JPS6038912A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS6038912A JPS6038912A JP14645983A JP14645983A JPS6038912A JP S6038912 A JPS6038912 A JP S6038912A JP 14645983 A JP14645983 A JP 14645983A JP 14645983 A JP14645983 A JP 14645983A JP S6038912 A JPS6038912 A JP S6038912A
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は電極反射が抑圧された弾性表面波装置に係り１
％にＵＩＩＦ等の尚周波における使用に際し好！なるよ
う、インピーダンス設計の自由度を広げることができる
と共に外部回路との整合を簡易化することができる弾性
表面波フィルタに関するものである。
％にＵＩＩＦ等の尚周波における使用に際し好！なるよ
う、インピーダンス設計の自由度を広げることができる
と共に外部回路との整合を簡易化することができる弾性
表面波フィルタに関するものである。
弾性表面波装置では弾性表面波基板上に１個以上のすだ
れ状電極が設けられている。このすだれ状電極の各電極
指の父湧輻、ピッチに重みをつけることにより、振幅１
位相の伝達周波数特性な極々設計できる。この弾性表面
波装置のすだれ状電極は弾性表面波を反射する。そのた
め、電極間の多重反射による遅延信号が生じて、振幅、
位相の伝達周波数特性にリノグルが発生するので、いく
つかの対策が施されている。
れ状電極が設けられている。このすだれ状電極の各電極
指の父湧輻、ピッチに重みをつけることにより、振幅１
位相の伝達周波数特性な極々設計できる。この弾性表面
波装置のすだれ状電極は弾性表面波を反射する。そのた
め、電極間の多重反射による遅延信号が生じて、振幅、
位相の伝達周波数特性にリノグルが発生するので、いく
つかの対策が施されている。
上記のすだれ状電極による弾性表面波の反射には、電気
的な再放射と、音響的不連続による反射の二種類に分類
できる。後者の音響的不連続による反射はＵ Ｓ Ｐ
５６９９５６４に示されたような電極幅と空白部が４彼
長で、同一極性の電極指が２本１組とＥつ℃いるスフ゛
リットー極指により、一般に幻飛されている。
的な再放射と、音響的不連続による反射の二種類に分類
できる。後者の音響的不連続による反射はＵ Ｓ Ｐ
５６９９５６４に示されたような電極幅と空白部が４彼
長で、同一極性の電極指が２本１組とＥつ℃いるスフ゛
リットー極指により、一般に幻飛されている。
一方、上記のうち前者の電気的再放射による電極反射は
、送受波ｔ＝の放射コンダクタンスＧａと外部回路のコ
ンターフタンスＧ、との相対関係で定まる。
、送受波ｔ＝の放射コンダクタンスＧａと外部回路のコ
ンターフタンスＧ、との相対関係で定まる。
電極反射の尺度として。
をとり、反射損失と呼んでいる。％極反射による特性劣
化を避けるため、反射損失の基準としては、入力電極と
出力電極の二回の反射を合せた値としてＴＶ両画像主観
評価から得られた４０ｄＢ以上が多く採用されている。
化を避けるため、反射損失の基準としては、入力電極と
出力電極の二回の反射を合せた値としてＴＶ両画像主観
評価から得られた４０ｄＢ以上が多く採用されている。
これは入力と出力の各電極に等しく分担させた場合、−
電極当りの反射損失として２ｏｄＢであって、これを達
成するため従来は第２図に準拠して、 Ｇｚ／ａ、 ＞
９なる如く送受波電極放射コンダクタンスＧｃＬを与え
ていた。この際フィルタ通過損失は実用上約２０ｄＢ程
度で用いられている。
電極当りの反射損失として２ｏｄＢであって、これを達
成するため従来は第２図に準拠して、 Ｇｚ／ａ、 ＞
９なる如く送受波電極放射コンダクタンスＧｃＬを与え
ていた。この際フィルタ通過損失は実用上約２０ｄＢ程
度で用いられている。
一方、外部回路系のコンダクタンスは一定の値、 多く
ｔ！２０ｙｒＬ’Ｕ（インピーダンスで５００）と定
められているので、上記従来法では送受波電極の放射コ
ンダクタンスを２．２−以下と小さくする必要があった
。このため、ＶＨＦ高域ないしＵ ＩｆＦ帯の高周波領
域あるいは比帯域幅の狭い場合に１通常の二電極構成で
は次の２つの欠点が発生した。
ｔ！２０ｙｒＬ’Ｕ（インピーダンスで５００）と定
められているので、上記従来法では送受波電極の放射コ
ンダクタンスを２．２−以下と小さくする必要があった
。このため、ＶＨＦ高域ないしＵ ＩｆＦ帯の高周波領
域あるいは比帯域幅の狭い場合に１通常の二電極構成で
は次の２つの欠点が発生した。
周波数が高く、あるいは対数が大きく（狭帯域）定めら
れた条件の下でＧａを従来法による値（２，２ｍＵ ）
とするためには電極の開口長ＩＦを小さく定めねばなら
ない。そのため１％に重み付は電極の交差幅の小さい部
分のため１回折による帯域通過特性の裾部の乱れ、帯域
内のうねり等の特性劣化が発生する。例えば、結合足数
の大きな（０，０５５ン（Ｄ ＬｉＮｂＯ３単結晶−１
２８°回ｆＹ軸カット、Ｘ軸方向伝搬基板を用りた中心
周波数４００ＭＢｚ 、 ５ｄＢ帯域幅５０ＭＩＩｚの
入力正規型、出力重み付けの弾性表面波フィルタでは開
口長Ｆは８０μ扉すなわち約８波長と小さくなり、第１
図に示した上記例の特性に見られるように上記した劣化
は顕著である。
れた条件の下でＧａを従来法による値（２，２ｍＵ ）
とするためには電極の開口長ＩＦを小さく定めねばなら
ない。そのため１％に重み付は電極の交差幅の小さい部
分のため１回折による帯域通過特性の裾部の乱れ、帯域
内のうねり等の特性劣化が発生する。例えば、結合足数
の大きな（０，０５５ン（Ｄ ＬｉＮｂＯ３単結晶−１
２８°回ｆＹ軸カット、Ｘ軸方向伝搬基板を用りた中心
周波数４００ＭＢｚ 、 ５ｄＢ帯域幅５０ＭＩＩｚの
入力正規型、出力重み付けの弾性表面波フィルタでは開
口長Ｆは８０μ扉すなわち約８波長と小さくなり、第１
図に示した上記例の特性に見られるように上記した劣化
は顕著である。
次に、高周波になると、電極の接置だけでなくパッケー
ジや外部回路系の容量分を含むサセプタンス分が、送受
波電極の放射コンダクタンス分に比べ′″Ｃ１かなり大
きな腋となるので、サセプタンス分を打消すインダクタ
ンスを含む結合回路が必要であり１部品点数が増えるだ
けでなく、インダクタンスの調整が必要となる欠点が生
ずる。
ジや外部回路系の容量分を含むサセプタンス分が、送受
波電極の放射コンダクタンス分に比べ′″Ｃ１かなり大
きな腋となるので、サセプタンス分を打消すインダクタ
ンスを含む結合回路が必要であり１部品点数が増えるだ
けでなく、インダクタンスの調整が必要となる欠点が生
ずる。
本発明の目的は、ＶＨＦ高域、あるいはＵＨＦ帯域の高
周波領域、あるいは、帯域幅が比較的に狭い場合に、電
極反射による特性劣化を無くし、しかも回折等による特
性劣化も無く、かつ外部回路と整合しやすぐ、調整工程
の少い弾性表面波装置を提供するにある。
周波領域、あるいは、帯域幅が比較的に狭い場合に、電
極反射による特性劣化を無くし、しかも回折等による特
性劣化も無く、かつ外部回路と整合しやすぐ、調整工程
の少い弾性表面波装置を提供するにある。
本発明では、圧電体基板と、圧電体基板上に設けられた
互に交差するくし歯状電極から各なる入力および出力変
換器とからなり、各くし歯状電極は交差部分と非交差部
分とからなる電極指と電極指の非又差部分匝端部を結合
するノ（スパーとからなる弾性表面波装置において、各
変換器の一方のくし歯状電極のバスノく−と他方のくし
歯状電極の電極指先嬬との間隔が互いの接触を防ぐのに
必要な間隔よりも充分大きな間隔をもつように一方のく
し歯状電極の全電極指σつ非交差部分を長くすることに
より、電極反射、回折による特性劣化を防ぐととも外部
回路とσ〕結合を容易に行なえるようにしたものである
。
互に交差するくし歯状電極から各なる入力および出力変
換器とからなり、各くし歯状電極は交差部分と非交差部
分とからなる電極指と電極指の非又差部分匝端部を結合
するノ（スパーとからなる弾性表面波装置において、各
変換器の一方のくし歯状電極のバスノく−と他方のくし
歯状電極の電極指先嬬との間隔が互いの接触を防ぐのに
必要な間隔よりも充分大きな間隔をもつように一方のく
し歯状電極の全電極指σつ非交差部分を長くすることに
より、電極反射、回折による特性劣化を防ぐととも外部
回路とσ〕結合を容易に行なえるようにしたものである
。
以下１本発明を実施例とともに説明する。
第２図は本発明の基本原理を説明するための電極形状を
示す電極バタン図である。図から明らかのように、電極
指８の交差部分１８の長さＷは非交差部分１９ 、１９
’の長さＦ’ 、 Ｗ’よりも長くされ、非交差部分１
９ 、１９′の抵抗分が考慮される。関係するパラメー
タは放射コンターフタンスＧａｓ電極全体にわたる電極
指コンダクタンスＧｙ、外部回路のコンダクタンスＧＬ
である。ここで上記電極指コンダクタンスＧ、は、対数
Ｎと一対当りの゛電極指抵抗ｒｆにより次の第（１１式
により与えられる（スゲリット電極指の場合は並列接続
した値で与える）。
示す電極バタン図である。図から明らかのように、電極
指８の交差部分１８の長さＷは非交差部分１９ 、１９
’の長さＦ’ 、 Ｗ’よりも長くされ、非交差部分１
９ 、１９′の抵抗分が考慮される。関係するパラメー
タは放射コンターフタンスＧａｓ電極全体にわたる電極
指コンダクタンスＧｙ、外部回路のコンダクタンスＧＬ
である。ここで上記電極指コンダクタンスＧ、は、対数
Ｎと一対当りの゛電極指抵抗ｒｆにより次の第（１１式
により与えられる（スゲリット電極指の場合は並列接続
した値で与える）。
Ｇｆ−Ｎ／ｒｆ（１）
また、一対当りの電極指抵抗？’７は次式で与える。
ｒｔ ＝ （一方の極性の電極指の鳴動開口部と非交差
部における抵抗）＋（他の極性の電極指の非交差部にお
ける抵抗）（２） 上述の反射損失は１嘱極当り１次に力えられる。
部における抵抗）＋（他の極性の電極指の非交差部にお
ける抵抗）（２） 上述の反射損失は１嘱極当り１次に力えられる。
ここで、ｂ −Ｌ／ＧａＩ ｃ ＝ Ｇｆ／ａ、であり
、係−〇 数αは実験的に０．０４１５と定めた。
、係−〇 数αは実験的に０．０４１５と定めた。
第（３）式を２ｎｄ、Ｅと置いた第（４）式が、コンダ
クタンスＧＬの外部回路に接続して、−°ａ極当りの反
射損失を基準の２０ｄＢとするために必要なＧ、を定め
る売件式である。
クタンスＧＬの外部回路に接続して、−°ａ極当りの反
射損失を基準の２０ｄＢとするために必要なＧ、を定め
る売件式である。
（４）
先ず、電極指コンダクタンスＧ１の電極反射低減効果（
反射損失の増大）について説明する。
反射損失の増大）について説明する。
前ｇｔノｔｔｕ＜、反射損失はｂ−Ｌ／Ｇａ、Ｃ−０ｆ
／Ｇ Ｇａは次の様に与えられる。
／Ｇ Ｇａは次の様に与えられる。
実験例として、外部回路のコンダクタンスＧＬ＝２０ｍ
ｔＴで、基板にＬ ＬＮｂＯｓ単結晶、１２８°回転Ｙ
軸カッｉＸ軸方向伝搬を用い、送受波電極は入力出力共
に、中心周波数４００ Ｍｌｚ 、対数１４の正規型電
極で、電極材料は純ＡＩ′ｔ′膜厚０．１μｍ、有効開
ロ長は２００μ７７Ｌ、放射コンダクタンスＧ（Ｌは５
．６旬であって、入出力共に等しく非交差部の延長にヨ
ル電極指コンダクタンスＧ／の変化が行なわれている場
合の反射損失と非交差部長さの関係を第３図に示す。第
３図で、縦軸は１電極当りの反射損失、横軸は電極指抵
抗ｒｔ、１Ｆｆ、極指コンダクｐ ｙ スＧ７ （＝
Ａ’ ／ ｒｆ）、全電％爽隈（Ｗ 十Ｆ’ 十Ｉｒ′
）を同時に示す。第３図では電極指非交差部による電極
指抵抗の増大で反射損失が増加することおよび実線で示
す第１５１式の計算値と。
ｔＴで、基板にＬ ＬＮｂＯｓ単結晶、１２８°回転Ｙ
軸カッｉＸ軸方向伝搬を用い、送受波電極は入力出力共
に、中心周波数４００ Ｍｌｚ 、対数１４の正規型電
極で、電極材料は純ＡＩ′ｔ′膜厚０．１μｍ、有効開
ロ長は２００μ７７Ｌ、放射コンダクタンスＧ（Ｌは５
．６旬であって、入出力共に等しく非交差部の延長にヨ
ル電極指コンダクタンスＧ／の変化が行なわれている場
合の反射損失と非交差部長さの関係を第３図に示す。第
３図で、縦軸は１電極当りの反射損失、横軸は電極指抵
抗ｒｔ、１Ｆｆ、極指コンダクｐ ｙ スＧ７ （＝
Ａ’ ／ ｒｆ）、全電％爽隈（Ｗ 十Ｆ’ 十Ｉｒ′
）を同時に示す。第３図では電極指非交差部による電極
指抵抗の増大で反射損失が増加することおよび実線で示
す第１５１式の計算値と。
実験値を示すＡ（非交差部延長せず、 Ｇｙ ＝６２２
．２ｍ’ｃ））、Ｂ（非交４ 部長すＩＰ”＋ ＩＴ”
−、５００μｍ 、Ｇｆ −１７７，８７７Ｉｎ ）、
Ｃ（非交差部長さＩＶ’十ｒ＝ １ＱＱＱμｍ 。
．２ｍ’ｃ））、Ｂ（非交４ 部長すＩＰ”＋ ＩＴ”
−、５００μｍ 、Ｇｆ −１７７，８７７Ｉｎ ）、
Ｃ（非交差部長さＩＶ’十ｒ＝ １ＱＱＱμｍ 。
Ｇｙ ＝ １０３．７ｍ’Ｕ ）、Ｄ（非交差部長さＷ
’ 十Ｆ’＝１６００、ＩＦ７Ｌ 、 Ｇｙ ＝ ６９
．１７７ＬＵ ）、Ｅ（非交差部長さＩＶ’十Ｆ“＝
２４００μｍ ％ Ｇｙ ＝ ４７．９ｍＴ） ）の各
点の値が一致することが示される。
’ 十Ｆ’＝１６００、ＩＦ７Ｌ 、 Ｇｙ ＝ ６９
．１７７ＬＵ ）、Ｅ（非交差部長さＩＶ’十Ｆ“＝
２４００μｍ ％ Ｇｙ ＝ ４７．９ｍＴ） ）の各
点の値が一致することが示される。
次に本発明の第１の実施例について説明する。
第４図は本発明の第１の実施例を示すｔ極ノ（タン図で
ある。第４図に示す電極バタンは第３図の実験例と同じ
Ｌ １ＮｂＯ，基板上に形成される。第２図と同様な長
さＦ＝２ｏｏμｍの交差部分１Ｂ、長さＦ’二Ｆ’＝
１２００μ扉の非交差部分１９．１９’を持つ正規型入
力電極２と、該正規型入力電極と同じ有効開口部、非交
差部を持つ交差幅重み付けを持つ出力電極２′が、ｔ＆
拐料に純ＡＩを用い膜厚０．１μ７７Ｌ、 を極線幅、
空白部が１．２μｍで形成され、中心周波数は４００１
ｄｌｌｚ 、入力正規型電極の対数は１４対、出力重み
付は電極の対数は６０対で５ｄＢ帯域幅は５０ＭＨｚで
ある。中心周波数における放射コンダクタンスはいずれ
も５．６ｍｒｙ、 電極指コンダクタンスＧｆは正規型
電極２で、６９．１ｍｔＪであり。
ある。第４図に示す電極バタンは第３図の実験例と同じ
Ｌ １ＮｂＯ，基板上に形成される。第２図と同様な長
さＦ＝２ｏｏμｍの交差部分１Ｂ、長さＦ’二Ｆ’＝
１２００μ扉の非交差部分１９．１９’を持つ正規型入
力電極２と、該正規型入力電極と同じ有効開口部、非交
差部を持つ交差幅重み付けを持つ出力電極２′が、ｔ＆
拐料に純ＡＩを用い膜厚０．１μ７７Ｌ、 を極線幅、
空白部が１．２μｍで形成され、中心周波数は４００１
ｄｌｌｚ 、入力正規型電極の対数は１４対、出力重み
付は電極の対数は６０対で５ｄＢ帯域幅は５０ＭＨｚで
ある。中心周波数における放射コンダクタンスはいずれ
も５．６ｍｒｙ、 電極指コンダクタンスＧｆは正規型
電極２で、６９．１ｍｔＪであり。
重み付は電極では電極指コンダクタンスＧｙにはその主
要交差部（メインローブ）が支配的であって１等価的に
は正規型と同様である。
要交差部（メインローブ）が支配的であって１等価的に
は正規型と同様である。
第１の実施例における上記の非交差部分１８の長さはコ
ンターフタンスＧＬ ＝ ２０ｙａｔＪの外部回路を考
えた場合における第（５１式で与えられる反射損失計算
値を２０ｄＢとすることにより定められる。（入出力合
せた反射損失は４０ｄＢとなる。）一方、電極指非交差
部の長さが１例えば上記実施例ではＩＩ” ＋Ｆ“＝＝
２４００μｍと長くなるため、補助手段として、第５図
の如くコンダクタンスＧＬを有する外部回路Ｉｔ５ 、
１７と弾性表面波装置１４との結合回路１５ 、 ｉ３
’として並列抵抗（コンダクタンスＧ、）を用いて、−
電極当りの反射損失を２０ｄＢ （もＬ〈は、入出力合
せ”Ｃ４０ｃｌ！Ｂ）とするのが１！極指非交差部を短
くできるので、実際的である。この際、ＧＬをＧｔ ＋
Ｇｐと置き換えて。
ンターフタンスＧＬ ＝ ２０ｙａｔＪの外部回路を考
えた場合における第（５１式で与えられる反射損失計算
値を２０ｄＢとすることにより定められる。（入出力合
せた反射損失は４０ｄＢとなる。）一方、電極指非交差
部の長さが１例えば上記実施例ではＩＩ” ＋Ｆ“＝＝
２４００μｍと長くなるため、補助手段として、第５図
の如くコンダクタンスＧＬを有する外部回路Ｉｔ５ 、
１７と弾性表面波装置１４との結合回路１５ 、 ｉ３
’として並列抵抗（コンダクタンスＧ、）を用いて、−
電極当りの反射損失を２０ｄＢ （もＬ〈は、入出力合
せ”Ｃ４０ｃｌ！Ｂ）とするのが１！極指非交差部を短
くできるので、実際的である。この際、ＧＬをＧｔ ＋
Ｇｐと置き換えて。
第（４）式を適用することで、Ｇ、とＧ、が決定される
。
。
上記の考えに基づいた実施例を第２の実施例として示す
。本実施例の平面構成その他は、入出力共に非交差部長
さＷ’＝ｌＶ’＝ ５００μｍとし、並列コンダクタン
スＧｐ ｉ ２１．３ｍυとした以外は前記した第１の
実施例と同じである。本実施例の実験結果を第６図（記
号ｑ）に示す。第６図で。
。本実施例の平面構成その他は、入出力共に非交差部長
さＷ’＝ｌＶ’＝ ５００μｍとし、並列コンダクタン
スＧｐ ｉ ２１．３ｍυとした以外は前記した第１の
実施例と同じである。本実施例の実験結果を第６図（記
号ｑ）に示す。第６図で。
コンダクタンスＧＬ＝ ２０ｍＴ）を有する外部回路に
。
。
並列コンダクタンスＧＰを接続した等価外部コンダクタ
ンス（ＧＬ＋ Ｇｙ ）を横軸Ｋ、通過損失。
ンス（ＧＬ＋ Ｇｙ ）を横軸Ｋ、通過損失。
反射損失（いずれも入出力２電極分）を縦軸にとり示す
。第６図でＧＬ＝＝ ２ＱｍぴとＧ、 ＝ ２１．３ｍ
Ｕの和、４１３ｍＵで、入出力２電極の反射損失は４０
ｄｌＪと目標に達した。一方、通過損失は２５ｄＢに止
まり、極端に大きくはならない。
。第６図でＧＬ＝＝ ２ＱｍぴとＧ、 ＝ ２１．３ｍ
Ｕの和、４１３ｍＵで、入出力２電極の反射損失は４０
ｄｌＪと目標に達した。一方、通過損失は２５ｄＢに止
まり、極端に大きくはならない。
第３の実施例として、第２の実施例の非交差部長さから
、 Ｈ７’＝Ｗ’＝ ｙｓｏμｍと変えた場合を示す。
、 Ｈ７’＝Ｗ’＝ ｙｓｏμｍと変えた場合を示す。
本実施例の実験結果を第２の実施例と同様に第６図（記
号Ｄ１）に示すが、コンダクタンスＧＬ＝ ２０ｙｙｚ
ｔＴの外部回路で、並列コンダクタンス１０７？Ｌ■接
続することで、入出力２電極の反射損失は４０ｄＢと目
標に達し１通過損失は２２ｄＢであった。
号Ｄ１）に示すが、コンダクタンスＧＬ＝ ２０ｙｙｚ
ｔＴの外部回路で、並列コンダクタンス１０７？Ｌ■接
続することで、入出力２電極の反射損失は４０ｄＢと目
標に達し１通過損失は２２ｄＢであった。
本発明の第４の実施例として、第３の実施例にて出力の
重み付け！極に非交差部の延長を行なっていない場合を
示す。この実施例の電極ノくタンを第７図に示す。本実
施例では、非交差部延長を行なっていない出力重み付け
ｔ僕の反射損失が小さく、ＧＬ＝ ２０での外部回ｊ１
８に対しては１４ｄＢ、並列コンダクタンスＧｐ ＝
２ｔ３ ｍＴＪを接続して１８ｔＬＥであるが、非交差
部延長を行なった正規型電極ではＧＺ ＝ ２０７７１
υの外部回路に対しては反射損失が１８．２ｄＢ、並列
コンダクタンスＧｐ。
重み付け！極に非交差部の延長を行なっていない場合を
示す。この実施例の電極ノくタンを第７図に示す。本実
施例では、非交差部延長を行なっていない出力重み付け
ｔ僕の反射損失が小さく、ＧＬ＝ ２０での外部回ｊ１
８に対しては１４ｄＢ、並列コンダクタンスＧｐ ＝
２ｔ３ ｍＴＪを接続して１８ｔＬＥであるが、非交差
部延長を行なった正規型電極ではＧＺ ＝ ２０７７１
υの外部回路に対しては反射損失が１８．２ｄＢ、並列
コンダクタンスＧｐ。
２ｔ５ｍＵを接続して、反射損失が２２ｄＢとなるので
入出力合せた反射損失が４０ｄＢの目標値に達した次に
本発明の比５の実施例として、非又差部の電極構造に改
善を施した場合を第８図に示す第８図の電極構造では、
有効開口部１８ではスプリント電極指であるが、非交差
部１９ 、１９’では同じ極性の隣接した２本の電極指
が１本化されかつ′ＲＬ極１隔が有効開口部の１本分の
幅と同じてあり、非又差部の抵抗値が２倍となるため、
第２図の場合に比べて非交差部の長さが４で済み、装置
が小型となる刑点が有る。逆に、上記第５の実施例では
膜厚を厚くしても良いので。
入出力合せた反射損失が４０ｄＢの目標値に達した次に
本発明の比５の実施例として、非又差部の電極構造に改
善を施した場合を第８図に示す第８図の電極構造では、
有効開口部１８ではスプリント電極指であるが、非交差
部１９ 、１９’では同じ極性の隣接した２本の電極指
が１本化されかつ′ＲＬ極１隔が有効開口部の１本分の
幅と同じてあり、非又差部の抵抗値が２倍となるため、
第２図の場合に比べて非交差部の長さが４で済み、装置
が小型となる刑点が有る。逆に、上記第５の実施例では
膜厚を厚くしても良いので。
ワイヤボンティングが容易となる利点が有る。
また、非交差部の延長に代えて、を極相膜厚を薄くして
電極指抵抗を増大させることが考えられるが１例えば第
１の実施例に対応させると膜厚が０．００８μｍと薄く
、ばらつき、イＩ頼性、抵抗による重み付けの変動等が
問題となるので。
電極指抵抗を増大させることが考えられるが１例えば第
１の実施例に対応させると膜厚が０．００８μｍと薄く
、ばらつき、イＩ頼性、抵抗による重み付けの変動等が
問題となるので。
上記問題を避ける上から１本発明の非交差部延長が有効
である。
である。
、〔発明の効果〕
本発明により、ＶＨＦ高域以上（約２００１ＭＩｚ ）
以上の高周波、あるいは比較的に狭い帯域＠（。 比帯
域１０％以下〕で用いる弾性表面波装置において、を極
長１及射を４０ｄＢ以下に押えて振幅、位相（群遅延時
間）の乱れを焦〈シ、かつ、従、未決より大きな放射コ
ンダクタンス、有効開口が得られるので、上記第３の実
施例での周彼都特性を示した第９図の如く、回折による
帯域内うねり、裾部の乱れ等の無い良好な周波ａ特性が
得られると共に、調整を要するインダクタンスな結合回
路に用いることなく、第５図の如く単に固定の並列抵抗
を用いることかできるので。
以上の高周波、あるいは比較的に狭い帯域＠（。 比帯
域１０％以下〕で用いる弾性表面波装置において、を極
長１及射を４０ｄＢ以下に押えて振幅、位相（群遅延時
間）の乱れを焦〈シ、かつ、従、未決より大きな放射コ
ンダクタンス、有効開口が得られるので、上記第３の実
施例での周彼都特性を示した第９図の如く、回折による
帯域内うねり、裾部の乱れ等の無い良好な周波ａ特性が
得られると共に、調整を要するインダクタンスな結合回
路に用いることなく、第５図の如く単に固定の並列抵抗
を用いることかできるので。
部品点数を低減し、無詞整化を進めることができた。
第１図は従来例の弾性表面波装置の周波数特性を示す特
性囚、第２図は本発明による電極指の非交差部を延長し
た電極構造の平面図、第３図は反射損失と非交差部長さ
の関係を示す特性図、第４図は本発明の一実施例を示す
電極バタン図、第５図は並列にコンダクタンスを接続し
た結合回路を説明する回路図、第６図は１本発明の第２
．第３の実施例における反射損失１通過損失と、並列コ
ンダクタンスとの関係を示す特性図、第７図は本発明の
第４の実施例を模式的に示す電極バタン図、第８図は本
発明の非交差部延長の他の構造を示す電極バタン図、第
９図は本発明により改善された周波数特性を示す特性図
である。 〔符号の説明〕 ２．２’；弾性表面波の送受波電極 ３；ポンディングパッド ４；母線電極５；電源 ６；電源の内部コンダクタンス ６′；負荷コンダクタンス ８； 電極Ｎ５Ｉ０．Ｓ！
、・・・、ＳＮ；１．Ｚ、・・・、Ｎ番目の電極対 １５．１３’；並列抵抗（コンダクタンスＧ、）１４；
弾性表面波装置 １５．１５’；結合回路部１６；信号
源 １７；負荷 １８；有効開口 １９；非交差部電極指１９’；１９と
は極性の異なる非交差部電極指Ａ ； Ｇｆ＝ ６２２
．２７１１０ （非交差部延長なし）の場合Ｂ ； Ｇ
ｊ＝ １７７．８ｍ’Ｃ） （’）場合Ｃ； Ｇｙ ＝
１０５．７ｒｎＴ）０） ｍ合Ｄ； Ｇｊ ” ６９
．１ｎ（ＩＪ （１） ｔＪＪ 合Ｅ ； Ｇｙ ＝
４７．９ｒｎＴ）の場合Ｃ１；第２の実施例を示す測足
点 Ｄｌ；第３の実施例を示す側足点 代理人弁理士 高 橋 明 夫 駕 ４ 図 ３′ 電 ら 錫ａ
性囚、第２図は本発明による電極指の非交差部を延長し
た電極構造の平面図、第３図は反射損失と非交差部長さ
の関係を示す特性図、第４図は本発明の一実施例を示す
電極バタン図、第５図は並列にコンダクタンスを接続し
た結合回路を説明する回路図、第６図は１本発明の第２
．第３の実施例における反射損失１通過損失と、並列コ
ンダクタンスとの関係を示す特性図、第７図は本発明の
第４の実施例を模式的に示す電極バタン図、第８図は本
発明の非交差部延長の他の構造を示す電極バタン図、第
９図は本発明により改善された周波数特性を示す特性図
である。 〔符号の説明〕 ２．２’；弾性表面波の送受波電極 ３；ポンディングパッド ４；母線電極５；電源 ６；電源の内部コンダクタンス ６′；負荷コンダクタンス ８； 電極Ｎ５Ｉ０．Ｓ！
、・・・、ＳＮ；１．Ｚ、・・・、Ｎ番目の電極対 １５．１３’；並列抵抗（コンダクタンスＧ、）１４；
弾性表面波装置 １５．１５’；結合回路部１６；信号
源 １７；負荷 １８；有効開口 １９；非交差部電極指１９’；１９と
は極性の異なる非交差部電極指Ａ ； Ｇｆ＝ ６２２
．２７１１０ （非交差部延長なし）の場合Ｂ ； Ｇ
ｊ＝ １７７．８ｍ’Ｃ） （’）場合Ｃ； Ｇｙ ＝
１０５．７ｒｎＴ）０） ｍ合Ｄ； Ｇｊ ” ６９
．１ｎ（ＩＪ （１） ｔＪＪ 合Ｅ ； Ｇｙ ＝
４７．９ｒｎＴ）の場合Ｃ１；第２の実施例を示す測足
点 Ｄｌ；第３の実施例を示す側足点 代理人弁理士 高 橋 明 夫 駕 ４ 図 ３′ 電 ら 錫ａ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）圧電体基板と、圧電体基板上に設けられた互に交差
するくし歯状電極から各なる入力および出力変換器とか
らなり、各くし歯状電極は交差部分と非交差部分とから
１．仁る電極指と電極指の非交差部分側端部な結合する
バスバーとからなり、各変換器の一方のくし歯状電極の
バスパーと他方のくし歯状雷５極の市、極相先端との間
隔が互いの接触を防ぐのに必要な間隔よりも充分大きな
間隔をもつよ５に一方のくし歯状電極の全′電極指の非
交差部分が長くされたことな特徴とする弾性表面波装置
。 ２）送受波を極の放射コンダクタンスＧ、の大キさを接
続される外部同時コンダクタンスＧＬの４以上とし、か
つ、送受波電極の対数Ｎと一対のｔａ指抵抗ｒｔからＮ
／ ｒｌと定義される電極指コンダクタンスＧｆが非
交差部の延長が行なわれ工、ｂ ＝ ＧＺ ／ Ｇａ
、 ｃ ＝ Ｇｙ／Ｇａで定義されるり、ｃによる次の
関係を満すことを特徴とする特許請求の範囲力１項記載
の弾性表面波装置。 ≧２ＤｄＥ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14645983A JPS6038912A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14645983A JPS6038912A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6038912A true JPS6038912A (ja) | 1985-02-28 |
| JPH0336327B2 JPH0336327B2 (ja) | 1991-05-31 |
Family
ID=15408112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14645983A Granted JPS6038912A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6038912A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10524629B2 (en) | 2005-12-02 | 2020-01-07 | Irobot Corporation | Modular Robot |
-
1983
- 1983-08-12 JP JP14645983A patent/JPS6038912A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10524629B2 (en) | 2005-12-02 | 2020-01-07 | Irobot Corporation | Modular Robot |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0336327B2 (ja) | 1991-05-31 |
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