JPS606523A - 無塵搬送装置 - Google Patents
無塵搬送装置Info
- Publication number
- JPS606523A JPS606523A JP11491083A JP11491083A JPS606523A JP S606523 A JPS606523 A JP S606523A JP 11491083 A JP11491083 A JP 11491083A JP 11491083 A JP11491083 A JP 11491083A JP S606523 A JPS606523 A JP S606523A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ducts
- permanent magnet
- traveling
- traveling vehicle
- track
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は極度に発塵を嫌う作業場に於て使用される無塵
搬送装置に関する。
搬送装置に関する。
（ロ）従来技術
最近超ＬＳＩ等の半導体製造工場の如く無塵作業場に於
ける自動化が進み、これにともなって無塵の搬送装置の
需要が高まって来ているが、従来は適当な搬送装置が少
く、わずかに空気をダクトから斜め上方に噴出させ、こ
れによって走行車を浮上させて行う搬送装置が考案され
たが、その構造上曲線コースを走行することができず、
直線コースのみであった為に作業場内のレーアウトカ（
卸１限され、広い作業場を必要とすると言う欠点力（あ
った。
ける自動化が進み、これにともなって無塵の搬送装置の
需要が高まって来ているが、従来は適当な搬送装置が少
く、わずかに空気をダクトから斜め上方に噴出させ、こ
れによって走行車を浮上させて行う搬送装置が考案され
たが、その構造上曲線コースを走行することができず、
直線コースのみであった為に作業場内のレーアウトカ（
卸１限され、広い作業場を必要とすると言う欠点力（あ
った。
（ハ） 目 的
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので曲線走行も
可能な無塵搬送装置を提供することを目的としている。
可能な無塵搬送装置を提供することを目的としている。
に）構成
本発明は上面に多数のノヅルを突設させた２本のダクト
と複数個の一次側固定子および２本の帯状永久磁石を具
備する軌道と、下面に二次側鉄心を固設し両側部から垂
下突設した側板内面部に永久磁石片を配設して前記軌道
に跨乗して走行する走行車とより構成されている。
と複数個の一次側固定子および２本の帯状永久磁石を具
備する軌道と、下面に二次側鉄心を固設し両側部から垂
下突設した側板内面部に永久磁石片を配設して前記軌道
に跨乗して走行する走行車とより構成されている。
快）実施例
第１図は本発明に係る無塵搬送装置の実施例を示す斜視
図であり、１０は走行車、１１は二次側鉄ノ１＼１２は
側板、１３は永久磁石片、２０はダクト、２１はノヅル
、３０は一次側固定子、４０は帯状永久磁石、又】４は
下面板である。
図であり、１０は走行車、１１は二次側鉄ノ１＼１２は
側板、１３は永久磁石片、２０はダクト、２１はノヅル
、３０は一次側固定子、４０は帯状永久磁石、又】４は
下面板である。
２本のダクト２０はそれぞれ図示しない高圧空気源に接
続されており、矢印Ａの方向にクリーンエヤが供給され
各ノヅルから矢印Ｂの示す様に垂直上方に噴出し、走行
車１０の下面に配設されている下面板１４に吹き付けて
走行車１０を浮上させる。
続されており、矢印Ａの方向にクリーンエヤが供給され
各ノヅルから矢印Ｂの示す様に垂直上方に噴出し、走行
車１０の下面に配設されている下面板１４に吹き付けて
走行車１０を浮上させる。
次に前記２本のダクトの間に所定の間隔で配設されてい
る一次側固定子３０は走行車１０がその直上を通過する
際に走行車下面に固設されている二次側鉄心１１と作用
してリニアモータを形成し、走行車１０を加速成いは停
止させる。
る一次側固定子３０は走行車１０がその直上を通過する
際に走行車下面に固設されている二次側鉄心１１と作用
してリニアモータを形成し、走行車１０を加速成いは停
止させる。
更に走行車１０の左右両側部で垂下突設している側板１
２の内側、前後方向の端部伺近にそれぞれ添設されてい
る永久磁石片１３か軌道の外側にそれぞれ添設されてい
る帯状永久磁石と相対向しており、対向面の磁極がそれ
ぞれ同種の磁極となる様に配設されているので、前記帯
状永久磁石と永久磁石片とは相反発する力か作用する。
２の内側、前後方向の端部伺近にそれぞれ添設されてい
る永久磁石片１３か軌道の外側にそれぞれ添設されてい
る帯状永久磁石と相対向しており、対向面の磁極がそれ
ぞれ同種の磁極となる様に配設されているので、前記帯
状永久磁石と永久磁石片とは相反発する力か作用する。
即ち走行車１０は絶えず軌道に対して、これを左右から
挾み付ける様な力を加えながら矢印Ｃの方向に走行或い
は停止していること＼なる。
挾み付ける様な力を加えながら矢印Ｃの方向に走行或い
は停止していること＼なる。
第２図は走行車が軌道上を走行している状態を示す平面
図である。
図である。
図示の如く帯状永久磁石４０と４個の永久磁石片とはそ
れぞれ間隙ｄ、 ｄ ２、ｄ３、ｄ４を介して相対向し
ており、前述の如く反発力が作用している。
れぞれ間隙ｄ、 ｄ ２、ｄ３、ｄ４を介して相対向し
ており、前述の如く反発力が作用している。
こ＼に上記の各永久磁石の磁極の強さは略等しくなる様
に調整されているので前記間隙も等しくなり、由＝ｄｊ
＝ｄ３＝ｄ４＝＝ｄとなる。従って走行車１０の中心線
と軌道の中心線が一致した状態で走行することができる
。
に調整されているので前記間隙も等しくなり、由＝ｄｊ
＝ｄ３＝ｄ４＝＝ｄとなる。従って走行車１０の中心線
と軌道の中心線が一致した状態で走行することができる
。
又前記間隙ｄは十分大きくとっであるので図示の如く曲
線軌道に沿っても走行することが可能である。
線軌道に沿っても走行することが可能である。
尚本実施例に於てはりニアモータとして誘導型リニアモ
ータを使用したがパルス型すニアモータ等他の型式のり
ニアモータを使用することも勿論可能である。
ータを使用したがパルス型すニアモータ等他の型式のり
ニアモータを使用することも勿論可能である。
（へ）効果
本発明□にか＼る無塵搬送装置は前述の如（、空気等の
高速気体を走行車下面に吹き付けて浮上させる為に走行
に際して接触することがなく、前記高速気体にクリーン
エヤを使用すれば無塵に保ち得る効果を有し、又走行に
リニヤモータを使用している為に起動、停止がスムース
であり、ブレーキによる発塵の心配もない。
高速気体を走行車下面に吹き付けて浮上させる為に走行
に際して接触することがなく、前記高速気体にクリーン
エヤを使用すれば無塵に保ち得る効果を有し、又走行に
リニヤモータを使用している為に起動、停止がスムース
であり、ブレーキによる発塵の心配もない。
更に走行時の保針に永久磁石の反発力を利用しているの
で走行車と軌道との横方向の間隙を十分にとることによ
り曲線軌道に沿った′走行も可能となる効果を有する。
で走行車と軌道との横方向の間隙を十分にとることによ
り曲線軌道に沿った′走行も可能となる効果を有する。
第１図は無塵搬送装置の斜視図、第２図は走行状態を示
す平面図である。 １０・・・走行車、２０・・・ダクト、３０・・・二次
側固定子、４０・・・帯状永久磁石。 特許出願人 日立機電工業株式会社 代理人弁理士大西孝治
す平面図である。 １０・・・走行車、２０・・・ダクト、３０・・・二次
側固定子、４０・・・帯状永久磁石。 特許出願人 日立機電工業株式会社 代理人弁理士大西孝治
Claims (1)
- 上面に多数のノヅルを突設した２本のダクトを並設し、
２本の該ダクト間の間隙に複数個の一次側固定子を所定
の間隙で前記ダクトに並設すると共に前記２木のダクト
のそれぞれの外側面に帯状永久磁石を添設し該帯状永久
磁石の外側方にＮ又はＳ極が現われる如く励磁して構成
される軌道と、該軌道に跨乗し、かつ下面に前記−次側
固定子に相対向すべく二次側鉄心を固設し、更に前記軌
道を挾む如く左右両側部よりそれぞれ側板を垂下突設す
ると共に、該側板内面の前後方向の端部付近に、それぞ
れ前記帯状永久磁石に相対向して相反発する如き極性と
した合計４個の永久磁石片を配設した走行車とを具備し
、前記ノヅルから高速の空気等の気体を上方に噴出せし
めて前記走行車の下面に吹き付け、該走行車を浮上せし
めると共に前記−次側固定子と二次側鉄心とによって構
成されるリニアモータによって前記走行車を走行せしめ
、かつ前記帯状永久磁石と永久磁石片との反発作用によ
って発生する心力によって脱線するξとなく前記軌道に
沿って走行せしめることを特徴とする無塵搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11491083A JPS606523A (ja) | 1983-06-25 | 1983-06-25 | 無塵搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11491083A JPS606523A (ja) | 1983-06-25 | 1983-06-25 | 無塵搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS606523A true JPS606523A (ja) | 1985-01-14 |
Family
ID=14649687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11491083A Pending JPS606523A (ja) | 1983-06-25 | 1983-06-25 | 無塵搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606523A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0270618A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-09 | Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd | 空気浮上搬送装置 |
| WO2016102317A1 (de) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach | Bewegungsvorrichtung mit betriebs- und wartungskonfiguration |
| CN108217207A (zh) * | 2016-12-15 | 2018-06-29 | Cnc工程株式会社 | 磁悬浮式基板传送装置 |
-
1983
- 1983-06-25 JP JP11491083A patent/JPS606523A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0270618A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-09 | Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd | 空気浮上搬送装置 |
| WO2016102317A1 (de) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach | Bewegungsvorrichtung mit betriebs- und wartungskonfiguration |
| US10569973B2 (en) | 2014-12-22 | 2020-02-25 | Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach | Moving device having an operating configuration and a maintenance configuration |
| CN108217207A (zh) * | 2016-12-15 | 2018-06-29 | Cnc工程株式会社 | 磁悬浮式基板传送装置 |
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