗膜２の両側に、ＮｉＣ
ｒ、 Ａｕ、 Ｃｒを順次蒸着し、ホトリソグラフィ技
法によりパターニングを行なって電極ＩＩ！３１．３２
を形成する。第２図は、このように基板１上で抵抗膜２
の両側に電極ＩＩＪ３１．３２を設けた状態の斜視図で
ある。この図から明らかなように、両側に電極膜３１．
３２を備えた抵抗膜２・・・が１列に配設されている。
そして電極膜３１と３２との間に通電して所望の抵抗膜
２を発熱させることで、図示されていない熱転写リボン
を選択的に加熱し、熱転写を行なう。ラインプリンタな
どの場合は、抵抗膜２・・・が記録媒体の紙送り方向と
直角方向に、且つ全印字ｆｉ域にわたって配列されてい
る。
２を発熱させることで、図示されていない熱転写リボン
を選択的に加熱し、熱転写を行なう。ラインプリンタな
どの場合は、抵抗膜２・・・が記録媒体の紙送り方向と
直角方向に、且つ全印字ｆｉ域にわたって配列されてい
る。
ところでＴａ２−Ｎ、 ＮｉＣｒから成る抵抗膜は、ス
パッタまたは蒸着などの手法により再現性良く形成でき
るが、耐酸化性に劣る。耐酸化性の高い抵抗体として金
属の珪化物（Ｃｒ−５ｉ ）あるいは金属と絶縁体との
混合物などが知られているが、いずれも抵抗値の再現性
が悪い。そこで第１図のように再現性に優れたＴａ２−
Ｎ、 ＮｉＣｒから成る抵抗膜２と電極膜３１．３２の
上に、５ｉ０２ （酸化シリコン）をスパッタして耐酸
化層４を形成し、酸化し易いＴａＮ抵抗膜２の酸化を防
止している。更にその−１−にＴａ２０３（酸化タンタ
ル）をスパッタして耐摩耗層６を形成し、熱転写リボン
との摺動による摩耗を防止している。
パッタまたは蒸着などの手法により再現性良く形成でき
るが、耐酸化性に劣る。耐酸化性の高い抵抗体として金
属の珪化物（Ｃｒ−５ｉ ）あるいは金属と絶縁体との
混合物などが知られているが、いずれも抵抗値の再現性
が悪い。そこで第１図のように再現性に優れたＴａ２−
Ｎ、 ＮｉＣｒから成る抵抗膜２と電極膜３１．３２の
上に、５ｉ０２ （酸化シリコン）をスパッタして耐酸
化層４を形成し、酸化し易いＴａＮ抵抗膜２の酸化を防
止している。更にその−１−にＴａ２０３（酸化タンタ
ル）をスパッタして耐摩耗層６を形成し、熱転写リボン
との摺動による摩耗を防止している。
耐酸化層４は、ＲＦスパッタなどのの手段によって形成
される。また耐酸化層４は絶縁物で且つ耐熱性を持つこ
とが必要であるため、金属あるいは珪素などの酸化物、
またはＳｉ３Ｎ４などの窒化物が用いられるが、これら
の物質は硬くてもろく、且つ熱膨張率が基板１の材料で
あるＡｌ２０３と較べて小さいので、熱パルスを加えて
いるうちにクランクが入ったり剥離し易い。そのために
５ｉＯｒ製耐酸化層４のクラックから空気が侵入して抵
抗膜２・・・を酸化させ、抵抗値が増大して断線するな
どの欠点がある。
される。また耐酸化層４は絶縁物で且つ耐熱性を持つこ
とが必要であるため、金属あるいは珪素などの酸化物、
またはＳｉ３Ｎ４などの窒化物が用いられるが、これら
の物質は硬くてもろく、且つ熱膨張率が基板１の材料で
あるＡｌ２０３と較べて小さいので、熱パルスを加えて
いるうちにクランクが入ったり剥離し易い。そのために
５ｉＯｒ製耐酸化層４のクラックから空気が侵入して抵
抗膜２・・・を酸化させ、抵抗値が増大して断線するな
どの欠点がある。
本発明の目的は、従来の感熱記録ヘッドにおけるこのよ
うな問題を解消し、抵抗膜の上に保護層を設けるのでな
く、抵抗膜自体を改善することで、抵抗膜の耐酸化性を
向上させ、かつ抵抗膜の製造上の再現性と安定性を兼ね
備えた感熱記録ヘッドを実現することにある。
うな問題を解消し、抵抗膜の上に保護層を設けるのでな
く、抵抗膜自体を改善することで、抵抗膜の耐酸化性を
向上させ、かつ抵抗膜の製造上の再現性と安定性を兼ね
備えた感熱記録ヘッドを実現することにある。
この目的を達成するために講した本発明による技術的手
段は、絶縁基板−トこ発熱用の抵抗膜と電極膜を有する
感熱記録ヘッドにおいて、前記抵抗膜を、耐酸化性の劣
る下層抵抗膜と、耐酸化性に優れ且つ前記下層抵抗膜よ
りも比抵抗の高い上層抵抗膜を有する層構成としたこと
を特徴としている。
段は、絶縁基板−トこ発熱用の抵抗膜と電極膜を有する
感熱記録ヘッドにおいて、前記抵抗膜を、耐酸化性の劣
る下層抵抗膜と、耐酸化性に優れ且つ前記下層抵抗膜よ
りも比抵抗の高い上層抵抗膜を有する層構成としたこと
を特徴としている。
次に本発明による感熱記録ヘッドが実際上どのように具
体化されるかを実施例で説明する。第３図は本発明によ
る感熱記録ヘッドの実施例を示す断面図である。第１図
および第２図の場合と同様に、１はアルミナ基板、３１
．３２は電極膜、５は耐摩耗層をそれぞれ示す。この実
施例では、アルミナ基板１の」二に、厚さ５０〜１００
μｍ程度のガラス層６を設ける。そしてその」二に、
Ｔａ２ Ｎから成る下層抵抗１！ｊｉ７を形成する。こ
の下層抵抗膜７の厚さは、目的とする抵抗値によって２
００〜１０００人程度にする。この下層抵抗膜７の上に
、上層抵抗膜８として、Ｔａ−Ａｌ ２０３の層を形成
する。Ｔａと八１２０３との比率は、５０ ： ５０ｍ
ｏ１ ％のものを用い、厚さは約１０００人とした。ま
た下層抵抗ＩＩ！！ ７と上層抵抗膜８ば、同一バッチ
内で蒸着またはスパッタされ、真空が破壊されることは
ないので密着が良く、且つＴａとＴａ−Ａｌ２２０３と
の密着がもともと良好であることと相俟って、極めて強
固な密着力が得られる。また下層抵抗膜７と」二層抵抗
膜８とは共に金属と酸化物との混合物であるため、膜５
− にクラックを生じる想れはない。
体化されるかを実施例で説明する。第３図は本発明によ
る感熱記録ヘッドの実施例を示す断面図である。第１図
および第２図の場合と同様に、１はアルミナ基板、３１
．３２は電極膜、５は耐摩耗層をそれぞれ示す。この実
施例では、アルミナ基板１の」二に、厚さ５０〜１００
μｍ程度のガラス層６を設ける。そしてその」二に、
Ｔａ２ Ｎから成る下層抵抗１！ｊｉ７を形成する。こ
の下層抵抗膜７の厚さは、目的とする抵抗値によって２
００〜１０００人程度にする。この下層抵抗膜７の上に
、上層抵抗膜８として、Ｔａ−Ａｌ ２０３の層を形成
する。Ｔａと八１２０３との比率は、５０ ： ５０ｍ
ｏ１ ％のものを用い、厚さは約１０００人とした。ま
た下層抵抗ＩＩ！！ ７と上層抵抗膜８ば、同一バッチ
内で蒸着またはスパッタされ、真空が破壊されることは
ないので密着が良く、且つＴａとＴａ−Ａｌ２２０３と
の密着がもともと良好であることと相俟って、極めて強
固な密着力が得られる。また下層抵抗膜７と」二層抵抗
膜８とは共に金属と酸化物との混合物であるため、膜５
− にクラックを生じる想れはない。
またこの実施例では、電極膜３１．３２としては、Ｎｉ
Ｃｒ−八ｕ−Ｃｒの３Ｎ構造を用いた。ここでＮｉＣｒ
とＣｒは＾Ｕの接着層である。また耐摩耗Ｎ５は、Ｔａ
２０５ ５ｉ０２の混合物（８０： ２０ｍｏ１５％）
を用いた。なお下層抵抗膜７としては、ＮｉＣｒなども
有効である。また上層抵抗膜８としては、ＣｒやＴａな
どの金属とセラミックとの混合物も有効である。
Ｃｒ−八ｕ−Ｃｒの３Ｎ構造を用いた。ここでＮｉＣｒ
とＣｒは＾Ｕの接着層である。また耐摩耗Ｎ５は、Ｔａ
２０５ ５ｉ０２の混合物（８０： ２０ｍｏ１５％）
を用いた。なお下層抵抗膜７としては、ＮｉＣｒなども
有効である。また上層抵抗膜８としては、ＣｒやＴａな
どの金属とセラミックとの混合物も有効である。
抵抗膜をしこのように層構成とした場合、電流は破線で
示すように、電極膜３１−」二層抵抗膜８−下層抵抗膜
７−−上層抵抗膜８−電極膜３２の径路を流れる。下層
抵抗膜７は前記のように上層抵抗膜８より面積抵抗が充
分小さいので、電流は殆どが下層抵抗膜７を流れ、また
合成された抵抗体の面積抵抗は下層抵抗膜７の面積抵抗
で決定される。したがって上層抵抗膜８の抵抗値が変動
しても、合成された抵抗値は変動しない。また上層抵抗
ＩＩＮＢは耐酸化性に優れているため、抵抗膜全体とし
ては耐酸化性に優れたものとなる。
示すように、電極膜３１−」二層抵抗膜８−下層抵抗膜
７−−上層抵抗膜８−電極膜３２の径路を流れる。下層
抵抗膜７は前記のように上層抵抗膜８より面積抵抗が充
分小さいので、電流は殆どが下層抵抗膜７を流れ、また
合成された抵抗体の面積抵抗は下層抵抗膜７の面積抵抗
で決定される。したがって上層抵抗膜８の抵抗値が変動
しても、合成された抵抗値は変動しない。また上層抵抗
ＩＩＮＢは耐酸化性に優れているため、抵抗膜全体とし
ては耐酸化性に優れたものとなる。
そのため下層抵抗膜７のみは、耐酸化性は劣る６一
が再現性よく製造できる抵抗体を使用し、−］二層抵抵
抗膜として再現性、安定性は劣るが耐酸化性に優れた抵
抗体を使用する使用することにより、抵抗体自体を耐酸
化性に優れたものとすることができる。このように抵抗
体自体の耐酸化性を向上させることで、保護層としては
、耐酸化層は省き、耐摩耗層のみを設ければ足りる。
抗膜として再現性、安定性は劣るが耐酸化性に優れた抵
抗体を使用する使用することにより、抵抗体自体を耐酸
化性に優れたものとすることができる。このように抵抗
体自体の耐酸化性を向上させることで、保護層としては
、耐酸化層は省き、耐摩耗層のみを設ければ足りる。
下層抵抗膜７の下側からも酸素が侵入する恐れがある場
合は、下Ｎ抵抗膜７の下側にも耐酸化抵抗膜を形成する
。
合は、下Ｎ抵抗膜７の下側にも耐酸化抵抗膜を形成する
。
以上のように本発明によれば、絶縁基板上で発熱用の抵
抗膜を設けて感熱記録ヘッドを構成する際に、前記抵抗
膜を、耐酸化性の劣る下層抵抗膜と、耐酸化性に優れ且
つ前記下層抵抗膜よりも比抵抗の高い上層抵抗膜を有す
る層構成としている。
抗膜を設けて感熱記録ヘッドを構成する際に、前記抵抗
膜を、耐酸化性の劣る下層抵抗膜と、耐酸化性に優れ且
つ前記下層抵抗膜よりも比抵抗の高い上層抵抗膜を有す
る層構成としている。
そのため、下層抵抗膜を生産時の再現性と安定性に優れ
た材料で構成することで、抵抗膜自体を耐酸化性に優れ
た構成とすることができる。したがって従来のように抵
抗膜の酸化を防止するための耐酸化層にクラックが発生
して、酸化防止の借り・ｎ性が低下するといった問題が
解消される。
た材料で構成することで、抵抗膜自体を耐酸化性に優れ
た構成とすることができる。したがって従来のように抵
抗膜の酸化を防止するための耐酸化層にクラックが発生
して、酸化防止の借り・ｎ性が低下するといった問題が
解消される。
第１図は従来の感熱記録ヘッドの断面図、第２図は抵抗
膜および電極膜の斜視図、第３図は本発明による感熱記
録ヘッドの実施例を示す断面図である。 図において、１はアルミナ基板、２は抵抗膜、３１．３
２は電極膜、４は耐酸化層、５は耐摩耗層、７は下層抵
抗膜、８は」一層抵抗膜をそれぞれ示す。 特許出願人 冨士通株式会社 代理人 弁理士 青 柳 稔 讐
膜および電極膜の斜視図、第３図は本発明による感熱記
録ヘッドの実施例を示す断面図である。 図において、１はアルミナ基板、２は抵抗膜、３１．３
２は電極膜、４は耐酸化層、５は耐摩耗層、７は下層抵
抗膜、８は」一層抵抗膜をそれぞれ示す。 特許出願人 冨士通株式会社 代理人 弁理士 青 柳 稔 讐
Claims (1)
- 絶縁基板上に発熱用の抵抗膜と電極膜を有する感熱記録
ヘッドにおいて、前記抵抗膜を、耐酸化性の劣る下層抵
抗膜と、耐酸化性に優れ且つ前記下層抵抗膜よりも比抵
抗の高い上層抵抗膜を有する層構成としたことを特徴と
する感熱記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58182147A JPS6072750A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 感熱記録ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58182147A JPS6072750A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 感熱記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6072750A true JPS6072750A (ja) | 1985-04-24 |
Family
ID=16113177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58182147A Pending JPS6072750A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 感熱記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6072750A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03208673A (ja) * | 1990-01-11 | 1991-09-11 | Alps Electric Co Ltd | サーマルヘッド |
| JP2006213184A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Mazda Motor Corp | 自動車のドアサッシュ構造 |
| US8127501B2 (en) | 2007-04-17 | 2012-03-06 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Vehicle door having a garnish |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP58182147A patent/JPS6072750A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03208673A (ja) * | 1990-01-11 | 1991-09-11 | Alps Electric Co Ltd | サーマルヘッド |
| JP2006213184A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Mazda Motor Corp | 自動車のドアサッシュ構造 |
| US8127501B2 (en) | 2007-04-17 | 2012-03-06 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Vehicle door having a garnish |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0710601B2 (ja) | 感熱ヘツド | |
| JPS6072750A (ja) | 感熱記録ヘツド | |
| JPH0334469B2 (ja) | ||
| JPH02292058A (ja) | 厚膜型サーマルヘッド | |
| JP2002036614A (ja) | 薄膜型サーマルヘッド | |
| JP2828327B2 (ja) | 厚膜型サーマルヘッド | |
| JP4330681B2 (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3338273B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2825209B2 (ja) | 薄膜サーマルヘッドの製造方法 | |
| JPH04288244A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2750125B2 (ja) | サーマルヘッドの基板構造 | |
| JP2582397B2 (ja) | 薄膜型サーマルヘッド | |
| JPH0419155A (ja) | 厚膜型サーマルヘッド | |
| JPH0890812A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS5843270B2 (ja) | 印字用発熱体素子 | |
| JP2564555B2 (ja) | 厚膜型サ−マルヘッドの製造方法 | |
| JPS6381074A (ja) | 記録用リボン | |
| JPH0999574A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2895313B2 (ja) | 記録媒体の摺接部品 | |
| JPH01256101A (ja) | 薄膜型サーマルヘッド | |
| JPH08108555A (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH1034990A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2001001561A (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH05229157A (ja) | サ−マルヘッド | |
| JPS6225068A (ja) | サ−マルプリンタヘツド |