JPS6045571B2 - 樹脂封止用モ−ルド装置 - Google Patents

樹脂封止用モ−ルド装置

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JPS6045571B2
JPS6045571B2 JP55081363A JP8136380A JPS6045571B2 JP S6045571 B2 JPS6045571 B2 JP S6045571B2 JP 55081363 A JP55081363 A JP 55081363A JP 8136380 A JP8136380 A JP 8136380A JP S6045571 B2 JPS6045571 B2 JP S6045571B2
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JP
Japan
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mold
resin
plunger
cylinder
resin sealing
Prior art date
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JP55081363A
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English (en)
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JPS578107A (en
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通利 世良
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Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Priority to US06/271,118 priority patent/US4386898A/en
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Publication of JPS6045571B2 publication Critical patent/JPS6045571B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/76Measuring, controlling or regulating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/02Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、複数の樹脂押圧用シリンダを有するトラン
スファ・モールド、プレスと、上記シリンダに対応する
複数のポット、該ポットから分岐し。
たランナー、該ランナーにゲートを介して接続されたキ
ャビティをそれぞれ有する金型とからなる樹脂封止用モ
ールド装置に関するもので、特にリードフレーム上の多
数の半導体素子を樹脂封止する低圧トランスファ・モー
ルド装置に関するもの;である。 従来、リードフレー
ム上の半導体素子を樹脂封止するには、単一の樹脂押圧
用シリンダを有するトランスファ、モールド、プレスに
単一のポットを有するトランスファ・モールド・金型を
載せて成形が行なわれていた。
即ち、予備加熱された熱硬化性樹脂を上型のポット内に
投入し、これを前記樹脂押圧用シリンダのプランジャで
加圧することにより、樹脂をポットからランナー、ゲー
トを経てキャビティに圧送し、そこで固化させ、予めキ
ャビティ内に配設させてあるリードフレーム上の半導体
素子を樹脂封止する。このような上記樹脂封止用の金型
は、単一のポットからランナーが2〜10本分岐し設置
され、さらに各ランナーには2嘲程度のキャビティが配
設されている。 さて、近年、低圧トランスファ・モー
ルド・プレスの能力アップ、金型加工技術の向上、さら
にはモールド・システムの自動化等が進み、多数個取り
の大型金型が開発されつつある。
しかし、樹脂の流動特性等の点から最大流路長には自ず
から制限があり、また半導体素子を載置したリードフレ
ームを複数本同時にモールドするには単一ポットの金型
では困難であることが分つた。そこで、複数のポットを
有する低圧トランスファ・モールド金型が開発され、同
時に上記ポットに対応する複数の樹脂押圧用シリンダを
有するトランスファ・モールド・プレスが開発された。
ところが、上記トランスファ・モールド金型およびト
ランスファ・モールド・プレスからなるモールド装置は
、個々のシリンダの固有抵抗、管路の流動抵抗等により
、複数のプランジャの注入速度を機械的に(油圧回路上
)同期させることが極めて困難である。
最近に至つて、プランジャの注入速度を時間に対して可
変しようとする試みがなされているが、本モールド装置
では正確に同期させることが下可能である。同一のモー
ルド工程で、樹脂の注入速度が異つた場合には、金型に
充填された後の樹脂の硬化挙動が異なり、成形品の信頼
性にばらつきが生ずる。
しかも最近では、モールド樹脂の硬化時間も短縮される
傾向にあり、したがつて全成形時間に対する注入時間の
割合も大きくなつてきたため、注入時間のばらつきは重
大な問題となつた来た。その上、半導体素子の電極と外
部リードを接続するボンディング・ワイヤも近年ますま
す細くなる傾向にあり、樹脂注入速度の影響を受け易く
なつている。本発明は、以上の問題点を解決し、複数の
樹脂押圧用シリンダの注入速度を同期させて、一度に多
数の信頼性の高い樹脂封止形半導体装置を製造するため
の低圧トランスファ・モールド装置を提供するものであ
る。
以下図面に示した実施例を参照しながら本発明を説明す
る。
第1図は本発明に係る金型(下型)1とリードフレーム
2を示したもので、金型1は2個のポット3a,3bと
、それぞれのポットから分岐配設されたランナー4a,
4bと、キャビティ5a,5bとを備えている。なお、
6a,6bはキャビティ5a,5bの入口に形成したゲ
ートてある。第2図、第3図はトランスファ・モールド
・ブレス7に上記金型1を設置した状態を示したもので
ある。トランスファ●モールド●ブレス7は、上部に2
個の樹脂押圧用シリンダ8a,8bを備え、該シリンダ
内を摺動するプランジャ9a,9bの上端に突設したロ
ッド10a,10bにアーム11a,11bを配設して
いる。このアーム11a,11bは位置センサ12a,
12bまで延長配置され、それによつてプランジャ9a
,9bの位置を確認している。さらに、第3図には、ト
ランスファ・モールド・ブレス7の作動系13a,13
bと信号系14a,14bとが示してある。同図におい
て、作動系13a,13bにおける15a,15bはポ
ンプ、16a,16bは3位置切換弁、17a,17b
は電磁流量制御弁、18a,18bは背圧制御弁、19
a,19bは3位置切換弁であり、20a,20b,2
1a,21b,22a,22b,23a,23bは逆止
弁である。また信号系14a,14bにおける24a,
24bは制御装置で、25a,25bは比較器、26a
,26bはプログラム設定器、27a,27bは制御器
である。これら各要素は、以下に詳述する作動を行なう
ように、それぞれが配設されている。以下に本発明に係
るトランスファ●モールド●ブレス7の作動を一方の作
動系13aと信号系14aで説明する。
まず、切換弁16aおよび19aを共に第3図において
左方に移動させると、ポンプ15aから吐出される油液
は、逆止弁20a、切換弁16a1流量制御弁17a1
逆止弁21aを経てシリンダ8a内の上方圧力室に圧送
され、プランジャ9aを下方に押圧する。
一方シリンダ8a内の下方圧力室の油液は、背圧制御弁
18a1切換弁19aを経て排出される。したがつてプ
ランジャ9aは降下する。このプランジャ9aの降下移
動量はロッド10a1アーム11aを介して位置センサ
ー12aで検知されて比較器25aにに伝えられる。こ
の比較器では位置センサー12aによつて検知された実
際のプランジャ降下量とプログラム設定器26aに予め
プログラムされている理想的なプランジャ降下量とが比
較され、その差に応じた信号、たとえば実際のプランジ
ャ降下量がプログラムのものより大きい場合には、流量
制御弁17aを絞る信号が制御器27aから流量制御弁
17aに与えられる。したがつてプランジャ9aは常に
プログラムと比較制御をされて降下することとなる。こ
のような動作は他方の作動系13bおよび信号系14b
も全く同様である。なお、第3図に示した実施例では、
プログラム設定器26a,26bが別個に示されている
が、これらを1個の設定器にしてもよいことは勿論であ
る。次に切換弁16a,19aを共に第3図において右
方に移動させると、ポンプ15aから吐出される油液は
、逆止弁20a1切換弁16a、逆止弁22a、切換弁
19a、背圧制御弁18aを経てシリンダ8a内の下方
圧力室に圧送され、プランジャ9aを上方に押圧する。
一方シリンダ8a内の上方圧力室の油液は、逆止弁23
a1切換弁19aを経て排出される。したがつたてプラ
ンジャ9aは上昇する。なお、樹脂封止する間の作動、
たとえばプランジャ8aを適宜圧力で押下維持させる動
作等は、適宜に切換弁16a,19aを操作すればよい
本発明に係るトランスファ・モールド・ブレスとトラン
スファ・モールド金型とからなる樹脂封止用モールド装
置は、実際のプランジャ降下量を検知し、それをプログ
ラムの量と比較してプランジャに圧送される油圧を制御
しているので、複数のプランジャが確実に同期され、し
たがつてキャビティ内に送られる樹脂の流量、流速等が
完全に同期するので、多数個取りの大型金型による速硬
化成形が可能になつた。また、本発明に係る樹脂封止用
モールド装置によれば、樹脂注入速度を同期させながら
、時間に対して精密に可変制御をすることが可能である
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係る金型(下型)とリードフレーム
とを示した概念的な平面図、第2図は本発明に係る樹脂
封止用モールド装置の正面図で、トランスファ●モール
ド◆ブレスに金型を設置した状態を示しており、第3図
はその側面図を示したもので、さらに作動系および信号
系の回路を示している。 1・・・・・・金型、2・・・・・・リードフレーム、
3a,3b・・・・・・ポット、7・・・・・・トラン
スファ・モールド●ブレス、8a,8b・・・・・・樹
脂押圧用シリンダ、9a,9b・・・・・・プランジャ
、12a,12b・・・・・・位置センサー、13a,
13b・・・・・・作動系、14a,14b・・・・・
・信号系、17a,17b・・・・・・可変流量制御弁
、25a,25b・・・・・・比較器、26a,26b
・・・・・・プログラム設定器、27a,27b・・・
・・・制御器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 複数の樹脂押圧用シリンダを有するトランスファ・
    モールドプレスと、上記シリンダに対応する複数のポッ
    ト、該ポットから分岐したランナー、該ランナーにゲー
    トを介して接続されたキャビティをそれぞれ有する金型
    とからなる樹脂封止用モールド装置において、上記シリ
    ンダの樹脂押圧側管路に可変流量制御弁をそれぞれ介在
    させるとともに、上記各シリンダのプランジャに位置セ
    ンサーをそれぞれ備え、該位置センサーで検出した各プ
    ランジャの位置を予め設定されたプログラム設定器の出
    力信号と比較器によりそれぞれ比較し、該比較器の信号
    によつて上記可変流量制御弁を制御し、もつて上記樹脂
    押圧用シリンダの各プランジャ移動量を同期させるよう
    にしたことを特徴とする樹脂封止用モールド装置。
JP55081363A 1980-06-18 1980-06-18 樹脂封止用モ−ルド装置 Expired JPS6045571B2 (ja)

Priority Applications (2)

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JP55081363A JPS6045571B2 (ja) 1980-06-18 1980-06-18 樹脂封止用モ−ルド装置
US06/271,118 US4386898A (en) 1980-06-18 1981-06-08 Molding machine for encapsulation

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JP55081363A JPS6045571B2 (ja) 1980-06-18 1980-06-18 樹脂封止用モ−ルド装置

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JPS578107A JPS578107A (en) 1982-01-16
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