JPS6051044B2 - 気体流量測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、気体流量測定装置に関し、例えはエンジ
ンの吸入空気流量を測定する装置に関する。

従来、自動車用エンジンの吸入導管に流量測定管を設
け、この流量測定管内に電熱ヒータと温度依存抵抗を設
け、これらの出力信号により吸入空気（被測定気体）流
量を測定するようにした装置が提案されている。

この装置は、電熱ヒータにより空気を加熱し、加熱前
後の空気温度を温度依存抵抗て検出して空気流量を測定
するというもので、小型かつ簡潔でしかも流量を正確に
測定し得るという利点があるが、電源スイッチを投入し
たままの状態で気体流量が零になると以下述べるような
問題を生じる。

つまり、このときには導管中を空気が流れないので電
熱ヒータの熱が下流に設けた温度依存抵抗に伝達されす
、このために温度依存抵抗間には温度差が生じなく、し
たがつて抵抗変化が生じない。 そこで電熱ヒータは、
この抵抗変化を生じさせるべく発熱するのであるが、空
気の流れがないために熱が伝達されず電熱ヒータは可能
な限り発熱して、ついには赤熱化して断線し、測定下能
となつてしまう。

又電熱ヒータは断線に至らずともその発熱により素線が
焼き戻される等して強度的に劣化したり特性が変化して
測定の再現性あるいは精度が著るしく低下するという問
題が生じる。

この発明は、上記の点に鑑みなされたもので、電熱ヒー
タの異常発熱を抑止し、電熱ヒータの断線、特性劣化を
防止して装置の信頼性、耐久性を飛躍的に向上でき常に
正確に流量を測定し得る装置を提供するとを目的とする
。

特にこの発明は、測定回路が、第１、第２温度依存抵抗
と共に第１ブリッジを形成する第１基準抵抗及び第２基
準抵抗と、電熱ヒータと共に第２ブリッジを形する第３
基準抵抗、第４基準抵抗及び第５基準抵抗と、第１ブリ
ッジの対角点の電圧が一定値となるよう第１、第２ブリ
ッジに出力電圧を印加する電圧制御回路と、第２ブリッ
ジの対角点の電圧に応じて電圧制御回路の出力電圧を制
限し、電熱ヒータの発熱を制限する発熱制限回路とを備
えることを特徴としており、この構成により上記問題に
対処するものである。

以下この発明を図に示す実施例により説明す−る。

第１図において、エンジン１は自動車駆動用の火花点火
式エンジンで燃焼用の空気をエアクリーナ２、吸入導管
３及び吸気弁４を経て吸入する。燃料は、吸入導管３に
設置された電磁式燃料噴射弁５から噴射供給される。吸
入導管３には運転者により任意に操作されるスロットル
弁６が設けられており、またエアクリーナ２との連結部
には空気流を整流する整流格子７が設けられている。

吸入導管３において整流格子７とスロットル弁！６の間
には、導管３の軸方向とほぼ平行に小型の流量測定管９
が支柱８により設置されている。この流量測定管９内に
は、図では模式的に示すが白金抵抗線からなる電熱ヒー
タ１０が設けられており、この電熱ヒータ１０の下流側
で近接した位置ダに白金抵抗線からなる第１温度依存抵
抗１１が設けられており、さらに電熱ヒータ１０の上流
側でやや離れた位置に白金抵抗線からなる第２温度依存
抵抗１２が設けられている。これらの電熱ヒータ１０及
び第１、第２温度依存抵抗１１，１２は、何れも第２図
に示すようにリング形状のプリント板１０ａ，１１ａ，
１２ａに格子状に白金抵抗線１０ｂ，１１ｂ，１２ｂを
設けた構造てあり、特に第１、第２温度依存抵抗１１，
１２は同一の抵抗温度特性を有する白金抵抗線を用いて
いる。

また、電熱ヒータ１０と第１温度依存抵抗１１は、正面
（あるいは背面）から見た場合第３図に示すように互い
の抵抗線が交差）するよう配置されており、これにより
流量測定管９内の微少な熱分布の影響を第１温度依存抵
抗が受けないようになつている。電熱ヒータ１０及び第
１、第２温度依存抵抗１１，１２は、何れも測定回路１
５に接続されており、測定回路１５はこれらの出力信号
を用いて吸入空気の流量を測定し、流量に応じた電気信
号を出力する。

この測定回路１５は、第４図に示すように基準抵抗回路
１６、電圧制御回路１７、発熱制限回路１８及び直線化
回路１９から構成されており、このうち基準抵抗回路１
６は、第１、第２依存抵孔１１，１２と共に第１ブリッ
ジを構成し、かつ電熱ヒータ１０と共に第２ブリッジを
構成する。

電圧制御回路１７は、第１ブリッジの対角点Ａ，ｂの電
圧に応じて第１、第２ブリッジに印加する電圧を制御し
、発熱制限回路１８は第２ブリッジの対角点Ｅ，ｆの電
圧に応じて電圧制御回路１７の出力電圧を制御し、直線
化回路１９は基準抵抗回路１６の出力信号が吸入空気流
量に対してリニアになるように補償を行う。燃料制御ユ
ニットＵは、測定回路１５の信号に応じて電磁式燃料噴
射弁５の開弁時間を制御するもので、この他にエンジン
１の回転速度を検出する回転速度センサ２０などの検出
信号が入力されている。この回転速度センサ２０は、例
えば点火パルス信号を発生する点火回路を利用すればよ
い。次に第５図により測定回路１５の回路１６〜１８に
ついて説明する。

基準抵抗回路１６は、互いに直列接続され、第１、第２
温度依存抵抗１１，１２とに第１ブリッジを構成する第
１基準抵抗２１及び第２基準抵抗２２と、電熱ヒータ１
０と共に第２ブリッジを構成する第３基準抵抗２３、第
４基準抵抗２４及ひ第５基準抵抗２５とから構成されて
いる。電圧制御回路１７は、概略的には第１差動増幅回
路７ａ１第２差動増幅回路７ｂ及ひ電力増幅回路７ｃか
ら構成されている。

このうち、第１差動増幅回路７ａは、入力抵抗３１，３
２、接地抵抗３３、負帰還抵抗３４及び演算増幅器（以
下０Ｐアンプという）３５から構成されており、第１ブ
リッジの対角点Ａ，ｂの電圧を差動増幅してｃ端子から
出力する。第２差動増幅回路７ｂは、入力抵抗３６，３
７、コンデンサ３８、基準電圧源３９及び０Ｐアンプ４
０から構成されており、ｃ端子の出力電圧と基準電圧源
３９の一定基準電圧Ｖｒｅｆとを差動増幅してｄ端子か
ら出力する。

なお、コンデンサ３８は、０Ｐアンプ４０の発振防止用
に設けてある。電力増幅回路７ｃは、抵抗４１，４２及
びパワートランジスタ４３から構成されており、パワー
トランジスタ４３にはバッテリ４４から電力が供給され
ており、第２増幅回路７ｂの出力電圧を電一力増幅し、
その出力を第１、第２ブリッジに付与する。

発熱制限回路１８は、入力抵抗４５，４６、比較器４７
、保護抵抗４８，４９及びトランジスタ５０から構成さ
れており、第２ブリッジの対角点Ｅ，ｆの電圧を比較し
てパワートランジスタ４３のベースに印加する電圧を制
御する。

なお、第２ブリッジを構成する第３基準抵抗２３は、出
力抵抗を兼用しており、この両端から吸入空気流量に関
係した電宛Ｖ。

が出力される。次に第６図に示す直線化回路１９につい
て説明する。この直線化回路１９は、概略的に差動増幅
回路９ａ及ひ掛算器９ｂ，９ｃから構成されている。こ
のうち、差動増幅器９ａは入力抵抗５１，５２、接地抵
抗５３、接地コンデンサ５４、負帰還抵抗５５、コンデ
ンサ５６及び０Ｐアンプ５７から構成されており、基準
抵抗回路１６の出力電圧を差動増幅してｈ端子から出力
する。

掛算器９ｂ，９ｃは、何れも公知のアナログ式のもので
二つの入力電圧を掛算してその掛算値に応じた電圧を出
力する。

次に第７図により燃料制御ユニットＵについて説明する
。

この燃料制御ユニットＵは、基本的には吸入空気流量Ｇ
／エンジン回転速度Ｎの演算をディジタル的に行い、Ｇ
／Ｎに応じた噴射パルス信号を電磁式燃料噴射弁５に出
力するものである。

デバイダ付カウンタ１０１は、例えばＲＣＡ社製ＣＤ４
Ｏｌ７から構成されており、クロック端子ＣＬには発振
器１０２の出力信号が入力され、リセット端子Ｒには回
転速度センサ２０からエンジン回転速度Ｎに反比例した
周期のパルス信号が入力されており、クロツクエナーブ
ル端子ＣＥはカウンタ１０１の“４゛出力が入力されて
いる。

発振器１０２は、水晶振動子を内蔵する公知の水晶式発
振器で、一定周波数のパルス信号を出力する。

２入力０Ｒゲート１０３は、公知の０Ｒ論理をとるもの
で、回転速度センサ２０の出力信号とカウンタ１０１の
゜゜４゛出力信号が入力されている。

■−Ｆ変換器１０４は、公知の電圧一周波数変換器て直
線化回路１９の出力アナログ電圧を吸入空気流量Ｇに比
例した周波数のパルス信号に変換する。２入力ＡＮＤゲ
ート１０５は、公知のＡＮＤ論理をとるものて、Ｖ−Ｆ
変換器１０４の出力信号と０Ｒゲート１０３の出力信号
とが入力されている。

２進カウンタ１０６は、クロック端子ＣＬに入力される
パルス信号を計数して計数値を２進コードのディジタル
信号で出力するものて、ＣＬ端子にはＡＮＤゲート１０
５の出力信号が入力されてｌおり、リセット端子Ｒはカ
ウンタ１０１の“３゛出力と接続されている。

ラッチ回路１０７は、２進カウンタ１０６の出力信号を
ラッチ端孔に入力される信号に応じて一時記憶保持する
公知のもので、ラッチ端子Ｌには門カウンタ１０１の゜
゜２゛出力信号が入力されている。

２進カウンタ１０８は、クロック端了ＣＬに入力される
パルス信号を計数する公知のもので、この場合は、発振
器１０２の出力信号を分周する分フ周回路として動作す
る。

ＡＮＤゲート１０９は、２進カウンタ１０８と後述する
フリップフロップ１１２の出力信号が入力されており、
両者のＡＮＤ論理をとる。

２進カウンタ１１０は、カウンタ１０６と同様のもので
リセット端子Ｒにはカウンタ１０１の“２゛出力信号が
入力されており、この信号でリセットされた後クロック
端子ＣＬに入力されるＡＮＤゲート１０９の出力信号を
計数してその計数値を２進コードのディジタル信号で出
力する。

比較器１１１は、端子群Ａ＜１５Ｂに入力される２進コ
ードの数値を比較するもので、両人力値が一致するとＣ
端子からトリガー信号を出力する。フリップフロップ１
１２は、２個の２入力ＮＯＲゲートから構成されており
、トリガー信号としてカウンタ１０１の゜゜２゛出力信
号と比較器１１１の出力信号が入力されている。

パワー回路１１３は、詳細に図示しないが、公知のパワ
トランジスタを含んでいる回路で入力信号に応じて燃料
噴射弁５の通電を制御する。

上記構成において作動を説明する。スロットル弁６の開
度により決定されるある量の空気は、エアクリーナ２か
ら吸入導管３を通りエンジン１に吸入される。この総吸
入空気のうちある一定割合の空気が流量測定管９内を通
過してエンジン１に吸入される。そして、流量測定管９
内において電熱ヒータ１０の上流側にある第２温度依存
抵抗１２は吸入空気の温度のみの影響を受け、他方電熱
ヒータ１０の下流側にある第１温度依存抵抗１１は吸入
空気の温度と電熱ヒータ１０の発熱量、つまり電熱ヒー
タ１０により加熱された空気の温度の影響を受ける。

この結果両温度依存抵抗１１，１２間には電熱ヒータ１
０に供給した電力量Ｐ（ｗ）と吸入空気流量Ｇ（ｇ／Ｓ
ｅｃ）に関係した温度差ΔＴが生じる。

ここで、Ｐ，Ｇ，ΔＴには次式のような関係がある。Ｋ
１・ΔＴ＝Ｐ／Ｇ−（１）（たた七、Ｋ１は定数）しか
して、両温度依存抵抗１１，１２は、それぞれ空気の温
度に応じて電気抵抗値が変化するため、第１のブリッジ
のａ点とｂ点の間には（２）式で示すように温度差ΔＴ
とブリッジに印加される電圧■とで決定される電位差Δ
■が生じる。

一（２）（ただし、Ｋ２は定数）した
がつて、（１）式及び（２）式から次式のような関係式
が得られる。

一（３）（ただし、Ｋ３は定数）した
がつて、電熱ヒータ１０の供給電力Ｐと第１ブリッジ印
加電圧Ｖを制御してΔＶを一定値にすれば、吸入空気流
量Ｇ、供給電力Ｐ１第１ブリッジ印加電圧■の関係は次
式に示すようなものとなる。

Ｇ＝＼・Ｐ・■ −（４）（ただし、Ｋ４は定数）こ
こで、第３基準抵抗２３の抵抗値を電熱ヒータ１０の抵
抗値に比べて小さな値とし、電熱ヒータ１０を流れる電
流をＩとすれば、Ｐ″．Ｋ５，２−（５）（ただし、Ｋ
５は定数）■半Ｋ６ｌ−（６）（ただし、Ｋ６は定数）
（５）式及び（６）式が成立し、これにより（４）式は
次式のように表される。

Ｇ″．ＫＩ３−（７）（ただし、Ｋは定数）−．Ｋ″Ｖ
３−（８）（ただし、Ｋ″は定数）しかして、吸入空気
流量Ｇは、電流１（又は電圧■）の３乗の関数となる。

こで（７）式、（８）式は、近似式ではあるが、測定上
影響が出ない程度の近似であり、実用上ほとんど問題は
ない。そこで、電圧制御回路１７は電熱ヒータ１０の発
熱量を制御してΔ■を一定値に制御する。

つまり、吸入空気流量が増大すると、電熱ヒータ１０に
より加熱される空気の温度上昇が減少し、第１、第２温
度依存抵抗１１，１２間の温度差ΔＴは小さくなり、第
１ブリッジのａ−ｂ間の電位差ΔＶも小さくなる。この
ため第１差動増幅回路７ａの出力電圧Ｖ１は小さくなり
、（Ｖｒｅｆ−Ｖ１）に応じた電圧を発生する第２差動
増幅回路７ｂの出力電圧Ｖ２は大きくなる。

これにより電力増幅回路７ｃは電熱ヒータ１０への供給
電流を増加させ、電熱ヒータ１０の発熱量を増大させる
。したがつて、第１、第２温度依存抵抗１１，１２間の
温度差ΔＴが増大して第１ブリッジのａ−ｂ間電位差Δ
■が大きくなり、電位差ΔＶが基準電圧Ｖｒｅｆと等し
くなつた状態で、システム全体としては平衡状態て第１
ブリッジとしては不平衡状態で安定となる。

また吸入空気流量が減少すると、電熱ヒータ１０により
加熱される空気の温度上昇が増加し、第１、第２温度依
存抵抗１１，１２間の温度差ΔＴが増大して電位差Δ■
が大きくなる。

このため、第１差動増幅回路７ａの出力電圧Ｖ１は大き
くなり、第２差動増幅回路７ｂの出力電圧■２は小さく
なり、これにより電力増幅回路７ｃは電熱ヒータ１０へ
の供給電流を減少させ、電熱ヒータ１０の発熱量を減少
させる。

したがつて、温度差ΔＴが減少して電位差Δ■が小さく
なり、電位差Δ■が基準電圧Ｒｅｆと等しくなつた状態
でシステム、ブリッジ共に安定となる。

こうして、第１ブリッジのａ−ｂ間電位差ΔＶは、吸入
空気流量によらず常に一定値Ｖｒｅｆに保，持され、（
７）式が成立して吸入空気流量Ｇは電熱ヒータ１０を流
れる電流１の３乗の関数で表される。

この電流１は、第３基準抵抗２３を流れるため、電流１
と第３基準抵抗２３の端子電圧Ｖ。

とは比例し、この電圧Ｖ。の３乗は吸入空気流量Ｇに比
例する。そこで上記電圧制御回路１７の出力電圧Ｖ。

を直線化回路１９により３乗する。即ち、基準抵抗回路
１６の第３基準抵抗２３の端子電圧は差動増一幅回路９
ａにより増幅されｈ端子からＡ１・ＶＯの電圧が出力さ
れる。なおＡ１は回路９ａの増幅率である。この出力電
圧Ａ１・ＶＯは、掛算器９ｂの両方の入力端子に入力さ
れ、掛算器９ｂからはＡｌ２・ＶＯ２の電圧が出力され
る。

掛算器９ｃには電圧Ａ１・ＶＯと電圧Ａ。２・ＶＯ２と
が入力され、Ａｌ３・■０３の電圧が出力される。

こうして、直線化回路１９の出力端子ｇからは電圧■。

の３乗に比例した電圧Ｖｇｌ即ち吸入空気流量に比例し
た電圧Ｖｇが出力される。そして、この電圧Ｖｇは吸入
空気流量Ｇを示す信号として燃料制御ユニットＵに入力
され、燃料制御ユニットＵはこの信号、回転速度センサ
２０の出力信号に基いて燃料噴射弁５を開弁させる噴射
パルス信号を出力する。

即ち、燃料制御ユニットＵにおいて、デバイダ付カウン
タ１０１は、回転速度センサ２０の第８図１に示すパル
ス信号によりリセットされ、このパルス信号の立下りに
同期して“２゛端子から第８図２に示すパルス信号を“
゜３゛端子から第８図３に示すパルス信号を出力する。

また、“゜４゛端子の出力信号は、クロックイネーブル
端子ＣＥにフィードバックする構成であるから、第８図
４に示すような波形となる。しかして、０ＲゲＫｇ卜１
０３の出力信号は、第８図５に示す波形となり、このパ
ルス信号の立ち上がりから立ち下がりまでの時間幅Ｔ１
は発振器１０２の出力信号の周期が回転速度センサ２０
の出力信号の周期に比べて十分短かければエンジン回転
速度Ｎに反比例したものとなる。

他方、第８図６で示す直線化回路１９の吸入空気流量Ｇ
に比例した電圧Ｖｇは、Ｖ−Ｆ変換器１０４により電圧
一周波数変換され、第８図７で示すような周波数のパル
ス信号に変換される。

このパルス信号は、ＡＮＤゲート１０５に入力され、第
８図５に示す期間Ｔ１の間２進カウンタ１０６に入力さ
れ計数される。この２進カウンタ１０６の計数値は、吸
入空気流量Ｇに比例し、エンジン回転速度Ｎに反比例し
た値、即ちＧ／Ｎに対応した値となり、この２進コード
の値は第８図２に示す信号に同期して一時記憶される。

一方、発振器１０２のクロック信号は、２進カウンタ１
０８で分周されて適当な周波数のパルス信号となり、Ａ
ＮＤゲート１０９に入力される。

このＡＮＤゲート１０９が開くのは、第８図（２）の６
６２″出力信号でフリップフロップ１１２をセットした
時刻ちのときで、この時点から２進カウンタ１１０に第
８図８に示すパルス信号が加わつてカウンタ１１０は計
数を開始する。そして、比較器１１１にはラッチ回路１
０７の２進コードの出力信号がすでに入力されており、
ノ２進カウンタ１１０の計数が増加してこの計数値とラ
ッチ回路１０７の出力値が一致すると、普較器１１１は
第８図９に示す一致信号を出力してフリップフロップ１
１２をリセットする。

これによりフリップフロップ１１２は、第８図１０に示
す７波形の噴射パルス信号を発生する。また、フリップ
フロップ１１２のリセットと同時にＡＮＤゲート１０９
はゲートを閉じて２進カウンタ１１０は計数を停止する
。

このときの２進カウンタ１１０の計数値をｍ１第８図８
に示すパつルス信号の周期をＴ２とすると、フリップフ
ロップ１１２の出力パルス信号の時間幅Ｔ３は、次式の
ようになり、Ｔ３＝ｍ●Ｔ２ この時間幅Ｔ３はＧ／Ｎに対応したものとなる。

換言すれば時間幅Ｔ３は、エンジン１回転当りの吸入空
気流量に比例する。しかして、この噴射パルス信号をパ
ワー回路１１３で電力増幅してエンジン１に燃料噴射弁
５から燃料を供給すると、燃料量と吸入空気流量は１対
１の対応となり、空燃比を正確に制御できてエンジン１
の排気ガスの浄化性、出力、燃費などが向上する。

ここで、吸入空気流量が零のような状態が比較的長時間
続くと、第１ブリッジのａ−ｂ間電位差Δ■は小さいま
まの状態となる。

つまり、電位差ΔＶが小さいので電圧制御回路１７は、
第１、第２ブリッジに印加する電圧を増大するが、電熱
ヒータ１０の熱が空気によつて下流の第１温度依存抵抗
１１にほとんど伝達されないので電位差ΔＶはほとんど
変化しないのである。こうして電熱ヒータ１０は発熱を
増加して表面温度が上昇する。

このとき、電熱ヒータ１０自身の抵抗値が増大して第２
ブリッジの基準抵抗２３と電熱ヒータ１０の接続点ｅの
電位は上昇する。そして基準抵抗２４，２５との接続点
ｆの所定電位より大きくなると、比較器４７の出力は１
レベルになりトランジスタ５０はオンしてパワートラン
ジスタ４３をオフさせる。しかして、第２ブリッジには
抵抗４２を介して，のみ電流が流れる。

これにより抵抗４２の抵抗値は予め適当な値に選択して
あり、第２ブリッジに印加する電圧が小さくなり、電熱
ヒータ１０の発熱が減少する。そして、電熱ヒータ１０
の抵抗値が減少して第！２ブリッジの端子ｅの電位が減
少し、第２ブリッジの端子ｆの電位より下がると、０Ｐ
アンプ４７の出力はＯレベルになりトランジスタ５０は
オフとなるのでパワートランジスタ４３が作動を始めて
電圧制御回路１７が動作を開始する。

その後再こび電熱ヒータ１０の発熱が始まり、電熱ヒー
タ１０の発熱により電熱ヒータ１０自身の抵抗値が増大
して第２ブリッジの端子ｆの電位より端子ｅの電位が大
きくなるど上述した動作を行なう。以上の動作をくり返
し行なつて流量測定管９内に空気流が存在しない時は発
熱制限回路１８により電熱ヒータ１０の表面温度は基準
抵抗２３〜２４で決定される設定温度以下に抑止され、
電熱ヒータ１０の異常発熱が防止される。なお、上記実
施例においては燃料噴射視エンジンに適用した例を示し
たが、気化器式エンジンにおいて吸入空気流量により排
気ガス再循環量、点ノ火時期進角量などを制御する場合
にも適用できる。

また、エンジンのみに限らず、他の工業計測分野におけ
る気体流量の測定にも適用し得る。また、測定回路１５
にアナログ直線化回路１９を用いたが、この他にＲＯＭ
（リードオンリイメモリイ）などを用いてディジタル信
号処理するようにしてもよいし、さらにリニアな出力を
要しなければ省略してもよい。以上述べたようにこの発
明によれば電熱ヒータの異常発熱による赤熱化を抑止で
き、電熱ヒータ１０の断線、特性劣化を防止てきて装置
の信頼性、耐久性を飛躍的に向上でき常に正確に流量を
測定できるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す全体構成図、第２図
及び第３図は第１図図示の電熱ヒータ、第１、第２温度
依存抵抗を示す斜視図及び正面図、第４図は第１図図示
の測定回路を示すブロック図、第５図は第４図図示の基
準抵抗回路、電圧制御回路、発熱制限回路を示す電気回
路図、第６図は第４図図示の直線化回路を示す電気回路
図、第７図は第１図図示の燃料制御ユニットを示す電気
回路図、第８図は作動説明に供するグラフである。 ３・・・・・・導管、９・・・・・・流量測定管、１０
・・・・・・電熱ヒータ、１１・・・・・・第１温度依
存抵抗、１２・・・・・・第２温度依存抵抗、１５・・
・・・測定回路、１７・・・・・・電圧制御回路、１８
・・・・・・発熱制限回路、２１〜２５・・・・第１〜
第５基準抵抗。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 被測定気体が流れる導管中に設けられる流量測定管
   と、この流量測定管内に設けられた電熱ヒータと、前記
   流量測定管内でこの電熱ヒータの下流側に設けられた第
   １温度依存抵抗と、前記流量測定管内で前記電熱ヒータ
   からの熱的影響を受けない位置に設けられた第２温度依
   存抵抗と、前記電熱ヒータ及び第１、第２温度依存抵抗
   の出力信号を用いて被測定気体の流量を測定する測定回
   路とを備え、この測定回路が、前記第１、第２温度依存
   抵抗と共に第１ブリッジを形成する第１基準抵抗及び第
   ２基準抵抗と、前記電熱ヒータと共に第２ブリッジを形
   成する第３基準抵抗、第４基準抵抗及び第５基準抵抗と
   、前記第１ブリッジの対角点の電位差が一定値となるよ
   う前記第１、第２ブリッジに出力電圧を印加する電圧制
   御回路と、前記第２ブリッジの対角点の電圧に応じて前
   記電圧制御回路の出力電圧を制限し、前記電熱ヒータの
   発熱を制限する発熱制限回路とを備えることを特徴とす
   る気体流量測定装置。