JPS6039047U - マスクブランク板 - Google Patents
マスクブランク板Info
- Publication number
- JPS6039047U JPS6039047U JP1983130550U JP13055083U JPS6039047U JP S6039047 U JPS6039047 U JP S6039047U JP 1983130550 U JP1983130550 U JP 1983130550U JP 13055083 U JP13055083 U JP 13055083U JP S6039047 U JPS6039047 U JP S6039047U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask blank
- blank board
- transparent substrate
- board
- shielding film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のマスクブランク板の一例を示し第1図イ
は平面図、第1図口は断面図である。第2図は従来のマ
スクブランク板の欠点を示す説明図であり、第3図は本
考案のマスクブランク板の一実施例を示し第3図イは平
面図、第3図口は断面図である。第4図は本考案のマス
クブランク板の製造法の一例を示す説明図である。 1・・・透明基板、2・・・遮光膜、3・・・周辺部、
4・・・側面、5・・・粉片、6・・・パターン部。
は平面図、第1図口は断面図である。第2図は従来のマ
スクブランク板の欠点を示す説明図であり、第3図は本
考案のマスクブランク板の一実施例を示し第3図イは平
面図、第3図口は断面図である。第4図は本考案のマス
クブランク板の製造法の一例を示す説明図である。 1・・・透明基板、2・・・遮光膜、3・・・周辺部、
4・・・側面、5・・・粉片、6・・・パターン部。
Claims (1)
- 透明基板の片面に、該透明基板の周辺部を除いて遮光膜
を一様に形成してなること特徴とするマスクブランク板
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1983130550U JPS6039047U (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | マスクブランク板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1983130550U JPS6039047U (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | マスクブランク板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6039047U true JPS6039047U (ja) | 1985-03-18 |
Family
ID=30295438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1983130550U Pending JPS6039047U (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | マスクブランク板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6039047U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004051369A1 (ja) * | 2002-12-03 | 2004-06-17 | Hoya Corporation | フォトマスクブランク、及びフォトマスク |
JP2005210093A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-08-04 | Hoya Corp | 多層反射膜付き基板、露光用反射型マスクブランクス及び露光用反射型マスク、並びにそれらの製造方法 |
US7635544B2 (en) | 2004-09-13 | 2009-12-22 | Hoya Corporation | Transparent substrate for mask blank and mask blank |
JP2011124612A (ja) * | 2003-12-25 | 2011-06-23 | Hoya Corp | 多層反射膜付き基板、露光用反射型マスクブランクス及び露光用反射型マスク、並びにそれらの製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57130421A (en) * | 1981-02-04 | 1982-08-12 | Nec Corp | Photo mask |
JPS5868748A (ja) * | 1981-10-21 | 1983-04-23 | Hitachi Ltd | ホトマスクおよびそれを用いた現像方法 |
-
1983
- 1983-08-24 JP JP1983130550U patent/JPS6039047U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57130421A (en) * | 1981-02-04 | 1982-08-12 | Nec Corp | Photo mask |
JPS5868748A (ja) * | 1981-10-21 | 1983-04-23 | Hitachi Ltd | ホトマスクおよびそれを用いた現像方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004051369A1 (ja) * | 2002-12-03 | 2004-06-17 | Hoya Corporation | フォトマスクブランク、及びフォトマスク |
KR100779956B1 (ko) | 2002-12-03 | 2007-11-28 | 호야 가부시키가이샤 | 포토마스크 블랭크 및 포토마스크 제조방법 |
JP2005210093A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-08-04 | Hoya Corp | 多層反射膜付き基板、露光用反射型マスクブランクス及び露光用反射型マスク、並びにそれらの製造方法 |
JP2011124612A (ja) * | 2003-12-25 | 2011-06-23 | Hoya Corp | 多層反射膜付き基板、露光用反射型マスクブランクス及び露光用反射型マスク、並びにそれらの製造方法 |
US7635544B2 (en) | 2004-09-13 | 2009-12-22 | Hoya Corporation | Transparent substrate for mask blank and mask blank |
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