JPS6068312A - 光学顕微鏡像の撮影方法 - Google Patents
光学顕微鏡像の撮影方法Info
- Publication number
- JPS6068312A JPS6068312A JP8477083A JP8477083A JPS6068312A JP S6068312 A JPS6068312 A JP S6068312A JP 8477083 A JP8477083 A JP 8477083A JP 8477083 A JP8477083 A JP 8477083A JP S6068312 A JPS6068312 A JP S6068312A
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- Japan
- Prior art keywords
- sample
- distance
- optical microscope
- lens barrel
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は光学顕微鏡を使用して試料表面の顕微鏡像を撮
影する方法に関する。
影する方法に関する。
（ロ） 従来技術
一般に、光学顕微鏡は観察すべき試料の調整が簡単であ
ること、操作性が容易であること、色彩を識別できるこ
と、さらに、価格的にも安価であること等【こより広く
採用されている。このように光学顕微鏡は多くの利点を
有する反面、焦点深度が浅いために表面が曲っていたり
凹凸がある試料をそのまま写真撮影したのでは鮮明な光
学顕微鏡像が得られないという難点がある。このため従
来は専ら表面が比較的フラットな試料を観察対象として
いる。そして、表面が曲っていたり凹凸がある試料を観
察する場合には実体顕微鏡や走査型電子顕微鏡が主に適
用されている。しかしながら前者の場合は倍率がせいぜ
い数１０倍程度までであり充分とはいえない。また、後
者の場合は数万倍程度の高倍率が得られるが試料の調整
や装置の操作が煩雑でまた色彩を識別できず、価格的に
も高価である等の難点がある。
ること、操作性が容易であること、色彩を識別できるこ
と、さらに、価格的にも安価であること等【こより広く
採用されている。このように光学顕微鏡は多くの利点を
有する反面、焦点深度が浅いために表面が曲っていたり
凹凸がある試料をそのまま写真撮影したのでは鮮明な光
学顕微鏡像が得られないという難点がある。このため従
来は専ら表面が比較的フラットな試料を観察対象として
いる。そして、表面が曲っていたり凹凸がある試料を観
察する場合には実体顕微鏡や走査型電子顕微鏡が主に適
用されている。しかしながら前者の場合は倍率がせいぜ
い数１０倍程度までであり充分とはいえない。また、後
者の場合は数万倍程度の高倍率が得られるが試料の調整
や装置の操作が煩雑でまた色彩を識別できず、価格的に
も高価である等の難点がある。
（ハ） 目 的
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、
表面が曲っていたり凹凸があるような試料に対しても鮮
明な光学顕微鏡像を撮影することができるようにして従
来の問題点を解消することを目的とする。
表面が曲っていたり凹凸があるような試料に対しても鮮
明な光学顕微鏡像を撮影することができるようにして従
来の問題点を解消することを目的とする。
に）構 成
光学顕微鏡像の光量は第１図に示すように、試料面と焦
点が合ったときに最大となり、ある程度焦点位置から外
れると試料位置によらず一定のバックグラウンドの強度
となる。本発明はこの点に着目したものであって、上記
の目的を達成するため、試料の撮影視野内において、こ
の試料の最も凸なる部位に焦点を合せたときの試料と鏡
筒間の距離と、試料の最も凹なる部位に焦点を合せたと
きの試料と鏡筒間の距離との間で、撮影露出時間内に一
方の距離から他方の距離まで試料と鏡筒の少なくとも一
方を光学顕微鏡の光軸方向ｆこ走査させるようにしてい
る。そして、たとえばフィルム上に光量を順次積算すれ
ば焦点の合った部位のみがし旧こ応じて露光されること
になり、結果的に全体として焦点の合った撮影像が得ら
れるものである。
点が合ったときに最大となり、ある程度焦点位置から外
れると試料位置によらず一定のバックグラウンドの強度
となる。本発明はこの点に着目したものであって、上記
の目的を達成するため、試料の撮影視野内において、こ
の試料の最も凸なる部位に焦点を合せたときの試料と鏡
筒間の距離と、試料の最も凹なる部位に焦点を合せたと
きの試料と鏡筒間の距離との間で、撮影露出時間内に一
方の距離から他方の距離まで試料と鏡筒の少なくとも一
方を光学顕微鏡の光軸方向ｆこ走査させるようにしてい
る。そして、たとえばフィルム上に光量を順次積算すれ
ば焦点の合った部位のみがし旧こ応じて露光されること
になり、結果的に全体として焦点の合った撮影像が得ら
れるものである。
（ホ）実施例
以下、本発明を実施例について、図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
第２図は本発明を適用するための光学顕微鏡の概略構成
図である。第２図において、１は光学顕微鏡、２は図示
省略した拡大レンズ等が内蔵てれた鏡筒、３は、この鏡
筒２に取付けられたカメラ、４は観察すべき試料、５ば
この試料４を載置するためのステージである。このステ
ージ５にはラック部５ａが形成され、ラック部５ａには
ピニオン６が噛合している。８はピニオン６を回転駆動
するためのシンクロモータ、９は上記カメラ３のシャッ
タ、１０はシンクロモータ８やシャッタ９等の動作を制
御する制御部である。
図である。第２図において、１は光学顕微鏡、２は図示
省略した拡大レンズ等が内蔵てれた鏡筒、３は、この鏡
筒２に取付けられたカメラ、４は観察すべき試料、５ば
この試料４を載置するためのステージである。このステ
ージ５にはラック部５ａが形成され、ラック部５ａには
ピニオン６が噛合している。８はピニオン６を回転駆動
するためのシンクロモータ、９は上記カメラ３のシャッ
タ、１０はシンクロモータ８やシャッタ９等の動作を制
御する制御部である。
次に上記構成を有する光学顕微鏡１を適用して試料２の
光学顕微鏡像を撮影する方法について説明する。
光学顕微鏡像を撮影する方法について説明する。
まず、試料４をステージ５上に載置する。この試料４の
鏡筒２側の表面は平坦でなく第３図（ａ）に示すような
凹凸があるものとする。次いで、ステージ５を光学顕微
鏡１の光軸方向（第２図中符号Ｚ方向）へ移動する。そ
して、鏡筒２を覗きながら試料４の撮影視野内において
、試料４の最も凸なる部位（同図中のＡ１点）に焦点を
合せる。このときの試料４と鏡筒２間の距離をＺｌとす
る。続いて、ステージ５を移動させて同じ視野内で試料
４の最も凹なる部位（同図中のＡ２点）に焦点を合せる
。このときの試料４と鏡筒２間の距離を７３ とする。
鏡筒２側の表面は平坦でなく第３図（ａ）に示すような
凹凸があるものとする。次いで、ステージ５を光学顕微
鏡１の光軸方向（第２図中符号Ｚ方向）へ移動する。そ
して、鏡筒２を覗きながら試料４の撮影視野内において
、試料４の最も凸なる部位（同図中のＡ１点）に焦点を
合せる。このときの試料４と鏡筒２間の距離をＺｌとす
る。続いて、ステージ５を移動させて同じ視野内で試料
４の最も凹なる部位（同図中のＡ２点）に焦点を合せる
。このときの試料４と鏡筒２間の距離を７３ とする。
上記の試料４と鏡筒２間の各距離Ｚ＋、Ｚａは制御部１
０に記憶てせておく。引き続いて、初めに設定した距離
Ｚ１に試料５を位置させ、この状態から制御部１０を操
作してシャッタ９を開放し、撮影を開始する。シャッタ
９が開放されると同時にシンクロモータ８も駆動され、
ピニオン６を回転させる。そして、ステージ５を試料４
が後に設定した距離Ｚ８になるまで等速度で光軸方向に
走査させる（本例では下方に移動させる）。その間シャ
ッタ９はシンクロモータ８に連動して開放のままであり
、所定の距離Ｚ８に到達した時にシンクロモータ８が停
止するとともに、シャッタ９が閉じる。このように、撮
影露出時間内に一方の距離Ｚｌから他方の距離Ｚ８まで
試料４が光軸方向に走査されるので、時間経過にともな
い、試料４の各部位に対応した光量は第３図（ｂ）〜（
ｄ）に示すように順次変化する。従って、カメラ３のフ
ィルム上にハ像が積算され、焦点の合った部位に対応し
た所が次々と露出されていく。そして、結果的には全体
として撮影視野内で焦点の合った撮影像が得られる。
０に記憶てせておく。引き続いて、初めに設定した距離
Ｚ１に試料５を位置させ、この状態から制御部１０を操
作してシャッタ９を開放し、撮影を開始する。シャッタ
９が開放されると同時にシンクロモータ８も駆動され、
ピニオン６を回転させる。そして、ステージ５を試料４
が後に設定した距離Ｚ８になるまで等速度で光軸方向に
走査させる（本例では下方に移動させる）。その間シャ
ッタ９はシンクロモータ８に連動して開放のままであり
、所定の距離Ｚ８に到達した時にシンクロモータ８が停
止するとともに、シャッタ９が閉じる。このように、撮
影露出時間内に一方の距離Ｚｌから他方の距離Ｚ８まで
試料４が光軸方向に走査されるので、時間経過にともな
い、試料４の各部位に対応した光量は第３図（ｂ）〜（
ｄ）に示すように順次変化する。従って、カメラ３のフ
ィルム上にハ像が積算され、焦点の合った部位に対応し
た所が次々と露出されていく。そして、結果的には全体
として撮影視野内で焦点の合った撮影像が得られる。
走査の間にはバックグラウンドのかぶりを生じるが、こ
れは、フィルムの感度やカメラ３の絞り、また、図示省
略したイルミネータの明るさ、ざらには印画紙、焼付条
件等を調整することにより取り除くことができる。なお
、上記実施例においては試料４の最も凸なる部位に焦点
を合せた位置ｚ１から最も凹なる部位に焦点を合せた位
置Ｚ８に試料４を走査させたが逆の場合であってもよく
、さらに、試料４側を動かすのではなくて鏡筒２を動か
すようにしてもよい。さらには、試料４と鏡筒２とを互
いに接近、離間きせるようにすることもできる。
れは、フィルムの感度やカメラ３の絞り、また、図示省
略したイルミネータの明るさ、ざらには印画紙、焼付条
件等を調整することにより取り除くことができる。なお
、上記実施例においては試料４の最も凸なる部位に焦点
を合せた位置ｚ１から最も凹なる部位に焦点を合せた位
置Ｚ８に試料４を走査させたが逆の場合であってもよく
、さらに、試料４側を動かすのではなくて鏡筒２を動か
すようにしてもよい。さらには、試料４と鏡筒２とを互
いに接近、離間きせるようにすることもできる。
（へ）効 果
以上のように本発明によれば光学顕微鏡の鏡筒と試料と
の相対的な位置関係を変位することにより試料表面が平
坦でないものでも鮮明な光学顕微鏡像が得られる。しか
も、走査型電子顕微鏡に比べて極めて安価に実現するこ
とができる。また、実体顕微鏡では実現できなかった数
１００倍の倍率でも撮影像が得られるという優れた効果
が発揮される。
の相対的な位置関係を変位することにより試料表面が平
坦でないものでも鮮明な光学顕微鏡像が得られる。しか
も、走査型電子顕微鏡に比べて極めて安価に実現するこ
とができる。また、実体顕微鏡では実現できなかった数
１００倍の倍率でも撮影像が得られるという優れた効果
が発揮される。
第１図は試料表面に焦点を合せたときの光量との関係を
説明する特性図、第２図および第３図は本発明の実施例
を示し、第２図は本発明を適用するための光学顕微鏡の
構成図、第３図は試料表面の形状と、この試料に焦点を
合せたときの光量との関係を示す特性図である。 １・・・光学顕微鏡、２・・・鏡筒、３・・・カメラ、
４・・・試料。 出 願 人 株式会社島津製作所 代パ理 人 弁理士 岡 １）和 秀 ／ （７） 第１図 第２図
説明する特性図、第２図および第３図は本発明の実施例
を示し、第２図は本発明を適用するための光学顕微鏡の
構成図、第３図は試料表面の形状と、この試料に焦点を
合せたときの光量との関係を示す特性図である。 １・・・光学顕微鏡、２・・・鏡筒、３・・・カメラ、
４・・・試料。 出 願 人 株式会社島津製作所 代パ理 人 弁理士 岡 １）和 秀 ／ （７） 第１図 第２図
Claims (1)
- （［） 表面が平坦でない試料の光学顕微鏡像を撮影す
る方法であって、試料の撮影視野内においてこの試料の
最も凸なる部位に焦点を合せたときの試料と鏡筒間の距
離と、試料の最も凹なる部位に焦点を合せたときの試料
と鏡筒間の距離との間で撮影露出時間内に、一方の距離
から他方の距離まで試料と鏡筒の少なくとも一方を光学
顕微鏡の光軸方向に走査させることを特徴とする光学顕
微鏡像の撮影方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8477083A JPS6068312A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 光学顕微鏡像の撮影方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8477083A JPS6068312A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 光学顕微鏡像の撮影方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6068312A true JPS6068312A (ja) | 1985-04-18 |
| JPH0527084B2 JPH0527084B2 (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=13839912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8477083A Granted JPS6068312A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 光学顕微鏡像の撮影方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6068312A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2385481A (en) * | 2002-02-13 | 2003-08-20 | Fairfield Imaging Ltd | Automated microscopy at a plurality of depth of focus through the thickness of a sample |
| US8890996B2 (en) | 2012-05-17 | 2014-11-18 | Panasonic Corporation | Imaging device, semiconductor integrated circuit and imaging method |
| US9057871B2 (en) | 2011-05-16 | 2015-06-16 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Set of compound lenses and imaging apparatus |
| US9083880B2 (en) | 2011-03-02 | 2015-07-14 | Panasonic Corporation | Imaging device, semiconductor integrated circuit, and imaging method |
| DE102019101976A1 (de) | 2018-01-30 | 2019-08-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Toner und verfahren für die herstellung des toners |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5367094B2 (ja) | 2009-12-07 | 2013-12-11 | パナソニック株式会社 | 撮像装置及びその制御方法 |
| CN102308242B (zh) | 2009-12-07 | 2014-08-20 | 松下电器产业株式会社 | 摄像装置以及拍摄方法 |
| JP5882898B2 (ja) | 2011-03-14 | 2016-03-09 | パナソニック株式会社 | 撮像装置、撮像方法、集積回路、コンピュータプログラム |
| EP2698658B1 (en) | 2011-04-15 | 2018-09-12 | Panasonic Corporation | Image pickup apparatus, semiconductor integrated circuit and image pickup method |
| JP5914834B2 (ja) | 2011-10-12 | 2016-05-11 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 撮像装置、半導体集積回路および撮像方法 |
-
1983
- 1983-05-13 JP JP8477083A patent/JPS6068312A/ja active Granted
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| OPTICS COMMUNICATIONS=1992 * |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2385481A (en) * | 2002-02-13 | 2003-08-20 | Fairfield Imaging Ltd | Automated microscopy at a plurality of depth of focus through the thickness of a sample |
| GB2385481B (en) * | 2002-02-13 | 2004-01-07 | Fairfield Imaging Ltd | Microscopy imaging system and method |
| US7248282B2 (en) | 2002-02-13 | 2007-07-24 | Fairfield Imaging Limited | Microscopy imaging system and method |
| US9083880B2 (en) | 2011-03-02 | 2015-07-14 | Panasonic Corporation | Imaging device, semiconductor integrated circuit, and imaging method |
| US9057871B2 (en) | 2011-05-16 | 2015-06-16 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Set of compound lenses and imaging apparatus |
| US8890996B2 (en) | 2012-05-17 | 2014-11-18 | Panasonic Corporation | Imaging device, semiconductor integrated circuit and imaging method |
| DE102019101976A1 (de) | 2018-01-30 | 2019-08-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Toner und verfahren für die herstellung des toners |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0527084B2 (ja) | 1993-04-20 |
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