JPS6042217A - 高純度シリカの製造法 - Google Patents

高純度シリカの製造法

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JPS6042217A
JPS6042217A JP14795783A JP14795783A JPS6042217A JP S6042217 A JPS6042217 A JP S6042217A JP 14795783 A JP14795783 A JP 14795783A JP 14795783 A JP14795783 A JP 14795783A JP S6042217 A JPS6042217 A JP S6042217A
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silica
sol
sio2
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aqueous soln
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Hiroyuki Kashiwase
弘之 柏瀬
Muneo Mita
三田 宗雄
Toshihiko Morishita
森下 敏彦
Hitoshi Koshimizu
仁 輿水
Kazuyoshi Torii
鳥居 一義
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 更に詳しくは、電子材料等、高純度を要する特殊な分野
に用いられる樹脂等の充填剤、接着剤、研磨剤、基板、
パッケージ材料等の用途に適用できる高純度シリカの製
造方法に関する。
従来、シリカはゴム、樹脂等の補強充填剤などとして広
く利用されておシ、最近では電子技術の発展により、利
用する上でよ勺高純度のシリカの要望が多くなってきて
いる。たとえばLSI,或いは超し.E工のパッケージ
材料として用いる場合、パッケージ材料、樹脂中にα一
放射体、特にウラン、トリウム等が微量でも存在すると
放射性崩壊を伴ってα一粒子が放出され、これがICチ
ップ中に貫入してダイナミックRAM,OODの記憶ノ
ード付近に大量の電子−正孔対を生成し、このためンン
トエラーを生じ易く、従って充填剤、基板等の材料選択
は重要である。その他たとえばナトリウム、カリウム、
カルシウムなどの金属、硫酸根、塩化物などの電解質、
その他の可溶性物質などのような不純物のないシリカが
望ましい。
従来、汎用樹脂、ゴム等め充填剤として利用されている
シリカは主に珪酸アルカリと酸による中和反応から得た
v1気相反応により得たり、珪酸エステル、四塩化珪素
などの加水分解から得たりして実用に供しているが、安
価な珪酸アルカリを原料とするシリカは純度の点で問題
がラシ、気相反応によるシリカや珪酸エステルなどの加
水分解によるものは高価であったシして、純度および経
済性の点で上記用途に両立するシリカの出現が待ち望ま
れていた。たとえば珪酸アルカリと酸の中和反応によっ
て得られる湿式法によるシリカ粉末は生成するシリカ沈
殿中に母液中の塩類や不純成分のコロイドなどが包含さ
詐ておシ、これらを除去するために多量の洗浄水、酸液
を必要とし極めて非能率的であるのみならず、完全に除
去できないので、特に電子材料用の高純度シリカの供給
は不可能と言える。
他方、珪酸アルカリ水溶液よp高純度シリカを製造する
方法としてはイオン交換樹脂を用いてシリカゾルを生成
せしめ、次いで沈殿状シリカとして回収することが知ら
れている(*公昭36−9’l/夕号、特公昭34−1
8313号、特公昭、??−aaoII号)。これら従
来の方法ではいずれもシリカの沈殿の沈降性及び濾過性
が不良であるため、濾過洗浄に多大の時間を要すばかり
でなく、濾過ケーキの含水率が著しく犬であシ、得らn
るシリカ中の狭雑不純分も充分分離除去できない。
凸 このような現状に鑑み、本発者らは珪酸アルカリ水溶液
からより工秦的に有利に高純度シリカを得るべく研究を
鋭意行った結果、本発明を完成した。
即ち、本発明は珪酸アルカリ水溶液をイオン交換樹脂ま
たはイオン交換樹脂とキレート樹脂とで処理して得られ
る酸性シリカゾルにSin。
1モル当り0.5モル以下のアンモニア水を添加して、
中性ないし弱アルカリ性としたのち、次いで該ゾルとア
ンモニウム塩水溶液とを常に反応系のpHが/ 0.!
f以下弱アルカリ性条件下で混合してシリカの沈殿を析
出させ、これを分瓢回収することを特徴とする高純度シ
リカの製造方法である。
本発明において、原料の珪酸アルカリは通常8102 
として20ないし33重量%の市販されている珪酸ナト
リウム、珪酸カリウムの水溶液などが利用できるが、こ
れら原料中には不純物として、概ねFe、O,j Op
pm以上、AJ、o、 #70I)T)In以上、so
4soppm 以上、Qf−g Opi)m 以上など
雑多な不純物が存在する0これら多くの不純物はイオン
として溶液中に溶存しておシ、他に非常に細かい水酸化
物や珪酸塩の不溶性粒子かコロイド状などとなって存在
していることが多い。従って、原料珪酸アルカリ水溶液
はその液性又ll′i製品シリカの用途などの如何によ
ってはイオン交換樹脂によるシリカゾルの生成に先立っ
て、予め、原料液を必要に応じて一般濾過、ミクロフィ
ルター、限外濾過又は所望のg&着剤による共沈除去あ
るいはこれらの組合せによる精製操作を行なうことが望
ましい。
珪酸アルカリ水溶液よシシリカゾルを生成させる方法は
公知であり、常法に従ってゾルを生成させるが、通常、
810. として−〜7N量チ、好ましくはグ重量%前
後の濃度に希釈した液を用いる。イオン交換操作におい
て、該樹脂を充填したカラムに被処理溶液を通過させる
方法が一般的であるが、他の方法、例えばイオン交換樹
脂と珪酸アルカリ水溶液とを直接混合するバッチ方式も
可能である。
該溶液をイオン交換樹脂と接触させてアルカリ金属又は
アルカリ土類金属の殆んど全てを分離除去して酸性ゾル
を得る。
この場合、本発明においては、珪酸アルカリ水溶液の液
性又はシリカの用途に応じて、前記接触処理は7回又は
複数回同種又は異種のイオン交換樹脂および/又はキレ
ート樹脂を所望に応じて用い操作することができる。
通常、高純度のシリカを希望する場合には、酸型にした
陽イオン交換樹脂、次いで水酸型にした陰イオン交換樹
脂および陽イオン交換樹脂による処理を順次行ってゾル
を生成させることが好ましい。
この酸性ゾルはpH/、ざないし3.0で回収したもの
でゾルを構成するシリカ粒子の粒度は6mμ以下の極め
て活性なゾルであり、やや不安定で長時間放置すると粘
性が上がり最終的にはゲル状に固結するため長時間の放
置は避けるべきである。
かかるイオン交換樹脂によるシリカゾルの生成により原
料溶液中にイオン状態で存在する不純物は実質的に除去
されるけれども、より完全に不純イオンを除くために、
必要に応じてイオン交換樹脂と共にキレート樹脂を併用
して接触処理することも差支えない。
かくして、精製されたシリカコロイドの酸性ゾルは、含
水シリカとして沈殿し回収するが、この場合、沈殿の析
出条件を誤まるとシリカの純度を低下させるのみならず
操作上のトラブルも生じるので、このシリカの析出条件
が4りめて重要となる。
従って、本発明においては、上記の酸性ゾルにアンモニ
ア水を5in21モル当り0.Sモル以下、奸才しくは
θ、2〜O,Sモル添加して中性ないし弱アルカリ性に
i14 Mしたゾルとアンモニウム塩水溶液とを撹拌状
態において常にpHを70.3以下の弱アルカリ性条件
下で反応させることによりシリカの沈殿を析出させる。
この場合、反応時のpHが高すき゛ても、また中性から
酸性であっても、本発明において都合の良い、良好な沈
殿を得るこきはできない。例えば、反応の大部分が酸性
乃至中性で行なわれると半透明の寒天状の(シリカの)
部分が多くなり、含水率が篩<ト過性の悪い沈殿となる
このような沈殿は洗浄が極めて困難であるばかりでなく
、乾燥や焼成により収縮し、短髪が生じたり、容易に粉
砕できない堅い塊となってしまい以後の操作を著しく妨
害することになる。また、反応が強アルカリ性で行なわ
れると気化するアンモニアの量も多くなり、作業環境が
悪化するとともに生成したシリカは非常に微粒となり、
f過が困難になったり、沈降性が悪くなってしまう。
該ゾルきアンモニウム塩水溶液との混合は、個別的同時
混合又は、アンモニウム塩水溶液の中へ該ゾルを添加す
る方法がとられるが、一般的には後者の方がよい。しか
しその逆の添加、即チ、該ゾルの中へアンモニウム塩水
溶液の添加は避けるべきである0 アンモニウム塩水溶液の濃度は、塩の種類によって異な
るが、通常S−−〇重i%奸才しくは、7〜/341が
よい。
アンモニウム塩濃度が、上記の範囲外であると析出する
シリカの一部又は大部分が透明性を帯びた寒天状シリカ
となったり嵩高の沈殿となりr過性が著しく悪化し、ま
た含水率が非常に島く、つづく回収操作が困難となった
り、製品粒度のコントロールが出来なくなったりする。
反応器中に予め仕込むアンモニウム塩水溶液の量は添加
するシリカゾルの添加速度、シリカ濃度、アンモニウム
塩水溶液の濃度、製品の所望粒度などの付帯条件によっ
て異なるが少くとも添加するシリカゾルの量の//S量
以上は必要である。
シリカの凝析剤として使用するアンモニウム塩としては
、例えば塩化アンモニウム、炭酸アンモニウム又は硝酸
アンモニウム等加熱により分解揮散する塩類が適当であ
る。
なお、シリカを析出させる際の温度は、特に限定する理
由はなく、常温又は加温のいずれであってもよいが反応
系のpHは充分制御することが必要で、常に弱アルカリ
性の状態で穏やかに析出することが好ましい。
かくして、得られた含水シリカの沈殿は、f過性の極め
て良好なものであり、これを沢過により母液と分離し、
必要があれば水洗および揮発性の例えば塩酸、硝酸等の
酸で洗浄した後ha回収する。次いで、この濾過ケーキ
をシリカの使用目的に応じて、乾燥又は焼成によって脱
水処理を行い、必要がおれば粉砕して製品とする。
かくして本発明の方法によ詐ば、通常の珪酸アルカリを
シリカ源として従来法では得られなかった不純物濃度が
Ha、O/ Oppm以下、F e、O。
/ Oppln 以下、U 7 ppb以下であるよう
な高純度のシリカが工業的に有利に効率よく得ら扛る。
また、本発明の成績物は、その粒子状態も良好で分散性
の良い微粉末状のシリカでおるため、ICパッケージ用
樹脂=ンパウンドの充填剤として最適であるばかりでな
く、高度の品質を必要とするその他の各種の用途に実用
的な原材料として部用されることが期待される。
実施例 / 市販の5183号珪酸ソーダ水溶液をSin、としてダ
、O重景−に希釈した後、ミクロフィルターにてP、!
したものを原料液とする。この薄い珪酸ソーダ水溶液を
酸型にしてらるアンバー2イトエR/、20B (オル
ガノ株式会社製)に通して酸性シリカゾルを得、次いで
、このゾルにアンモニア水を添加して弱アルカリ性にし
た後、水酸型にした陰イオン交換樹脂(アンバーライト
xRH10(オルガノ株式会社製)で陰イオン交換し、
これを再び上配陽イオン変換樹脂で陽イオン交換して酸
性ゾルを得た。
得られた酸性シリカゾル(Sin、; j。rit%>
上記の中和シリカゾルをio重f%硝酸アンモニウム水
溶液中に常温にて反応系のpHが常にざ、、lt −9
,0の範囲となるように徐々に添加混合し攪拌を続けた
ところ、沈降性良好なシリカの沈殿が生成した。
次いで、この沈殿を81過分離し水洗した後、再分散さ
せて硝酸水溶液でシリカの酸洗浄を行って再び濾過分離
し、水洗した。こうして得られたシリカの?Fi過ケー
キを1.2□℃で乾燥した後1、約gzo℃の温度で電
気炉にて加熱処理した。次いで得られた焼成物を粉砕し
て自由流動性のある高純度シリカ粉末を得た。
このシリカの不純物含有量はN〜O:/、jppm、F
e、O,: /、λppm 、The、 : / 6 
ppb 、U30. : /、0ppb以下であつfc
(ただし、トリウム、ウランは放射化分析による)。
実施例 コ 市販のJ工s3号珪酸ソーダ水溶液を810.としてy
、o重量%に希釈し、次いで限外濾過により和製した希
釈珪酸ソーダ水溶液を実施例/と同様な操作でイオン交
換処理を行って酸性シリカゾルを得た。次いで、との酸
性ゾルにアンモニア水を加えて弱アルカリ性にしたのち
、苛性ソーダで再生しであるアンバー2イトエRjl/
θ(オルガノ株式会社製)で陰イオン交換し、こ扛を再
びアンバー2イトIR/、Z□B で陽イオン交換して
酸性ゾルを得た。こうして得ft酸性シリカゾル溶液(
SiO,、?、ff重量多含有)301に2g重艮慢ア
ンモニア水溶液り00−を加え攪拌した。この場合NH
,/SiO,のモル比は約θ0.?5である。
次いで、硝酸アンモニウム水溶液(/ /、!r重重量
%NH4No金含有301に攪拌しながら常温で上記の
弱アルカリ性にしたシリカゾル溶液を7.2よ−7分で
添加して沈降性良好なシリカ沈殿を得た。
次に沈殿を攪拌して均質なスラリー状態となし、一部を
取り出して、うち1ooo−をトールシリンダーに入れ
、静置して一定時間後、分離した上澄液の蕾を測定した
。その結果を第1図+a)に示す。このシリカ含有スラ
リーを1過したのち106のイオン交換水を上から流し
洗浄し、再び水に分散した。この中に、硝酸(ルθ重量
%HNOs含有)、2にダを加え夕重量%HNO,とな
る様にしたのち攪拌し、酸洗浄を施し、再び濾過、p過
層の上部からイオン交換水を流し洗浄した。
この洗浄したシリカ沈殿の含水率は約ざ5チであったが
、これを熱風乾燥機で/−0℃で大部分の水分を除去し
たのち電気炉にて9θo℃で焼成して製品を得た。焼成
品は指頭で容易に粉砕できるほどであったが、ジェット
ミルで粉砕した製品は極めて分散性の良い自由流動性に
優れた粉末で、その不純物の含有量はNa、O: /、
!rpp” % Fe!’% ”−’ ppm s T
h’% ” ” pPb% ”sQ: /、Oppb以
下であった。
実施例 3 実施例−と同様の操作を用い、硝酸を用いる所を塩酸、
硝酸アンモニウムを用いる所を塩化アンモニウムを用い
て行なった0凝析剤の塩化アンモニウムはg、o重量%
水溶液JO1を用いた0 その結果、実施例コと同様のシリカの凝析沈殿が得られ
、その静置沈降させた場合の上澄液量は第1図(b)に
示す通シであった。焼成したシリカ製品は自由流動性に
優れた粉末で不純物含有率Ma!O:八4(ppm、 
Fe、O,: /、/ ppm、 The。
: 3.t ppbllT、O,: /、Oppb以下
であった。
比較例 l 実施例−と同じ5183号珪酸ソーダを810!にして
y、o重量%まで希釈し、アンバー2イトIR/ユOB
(オルガノ株式会社fA)K通して酸性シリカゾルを得
た。このシリカゾルをアンバー2イトエRA II /
 0で(オルガノ株式会社製)陰イオン交換し、さらに
アンバー2イトエR/20Bで陽イオン交換して、シリ
カゾルを得た。このシリカゾルlθlにコを重量%アン
モニア水溶液10θプを徐々に添加し、均質に混合した
。このアンモニア水を添加したシリカゾル(NH,/B
 io□のモル比約へ56)を実施例1と同様の速度で
λモル/l濃度の塩酸−7に攪拌しながら添加゛したが
、反応途中よシ粘性が増大し、沈殿は沈降性が゛悪く含
水率の高いものでちった。この反応生成物に水を加え−
てS10.濃度として実施例ユで得たスラリーと同じに
して、実施例−の方法で沈降性の評価を行なった。その
結果を第1図(C)に示す。
得らtたシリカは粉砕し難いゲル状固化した塊を含み、
不純物含有量も多いものであった。
比較例 コ 実施例λに示したのと同様のアンモニア水を添加したシ
リカゾルilに、やはり実施例コと同様の硝酸アンモニ
ウム水溶液/lを5−7分の速度で攪拌しながら添加し
たが、添加せが増加するにつれてスラリーの粘性は上昇
し、寒天状の半透明なゲルとなってしまい、攪拌が不能
な状態になってしまった。
【図面の簡単な説明】
図は、実施例と比較例とにおいてシリカゾルよりシリカ
を生成させたときの沈降性をみるために、沈降時間と上
澄液量との関係を示すグラフである。図中;(a)は実
施例二による操作、(1))は実施例3による操作、(
C)は比較例/による操作である。 特許出願人 日本化学工業株式会社 第1頁の続き 0発 明 者 鳥 居 −義 東京都江東区亀戸9Ir
目1添1号 日本化学工業株式会社 手続補正書 昭和5陶10.解7日 特許庁長官殿 ]、 事件の表示 昭和sg年特許願第2ダクタ57 号 2、 発明の名称 高純度シリカの製造法 3、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 4、代理人 6、補正の内容 fil 明細書第73頁1行r/AppbJを[6pp
b Jと補正する。 (2)同第1j頁3行「グppb Jを「コダppb 
Jと補正する。 (3)同第1S頁/1行「、y、t’ppb Jを[3
gppbJと補正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 l 珪酸アルカリ水溶液をイオン交換樹脂と接触させて
    生成する酸性シリカゾルに810,1モル当り005モ
    ル以下のアンモニア水を添加して中性ないし弱アルカリ
    性シリカゾルとなし次いで、該ゾルとアンモニウム塩水
    溶液とを常に反応系のpHが/ OJ以下の弱アルカリ
    性条件下で混合してシリカの沈殿を析出させて、これを
    分離回収することを特徴とする高純度シリカの製造法。 ユ 分離回収するに当シ、揮発性の酸でシリカの沈殿を
    洗浄する特許請求の範囲第1項記載の高純度シリカの製
    造法。 ユ アンモニウム塩が塩化アンモニウム、硝酸アンモニ
    ウム又は炭酸アンモニウムから選ばれfc/種又は一種
    以上のものである特許請求の範囲第1項記載の高純度シ
    リカの製造法〇
JP14795783A 1983-08-15 1983-08-15 高純度シリカの製造法 Granted JPS6042217A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4683128A (en) * 1985-06-27 1987-07-28 Nitto Chemical Industry Co., Ltd. Process for manufacturing high purity silica
JPWO2014010230A1 (ja) * 2012-07-10 2016-06-20 日本板硝子株式会社 金属酸化物を含む粒体の製造方法

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US4683128A (en) * 1985-06-27 1987-07-28 Nitto Chemical Industry Co., Ltd. Process for manufacturing high purity silica
JPWO2014010230A1 (ja) * 2012-07-10 2016-06-20 日本板硝子株式会社 金属酸化物を含む粒体の製造方法

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