JPS6071138U - レジストコ−テイング装置 - Google Patents

レジストコ−テイング装置

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Publication number
JPS6071138U
JPS6071138U JP16198883U JP16198883U JPS6071138U JP S6071138 U JPS6071138 U JP S6071138U JP 16198883 U JP16198883 U JP 16198883U JP 16198883 U JP16198883 U JP 16198883U JP S6071138 U JPS6071138 U JP S6071138U
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JP
Japan
Prior art keywords
resist coating
coating equipment
tube
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recorded
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Pending
Application number
JP16198883U
Other languages
English (en)
Inventor
明 渡辺
Original Assignee
沖電気工業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 沖電気工業株式会社 filed Critical 沖電気工業株式会社
Priority to JP16198883U priority Critical patent/JPS6071138U/ja
Publication of JPS6071138U publication Critical patent/JPS6071138U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のレジストコーティング装置を示す断面図
、第２図はこの考案のレジストコーティング装置の第１
の実施例を示す断面図、第３図は第１の実施例のチュー
ブの縦断面図および横断面図、第４図はこの考案の第２
の実施例を示す縦断　　　。 面図および横断面図である。 １１・・・・・・レジストコーティング用チューブ、１
２・・・・・・細線。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レジストコーティング用チューブ内に、そのチューブ先
    端から導出して細線を有することを特徴とするレジスト
    コーティング装置。
JP16198883U 1983-10-20 1983-10-20 レジストコ−テイング装置 Pending JPS6071138U (ja)

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JP16198883U JPS6071138U (ja) 1983-10-20 1983-10-20 レジストコ−テイング装置

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JP16198883U JPS6071138U (ja) 1983-10-20 1983-10-20 レジストコ−テイング装置

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JPS6071138U true JPS6071138U (ja) 1985-05-20

Family

ID=30355843

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JP16198883U Pending JPS6071138U (ja) 1983-10-20 1983-10-20 レジストコ−テイング装置

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