JPS6040927A - Interference spectroscope in infrared region - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To protec a beam splitter, by providing a cover, which surrounds the beam splitter in an airtight manner in an interference spectroscope in an infrared region. CONSTITUTION:A beam splitter (BS) 1 in an interference spectroscope in an infrared region is attached to a supporting tool 2. A cover 4 is provided so as to surround the BS1. The cover 4 can be moved up and down through a guiding hole 10 of an upper covering plate 8 and a guiding rod 9. A spring 12 compresses the cover 4 to an elastic member 6 of a receiving table 7. A drying chamber 13 is provided on holes 17 provided in the ceiling of the cover 4. A solid drying agent is enclosed in the chamber 13. When the spectroscope is used, the inside of the spectroscope is filled with a dry gas. Then, the entire cover is moved up through a driving device, a pinion, and a rack. Thus the BS1 is protected.

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、赤外分光器における吸湿性光学素子の保護装
置に関し、特に、赤外干渉分光器における、ビームスプ
リッタ−１すなわち、光束分割子の保護装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (A) Industrial Application Field The present invention relates to a protection device for a hygroscopic optical element in an infrared spectrometer, and more particularly, to a protection device for a hygroscopic optical element in an infrared interference spectrometer. Relating to child protection devices.

本発明の赤外干渉分光器は、従来の赤外分光器と同様に
遠赤外及び赤外線スペクトル、特に遠赤外及び赤外線吸
収スペクトルの測定に使用されるものであり、その利用
分野も、同様に、化学、薬学、農学、生物学をはじめ公
害領域に至るまで極め【広範囲に及ぶ。The infrared interference spectrometer of the present invention is used to measure far-infrared and infrared spectra, particularly far-infrared and infrared absorption spectra, in the same way as conventional infrared spectrometers, and its fields of application are also similar. In addition, it covers a wide range of fields, including chemistry, pharmacy, agriculture, biology, and even pollution fields.

（ロ）従来技術 赤外干渉分光器は、プリズム又は回折格子を使用した従
来の分散型（走査型）分光器と異なり、干渉計、例えば
、マイケルソン干渉ｈ１を使用するものであり、従来の
分散型分光器に比べて感度がはかるに高く、また、測定
に要する時間も大きく短縮されるなど多くの点ですぐれ
ている。(b) Prior art Infrared interference spectrometers, unlike conventional dispersive (scanning) spectrometers that use prisms or diffraction gratings, use interferometers, such as Michelson interference h1, and are different from conventional infrared interference spectrometers. Compared to dispersive spectrometers, it is superior in many respects, including much higher sensitivity and significantly shorter measurement times.

ところで、赤外干渉分光器の干渉計に使用するビームス
プリッタ−には、赤外線の透過性の上から臭化カリウム
（ＫＢｒ）、塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）、臭化セシウ
ム（Ｃ８Ｂｒ　＞、ン大化セシウム（Ｃｓｌ）等が支持
体として使用され、そして、この支持体にゲルマニウム
（Ｇｅ）、珪素（Ｓ　ｉ　）　、二三゛酸化鉄（ＦｅＬ
０３＞などを適当にコーティングしたものが使用されて
いる。しかし、これら臭化カリウム等は、水に対して溶
解性が高く、また、吸湿性もあるので、空気中の水蒸気
でも侵されてくもりが生じ易く、保存が難しいのが難点
であった。従来の分光器内には、ビームスプリンターは
、そのまま、むき出しで取り付けられていたために、保
存が難しく、したがって、分光器を恒湿至に設けるか、
或は、分光器を使用しない時は、ビームスプリッタ−を
取りはずして、デシケータ−等に入れ、保存するのが一
般であった。By the way, the beam splitter used in the interferometer of the infrared interference spectrometer is made of potassium bromide (KBr), sodium chloride (NaCl), cesium bromide (C8Br), (Csl) etc. are used as a support, and on this support germanium (Ge), silicon (S i ), iron oxide (FeL
03> etc. are used. However, since potassium bromide and the like are highly soluble in water and hygroscopic, they are easily eroded by water vapor in the air and become cloudy, making storage difficult. In the conventional spectrometer, the beam splinter was installed as it is, exposed, making it difficult to store. Therefore, the spectrometer must be installed at constant humidity or
Alternatively, when the spectrometer was not in use, it was common to remove the beam splitter and store it in a desiccator or the like.

しかし、ビームスプリッタ−の取付位置のＭ瓜は、干渉
強麿に直接形Ｗするために、一旦、取りはずしたビーム
スプリッタ−を取り付ける度毎に、光軸の精密調整をし
なければならない。ところが、光軸の精密ａｍの機構は
、複雑であり、しかも、ビームスプリッタ−は破損し易
く、高価でもあるため、取りはずし或は取りつけ等の操
作は、十分に注意して行なわなければならず、したがっ
て、時間もかかり、面倒であった。However, in order to directly form the beam splitter at the mounting position of the beam splitter with strong interference, the optical axis must be precisely adjusted every time the beam splitter is mounted after being removed. However, the precision AM mechanism of the optical axis is complex, and the beam splitter is easily damaged and expensive, so operations such as removal and installation must be performed with great care. Therefore, it was time consuming and troublesome.

（ハ）目　的 本発明は、このような従来の赤外干渉分光器におけるビ
ームスプリッタ−を保護する上での問題点を解決するも
のであり、ビームスプリッタ−を赤外域干渉分光器に取
り付けた状態の、限られた空間内で、ビームスプリッタ
−を保護する装置を提供するものである。(c) Purpose The present invention is intended to solve the problems in protecting the beam splitter in such conventional infrared interference spectrometers, and to solve the problems in protecting the beam splitter in the conventional infrared interference spectrometer. The present invention provides a device for protecting a beam splitter in a confined space.

（ニ）構　成 本発明は、赤外域干渉分光器内に、ビームスプリッタ−
を気密に包囲する覆いを設けたことを特徴とする、赤外
域干渉分光器にある。(d) Configuration The present invention includes a beam splitter in an infrared interference spectrometer.
An infrared interferometry spectrometer is characterized in that it is provided with a cover that airtightly surrounds it.

本発明の明１Ｉｌｌ書において赤外域とは、赤外から遠
赤外領域をいい、したがって、本発明の赤外域干渉分光
器は赤外から遠赤外領域に使用されるものである。In the specification of the present invention, the infrared region refers to the infrared to far infrared region, and therefore, the infrared interference spectrometer of the present invention is used in the infrared to far infrared region.

本発明にいうビームスプリッタ−は、水に溶解性で吸湿
性の赤外域透過材料を使用した赤外域での半透過鏡をい
い、このようなビームスプリッタ−としては、例えば、
Ｇｅ　ｓ　Ｓ＋　、ＦｅｚＯ３などを、ＫＢｒ、　Ｎａ
Ｃｌ　、ＣｓＢｒ　％Ｃ８Ｉなどの赤外線透過性支持体
に適当な厚さにコーティングしたものがあり、また、こ
のようなコーテイング面を間にして、２枚の支持体をサ
ンドインチ状に使用したものもある。The beam splitter referred to in the present invention refers to a semi-transmissive mirror in the infrared region using a water-soluble and hygroscopic infrared transmitting material, and examples of such a beam splitter include, for example:
Ge s S+ , FezO3, etc., KBr, Na
There is one in which an infrared transparent support such as Cl, CsBr %C8I is coated to an appropriate thickness, and there is also one in which two supports are used in a sandwich shape with such a coated surface in between. be.

ビームスプリッタ−を包囲する覆い部材の壁部分は、湿
気を遮断する材料であれば足りるが、加工がし易く、ま
た、耐触性であって、機械的強痕にすぐれている点で金
属製が望ましい。一方、覆いの天井部分は、側壁部分と
同じ金属製でもよいが、側壁部分は、上下方向に動く時
に伸縮できるゴムまたはプラスチック等で製造した蛇腹
等を用いることができる。これら覆いの側壁部分はビー
ムスプリッタ−を包囲するために、この侭では、覆い部
材の壁部分が光路を遮るところとなるが、使用時には、
少なくとも光路に当る壁部分は、光路を遮らないように
移動させねばならない。The wall portion of the cover member that surrounds the beam splitter can be made of any material that blocks moisture, but it is preferable to use metal because it is easy to process, has good contact resistance, and has excellent mechanical damage resistance. is desirable. On the other hand, the ceiling portion of the cover may be made of the same metal as the side wall portion, but the side wall portion may be made of a bellows or the like made of rubber or plastic that can expand and contract when moving in the vertical direction. Since the side wall portions of these covers surround the beam splitter, the wall portions of the cover members block the optical path in this state, but when in use,
At least the portion of the wall that is in contact with the optical path must be moved so as not to block the optical path.

しかし、赤外干渉分光器のビームスプリッタ−の取り付
けられている箇所は空間が限られているので、上方に移
動さけるのが、スペースをとらないので、赤外干渉分光
器の製造及び操作上好ましい。支柱等の案内部材を設け
てこれに案内させると、覆いの上下方向の移動経路を安
定することができる。また、このように、覆い部材全体
を上方に移動させると、光路の位置が自由にとれ、しか
も、駆動機構が簡単となるところから好ましい。However, since the space where the beam splitter of an infrared interference spectrometer is installed is limited, it is preferable to move it upwards to save space and to manufacture and operate the infrared interference spectrometer. . If a guide member such as a support is provided to guide the cover, the vertical movement path of the cover can be stabilized. Furthermore, it is preferable to move the entire cover member upward in this manner because the position of the optical path can be freely determined and the drive mechanism is simple.

しかし、（り返し移動させる関係上、覆い部材の一部を
上下方向に移動自在の扉に形成して、該扉のみを上下方
向に移動させるようにすることもできる。また、側壁部
分を、上下方向に伸縮できるゴムまたはプラスチック等
で蛇腹状に形成すると、覆いを効率よく収納することが
できる。However, (for reasons of repeated movement, it is also possible to form a part of the cover member into a door that is movable in the vertical direction, so that only the door can be moved in the vertical direction. If the cover is formed into a bellows-like shape using rubber or plastic that can be expanded and contracted in the vertical direction, the cover can be stored efficiently.

覆いの水平断面は、円筒状であるのが簡単でよいが、四
角形状であってもよく、また、その他任意の形状にして
も差支えない。The horizontal cross section of the cover may simply be cylindrical, but it may also be square or any other arbitrary shape.

覆いの下端は、分光器の基板面又は基板に設けられた受
け台の面に対して気密に接するものである。したがって
、覆いの下端或は分光器の基板の当接箇所又は受け台の
少なくともいずれか一方には弾性部材を設けて、覆い下
端との当接が気密となるようにするのが好ましい。The lower end of the cover is in airtight contact with the substrate surface of the spectrometer or the surface of a pedestal provided on the substrate. Therefore, it is preferable to provide an elastic member on at least one of the lower end of the cover, the abutment area of the substrate of the spectrometer, or the pedestal so that the contact with the lower end of the cover is airtight.

このようにすると、覆いを下方に移動させて、その下端
を基板又は受け台に当接させることにより、ビームスプ
リッタ−は、分光器内で、完全に外気と遮断される。し
かし、限られた空間の僅かな湿気によっても、ビームス
プリッタ−の腐蝕は進行するから、遮断された空間を乾
燥剤室と連通さじるのが、ビームスプリッタ−の腐蝕防
止の上ですぐれており好ましい。In this way, by moving the cover downward and bringing its lower end into contact with the substrate or pedestal, the beam splitter is completely isolated from the outside air within the spectrometer. However, even a small amount of moisture in a confined space will cause corrosion of the beam splitter, so it is best to communicate the blocked space with the desiccant chamber in order to prevent corrosion of the beam splitter. preferable.

乾燥剤室は、覆いの天井部に設けられた孔の上に設各ノ
るか、或は、基板に設けられた孔の上にビームスプリッ
タ−と並設して設け、ビームスプリッタ−の取りｆｊは
位置の基板に連通孔を設けて、基板内又はその下方で乾
燥剤室とビームスプリッタ−の周囲を連通させてもよい
。このようにすることによって、ビームスプリッタ−を
湿気から防ｍ　することができる。The desiccant chamber is installed above the hole provided in the ceiling of the cover, or installed above the hole provided in the substrate in parallel with the beam splitter. A communication hole may be provided in the substrate at the position fj to allow communication between the desiccant chamber and the periphery of the beam splitter within or below the substrate. By doing so, the beam splitter can be protected from moisture.

乾燥剤室は、底部のビームスプリッタ−が存在づる空間
と連通ずる孔に、乾燥剤を保持するために、乾燥剤に対
し不活性な材料製の網状、布状又゛は紙状のもの、例え
ば、金網、プラスチック網、布、紙等が張設される。ま
た、例えば、多孔質の容器、紙袋等に乾燥剤を入れて、
ビームスプリッタ−に触れない箇所に適宜配置すると、
特に乾燥剤室を設ける必要はない。乾燥剤は固体の乾燥
剤であればいずれも使用できるが、水分を吸収する過程
で潮解するものは好ましくはない。例えば、力性アルミ
ナ、シリカゲル、無水硫酸カルシウム、酸化マグネシウ
ム等が好ましい。The desiccant chamber is a mesh, cloth, or paper-like material made of a material inert to the desiccant, in order to hold the desiccant in the hole communicating with the space where the beam splitter is located at the bottom. For example, wire mesh, plastic mesh, cloth, paper, etc. are stretched. Alternatively, for example, put a desiccant in a porous container, paper bag, etc.
If you place it appropriately where it won't touch the beam splitter,
There is no particular need to provide a desiccant chamber. Although any solid desiccant can be used as the desiccant, it is not preferable to use one that deliquesces during the process of absorbing moisture. For example, alumina, silica gel, anhydrous calcium sulfate, magnesium oxide, etc. are preferred.

（ホ）実　施　例 第１図ないし第５図は、夫々、別個に本発明の一実施例
の赤外域干渉分光器のビームスプリッタ一部分の部分断
面図である。(E) Embodiment FIGS. 1 to 5 are respectively partial sectional views of a portion of a beam splitter of an infrared interference spectrometer according to an embodiment of the present invention.

ビームスプリッタ−１は、基板３に取り付けられたビー
ムスプリッタ−保持具２に取り付番ノられており、それ
を囲んで覆い４が設けられている。The beam splitter 1 is attached to a beam splitter holder 2 attached to a substrate 3, and a cover 4 is provided surrounding it.

覆い４の上部の覆い板には、側壁５から張出した縁部８
が設けられており、縁部８は、その端部に、例えば、ラ
ックが設けられ、ビニオンを介して駆動源に接続する（
共に図示されていない。）。該縁部８の適宜複数の箇所
に、案内孔１０が設けられており、案内棒体９を、夫々
、案内孔１０に挿通して、覆いの上下の移動を円滑なも
のとし°ている。縁部８には、複数個のスプリング１２
が、夫々、その一端を固定し、他端を基板２に取付けた
スプリング止め具１１　に固定して、覆い４を下方に押
圧するように設けられている。覆い４の下端５は、覆い
受け台７に設けられた弾性部材６と気密に接触し、覆い
４内への外気の侵入を遮断する。The upper cover plate of the cover 4 has an edge 8 extending from the side wall 5.
The edge 8 is provided with a rack at its end, for example, and is connected to a drive source via a pinion (
Both are not shown. ). Guide holes 10 are provided at a plurality of appropriate locations on the edge 8, and guide rods 9 are inserted through the respective guide holes 10 to allow smooth vertical movement of the cover. A plurality of springs 12 are attached to the edge 8.
are respectively fixed at one end and fixed at the other end to a spring stopper 11 attached to the base plate 2, so as to press the cover 4 downward. The lower end 5 of the cover 4 is in airtight contact with an elastic member 6 provided on the cover holder 7 to block outside air from entering the cover 4.

覆い４の天井部に形成された孔１７上には、乾燥剤室１
３が設けられおり、固体の乾燥剤が収納される。乾燥剤
の働きにより、覆い４に覆われ内部は湿度が低下し、ビ
ームスプリッタ−１の腐蝕が防止される。乾燥剤は、長
ＲＩＩＩ使用下に粉化して、ビームスプリッタ−等の鏡
面に付着して、曇りを生じたりするので、乾燥剤室の底
部は目の粗い網よりも目の細い布又は和紙状のもので製
造するのがよい。乾燥剤の取り替えは乾燥剤の状態を窓
１４から確かめて行う。使用時は、覆い４が、光路を遮
るために、覆い４を光路から除くために、例えば、駆動
装置、ごニオン及びラック（共に図示されていない。）
を働かせて覆い４全体を上方に移動さＵる。しかし、そ
の前に乾燥空気又は、窒素ガスを分光器全体に充たすか
、又はビームスプリッタ−の周囲を昇温して相対湿度を
下げた状態にする。覆い４の移動行程を小さくするため
、覆い受りｔ台７を、適当な高さに設けるとよい。この
装置は、電源を切ったり、停電の時は、例えば、電磁ク
ラッチがＯＦＦになることにより、引張りばね１２の働
きによって、自動的に覆いは下降し、気密に、外気と遮
断される。A desiccant chamber 1 is located above the hole 17 formed in the ceiling of the cover 4.
3 is provided, and a solid desiccant is stored therein. Due to the action of the desiccant, the humidity inside the cover 4 is reduced and corrosion of the beam splitter 1 is prevented. The desiccant becomes powder when using ChoRIII and adheres to the mirror surface of the beam splitter, causing cloudiness. Therefore, the bottom of the desiccant chamber should be covered with a thin cloth or Japanese paper rather than a coarse mesh. It is best to manufacture it using The desiccant is replaced by checking the condition of the desiccant through the window 14. In use, the shroud 4 is used to block the optical path and to remove the shroud 4 from the optical path, for example by means of a drive, a drive unit and a rack (both not shown).
to move the entire cover 4 upward. However, before that, the entire spectrometer is filled with dry air or nitrogen gas, or the temperature around the beam splitter is raised to lower the relative humidity. In order to reduce the travel distance of the cover 4, the cover receiver t-stand 7 may be provided at an appropriate height. In this device, when the power is turned off or there is a power outage, for example, when the electromagnetic clutch is turned off, the cover is automatically lowered by the action of the tension spring 12 and is airtightly isolated from the outside air.

第２図は、乾燥剤室を覆い内に設けないで、覆いとは別
個に設けた実施例の一例である。FIG. 2 is an example of an embodiment in which the desiccant chamber is not provided within the cover, but is provided separately from the cover.

分光器の基板２１　に、ビームスプリッタ−１８が、そ
の支持具１９　に取り付けられて設けられる。A beam splitter 18 is provided on the substrate 21 of the spectrometer, attached to its support 19 .

このビームスプリッタ−１８の周囲には、覆い２２が設
番ブられる。覆い２２の天井部分には、周囲に張り出し
て縁部（図示されていない。）が形成されている。この
張出しの縁部には、案内孔（図示されていない。）が設
けられ、案内棒体（図示されていない。）が、案内孔に
夫々挿通されている。A cover 22 is provided around the beam splitter 18. A ceiling portion of the cover 22 is formed with an edge (not shown) projecting around the periphery. Guide holes (not shown) are provided at the edges of this overhang, and guide rods (not shown) are inserted into the respective guide holes.

また、覆い２２　は、勿論、第１図と同様に案内棒及び
スプリング（共に図示されていない。）を配置して、上
下移動自在に設けることもできる。上下移動の１椙も、
第１図の装置と同様に、覆い２２の上部覆い板２３の縁
部（図示されていない。）にラックを設け、ピニオンを
介して駆動装置くいずれも図示されていない。）に接続
させ、また、適宜スプリングを係合させて行うこともで
きる。Further, the cover 22 may, of course, be provided with a guide rod and a spring (both not shown) in the same manner as in FIG. 1 so as to be movable up and down. One stroke of up and down movement,
Similar to the device of FIG. 1, a rack is provided at the edge (not shown) of the upper cover plate 23 of the cover 22, and a drive mechanism (not shown) via a pinion is provided. ), or by engaging a spring as appropriate.

一方、覆い受け台２５で囲まれた内側基板２１に乾背剤
室２７に連通する孔２６が穿設されてＪ３・す、閉塞部
材３１　によって、連通路３２が形成されている。なお
、この連通路３２は、閑塞部拐３１として管状の１ｌｌ
ｉ部材をもって孔２９　と乾燥剤室底部２８を連通して
形成することもできるし、また、分光器の基板の一部と
してその内部に連通路を形成することもできる。On the other hand, a hole 26 communicating with the drying material chamber 27 is bored in the inner substrate 21 surrounded by the cover holder 25, and a communication path 32 is formed by the closing member 31. Note that this communication path 32 has a tubular shape of 1 liter as a vacant space 31.
The hole 29 and the desiccant chamber bottom 28 can be formed to communicate with each other by means of the i member, or a communication path can be formed therein as part of the substrate of the spectrometer.

第２図に示す装置においては、乾燥剤室２７　と覆い２
２を別個に設置Ｊるので、乾燥剤室２７の容積を増加で
き、乾燥能力も大きくなり、ビームスプリッタ−１８の
長期間保存が可能となる。一方、覆い２２　には、乾燥
剤室が設けられていないので、小形となり、その上、重
量的にも軽量となる。乾燥剤室底部孔２８に設ける網は
、不活性のもので乾燥剤が容易に通過しない程度の網目
とする。また、網を補強するために適宜補強支持板を設
けることもできる。In the apparatus shown in FIG. 2, a desiccant chamber 27 and a cover 2
Since the beam splitter 2 is installed separately, the volume of the desiccant chamber 27 can be increased, the drying capacity can also be increased, and the beam splitter 18 can be stored for a long period of time. On the other hand, since the cover 22 is not provided with a desiccant chamber, it is small in size and also light in weight. The mesh provided in the bottom hole 28 of the desiccant chamber is made of an inert material and has a mesh size that does not allow the desiccant to easily pass through. Additionally, a reinforcing support plate may be provided as appropriate to reinforce the net.

乾燥剤の交換はのぞき窓２９がら乾燥剤の変化を検知し
て行ってもよいが、乾燥剤室２７の側壁３０を、例えば
、ガラス等の透明な材料製とじＣ１乾燥剤の変化を側壁
３ｏを通して観察できるようにするのがよい。The desiccant may be replaced by detecting changes in the desiccant through the observation window 29, but the side wall 30 of the desiccant chamber 27 may be made of a transparent material such as glass. It is better to make it possible to observe through.

第１図及び第２図に示を装置については、ラック及びビ
ニオン機構による覆いの上下機構を中心に説明したが、
第３図に示１ように、エアシリンダー３４　によって、
覆い３３　を上下に移動することもできる。この場合エ
アシリンダー３４　は電磁弁コントローラ３８　からの
信号により制御される。Regarding the apparatus shown in FIGS. 1 and 2, the explanation focused on the up-and-down mechanism of the cover using the rack and binion mechanism.
As shown in FIG. 3, the air cylinder 34
It is also possible to move the cover 33 up and down. In this case, the air cylinder 34 is controlled by a signal from a solenoid valve controller 38.

測定にあたっては、エアシリンダー３４　に空気供給源
３７がら空気を送り込み、プランジャー３５により、覆
い３３　を上昇させてビームスプリッタ−を開放させ、
測定可能な状態とする。For measurement, air is fed into the air cylinder 34 from the air supply source 37, the cover 33 is raised using the plunger 35, and the beam splitter is opened.
Make it measurable.

−７ｊ１測定を終了して電源を切った時とが、停電等に
より電源が突然切れた場合には、電磁弁３６が自動的に
オフになり、エアシリンダーに空気が供給されな（なっ
て、覆い３３　は、プランジャー３５の１峰に伴い、自
動的に１鋒し、覆い３３の側壁下端部４２は、覆い受け
台４３　と気密に係合し、ビームスプリッタ−（図示さ
れていない。）は湿気から保護される。-7j1 If the power is suddenly cut off due to a power outage, etc., when the power is turned off after completing the measurement, the solenoid valve 36 will be automatically turned off and no air will be supplied to the air cylinder. The cover 33 is automatically tilted in accordance with one peak of the plunger 35, and the lower end 42 of the side wall of the cover 33 is hermetically engaged with the cover holder 43, and a beam splitter (not shown) is formed. is protected from moisture.

第４図或は第５図に示す本発明の実施例において、覆い
５０はドーム状の天井部分、蛇腹部分４９、環状部分４
５　とで、気密な構造に製造されているゎ蛇腹部分は、
ゴム等の弾性材料で製造されており、環状部分は簡単に
湾曲しないような、例えば、金属製のものである。In the embodiment of the present invention shown in FIG. 4 or FIG.
5 The bellows part is manufactured to have an airtight structure.
It is made of an elastic material such as rubber, and the annular portion is made of metal, for example, so that it does not bend easily.

天井部分は他に、平板状その他種々の形状とすることが
できる。また、蛇腹部と同様に、弾性材料としてもよく
、また、金属製とすることもできる。The ceiling portion may also have a flat plate shape or other various shapes. Further, like the bellows part, it may be made of an elastic material, or may be made of metal.

環状部分４５には、周囲に鍔部４７が形成されていて、
該鍔部４７と基板の間にはスプリング４８が取り付けら
れている。A collar portion 47 is formed around the annular portion 45,
A spring 48 is attached between the flange 47 and the base plate.

覆い受け部材４６は、環状部材４５が当接する箇所に弾
性部材５５が設けられていて、環状部材４５の端部と気
密に接触する。環状部材４５が、覆い受け部材４６の弾
性部材５５　と機密な接触を保持するのは、偏に、鍔部
４７に設けられたスプリング４８の張力の作用による。The cover receiving member 46 is provided with an elastic member 55 at a location where the annular member 45 comes into contact, and is in airtight contact with the end of the annular member 45 . The fact that the annular member 45 is kept in tight contact with the elastic member 55 of the cover member 46 is due in part to the tension of the spring 48 provided in the collar 47.

環状に配置された覆い受け台４６の内部基板上に、ビー
ムスビリツタ−４４を取り付け、その近傍の基板に、乾
燥剤室５２　と連通する通路５４　を設ける。A beam stabilizer 44 is mounted on the inner substrate of the annularly arranged cover holder 46, and a passage 54 communicating with the desiccant chamber 52 is provided in the substrate near the beam stabilizer 44.

乾燥剤室５２は、覆い受け台４６の外側で、その側１５
１の底部が、基板に設けられた孔の段部と気密に接する
ように設けられている。The desiccant chamber 52 is located outside the cover pedestal 46 and on its side 15.
The bottom of the hole 1 is provided in airtight contact with the stepped portion of the hole provided in the substrate.

測定を行なうにあたって、覆い５０を上方に移動させる
には、例えばプランジャー（図示されていない。）によ
り、環状部４５　を上方に持ち上げて行う。覆いを上方
に移動させるに、覆い上部の揺動を防止するために、覆
い５０の天井部に、外方に張出し案内孔を設【ノだ縁部
を形成しこれに案内棒を挿通して、その移動を規定する
のが好ましい。この覆いの上方への持ち上げは、その天
井部が分光器の外カバーに当接するまで行なう。この場
合、蛇腹部４９が弾性を有するために、環状部４５を上
方に持ち上げて、覆いの天井部が、分光器の外カバー５
６に当接すると、その押圧力により蛇腹部が圧縮され、
その高さを縮小するので、分光器の外カバーの高さが、
第４図右に示すように半減しその部分だけ分光器の高さ
を低くすることができる。To move the cover 50 upward during measurement, the annular portion 45 is lifted upward by, for example, a plunger (not shown). In order to prevent the upper part of the cover from swinging when the cover is moved upward, a guide hole is provided in the ceiling of the cover 50 that extends outward. , preferably defining its movement. The cover is lifted upward until the ceiling part touches the outer cover of the spectrometer. In this case, since the bellows part 49 has elasticity, the annular part 45 can be lifted upward, and the ceiling part of the cover can be raised to the outer cover 5 of the spectrometer.
When it comes into contact with 6, the bellows part is compressed by the pressing force,
By reducing its height, the height of the outer cover of the spectrometer is
As shown on the right side of FIG. 4, the height of the spectrometer can be reduced by half by that amount.

ビームスプリッタ−保護のために覆いを設けると、測定
時に覆いを上方に移動させる関係上、分光器の外カバー
は、その分だけ高く設ける必要があるが、第４図及び第
５図の実施例に示されるように蛇腹を設けた覆いの場合
には、覆い自体が、その高さを縮小するので、分光器の
外カバーの高さを特別に高くする必要がなく、分光器装
置の容積が小さくでき、有利である。If a cover is provided to protect the beam splitter, the outer cover of the spectrometer needs to be installed higher due to the need to move the cover upward during measurement. In the case of a bellows-equipped cover as shown in Figure 1, the cover itself reduces its height, so there is no need to make the outer cover of the spectrometer particularly high, and the volume of the spectrometer device is reduced. It can be made small, which is advantageous.

（ホ）効　果 本発明は、赤外域干渉分光器において、空気中の湿気か
ら、湿気によって侵蝕され易いビームスプリッタ−を保
護するために、その限られた狭い空間内ではあるが、敢
えて、覆いを設けるものであり、そして、このように覆
いを設けることによって、ビームスプリッタ−を取りは
ずすことなく、ビームスプリッタ−の保存に当っての手
間の煩わしさから解放される。(e) Effects The present invention intentionally covers the beam splitter in an infrared interference spectrometer, although it is within a limited narrow space, in order to protect the beam splitter from moisture in the air, which is easily corroded by moisture. By providing a cover in this manner, the beam splitter does not have to be removed, and the hassle of storing the beam splitter can be avoided.

また、支柱を設けることによって、使用時におけるその
狭い空間内の上下の移動をスムーズに行なうことができ
、測光操作の上で何ら支障をきたすものではない。Further, by providing the support, vertical movement within the narrow space during use can be carried out smoothly, and there is no problem in photometry operations.

また、覆いの周囲に配置したスプリングの作用によって
電源を切ったときはもとより、停電時においても、ビー
ムスプリッタ−には、自動的に覆いかけられるので、停
電時のビームスプリッタ−の保存に気を配る必要がなく
なる。In addition, the beam splitter is automatically covered not only when the power is turned off, but also during a power outage due to the action of a spring placed around the cover, so care must be taken to preserve the beam splitter during a power outage. There is no need to hand it out.

このように、本発明の赤外域干渉分光器はビームスプリ
ッタ−を取りつけたままで、その保存ができるので、従
来行われていた使用時における、ビームスプリッタ−の
取り付けの際の取付位置の調整、光軸のＶ＃密調整など
の一切の手間を省くことができるものであり、それだ【
ノでも、本発明の赤外域干渉分光器は使用し易い装置で
あり、その影響は大きいといえる。それに加えて、工場
出荷などの際にも、覆いがあるために、ビームスプリッ
タ−を取り付けたまま輸送できることになり、また、装
置据付作業も極めて容易となり、取付時間も短縮でき、
その上、破損等のＩ〜シラブル無くなり、この点でも、
従来装置に比して、すぐれている。In this way, the infrared interferometry spectrometer of the present invention can be stored with the beam splitter attached, so that it is possible to adjust the mounting position when installing the beam splitter, and to adjust the beam splitter when using it. This eliminates all the trouble of adjusting the V# density of the shaft, and that's it.
However, the infrared interference spectrometer of the present invention is an easy-to-use device, and its influence can be said to be large. In addition, since the beam splitter is covered during shipment from the factory, it can be transported with the beam splitter attached, and equipment installation is also extremely easy, reducing installation time.
Moreover, the I~ syllables such as corruption are gone, and in this respect,
Superior to conventional equipment.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は、本発明の赤外域干渉分光器の一実施例のビー
ムスプリッタ一部分の部分断面であり、第２図は、本発
明の赤外域干渉分光器の別の一実施例のビームスプリッ
タ一部分の部分断面図である。 第３図は、本発明の赤外域干渉分光器の別の一実施例の
覆いの上下移動装置の概略を示す。 第４図は、本発明の赤外域干渉分光器の別の一実施例を
示すものであって、特に、蛇腹部を有する覆いを取り付
番ノだビームスプリッタ一部分の断面図であり、 第５図は、第４図と同様の覆いを有する、本発明の赤外
域干渉分光器の別の実施例におけるビームスプリッタ一
部分の断面図である。 １．１８及び４４　はビームスプリッタ−１２及び１９
はビームスプリッタ−保持具、３及び２１は分光器の基
板、４．２２．３３及び５０は覆い、７．２５．４３及
び４５は覆い受け台、８は上部覆い板の外側に張り出し
た縁部、９及び３９　は案内棒体、１０は案内棒体保持
孔、１２．４１及び４８　はスプリング、１３．２７及
び５２は乾燥剤室を示す。 また、３４はエアシリンダ、３５はプランジャー、３８
は電磁弁、４９　は覆い５０の蛇腹部、５６は分光器の
外カバーを示す。 第１図 １１ 第２図 クス 第３図FIG. 1 is a partial cross section of a portion of a beam splitter of an embodiment of an infrared interference spectrometer of the present invention, and FIG. 2 is a partial cross section of a beam splitter of another embodiment of an infrared interference spectrometer of the present invention. FIG. FIG. 3 schematically shows a device for moving the cover up and down in another embodiment of the infrared interference spectrometer of the present invention. FIG. 4 shows another embodiment of the infrared interference spectrometer of the present invention, and in particular is a sectional view of a part of the beam splitter equipped with a cover having a bellows part. 4 is a cross-sectional view of a portion of the beam splitter in another embodiment of the infrared interferometry spectrometer of the present invention, with a cover similar to that of FIG. 4. 1.18 and 44 are beam splitters 12 and 19
is a beam splitter holder, 3 and 21 are spectrometer substrates, 4.22.33 and 50 are covers, 7.25.43 and 45 are cover holders, 8 is an edge projecting to the outside of the upper cover plate. , 9 and 39 are guide rod bodies, 10 is a guide rod holding hole, 12.41 and 48 are springs, and 13.27 and 52 are desiccant chambers. Also, 34 is an air cylinder, 35 is a plunger, 38
numeral 49 indicates a solenoid valve, numeral 49 indicates a bellows portion of the cover 50, and numeral 56 indicates an outer cover of the spectrometer. Figure 1 11 Figure 2 Kusu Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 赤外域干渉分光器内に、ビームスプリッタ−を気密に包
囲する覆いを設けたことを特徴とする赤外域干渉分光器
。An infrared interference spectrometer, characterized in that the infrared interference spectrometer is provided with a cover that airtightly surrounds a beam splitter.