JPS6072750A - 感熱記録ヘツド - Google Patents
感熱記録ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6072750A JPS6072750A JP58182147A JP18214783A JPS6072750A JP S6072750 A JPS6072750 A JP S6072750A JP 58182147 A JP58182147 A JP 58182147A JP 18214783 A JP18214783 A JP 18214783A JP S6072750 A JPS6072750 A JP S6072750A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistive film
- resistance
- recording head
- oxidation
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
プリンタには、レーザプリンタなどのように感光ドラム
に静電潜像を形成し、それを現像して印字媒体に転写す
る静電式ないし電子写真式のものと、印字媒体をインク
リボンの上からワイヤで選択的に加圧してインパクト式
に印字するものと、感熱記録ヘッドで熱転写リボンを選
択的に過熱溶融させて転写する熱転写式あるいは感熱記
録ヘッドで感熱紙を選択的に加熱し発色させる感熱プリ
ンタとがある。本発明は、後者の熱転写リボンを選択的
に加熱して熱転写したり、感熱紙を選択的に加熱して印
字する感熱記録ヘッドに関する。
に静電潜像を形成し、それを現像して印字媒体に転写す
る静電式ないし電子写真式のものと、印字媒体をインク
リボンの上からワイヤで選択的に加圧してインパクト式
に印字するものと、感熱記録ヘッドで熱転写リボンを選
択的に過熱溶融させて転写する熱転写式あるいは感熱記
録ヘッドで感熱紙を選択的に加熱し発色させる感熱プリ
ンタとがある。本発明は、後者の熱転写リボンを選択的
に加熱して熱転写したり、感熱紙を選択的に加熱して印
字する感熱記録ヘッドに関する。
第1図は、従来の感熱記録ヘッドの断面図である。■は
アルミナを焼結して成る基板で、その」−にTaN (
窒化タンタル)から成る抵抗膜をスパッタし、抵抗1*
2を形成しである。そして該抵抗膜2の両側に、NiC
r、 Au、 Crを順次蒸着し、ホトリソグラフィ技
法によりパターニングを行なって電極II!31.32
を形成する。第2図は、このように基板1上で抵抗膜2
の両側に電極IIJ31.32を設けた状態の斜視図で
ある。この図から明らかなように、両側に電極膜31.
32を備えた抵抗膜2・・・が1列に配設されている。
アルミナを焼結して成る基板で、その」−にTaN (
窒化タンタル)から成る抵抗膜をスパッタし、抵抗1*
2を形成しである。そして該抵抗膜2の両側に、NiC
r、 Au、 Crを順次蒸着し、ホトリソグラフィ技
法によりパターニングを行なって電極II!31.32
を形成する。第2図は、このように基板1上で抵抗膜2
の両側に電極IIJ31.32を設けた状態の斜視図で
ある。この図から明らかなように、両側に電極膜31.
32を備えた抵抗膜2・・・が1列に配設されている。
そして電極膜31と32との間に通電して所望の抵抗膜
2を発熱させることで、図示されていない熱転写リボン
を選択的に加熱し、熱転写を行なう。ラインプリンタな
どの場合は、抵抗膜2・・・が記録媒体の紙送り方向と
直角方向に、且つ全印字fi域にわたって配列されてい
る。
2を発熱させることで、図示されていない熱転写リボン
を選択的に加熱し、熱転写を行なう。ラインプリンタな
どの場合は、抵抗膜2・・・が記録媒体の紙送り方向と
直角方向に、且つ全印字fi域にわたって配列されてい
る。
ところでTa2−N、 NiCrから成る抵抗膜は、ス
パッタまたは蒸着などの手法により再現性良く形成でき
るが、耐酸化性に劣る。耐酸化性の高い抵抗体として金
属の珪化物(Cr−5i )あるいは金属と絶縁体との
混合物などが知られているが、いずれも抵抗値の再現性
が悪い。そこで第1図のように再現性に優れたTa2−
N、 NiCrから成る抵抗膜2と電極膜31.32の
上に、5i02 (酸化シリコン)をスパッタして耐酸
化層4を形成し、酸化し易いTaN抵抗膜2の酸化を防
止している。更にその−1−にTa203(酸化タンタ
ル)をスパッタして耐摩耗層6を形成し、熱転写リボン
との摺動による摩耗を防止している。
パッタまたは蒸着などの手法により再現性良く形成でき
るが、耐酸化性に劣る。耐酸化性の高い抵抗体として金
属の珪化物(Cr−5i )あるいは金属と絶縁体との
混合物などが知られているが、いずれも抵抗値の再現性
が悪い。そこで第1図のように再現性に優れたTa2−
N、 NiCrから成る抵抗膜2と電極膜31.32の
上に、5i02 (酸化シリコン)をスパッタして耐酸
化層4を形成し、酸化し易いTaN抵抗膜2の酸化を防
止している。更にその−1−にTa203(酸化タンタ
ル)をスパッタして耐摩耗層6を形成し、熱転写リボン
との摺動による摩耗を防止している。
耐酸化層4は、RFスパッタなどのの手段によって形成
される。また耐酸化層4は絶縁物で且つ耐熱性を持つこ
とが必要であるため、金属あるいは珪素などの酸化物、
またはSi3N4などの窒化物が用いられるが、これら
の物質は硬くてもろく、且つ熱膨張率が基板1の材料で
あるAl203と較べて小さいので、熱パルスを加えて
いるうちにクランクが入ったり剥離し易い。そのために
5iOr製耐酸化層4のクラックから空気が侵入して抵
抗膜2・・・を酸化させ、抵抗値が増大して断線するな
どの欠点がある。
される。また耐酸化層4は絶縁物で且つ耐熱性を持つこ
とが必要であるため、金属あるいは珪素などの酸化物、
またはSi3N4などの窒化物が用いられるが、これら
の物質は硬くてもろく、且つ熱膨張率が基板1の材料で
あるAl203と較べて小さいので、熱パルスを加えて
いるうちにクランクが入ったり剥離し易い。そのために
5iOr製耐酸化層4のクラックから空気が侵入して抵
抗膜2・・・を酸化させ、抵抗値が増大して断線するな
どの欠点がある。
本発明の目的は、従来の感熱記録ヘッドにおけるこのよ
うな問題を解消し、抵抗膜の上に保護層を設けるのでな
く、抵抗膜自体を改善することで、抵抗膜の耐酸化性を
向上させ、かつ抵抗膜の製造上の再現性と安定性を兼ね
備えた感熱記録ヘッドを実現することにある。
うな問題を解消し、抵抗膜の上に保護層を設けるのでな
く、抵抗膜自体を改善することで、抵抗膜の耐酸化性を
向上させ、かつ抵抗膜の製造上の再現性と安定性を兼ね
備えた感熱記録ヘッドを実現することにある。
この目的を達成するために講した本発明による技術的手
段は、絶縁基板−トこ発熱用の抵抗膜と電極膜を有する
感熱記録ヘッドにおいて、前記抵抗膜を、耐酸化性の劣
る下層抵抗膜と、耐酸化性に優れ且つ前記下層抵抗膜よ
りも比抵抗の高い上層抵抗膜を有する層構成としたこと
を特徴としている。
段は、絶縁基板−トこ発熱用の抵抗膜と電極膜を有する
感熱記録ヘッドにおいて、前記抵抗膜を、耐酸化性の劣
る下層抵抗膜と、耐酸化性に優れ且つ前記下層抵抗膜よ
りも比抵抗の高い上層抵抗膜を有する層構成としたこと
を特徴としている。
次に本発明による感熱記録ヘッドが実際上どのように具
体化されるかを実施例で説明する。第3図は本発明によ
る感熱記録ヘッドの実施例を示す断面図である。第1図
および第2図の場合と同様に、1はアルミナ基板、31
.32は電極膜、5は耐摩耗層をそれぞれ示す。この実
施例では、アルミナ基板1の」二に、厚さ50〜100
μm程度のガラス層6を設ける。そしてその」二に、
Ta2 Nから成る下層抵抗1!ji7を形成する。こ
の下層抵抗膜7の厚さは、目的とする抵抗値によって2
00〜1000人程度にする。この下層抵抗膜7の上に
、上層抵抗膜8として、Ta−Al 203の層を形成
する。Taと八1203との比率は、50 : 50m
o1 %のものを用い、厚さは約1000人とした。ま
た下層抵抗II!! 7と上層抵抗膜8ば、同一バッチ
内で蒸着またはスパッタされ、真空が破壊されることは
ないので密着が良く、且つTaとTa−Al2203と
の密着がもともと良好であることと相俟って、極めて強
固な密着力が得られる。また下層抵抗膜7と」二層抵抗
膜8とは共に金属と酸化物との混合物であるため、膜5
− にクラックを生じる想れはない。
体化されるかを実施例で説明する。第3図は本発明によ
る感熱記録ヘッドの実施例を示す断面図である。第1図
および第2図の場合と同様に、1はアルミナ基板、31
.32は電極膜、5は耐摩耗層をそれぞれ示す。この実
施例では、アルミナ基板1の」二に、厚さ50〜100
μm程度のガラス層6を設ける。そしてその」二に、
Ta2 Nから成る下層抵抗1!ji7を形成する。こ
の下層抵抗膜7の厚さは、目的とする抵抗値によって2
00〜1000人程度にする。この下層抵抗膜7の上に
、上層抵抗膜8として、Ta−Al 203の層を形成
する。Taと八1203との比率は、50 : 50m
o1 %のものを用い、厚さは約1000人とした。ま
た下層抵抗II!! 7と上層抵抗膜8ば、同一バッチ
内で蒸着またはスパッタされ、真空が破壊されることは
ないので密着が良く、且つTaとTa−Al2203と
の密着がもともと良好であることと相俟って、極めて強
固な密着力が得られる。また下層抵抗膜7と」二層抵抗
膜8とは共に金属と酸化物との混合物であるため、膜5
− にクラックを生じる想れはない。
またこの実施例では、電極膜31.32としては、Ni
Cr−八u−Crの3N構造を用いた。ここでNiCr
とCrは^Uの接着層である。また耐摩耗N5は、Ta
205 5i02の混合物(80: 20mo15%)
を用いた。なお下層抵抗膜7としては、NiCrなども
有効である。また上層抵抗膜8としては、CrやTaな
どの金属とセラミックとの混合物も有効である。
Cr−八u−Crの3N構造を用いた。ここでNiCr
とCrは^Uの接着層である。また耐摩耗N5は、Ta
205 5i02の混合物(80: 20mo15%)
を用いた。なお下層抵抗膜7としては、NiCrなども
有効である。また上層抵抗膜8としては、CrやTaな
どの金属とセラミックとの混合物も有効である。
抵抗膜をしこのように層構成とした場合、電流は破線で
示すように、電極膜31−」二層抵抗膜8−下層抵抗膜
7−−上層抵抗膜8−電極膜32の径路を流れる。下層
抵抗膜7は前記のように上層抵抗膜8より面積抵抗が充
分小さいので、電流は殆どが下層抵抗膜7を流れ、また
合成された抵抗体の面積抵抗は下層抵抗膜7の面積抵抗
で決定される。したがって上層抵抗膜8の抵抗値が変動
しても、合成された抵抗値は変動しない。また上層抵抗
IINBは耐酸化性に優れているため、抵抗膜全体とし
ては耐酸化性に優れたものとなる。
示すように、電極膜31−」二層抵抗膜8−下層抵抗膜
7−−上層抵抗膜8−電極膜32の径路を流れる。下層
抵抗膜7は前記のように上層抵抗膜8より面積抵抗が充
分小さいので、電流は殆どが下層抵抗膜7を流れ、また
合成された抵抗体の面積抵抗は下層抵抗膜7の面積抵抗
で決定される。したがって上層抵抗膜8の抵抗値が変動
しても、合成された抵抗値は変動しない。また上層抵抗
IINBは耐酸化性に優れているため、抵抗膜全体とし
ては耐酸化性に優れたものとなる。
そのため下層抵抗膜7のみは、耐酸化性は劣る6一
が再現性よく製造できる抵抗体を使用し、−]二層抵抵
抗膜として再現性、安定性は劣るが耐酸化性に優れた抵
抗体を使用する使用することにより、抵抗体自体を耐酸
化性に優れたものとすることができる。このように抵抗
体自体の耐酸化性を向上させることで、保護層としては
、耐酸化層は省き、耐摩耗層のみを設ければ足りる。
抗膜として再現性、安定性は劣るが耐酸化性に優れた抵
抗体を使用する使用することにより、抵抗体自体を耐酸
化性に優れたものとすることができる。このように抵抗
体自体の耐酸化性を向上させることで、保護層としては
、耐酸化層は省き、耐摩耗層のみを設ければ足りる。
下層抵抗膜7の下側からも酸素が侵入する恐れがある場
合は、下N抵抗膜7の下側にも耐酸化抵抗膜を形成する
。
合は、下N抵抗膜7の下側にも耐酸化抵抗膜を形成する
。
以上のように本発明によれば、絶縁基板上で発熱用の抵
抗膜を設けて感熱記録ヘッドを構成する際に、前記抵抗
膜を、耐酸化性の劣る下層抵抗膜と、耐酸化性に優れ且
つ前記下層抵抗膜よりも比抵抗の高い上層抵抗膜を有す
る層構成としている。
抗膜を設けて感熱記録ヘッドを構成する際に、前記抵抗
膜を、耐酸化性の劣る下層抵抗膜と、耐酸化性に優れ且
つ前記下層抵抗膜よりも比抵抗の高い上層抵抗膜を有す
る層構成としている。
そのため、下層抵抗膜を生産時の再現性と安定性に優れ
た材料で構成することで、抵抗膜自体を耐酸化性に優れ
た構成とすることができる。したがって従来のように抵
抗膜の酸化を防止するための耐酸化層にクラックが発生
して、酸化防止の借り・n性が低下するといった問題が
解消される。
た材料で構成することで、抵抗膜自体を耐酸化性に優れ
た構成とすることができる。したがって従来のように抵
抗膜の酸化を防止するための耐酸化層にクラックが発生
して、酸化防止の借り・n性が低下するといった問題が
解消される。
第1図は従来の感熱記録ヘッドの断面図、第2図は抵抗
膜および電極膜の斜視図、第3図は本発明による感熱記
録ヘッドの実施例を示す断面図である。 図において、1はアルミナ基板、2は抵抗膜、31.3
2は電極膜、4は耐酸化層、5は耐摩耗層、7は下層抵
抗膜、8は」一層抵抗膜をそれぞれ示す。 特許出願人 冨士通株式会社 代理人 弁理士 青 柳 稔 讐
膜および電極膜の斜視図、第3図は本発明による感熱記
録ヘッドの実施例を示す断面図である。 図において、1はアルミナ基板、2は抵抗膜、31.3
2は電極膜、4は耐酸化層、5は耐摩耗層、7は下層抵
抗膜、8は」一層抵抗膜をそれぞれ示す。 特許出願人 冨士通株式会社 代理人 弁理士 青 柳 稔 讐
Claims (1)
- 絶縁基板上に発熱用の抵抗膜と電極膜を有する感熱記録
ヘッドにおいて、前記抵抗膜を、耐酸化性の劣る下層抵
抗膜と、耐酸化性に優れ且つ前記下層抵抗膜よりも比抵
抗の高い上層抵抗膜を有する層構成としたことを特徴と
する感熱記録ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58182147A JPS6072750A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 感熱記録ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58182147A JPS6072750A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 感熱記録ヘツド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6072750A true JPS6072750A (ja) | 1985-04-24 |
Family
ID=16113177
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58182147A Pending JPS6072750A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 感熱記録ヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6072750A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03208673A (ja) * | 1990-01-11 | 1991-09-11 | Alps Electric Co Ltd | サーマルヘッド |
JP2006213184A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Mazda Motor Corp | 自動車のドアサッシュ構造 |
US8127501B2 (en) | 2007-04-17 | 2012-03-06 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Vehicle door having a garnish |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP58182147A patent/JPS6072750A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03208673A (ja) * | 1990-01-11 | 1991-09-11 | Alps Electric Co Ltd | サーマルヘッド |
JP2006213184A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Mazda Motor Corp | 自動車のドアサッシュ構造 |
US8127501B2 (en) | 2007-04-17 | 2012-03-06 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Vehicle door having a garnish |
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