JPS6057047B2 - 焦点検出装置 - Google Patents

焦点検出装置

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JPS6057047B2
JPS6057047B2 JP53042997A JP4299778A JPS6057047B2 JP S6057047 B2 JPS6057047 B2 JP S6057047B2 JP 53042997 A JP53042997 A JP 53042997A JP 4299778 A JP4299778 A JP 4299778A JP S6057047 B2 JPS6057047 B2 JP S6057047B2
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JP
Japan
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focus detection
image
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detection device
optical
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Application number
JP53042997A
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English (en)
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JPS54135528A (en
Inventor
清 北井
伸治 長岡
譲 高沢
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Seiko Koki KK
Original Assignee
Seiko Koki KK
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Publication date
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Priority to US06/024,440 priority patent/US4267440A/en
Priority to GB7911209A priority patent/GB2021348B/en
Priority to DE19792915065 priority patent/DE2915065A1/de
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Expired legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28Systems for automatic generation of focusing signals
    • G02B7/30Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line
    • G02B7/305Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line using a scanner

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Focusing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、撮影対象までの距離を算出する焦点検出装
置に関するものである。
カメラから撮影対象までの距離を算出する焦点検出装
置で、二つの異なる光路からの光を一つの半導体ウェハ
ーの上に、狭い間隔をおいて設けられた二組の光応答素
子群によつて各々受光し、得られた信号を電気的に処理
することによつて、前記二つの異なる光路からの各映像
パターンを比較し、撮影対象までの距離を算出する焦点
検出装置が提案されている。
この焦点検出装置によれば、一つの半導体ウェハーの
同一面上に、狭い間隔をおいて設けられた二つの光応答
素子群へ、二つの異なる光路からの光を導びくため、複
雑な構成の光学系を必要としている。
また二組の光応答素子群を利用するために、該光応答素
子群を構成する半導体ウェハーのコストも高価となつて
いる。また、前記二つの異なる光路からの各映像パター
ンを比較する際は、二組の光応答素子群によつて、電気
信号に変換した後に比較するため、各光応答素子群の感
度のバラツキ、あるいは増幅器等の感度差等が信号に加
算されるなど、焦点検出精度においても不利な点が見ら
れた。 本発明の目的は、先に述べた諸欠点を除去する
ことにある。
本発明によれば、第1の光路からの映像と第2の光路
からの映像とを合成する光学手段と、該光学手段により
合成された合成映像を受光する複数の光応答素子から成
る光検出装置とを備え、前記光検出装置に生じた前記合
成映像の光パターンを、前記複数の光応答素子て検出す
ることにより焦点検出信号を得ることを特徴とする焦点
検出装置が提供される。
また、前記合成影像の光パターンを前記複数の光応答
素子で検出し、前記光パターンの強弱の差、または比の
最大値を算出することにより焦点検出信号を得ることを
特徴とする焦点検出装置が提供される。
本発明の焦点検出装置の実施例について、以下図面に
従つて説明を行なう。
第1図は、2つの異なる光路からの映像を合成して光検
出装置上に結像させるための光学系の例を示す図である
aは可動ミラー3を備える場合で、1は光応答素子群、
2はハーフミラー、4は集光レンズ、5および6はスリ
ット、7は第1の光路を示す光軸、8は第2の光路を示
す光軸である。第1の光路による光はスリット5で絞ら
れた後ハーフミラー2を通過してレンズ4によつて光応
答素子群1上に像を結ぶ。一方、第2の光路による光は
スリット6で制限され、可動ミラー3で反射し、さらに
前記ハーフミラー2でその光量の一部が反射されレンズ
4によつて同様に光応答素子群上に結像する。このとき
可動ミラー3は図示の如く回転可能であり、前記光応答
素子群上に結ぶ像を近距離から1まで変化させることが
出来る。この様にして、第1の光路、すなわち固定光路
による映像と、第2の光路すなわち可動ミラーによる光
路からの映像が合成されて光応答素子群上に合成映像パ
ターンを形成する。第2図bに示す図は、前記可動ミラ
ー3の代りに可動レンズ10を備えた光学系で、可動レ
ンズ10を図示の方向に動かすことによつて光軸8で示
す光路は固定光軸7上の近距離から1までの像を導くこ
とが可能てある。
レンズ9は、光軸7上に置かれたもので可動レンズ10
を光軸8上に置いたために同一の条件を作り出すための
ものである。図aの説明で述べたのと同様にして光応答
素子群1上には2つの光路によつて導かれた合成映像が
結ばれることになる。以上述べた光学系は例であつて、
光学プリズム等を使用することによつ.て同等の光学系
を形成することも可能であることは言うまでもない。第
2図は作動の説明のために光応答素子列に入射する光パ
ターンをモデル化した図である。
aは2つの光路からの映像が一致しない場合を表わし.
たもので、図中Pl,P2・・・・・・P7は光応答素
子群を示す。第1の光路による映像の光量パターンをP
1第2の光路による映像の光量パターンをQで示す。2
つの光路による映像が横軸方向、すなわち光応答素子列
の並び方向にずれていることを示し・ている。
実際にはこれらの2つの映像は合成されて光量パターン
およびQを加えた光量パターンRが光応答素子列上に入
射する。このとき光応答素子P2が最大、P5が最小の
受光量となりその差はAとなる。異なる2つの光路から
の映像が一致しない時は光量差Aは小さくなる。第2図
bは2つの映像からの映像が一致した場合を示したもの
で、第1の光路および第2の光路からの映像による光量
パターンは共にSで示されるものとすると、これらの合
成光量パターンはSの2倍の光量すなわちRで示される
。最大光量はP3で受け、最小はP5で受光しておりそ
の差であるAは2つの光路からの映像が一致しない時に
比べて大きい。第3図に示す図は、横軸が第2の光路に
よつて導かれる像まての距離Lを表わし、縦軸は複数の
光応答素子のうちの最大と最小の差Aを表わしている。
距離Lを変えるためには、第1図中の可動ミラー3を回
転させるかまたは可動レンズ10を動かすことによつて
可能であり、先に説明した様に2つの光路からの映像が
一致しない時はAの値は小さく、映像が一致した時は最
大となる。第3図の例においては距離Lfの時に最大値
Mとなつて対象物までの距離はLfであることを示す。
なお、光応答素子の出力は入射光に応じた電気的信号、
例えば入射光に比例する短絡電流等に変換されて処理さ
れ、映像が一致した時は各光応答素子の出力信号の最大
値、最小値の差が最大になることを利用して実際の装置
は構成される。また、前記各出力信号の最大値、最小値
の比を算出して映像が一致したことを判別することも出
来る。映像が一致した時の光応答素子の最大、最小値の
差を記憶し、すなわち第3図中Afに相当する出力信号
を記憶しておき、対物レンズと前記可動ミラー3または
可動レンズ10を一定の関係を持たせて再度一方向に作
動させ前記記憶値と一致する出力が得られた時に作動を
停止することによつて対物レンズは距離Lfに相当する
位置に固定される。上記の如き対物レンズの位置決定装
置は既に種々の方式が提案されており、本発明の装置に
よつて距離Lfの時に出力信号のピークAfが得られれ
はそれらのいずれの方式によつても目的が達せられるも
のである。第4図に焦点検出回路の一部をブ咄ンクダイ
ヤグラムで示す。
図中40は光応答素子群でP,,P2・・・・・P7の
複数の素子から成る。41は各光応答素子の出力を常に
検出、比較し最大値を取り出すための最大値検出回路、
42は同様に各光応答素子の中の最小値を検出するため
の最小値検出回路、43は前記最大値検出回路の出力と
、最小値検出回路の出力の差を算出する回路である。
43は、また最大値と最小値の比を算出する回路であつ
ても良い。
44は前記回路43の出力のピーク値を記憶保持するた
めの回路である。
上記の構成によつて、2つの光路からの合成映像を光応
答素子群40によつて光電変換し、その出力の最大値と
最小値を常に検出してその差、または比が最大になると
ころを合焦点位置とし、その時の信号出力を記憶するも
のである。先にも述べたように前記出力信号を利用して
対物レンズを所望の位置に固定する方法は公知の技術に
よつて達成出来るものてある。上記検出回路のシステム
も第4図の構成に限定するものではない。以上述べた様
に、本発明によれば異なる2つの光路による合成映像を
一つの光応答素子群で受光し、各光応答素子上に生ずる
光パターンを検出して焦点検出信号を得るものであり、
従来のように複雑な光学手段を必要とせず、また光応答
素子群も1組で検出するために、従来の2組の光応答素
子群を必要としたものに対して半導体チップサイズも小
さくでき、さらに光応答素子間での特性の差は考慮する
必要がない等の利点を有するものである。
図面の簡単な説明第1図A,bは本発明の焦点検出装置
に用いる光学系の一例を示す。
第2図は本発明による焦点検出装置における光応答素子
群に入射する光量パターンをモデル化した図でaは2つ
の光路による像が一致しない場合、bは一致した場合で
ある。第3図は検出回路の出力波形を示す図てある。第
4図は本発明の焦点検出装置における検出回路のシステ
ムの一例を示すブロックダイヤグラムである。第1図中
、1・・・・・・光応答素子群、2・・・・・・ハーフ
ミラー、3・・・・・・可動ミラー、4・・・・・ルン
ズ、5,6・・・・・スリット、7,8・・・・・・光
軸、9・・・・・・レンズ、10・・・・・・可動レン
ズ、第2図中、Pl,P2〜P7・・・・光応答素子、
第4図中、40・・・・・・光応答素子群、41・・・
・・最大値検出回路、42・・・・・・最小値検出回路
、43・・・・・・減算回路又は除算回路、44・・・
・ゼーク値記憶回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 第1の光路からの映像と第2の光路からの映像とを
    合成する光学手段と、該光学手段により合成された合成
    映像を受光する複数の光応答素子から成る光検出装置と
    を備え、前記光検出装置に生じた前記合成映像の光パタ
    ーンを、前記複数の光応答素子で検出することにより焦
    点検出信号を得ることを特徴とする焦点検出装置。 2 前記合成映像の光パターンを前記複数の光応答素子
    で検出し、前記光パターンの強弱の差、または比の最大
    値を算出することにより焦点検出信号を得ることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載の焦点検出装置。
JP53042997A 1978-04-12 1978-04-12 焦点検出装置 Expired JPS6057047B2 (ja)

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JP53042997A JPS6057047B2 (ja) 1978-04-12 1978-04-12 焦点検出装置
US06/024,440 US4267440A (en) 1978-04-12 1979-03-27 Focus detecting system
GB7911209A GB2021348B (en) 1978-04-12 1979-03-30 Focus detecting apparatus
DE19792915065 DE2915065A1 (de) 1978-04-12 1979-04-12 Entfernungsnachweiseinrichtung

Applications Claiming Priority (1)

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JPS54135528A JPS54135528A (en) 1979-10-20
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GB2021348B (en) 1982-07-07
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GB2021348A (en) 1979-11-28

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