JPS6071039A - 有害ガスの処理方法 - Google Patents
有害ガスの処理方法Info
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- JPS6071039A JPS6071039A JP58178412A JP17841283A JPS6071039A JP S6071039 A JPS6071039 A JP S6071039A JP 58178412 A JP58178412 A JP 58178412A JP 17841283 A JP17841283 A JP 17841283A JP S6071039 A JPS6071039 A JP S6071039A
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- Japan
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- activated carbon
- adsorbent
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- Treating Waste Gases (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＡｓ、 Ｂ、 Ｐ、 ＳｂまたはＳｅの水素化
物を除去するための吸着剤および該水素化物を含有する
気体を処理する方法に関する。
物を除去するための吸着剤および該水素化物を含有する
気体を処理する方法に関する。
Ａｓ１ａ ｅ Ｂ２Ｈ６ｒ ＰＨ３，ＳｂＨ３＋ Ｈ＋
Ｓｅなどの水素化物は、半導体製造用材料ガス、くん蒸
ガスなどに多量に使用されているが微量でも人体に極め
て有害であり、ガス中のこれら水素化物を効率よく除去
し得る吸着剤の出現が強く望まれている。
Ｓｅなどの水素化物は、半導体製造用材料ガス、くん蒸
ガスなどに多量に使用されているが微量でも人体に極め
て有害であり、ガス中のこれら水素化物を効率よく除去
し得る吸着剤の出現が強く望まれている。
ガス中のＡｓ、 Ｂ、 Ｐ、 Ｓｂ、 Ｓｅの水素化物
等哄を２− 除去する方法として、酸化性溶液などによる薬液洗浄法
あるいは活性炭などを用いる吸着法などが提案されてい
るが、除去効果が悪く、効率のよい吸着剤が望まれてい
た。
等哄を２− 除去する方法として、酸化性溶液などによる薬液洗浄法
あるいは活性炭などを用いる吸着法などが提案されてい
るが、除去効果が悪く、効率のよい吸着剤が望まれてい
た。
本発明者らは、このような実情に鑑み、鋭意検討した結
果、活性炭に銅の酸化物とアルカリ金属化合物、アルカ
リ土類金属化合物、 Ａ＃、 Ｔｉ 、 Ｖ。
果、活性炭に銅の酸化物とアルカリ金属化合物、アルカ
リ土類金属化合物、 Ａ＃、 Ｔｉ 、 Ｖ。
Ｃｒ、 Ｍｎ、 Ｆｅ、 Ｃｏ、 Ｎｉ 、 Ｚｎ、
Ｃｄ、 Ｐｂの金属化合物を含有せしめることによって
、流体中のアルシン゛を非常に効率よく除去できること
を見出し、本発明を完成した。
Ｃｄ、 Ｐｂの金属化合物を含有せしめることによって
、流体中のアルシン゛を非常に効率よく除去できること
を見出し、本発明を完成した。
すなわち本発明は。
ｉ、（ｉ）銅の酸化物と
（２）（ａ）アルカリ金属化合物の一種以上。
（ｂ）アルカリ土類金属化合物の一種以上および
（ｃ）Ａｅ、 Ｔｉ 、 Ｖ、 Ｃｒ、 Ｍｎ、 Ｆｅ
、 Ｃｏ、 Ｎｆ 。
、 Ｃｏ、 Ｎｆ 。
Ｚｎ、ＣｄおよびＰｂの化合物の一種以上からなる群か
ら選ばれた（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｄの一種以上 とを活性炭に含有せしめてなるＡｓ、 Ｂ、 Ｐ。
ら選ばれた（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｄの一種以上 とを活性炭に含有せしめてなるＡｓ、 Ｂ、 Ｐ。
ｓｂまたはＳｅ の水素化物を除去するための吸着剤
２、Ａｓ、 Ｂ、 Ｐ、 ＳｂまたはＳｅの水素化物の
一種以上を含有する気体を。
一種以上を含有する気体を。
（１）銅の酸化物（以下第一成分ということもある）
（２）（ａ）アルカリ金属化合物の一種以上。
（ｂ）アルカリ土類金属化合物の一種以上および
（ｃ）Ａｅ、 Ｔｉ 、 Ｖ、 Ｃｒ、 Ｍｎ、 Ｆｅ
、 Ｃｏ、 Ｎｉ 。
、 Ｃｏ、 Ｎｉ 。
Ｚｎ、Ｃｄおよびｐｂの化合物の一種以上からなる群か
ら選ばれた（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）の一種以上
ｃ以下第二成分ということもある）とを活性炭に含有せ
しめてなる吸着剤に接触させることを特徴とする該気体
からＡｓ、Ｂ。
ら選ばれた（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）の一種以上
ｃ以下第二成分ということもある）とを活性炭に含有せ
しめてなる吸着剤に接触させることを特徴とする該気体
からＡｓ、Ｂ。
Ｐ、ＳｂまたはＳｅの水素化物の一種以上を除去する方
法 である。
法 である。
本発明の吸着剤は活性炭に前記第一成分および第二成分
を含有せしめることによって製造することができる。
を含有せしめることによって製造することができる。
この場合に用いられる活性炭は、石炭、コークス、木炭
、ヤシガラ、樹脂などを原料として公知の方法により製
造されたもので、その比表面積が２００〜２０００ｍ”
／ｇのものであれば、いかなるものでもよく、その形状
はたとえば球状１円柱状。
、ヤシガラ、樹脂などを原料として公知の方法により製
造されたもので、その比表面積が２００〜２０００ｍ”
／ｇのものであれば、いかなるものでもよく、その形状
はたとえば球状１円柱状。
破砕状、粉末状、繊細状などガスの処理方法に応じて適
当なものが使用される。
当なものが使用される。
本発明において第一成分として用いられる銅酸化物とし
ては、酸化第一銅、酸化第二銅のいずれでもよい。
ては、酸化第一銅、酸化第二銅のいずれでもよい。
第二成分の一つであるアルカリ金属化合物としては、Ｌ
ｉ 、 Ｎａ、 Ｋ、 Ｒｂ、 Ｃｓ のたとえば炭酸
水素塩、炭酸塩、硝酸塩、ホウ酸塩、ケイ酸塩、硫酸塩
、ハロゲン化物、水酸化物などの無機化合物。
ｉ 、 Ｎａ、 Ｋ、 Ｒｂ、 Ｃｓ のたとえば炭酸
水素塩、炭酸塩、硝酸塩、ホウ酸塩、ケイ酸塩、硫酸塩
、ハロゲン化物、水酸化物などの無機化合物。
ギ酸塩、酢酸塩、シュウ酸塩、安息香酸塩、フェノール
類の塩、スルホン酸類の塩などの有機酸塩などがあげら
れる。
類の塩、スルホン酸類の塩などの有機酸塩などがあげら
れる。
またもう一つの第二成分であるアルカリ土類金属化合物
としては、Ｂｅ９Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ およびＢａのたと
えば炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、リン酸塩、ハロゲン化物
、酸化物、水酸化物などの無機酸塩または無機化合物、
ギ酸塩、酢酸塩、シュウ酸塩などの有機酸塩などがあげ
られる。
としては、Ｂｅ９Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ およびＢａのたと
えば炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、リン酸塩、ハロゲン化物
、酸化物、水酸化物などの無機酸塩または無機化合物、
ギ酸塩、酢酸塩、シュウ酸塩などの有機酸塩などがあげ
られる。
他の第二成分であるＡｅ、 ＴＩ、 Ｖ、 Ｃｒ、 Ｍ
ｎ、 Ｆｅ。
ｎ、 Ｆｅ。
Ｃｏ、 Ｎｉ 、 Ｚｎ、 Ｃｄ、Ｐｂの化合物として
はこれらの金属の炭酸塩、炭酸水素塩、硝酸塩、ホウ酸
塩。
はこれらの金属の炭酸塩、炭酸水素塩、硝酸塩、ホウ酸
塩。
ケイ酸塩、硫酸塩、リン酸塩、ハロゲン化物、水酸化物
、アンモニウム塩、酸化物などの無機酸塩または無機化
合物、ギ酸塩、酢酸塩、シュウ酸塩。
、アンモニウム塩、酸化物などの無機酸塩または無機化
合物、ギ酸塩、酢酸塩、シュウ酸塩。
安息香酸塩、フェノール類の塩、スルホン酸類の塩など
の有機酸塩などがあげられる。
の有機酸塩などがあげられる。
本発明の吸着剤は活性炭に第一成分および第二成分の双
方を含有せしめたものであるが、この場合、第二成分と
して、アルカリ金属化合物〔以下成分（ａ）ということ
もある〕単独、アルカリ土類金属化合物〔以下成分（ｂ
）ということもある〕単独またはＡｅ、 Ｃｒ、 Ｔｉ
、 Ｖ、 Ｍｎ’、 Ｆｅ、 Ｃｏ、 Ｎｉ 、 Ｚ
ｎ。
方を含有せしめたものであるが、この場合、第二成分と
して、アルカリ金属化合物〔以下成分（ａ）ということ
もある〕単独、アルカリ土類金属化合物〔以下成分（ｂ
）ということもある〕単独またはＡｅ、 Ｃｒ、 Ｔｉ
、 Ｖ、 Ｍｎ’、 Ｆｅ、 Ｃｏ、 Ｎｉ 、 Ｚ
ｎ。
Ｃｄ、Ｐｂの化合物し以下成分（ｃ）ということもある
〕単独を含有せしめたもので、あってもよいが、これら
のうち成分（ａ）と成分（ｂ）、成分（ｂ）と成分（Ｃ
）、または成分（ｃ）と成分（ａ）のように二種の成分
を含有せしめたものでもよく、成分（ａ）、成分（ｂ）
および成分（ｃ）の三種類の成分を同時に含有せしめた
ものでもよい。また第一成分として二種以上の化合物を
含有せしめたものでもよく、第二成分として、たとえば
成分（ａ）内の二種の異なった成分を含有せしめるとい
うように同種の成分内の二種以上の異なった成分を含有
せしめたものでもよい。
〕単独を含有せしめたもので、あってもよいが、これら
のうち成分（ａ）と成分（ｂ）、成分（ｂ）と成分（Ｃ
）、または成分（ｃ）と成分（ａ）のように二種の成分
を含有せしめたものでもよく、成分（ａ）、成分（ｂ）
および成分（ｃ）の三種類の成分を同時に含有せしめた
ものでもよい。また第一成分として二種以上の化合物を
含有せしめたものでもよく、第二成分として、たとえば
成分（ａ）内の二種の異なった成分を含有せしめるとい
うように同種の成分内の二種以上の異なった成分を含有
せしめたものでもよい。
金属化合物含有活性炭中の第一成分の合歓は活性炭１ｇ
当り金属として０．１岬−原子〜８．０呼−原子、好ま
しくは０．２岬−原子〜２．０ダー原子であり、第二成
分の含量は活性炭１ｇ当り金属として０．１ダー原子〜
５．１９一原子、好ましくは０２岬−原子〜４．０岬−
原子である。
当り金属として０．１岬−原子〜８．０呼−原子、好ま
しくは０．２岬−原子〜２．０ダー原子であり、第二成
分の含量は活性炭１ｇ当り金属として０．１ダー原子〜
５．１９一原子、好ましくは０２岬−原子〜４．０岬−
原子である。
本発明の吸着剤は活性炭に各成分を担持もしくは添着せ
しめたものでもよく、また活性炭原料に各成分を添加し
たのち、これを賦活して得られるものでもよい。また第
一成分、第二成分の一部を活性炭原料に添加してこれを
賦活し、これに残りの成分を添着せしめたものでもよい
。第二成分として活性炭に添着する成分（ｂ） 、 （
ｃ）が酸化物以外のものであるとき、また成分（ａ）が
水酸化物、炭酸塩。
しめたものでもよく、また活性炭原料に各成分を添加し
たのち、これを賦活して得られるものでもよい。また第
一成分、第二成分の一部を活性炭原料に添加してこれを
賦活し、これに残りの成分を添着せしめたものでもよい
。第二成分として活性炭に添着する成分（ｂ） 、 （
ｃ）が酸化物以外のものであるとき、また成分（ａ）が
水酸化物、炭酸塩。
重炭酸塩以外のものであるときは添着後乾燥または焼成
するのがよい。
するのがよい。
活性炭に各成分を添着する方法としては、各成分を水（
酸またはアルカリ水溶液を含む）、各種の溶媒などに溶
解または懸濁させた液を活性炭に含浸または散布する方
法が考えられる。また、前記の調製法において、乾燥は
、約１８０℃以下の温度で、添着活性炭中の水または溶
媒を蒸発させる工程をいい、また焼成は、約１３０℃以
上の温度で乾燥した添着活性炭を不活性ガス、炭酸ガス
。
酸またはアルカリ水溶液を含む）、各種の溶媒などに溶
解または懸濁させた液を活性炭に含浸または散布する方
法が考えられる。また、前記の調製法において、乾燥は
、約１８０℃以下の温度で、添着活性炭中の水または溶
媒を蒸発させる工程をいい、また焼成は、約１３０℃以
上の温度で乾燥した添着活性炭を不活性ガス、炭酸ガス
。
水蒸気、燃焼排ガスなどの雰囲気で加熱し、金属化合物
の一部または全部を熱分解させる工程をいう。
の一部または全部を熱分解させる工程をいう。
また第一成分に代えて銅の炭酸塩、塩基性炭酸塩、硝酸
塩、硫酸塩、リン酸塩、ハロゲン化物。
塩、硫酸塩、リン酸塩、ハロゲン化物。
水酸化物などの無機酸塩または無機化合物、ギ酸塩、酢
酸塩、シュウ酸塩ｔどの有機酸塩を活性炭に添着せしめ
たのち、これを１８０℃以との温度で焼成し、これらの
塩の一部または全部を酸化銅に変換することにより、酸
化銅を担持した活性炭を得ることができる。この焼成の
前または後または同時に第二成分を添着せしめることに
より、第一成分および第二成分を含有する本発明の吸着
剤を製造することができる。
酸塩、シュウ酸塩ｔどの有機酸塩を活性炭に添着せしめ
たのち、これを１８０℃以との温度で焼成し、これらの
塩の一部または全部を酸化銅に変換することにより、酸
化銅を担持した活性炭を得ることができる。この焼成の
前または後または同時に第二成分を添着せしめることに
より、第一成分および第二成分を含有する本発明の吸着
剤を製造することができる。
本発明の方法は、前記で得られた金属化合物含有活性炭
にＡｓ、 Ｂ、 Ｐ、 Ｓｂ、 Ｓｅの水素化物を含む
ガスを接触させることにより行なわれる。本発明におけ
る除去対象物は、Ｂ、 Ｐ、 Ｓｂ、 Ｓｅの水素化物
でＡｓＨ３，ＢｇＨｓ、ＰＨ３，５ｂＨａ、Ｈ２Ｓｅな
どの水素化物である。
にＡｓ、 Ｂ、 Ｐ、 Ｓｂ、 Ｓｅの水素化物を含む
ガスを接触させることにより行なわれる。本発明におけ
る除去対象物は、Ｂ、 Ｐ、 Ｓｂ、 Ｓｅの水素化物
でＡｓＨ３，ＢｇＨｓ、ＰＨ３，５ｂＨａ、Ｈ２Ｓｅな
どの水素化物である。
接触方法としては、たとえば固定層、移動層。
流動層などの公知の手段が用いられる。この場合の接触
温度は、２００℃以下、好ましくは０〜１５０℃であり
、圧力は５０’ｋｇ／ ｃｍ”以下、好ましくは０．１
〜４０ｋｇ／ｃｍ”である。また接触時間は２５℃、１
ｋｇ／ｃｍ”換算で１／１０〜１００秒、好ましくは１
１５〜８０ 秒である。
温度は、２００℃以下、好ましくは０〜１５０℃であり
、圧力は５０’ｋｇ／ ｃｍ”以下、好ましくは０．１
〜４０ｋｇ／ｃｍ”である。また接触時間は２５℃、１
ｋｇ／ｃｍ”換算で１／１０〜１００秒、好ましくは１
１５〜８０ 秒である。
以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
実施例Ｉ
ＢＥＴ比表面積１．１５０ｍ”／Ｈの１６〜２４ｍｅｓ
ｈの活性炭Ａ、Ｏに所定量の第一成分（硝酸銅）と第二
成分（アルカリ金属の硝酸塩、アルカリ土類金属の硝酸
塩、およびＡｅ、 Ｔｉ 、 Ｖ、 Ｃｒ、 Ｍｎ、
Ｆｅ。
ｈの活性炭Ａ、Ｏに所定量の第一成分（硝酸銅）と第二
成分（アルカリ金属の硝酸塩、アルカリ土類金属の硝酸
塩、およびＡｅ、 Ｔｉ 、 Ｖ、 Ｃｒ、 Ｍｎ、
Ｆｅ。
Ｃｏ、 Ｎｉ 、 Ｚｎ、 Ｃｄ、 Ｐｂの硝酸塩〔Ｖ
のみは硫酸塩）ンとを溶解した水溶液を均一に散布した
。
のみは硫酸塩）ンとを溶解した水溶液を均一に散布した
。
得られた添着物５０ｍ１を４Ｃｍ−の石英ガラス製カラ
ムに充填し、窒素ガスを線流速１０ｃｍ／ｓｅｅで流通
しながら昇温速度５℃／ ｍ ｉ ｎで加熱し。
ムに充填し、窒素ガスを線流速１０ｃｍ／ｓｅｅで流通
しながら昇温速度５℃／ ｍ ｉ ｎで加熱し。
８００℃で８０分間焼成した。
得られた吸着剤中の各金属化合物の含量は、第１表に示
すように活性炭１ｇ当り、それぞれの金属として、０．
２〜２，０岬−原子であった。
すように活性炭１ｇ当り、それぞれの金属として、０．
２〜２，０岬−原子であった。
なお、対照として前述と同様の方法で、活性炭Ａｏに各
金属の硝酸塩を単独で添着し、さらに窒素ガス中、３０
０℃で８０分間焼成した吸着剤を調製した。
金属の硝酸塩を単独で添着し、さらに窒素ガス中、３０
０℃で８０分間焼成した吸着剤を調製した。
このようにして得られた吸着剤の各１５、ｌを１゜６ｃ
ｍ−のガラス製カラムに充填し、Ｐｌ（３−１２ｐｐｍ
含有の８０℃のガス（Ｎ２−９７．５ Ｖｏ ｅ％。
ｍ−のガラス製カラムに充填し、Ｐｌ（３−１２ｐｐｍ
含有の８０℃のガス（Ｎ２−９７．５ Ｖｏ ｅ％。
Ｈ２Ｏ−２，５ｖｏｅ％）を線流速４０ｃｍ／ｓｅｃで
流通し、Ｐ）１３ の破過吸着テストを行ない、各時間
におけるＰＨａの除去率を実測し、その結果を第１表に
、示した。
流通し、Ｐ）１３ の破過吸着テストを行ない、各時間
におけるＰＨａの除去率を実測し、その結果を第１表に
、示した。
実施例２
実施例１の吸着剤ん＋ ＡＩ ＋ Ａ３ ＋ Ａｉｌ
＋ Ｂ２１ Ｂａ １ ｃ４＋ Ｃ６１ｃ、 ｊ Ｄ２
ｅ Ｄ３ ｇ Ｄ８ ｙ ＤＩＯｒ ＤＩ ２ ＋
ＤＩａ ＋ ＤＩ ４およびＤＩ５の各２０ ｍｌを１
．６ｃｍφのガラス製カラムに充填しｓ Ｂ２Ｈ６１０
ｐｐｍ、Ｉ（２ｓｅ−１０ｐｐｍまたはＳｂＨａ−１０
ｐｐｍ含有の８０℃のガス（Ｎ２−Ｂ７．５ｖｏ６％ｊ
Ｈ２Ｏ−２，５ｖｏｅ％）を線流速８０ｃｍ／ｓｅｃ
で流通し、 Ｂ２Ｈ６、Ｂ２ Ｓ ｅ またはＳｂＨ
３の破過吸着テストをそれぞれ単独で行ない１Ｂ２ＨＩ
！、）Ｉ２ＳｅまたはＳ ｂ Ｈａがカラムからリーク
するまでの時間（それぞれの除去率が９５％に達する時
間）をめ、結果を第２表にまとめた。
＋ Ｂ２１ Ｂａ １ ｃ４＋ Ｃ６１ｃ、 ｊ Ｄ２
ｅ Ｄ３ ｇ Ｄ８ ｙ ＤＩＯｒ ＤＩ ２ ＋
ＤＩａ ＋ ＤＩ ４およびＤＩ５の各２０ ｍｌを１
．６ｃｍφのガラス製カラムに充填しｓ Ｂ２Ｈ６１０
ｐｐｍ、Ｉ（２ｓｅ−１０ｐｐｍまたはＳｂＨａ−１０
ｐｐｍ含有の８０℃のガス（Ｎ２−Ｂ７．５ｖｏ６％ｊ
Ｈ２Ｏ−２，５ｖｏｅ％）を線流速８０ｃｍ／ｓｅｃ
で流通し、 Ｂ２Ｈ６、Ｂ２ Ｓ ｅ またはＳｂＨ
３の破過吸着テストをそれぞれ単独で行ない１Ｂ２ＨＩ
！、）Ｉ２ＳｅまたはＳ ｂ Ｈａがカラムからリーク
するまでの時間（それぞれの除去率が９５％に達する時
間）をめ、結果を第２表にまとめた。
第１表（その１）
第１表（その２）
第１表〔その８）
第２表
実施例８
ＢＥＴ比表面積１０４０ｍ”／Ｈの１６〜２４ｍｅｓｈ
の活性炭Ａに所定量の第一成分（硝酸銅）と第二成分（
アルカリ金属の硝酸塩、アルカリ土類金属の硝酸塩、お
よびＡｅ、 Ｔｉ、 Ｖ、 Ｃｒ、 Ｍｎ、 Ｆｅ、
Ｃｏ。
の活性炭Ａに所定量の第一成分（硝酸銅）と第二成分（
アルカリ金属の硝酸塩、アルカリ土類金属の硝酸塩、お
よびＡｅ、 Ｔｉ、 Ｖ、 Ｃｒ、 Ｍｎ、 Ｆｅ、
Ｃｏ。
Ｎｉ 、 Ｚｎ、 Ｃｄ、 Ｐｂの硝酸塩（Ｖのみは硫
酸塩））とを溶解した水溶液を均一に散布した。
酸塩））とを溶解した水溶液を均一に散布した。
得られた添着物５０ ｍｌを４ｃｍφの石英ガラス製カ
ラムに充填し、窒素ガスを線流速１０ｃｍ／ｓｅｃで流
通しなから昇温速度５℃／ｍｉ ｎで加熱し。
ラムに充填し、窒素ガスを線流速１０ｃｍ／ｓｅｃで流
通しなから昇温速度５℃／ｍｉ ｎで加熱し。
８００℃で８０分間焼成した。
得られた吸着剤中の各金属化合物の含量は、第１表に示
すように、活性炭１ｇ当りそれぞれ金属として０．２〜
２．０ｑ−原子であった。
すように、活性炭１ｇ当りそれぞれ金属として０．２〜
２．０ｑ−原子であった。
なお、対照として、前述と同様の方法で活性炭Ａに各金
属の硝酸塩を単独で添着し、さらに窒素ガス中、３００
℃で８０分間焼成した吸着剤を調製した。
属の硝酸塩を単独で添着し、さらに窒素ガス中、３００
℃で８０分間焼成した吸着剤を調製した。
このようにして得られた吸着剤Ａ−Ｌおよび■〜０の各
２０ｍ１を１．６ｃｍφのガラス製カラムに充填し、Ａ
８Ｈ３−８０ｐｐｍ含有の８０℃のガス（Ｎ２−９７．
５ｖｏｌ！％、 Ｈ２Ｏ−２，５ｖｏ＃％）を線流速２
０ ｃｍ／ｓｅｃで流通し、ＡｓＨ３の破過吸着テスト
を行ないＡ ｓ Ｈ３がカラムからリークするまでの時
間（破過率が５％に達するまでの時間）を実測し結果を
第８表に示した。
２０ｍ１を１．６ｃｍφのガラス製カラムに充填し、Ａ
８Ｈ３−８０ｐｐｍ含有の８０℃のガス（Ｎ２−９７．
５ｖｏｌ！％、 Ｈ２Ｏ−２，５ｖｏ＃％）を線流速２
０ ｃｍ／ｓｅｃで流通し、ＡｓＨ３の破過吸着テスト
を行ないＡ ｓ Ｈ３がカラムからリークするまでの時
間（破過率が５％に達するまでの時間）を実測し結果を
第８表に示した。
（以下余白）
第 ８ 表 （その１）
第 ８ 表 （その２）
第 ８ 表 （その８）
第 ８ 表 （その４）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、（１）銅の酸化物と （２）（ａ）アルカリ金属化合物の一種以上。 （ｂ）アルカリ土類金属化合物の一種以上および （ｃ）Ａｅ、 Ｔｉ、 Ｖ、 Ｃｒ、 Ｍｎ、 Ｆｅ、
Ｃｏ。 Ｎｉ、 Ｚｎ、 Ｃｄ およびｐｂの化合物の一種以上
からなる群から選ばれた（ａ） 、 （ｂ）、（Ｃ）の
一種以上 とを活性炭に含有せしめてなるＡｓ、 Ｂ、 Ｐ。 ｓｂまたはＳｅの水素化物の一種以上を除去するための
吸着剤。 ２、Ａｓ、 Ｂ、 Ｐ、 ＳｂまたはＳｅの水素化物の
一種以上を含有する気体を。 （１）銅の酸化物と （２）（ａ）アルカリ金属化合物の一種以上。 （ｂ）アルカリ土類金属化合物の一種以上−１−ハ１ｒ および （ｃ）Ａｅ、 Ｔｉ、 Ｖ、 Ｃｒ、 Ｍｎ、 Ｆｅ、
Ｃｏ。 Ｎｉ、 Ｚｎ、 Ｃｄ およびＰｂの化合物の一種以上 からなる群から選ばれた（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ
）の一種以上 とを活性炭に含有せしめてなる吸着剤に接触させること
を特徴とする該気体からＡｓ、 Ｂ。 ｐ、ｓｂ またはＳｅの水素化物の一種以上を除去する
方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58178412A JPS6071039A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 有害ガスの処理方法 |
| CA000446846A CA1216136A (en) | 1983-03-03 | 1984-02-06 | Method for removal of poisonous gases |
| US06/581,367 US4532115A (en) | 1983-03-03 | 1984-02-17 | Method for removal of poisonous gases |
| DE8484301379T DE3467096D1 (en) | 1983-03-03 | 1984-03-02 | Method for removal of poisonous gases |
| EP84301379A EP0121339B1 (en) | 1983-03-03 | 1984-03-02 | Method for removal of poisonous gases |
| SG22/90A SG2290G (en) | 1983-03-03 | 1990-01-15 | Method for removal of poisonous gases |
| HK122/90A HK12290A (en) | 1983-03-03 | 1990-02-15 | Method for removal of poisonous gases |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58178412A JPS6071039A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 有害ガスの処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071039A true JPS6071039A (ja) | 1985-04-22 |
| JPH0424093B2 JPH0424093B2 (ja) | 1992-04-24 |
Family
ID=16048037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58178412A Granted JPS6071039A (ja) | 1983-03-03 | 1983-09-26 | 有害ガスの処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071039A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61129026A (ja) * | 1984-11-27 | 1986-06-17 | Nippon Paionikusu Kk | 排ガスの浄化方法 |
| JPS62286520A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-12 | Japan Pionics Co Ltd | 排ガスの浄化方法 |
| CN115041141A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-09-13 | 山东大学 | 一种复合生物炭吸附剂及其制备方法和应用 |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP58178412A patent/JPS6071039A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61129026A (ja) * | 1984-11-27 | 1986-06-17 | Nippon Paionikusu Kk | 排ガスの浄化方法 |
| JPH0457368B2 (ja) * | 1984-11-27 | 1992-09-11 | Japan Pionics | |
| JPS62286520A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-12 | Japan Pionics Co Ltd | 排ガスの浄化方法 |
| CN115041141A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-09-13 | 山东大学 | 一种复合生物炭吸附剂及其制备方法和应用 |
| CN115041141B (zh) * | 2022-06-14 | 2023-08-25 | 山东大学 | 一种复合生物炭吸附剂及其制备方法和应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0424093B2 (ja) | 1992-04-24 |
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