JPS6060381A - 気体圧アクチュエ−タの制御装置 - Google Patents
気体圧アクチュエ−タの制御装置Info
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- JPS6060381A JPS6060381A JP16588283A JP16588283A JPS6060381A JP S6060381 A JPS6060381 A JP S6060381A JP 16588283 A JP16588283 A JP 16588283A JP 16588283 A JP16588283 A JP 16588283A JP S6060381 A JPS6060381 A JP S6060381A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、空気圧シリンダ、空気圧モータ叫ノ%体圧で
作動される気体圧アクテλエータにおいて、その速度制
御あるいは位置制御などを行う気体圧アクチュエータの
制御方法に関する。
作動される気体圧アクテλエータにおいて、その速度制
御あるいは位置制御などを行う気体圧アクチュエータの
制御方法に関する。
従来、例えば空気圧シリンダの速度を多段階に制御する
Kは、第1図に示すように空気圧シリンダAと圧縮空気
供給源Bとの間に給排切換用の方向制御弁Cを接続する
とともに、この方向制御弁Cの排気側に、多段階調整用
の絞り弁り及び方向制御弁Eを段階分だけ並列接続して
おり、調整する段階に応じた個数の絞り弁りと方向制御
弁Eが必要なため、設置スペース及び組立工数が多いと
ともに、設備費が高価になるという欠点があった。
Kは、第1図に示すように空気圧シリンダAと圧縮空気
供給源Bとの間に給排切換用の方向制御弁Cを接続する
とともに、この方向制御弁Cの排気側に、多段階調整用
の絞り弁り及び方向制御弁Eを段階分だけ並列接続して
おり、調整する段階に応じた個数の絞り弁りと方向制御
弁Eが必要なため、設置スペース及び組立工数が多いと
ともに、設備費が高価になるという欠点があった。
本発明は、コイルに供給する電気信号を変化させること
Kよって開度な調整できる二方向流量制御型比例電磁弁
を用い、1個の比例電磁弁によって気体圧アクテニエー
タを多段階に速度制御あるいは位置制御できるようにし
たものである。
Kよって開度な調整できる二方向流量制御型比例電磁弁
を用い、1個の比例電磁弁によって気体圧アクテニエー
タを多段階に速度制御あるいは位置制御できるようにし
たものである。
すなわち、本発明の制御方法は、気体圧アクチーエータ
に1個の二方向流量制御型比例電磁弁を接続し、この比
例電磁弁のコイルへ供給する電気信号を変化式せて比例
電磁弁の開度を多段階にあるいは無段階で連続的に調整
することにより、気体圧アクチェエータへ供給あるいは
それより排気される圧力気体の流量を制御することを特
徴とする。
に1個の二方向流量制御型比例電磁弁を接続し、この比
例電磁弁のコイルへ供給する電気信号を変化式せて比例
電磁弁の開度を多段階にあるいは無段階で連続的に調整
することにより、気体圧アクチェエータへ供給あるいは
それより排気される圧力気体の流量を制御することを特
徴とする。
以下に本発明の実施例について説明する。
第2,3図はそれぞれ本発明の第1.第2実施例を示す
ものであるが、これらを説明するに先立ち、その実施に
使用する二方向流量制御型比例電磁弁の一例の構造につ
いて詳述すると、第5図において比例電磁弁Fけ、弁本
体1上に電磁石アッセンブリ2を設置した単品構造にな
っている。
ものであるが、これらを説明するに先立ち、その実施に
使用する二方向流量制御型比例電磁弁の一例の構造につ
いて詳述すると、第5図において比例電磁弁Fけ、弁本
体1上に電磁石アッセンブリ2を設置した単品構造にな
っている。
弁本体1は、その対向する両側面にそれぞれインボート
3とアウトボート4とを設け、またこれら両ポー)3.
4に連通する内側凹部5に弁座体6を嵌着している。弁
座体6の上側部は、弁本体1の弁室である外側凹部7内
に臨んでいる。弁座体6には縦孔8が穿設されている。
3とアウトボート4とを設け、またこれら両ポー)3.
4に連通する内側凹部5に弁座体6を嵌着している。弁
座体6の上側部は、弁本体1の弁室である外側凹部7内
に臨んでいる。弁座体6には縦孔8が穿設されている。
この縦孔8の上端開口は、弁座体6の上面中央の突部の
先端において開口して弁口9になっており、この突部が
弁座体6の実質的な弁座10になっている。
先端において開口して弁口9になっており、この突部が
弁座体6の実質的な弁座10になっている。
(3)
他方、電磁石アッセンブリ2は、非磁性体製のガイドバ
イブ11の上端部に固定鉄心12を嵌着するとともに、
これらガイドパイプ11及び同定鉄心12の外側にコイ
ル13を巻装し、かつプランジャ14を、固定鉄心12
の下側でしかもガイドバイブ11内に摺動自在に嵌装し
たものである。そして、この電磁石アッセンブリ2は、
ガイドバーイブ11の下端部を弁本体1に固着するとと
Kより弁本体1上に取り付けられ、そのガイドバイブl
l内を弁本体1の外側口s7と連通させている。
イブ11の上端部に固定鉄心12を嵌着するとともに、
これらガイドパイプ11及び同定鉄心12の外側にコイ
ル13を巻装し、かつプランジャ14を、固定鉄心12
の下側でしかもガイドバイブ11内に摺動自在に嵌装し
たものである。そして、この電磁石アッセンブリ2は、
ガイドバーイブ11の下端部を弁本体1に固着するとと
Kより弁本体1上に取り付けられ、そのガイドバイブl
l内を弁本体1の外側口s7と連通させている。
プランジャ14は、その下面に設けたシール部材嵌入凹
部15内に、ゴム等の弾性素材製のシール部材16を嵌
着している。このシール部材16は、それに貫通させて
プランジャ14に貫着したピン17によって凹部15よ
りの抜脱を阻止はれている。また、プランジャ14は、
その外周面に流体通路となる縦長溝18を形成するとと
もに、上面に縦長のはね受入凹部19を掘設している。
部15内に、ゴム等の弾性素材製のシール部材16を嵌
着している。このシール部材16は、それに貫通させて
プランジャ14に貫着したピン17によって凹部15よ
りの抜脱を阻止はれている。また、プランジャ14は、
その外周面に流体通路となる縦長溝18を形成するとと
もに、上面に縦長のはね受入凹部19を掘設している。
このはね受入凹部19内には、(4)
強弱2個のコイルばね20,21が、それらの間にばね
受体22を介在させて上下に直列に並べて配設されてい
る。
受体22を介在させて上下に直列に並べて配設されてい
る。
上側の強い方のコイルばね20は、固定鉄心12に貫装
したばねpl整ロッド23の下端鍔部24によって上側
から押さえられている。
したばねpl整ロッド23の下端鍔部24によって上側
から押さえられている。
ばね調整ロッド23は、その上端の雄ねじ部25を固定
鉄心12のねじ大26に螺合させていて、固定鉄心12
に対し上下に螺進させることができる。
鉄心12のねじ大26に螺合させていて、固定鉄心12
に対し上下に螺進させることができる。
固定鉄心12の下面には、非磁性体製の環状薄板28が
付設され、またdね調整ロッド23の雄ねじ部25に社
、それをロックするロックナツト29が螺着され、さら
に固定鉄心12の上端の雄ねじ部30には、コイル13
をロックするロックナツト31、及びねじ調整ロッド2
3の雄ねじ部25の周囲をカバーするキャップ32が嵌
着されている。
付設され、またdね調整ロッド23の雄ねじ部25に社
、それをロックするロックナツト29が螺着され、さら
に固定鉄心12の上端の雄ねじ部30には、コイル13
をロックするロックナツト31、及びねじ調整ロッド2
3の雄ねじ部25の周囲をカバーするキャップ32が嵌
着されている。
しかして、コイル13が消勢されているときには、図示
のように、強い方のコイルばね20けほぼ最大限まで伸
長した状態で弱い方のばね21を圧縮させ、ばね受体2
2の下端をばね受入凹部19の底面に圧接させるもので
、これによりプランジャ14は、主として弱い方のコイ
ルばね21の作用により弁座10側(下側)へ付勢され
、シール部材16を弁座10に圧接させて弁口9を閉塞
する0 従って、コイル13が消勢状態のときは、弁口9は、主
として弱い方のコイルばね212)ifね力によって閉
塞保持され、このときコイルばね21は圧縮されている
ので、シール部材16が摩滅しあるいは本比例電磁弁F
が衝撃を受けても弁口9を的確に閉塞保持てきる。
のように、強い方のコイルばね20けほぼ最大限まで伸
長した状態で弱い方のばね21を圧縮させ、ばね受体2
2の下端をばね受入凹部19の底面に圧接させるもので
、これによりプランジャ14は、主として弱い方のコイ
ルばね21の作用により弁座10側(下側)へ付勢され
、シール部材16を弁座10に圧接させて弁口9を閉塞
する0 従って、コイル13が消勢状態のときは、弁口9は、主
として弱い方のコイルばね212)ifね力によって閉
塞保持され、このときコイルばね21は圧縮されている
ので、シール部材16が摩滅しあるいは本比例電磁弁F
が衝撃を受けても弁口9を的確に閉塞保持てきる。
コイル13に電流を流すと、その電流に応じた吸引力で
プランジャ14が固定鉄心12に吸引されるもので、プ
ランジャ14は、ζノ吸引力が強い方のばね20のばね
力と平衡する位置まで上側へ変位せられる。
プランジャ14が固定鉄心12に吸引されるもので、プ
ランジャ14は、ζノ吸引力が強い方のばね20のばね
力と平衡する位置まで上側へ変位せられる。
かくして、シール部材16が弁座10より離れて弁口9
が開くとともにこれらシール部材16と弁口9との間に
、コイル13に流れる電流に応じた間隙が形成されるも
ので、アウトボート4側を真空にしあるいはインボート
3より気体(例えば空気)を送入すると、インボート3
に入った空気は、上記間隙において絞られ、そこよりさ
らに弁口9及び縦孔8を通ってアウトボート4より送出
されるもので、コイル13に流れる電流を調整して上記
間隙の幅を変えることにより空気の流量を調整すること
ができる。また、コイルはね20.21のばね力は、ば
ね調整ロッド23を回すことにより調整できる。
が開くとともにこれらシール部材16と弁口9との間に
、コイル13に流れる電流に応じた間隙が形成されるも
ので、アウトボート4側を真空にしあるいはインボート
3より気体(例えば空気)を送入すると、インボート3
に入った空気は、上記間隙において絞られ、そこよりさ
らに弁口9及び縦孔8を通ってアウトボート4より送出
されるもので、コイル13に流れる電流を調整して上記
間隙の幅を変えることにより空気の流量を調整すること
ができる。また、コイルはね20.21のばね力は、ば
ね調整ロッド23を回すことにより調整できる。
さて、第2図に示す本発明の第1実施例は、空気圧シリ
ンダAと圧縮空気供給源Bとの間に給排切換用の方向制
御弁Cを接続するとともに、土述の比例電磁弁Fを方向
制御弁Cの排気側に接続する。そして、比例電磁弁Fの
コイル13(第5図)K供給する電気信号(電流)を多
段階に、あるいけ関数2発生器等を用いて無段階で連続
的に変化させる。
ンダAと圧縮空気供給源Bとの間に給排切換用の方向制
御弁Cを接続するとともに、土述の比例電磁弁Fを方向
制御弁Cの排気側に接続する。そして、比例電磁弁Fの
コイル13(第5図)K供給する電気信号(電流)を多
段階に、あるいけ関数2発生器等を用いて無段階で連続
的に変化させる。
よって、比例電磁弁Fの開度は電気信号に応(7)
じて調整纏れ、それによって空気圧シリンダAからの圧
縮空気の排気量が、ピストンのいずれの方向の摺動につ
いても調整されるもので、その速度を多段階にあるいは
無段階で連続的に自動制御できる。また、空気圧シリン
ダAにそのピストンの位置を検知するセンサーを付設し
、このセンサーの出力によって比例電磁弁Fのコイル1
3を制御すれば、ピストンの位置を多段階に制御できる
。
縮空気の排気量が、ピストンのいずれの方向の摺動につ
いても調整されるもので、その速度を多段階にあるいは
無段階で連続的に自動制御できる。また、空気圧シリン
ダAにそのピストンの位置を検知するセンサーを付設し
、このセンサーの出力によって比例電磁弁Fのコイル1
3を制御すれば、ピストンの位置を多段階に制御できる
。
第3図に示す第2実施例は、方向制御弁Cの給気側と圧
縮空気供給源Bとの間に比例電磁弁Fを接続し、空気圧
シリンダAVc供給される圧縮空気の流量を比例電磁弁
Fによって上記と同様圧制御するようにしたものである
。
縮空気供給源Bとの間に比例電磁弁Fを接続し、空気圧
シリンダAVc供給される圧縮空気の流量を比例電磁弁
Fによって上記と同様圧制御するようにしたものである
。
なお、第4図に示すように空気圧シリンダAのヘッド側
のボート及びロッド側のボートに、それぞれ三方向流量
制御型比例電磁弁F’、F’を接続しても、上記と同様
の制御を行うことができるが、この場合には、高価な比
例電磁弁F/。
のボート及びロッド側のボートに、それぞれ三方向流量
制御型比例電磁弁F’、F’を接続しても、上記と同様
の制御を行うことができるが、この場合には、高価な比
例電磁弁F/。
F′を2個用いなければならず、上記第1.第2(8)
実施例に比べ割高となる。
以上述べたところから明らかなとおり、本発明によれば
、1個の比例N磁弁によって気体圧アクチーエータを多
段階に速度制御あるいは位僅制御でき、従来に比べ制御
が容易であるとともに弁の設置スペースが少なくて済み
、また配管を簡素にできる。
、1個の比例N磁弁によって気体圧アクチーエータを多
段階に速度制御あるいは位僅制御でき、従来に比べ制御
が容易であるとともに弁の設置スペースが少なくて済み
、また配管を簡素にできる。
第1図は従来例を示す空気圧回路図、第2゜3図は本発
明の第1.第2実施例をそれぞれ示す空気圧回路図、第
4図は、三方向流量制御型比例電磁弁を用いて制御する
例を示゛す空気圧回路図、第5図は上記第1.第2実施
例に用いる二方向流量制御型比例電磁弁の一例の具体的
構造を示す断面図である。 A・・・空気圧シリンダ(気体圧アクチーエータ入F・
・・比例電磁弁、13・・・コイル。
明の第1.第2実施例をそれぞれ示す空気圧回路図、第
4図は、三方向流量制御型比例電磁弁を用いて制御する
例を示゛す空気圧回路図、第5図は上記第1.第2実施
例に用いる二方向流量制御型比例電磁弁の一例の具体的
構造を示す断面図である。 A・・・空気圧シリンダ(気体圧アクチーエータ入F・
・・比例電磁弁、13・・・コイル。
Claims (1)
- 1、気体圧アクチニエータに1個の二方向流量制御型比
例電磁弁を接続し、この比例電磁弁のコイルへ供給する
電気信号を変化させて比例電磁弁の開度を多段階にある
いは無段階で連続的に調整することにより、気体圧アク
チ瓢エータへ供給あるい祉それより排気される圧力気体
の流量を制御することを特徴とする気体圧アクチ為エー
タの制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16588283A JPS6060381A (ja) | 1983-09-10 | 1983-09-10 | 気体圧アクチュエ−タの制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16588283A JPS6060381A (ja) | 1983-09-10 | 1983-09-10 | 気体圧アクチュエ−タの制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6060381A true JPS6060381A (ja) | 1985-04-06 |
JPS6213555B2 JPS6213555B2 (ja) | 1987-03-27 |
Family
ID=15820765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16588283A Granted JPS6060381A (ja) | 1983-09-10 | 1983-09-10 | 気体圧アクチュエ−タの制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6060381A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010133787A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード |
CN104797827A (zh) * | 2012-11-20 | 2015-07-22 | 沃尔沃建筑设备公司 | 加压介质组件 |
Citations (2)
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DE2647072A1 (de) * | 1976-10-19 | 1978-04-20 | Bosch Gmbh Robert | Elektromagnetventil |
JPS5630674U (ja) * | 1979-08-15 | 1981-03-25 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54152185A (en) * | 1978-05-22 | 1979-11-30 | Fujikura Ltd | Compression of conductor connection sleeve |
-
1983
- 1983-09-10 JP JP16588283A patent/JPS6060381A/ja active Granted
Patent Citations (2)
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