JPS6038724A - Magnetic disk device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic disk device whose magnetic layer is never cracked by the temperature change and having fine surface roughness and high resolving power, by forming an anodized aluminium layer on the surface of an Al base material through the electrolysis carried out in an aqueous solution containing Cr<6+> and then forming a magnetic film on said anodized aluminum layer. CONSTITUTION:The surface of an Al disk 1 is finished to a mirror surface by means of a diamond lathe or a lapping machine and then subjected to electrolysis in an aqueous solution containing Cr<6+>. Thus an anodized aluminum layer 2 is formed on the disk 1. As shown by a typrical figure, the layer 2 is formed to have the structure which contains resin-shaped holes interlacing each other. As a result, the layer 2 is just shifted in the expanding directions of the interlaced holes when the disk 1 expands toward an arrow A at a high temperature. Thus no crack is produced on the surface of the disk 1. Therefore no crack is produced to a magnetic layer 3 when the layer 3 is coated on the layer 2 by a sputtering method or a lubricant film is formed on the layer 3. Thus the high resolution characteristics can be secured for a magnetic disk.

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は磁気ディスク装置の記録媒体である磁気円板
に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a magnetic disk that is a recording medium for a magnetic disk device.

近年記録密度向上によシ磁気円板に要求される性能はま
すます厳しくなっている。磁気記録密度向上を行うため
に磁気ヘッドの浮上高さが低くなり１例えば０．２μｍ
　となっている。またヘッドの読み取り性能を決めるギ
ャップも１μｍ以下となり磁気円板に対する面粗さ、お
よび欠陥をできるだけ小さくするよう要請されている。In recent years, as recording density has increased, the performance required of magnetic disks has become increasingly strict. In order to improve the magnetic recording density, the flying height of the magnetic head has been reduced to 1, for example, 0.2 μm.
It becomes. Furthermore, the gap that determines the reading performance of the head is 1 μm or less, and it is required to minimize the surface roughness and defects of the magnetic disk.

この発明はかかる問題を解決するためになされた。This invention was made to solve this problem.

すなわち磁気円板加工過程における各工程を調べてゆく
過程で、磁気円板の下地処理としてアルマイト処理をす
るが、アルマイト処理が磁気円板としての性能を左右す
ることが判った。すなわち従来、アルミ素材をダイヤモ
ンド旋盤で、旋削後硫酸浴でアルマイト処理をしている
が、磁性膜形成過程あるいは潤滑膜形成過程において高
温（３００℃−３５０℃）にさらされることによ勺クラ
ックが生じること、アルマイト上に磁性膜を形成した場
合、特にスパッタ技術を用いた磁性膜では。In other words, in the process of investigating each step in the process of manufacturing magnetic disks, it was discovered that alumite treatment is used as a base treatment for magnetic disks, and that the alumite treatment affects the performance of magnetic disks. In other words, conventionally, aluminum materials are alumite-treated using a diamond lathe in a sulfuric acid bath after turning, but cracks may occur due to exposure to high temperatures (300℃-350℃) during the magnetic film formation process or lubricant film formation process. This occurs when a magnetic film is formed on alumite, especially when a magnetic film is formed using sputtering technology.

電磁変換特性が悪くなる等の欠点があった。かかる問題
点を解決するためになされたものが本発明であり、アル
ミ素材をダイヤモンド旋盤で旋削後６価のクロムイオン
を含む水浴液中で′…浦′（シたアルマイト層を用いる
ことによシ、上記工程中における高温でのクラックが生
じることはなくなり。There were drawbacks such as poor electromagnetic conversion characteristics. The present invention has been made to solve these problems. After turning an aluminum material with a diamond lathe, it is heated in a water bath containing hexavalent chromium ions by using an alumite layer. C. Cracks no longer occur at high temperatures during the above process.

電磁変換特性も良くなることが判った。It was found that the electromagnetic conversion characteristics were also improved.

この発明を理解するために図を参照しながら説明する。In order to understand this invention, it will be explained with reference to the drawings.

第１図は磁気円板の構造を理解するための断面図であり
、＋１）はアルミ板を示す。アルミ板ｔｌ＋はダイヤモ
ンド旋盤で旋削され鏡面仕上けがなされるかまたはラッ
プ盤で鏡面仕上げがなされる。FIG. 1 is a cross-sectional view for understanding the structure of a magnetic disk, and +1) indicates an aluminum plate. The aluminum plate tl+ is turned to a mirror finish using a diamond lathe or polished to a mirror finish using a lapping machine.

従来はこの後硫酸浴で硫酸アルマイトがなされ防蝕の効
果をもたせるアルマイト層（２；が施されていた。アル
マイト層（２）は防蝕を目的としているので、前工程の
鏡面仕上げがなされた面がそのまま維持できることが理
想であるが、アルマイト層（２１で面粗度は悪くなる。Conventionally, sulfuric acid alumite was then applied in a sulfuric acid bath to form an alumite layer (2) that had an anti-corrosion effect.Since the alumite layer (2) was intended for anti-corrosion purposes, the surface that had been mirror-finished in the previous process was Ideally, it could be maintained as it is, but the surface roughness deteriorates with the alumite layer (21).

また硫酸浴の場合微少な孔が面に直角方向にあい工いる
ことは衆知である。It is also well known that in the case of a sulfuric acid bath, minute pores are formed perpendicularly to the surface.

このため表面状態は良くなく、この点を確決すべく、各
種の処理を検討した結果、６１１ＩＩｉのクロムイオン
を含む水溶液中で電力′トするアルマイト層が良いこと
がわかった。このアルマイト層はｉ少な孔は存在するが
１面に直角方向ではなくまた。電解中に面を荒らす度合
いが少ないため硫酸浴に比し鏡面状態を維持することが
可能となった。Therefore, the surface condition was not good, and as a result of examining various treatments to determine this point, it was found that an alumite layer that is heated in an aqueous solution containing 611IIi chromium ions is good. This alumite layer has a few holes, but they are not oriented perpendicular to one surface. Since the surface is less roughened during electrolysis, it is possible to maintain a mirror-like state compared to a sulfuric acid bath.

硫酸浴で処理したアルマイ）Ｊｌ及び６１ｉ１ｉ＋クロ
ム水溶液中で処理したアルマイト層の構造模式図を第３
図及び第４０に示す。The structural schematic diagram of the alumite layer treated in a sulfuric acid bath) Jl and 61i1i + chromium aqueous solution is shown in Figure 3.
Shown in Figures and No. 40.

第３図かられかるように硫酸浴処理のものは孔が面に垂
直に配列しておシ、第４図に示す６価クロム水溶液中で
処理したものは孔が樹枝状に入り絹んでいる。As can be seen from Figure 3, the pores are arranged perpendicular to the surface in the case of the sulfuric acid bath treatment, and the pores are arranged in a dendritic shape and silky in the case of the case of the case treated in the hexavalent chromium aqueous solution shown in Figure 4. .

いま９円板が高温にさらされると矢印Ａの方向にアルミ
暴利が膨張する。このとき、上記アルマイト層の構造を
考えると硫酸浴処理のものは孔と孔とが離れることにな
υ、その間にクラックを発生させやすく、これに対し６
価クロム水溶液中で処理したものは、孔と孔との入り組
み状態が膨張する方向にズレるだけであり９円板表面に
クラックを生じさせにくいことがわかる。Now, when the 9th disk is exposed to high temperature, the aluminum profiteer expands in the direction of arrow A. At this time, considering the structure of the alumite layer mentioned above, in the case of the alumite layer treated with a sulfuric acid bath, the pores are separated and cracks are likely to occur between them.
It can be seen that in the case of the plate treated in the aqueous chromium solution, the pore-to-hole arrangement only deviates in the direction of expansion, and cracks are less likely to occur on the surface of the 9-disc plate.

アルマイトノ裔（２）に磁性層＋３１を配置して磁気円
板を構成する。磁性層（３）はγ−Ｆｅ２Ｏ３を塗布し
たものあるいはスパッタ技術により磁性Ｉ曽としたもの
で良い。A magnetic layer +31 is arranged on the alumite descendant (2) to constitute a magnetic disk. The magnetic layer (3) may be coated with .gamma.-Fe2O3 or made magnetic I so by sputtering technology.

この発明を用い、磁性層（３）をスパッタ技術によ勺磁
気円板を試作した結果第２図の特性が得られた。す力わ
ち磁性層（３）の形成条件を同一として試作したものの
比較である。図中下地々しとあるものはアルマイト層（
２；のないもの、硫酸浴とあるものはアルマイト層（２
）を硫酸アルマイトで処理したもの６価クロム水溶液と
あるものはアルマイト層（２；を６価クロム水溶液中で
霜解したものであり。Using this invention, a magnetic disk was experimentally manufactured by sputtering the magnetic layer (3), and as a result, the characteristics shown in FIG. 2 were obtained. This is a comparison of prototypes made under the same conditions for forming the magnetic layer (3). In the figure, the underlying layer is an alumite layer (
2; Those without sulfuric acid bath and those with sulfuric acid bath have an alumite layer (2).
) is treated with a sulfuric acid alumite solution in a hexavalent chromium aqueous solution.

周波数特性は下地なし→硫酸浴→６価クロム水溶液と良
くなっていることがわかる。周波数特性は磁気ディスク
装置で問題となる分解能のことであり、６価のクロム水
溶液中で電解をしたアルマイト層＋２１を持つものが分
解能が良いことをあられしている。磁気円板特性の分解
能を向上するため。It can be seen that the frequency characteristics improved as the temperature changed from no base to sulfuric acid bath to hexavalent chromium aqueous solution. Frequency characteristics refer to the resolution that is a problem in magnetic disk drives, and it has been found that those with an alumite layer +21 electrolyzed in a hexavalent chromium aqueous solution have good resolution. To improve the resolution of magnetic disk characteristics.

磁性膜厚を薄くすればよいことは衆知である。It is common knowledge that the thickness of the magnetic film can be reduced.

円板面が粗いとその粗さ分が１１％厚に寄与するため局
所的に膜が厚くなり、従って分解能特性が低いものとな
る。If the disk surface is rough, the roughness contributes to the thickness by 11%, and the film becomes locally thick, resulting in low resolution characteristics.

これに対し１円板面が鏡面であれは形成した膜厚分だけ
のＭｆ：得ることができ、よって所望の分解能特性の磁
性層が得られ、特性を低下させることがない。On the other hand, if one disk surface is a mirror surface, it is possible to obtain Mf equal to the thickness of the formed film, and therefore a magnetic layer with desired resolution characteristics can be obtained without degrading the characteristics.

したがってこの発明を実施することによ９１表面粗さの
小さい、温度による割れのない９分解能の高い磁気ディ
スク装置６を製造することができる。Therefore, by carrying out the present invention, it is possible to manufacture a magnetic disk device 6 with low surface roughness and high resolution without cracking due to temperature.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は磁気円板の構造を示す断面図、第２図は各種処
理による周波数特性図、第３図は硫酸浴で処理したアル
マイト層の構造模式図、第４図は６価クロム水溶液中で
処理したアルマイト層の構造模式図、を示す。 図中、＋１）はアルミ板、（２）はアルマイト層、（３
）は（磁性層を示す。 代理人　大　岩　増　雄 第１図 第２図 第　３　図 弗　４　因Figure 1 is a cross-sectional view showing the structure of a magnetic disk, Figure 2 is a frequency characteristic diagram after various treatments, Figure 3 is a schematic diagram of the structure of an alumite layer treated in a sulfuric acid bath, and Figure 4 is in a hexavalent chromium aqueous solution. A schematic diagram of the structure of the alumite layer treated with is shown. In the figure, +1) is an aluminum plate, (2) is an alumite layer, and (3)
) indicates the magnetic layer. Agent Masuo Oiwa Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Cause

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] アルミ基材を記録媒体とする磁気ディスク装置において
、防蝕あるいは電磁変換特性を調整する目的で、アルミ
基村上にアルマイト処理を行うにあた９、６価のクロム
イオンを含む水溶液中で電解をし、アルマイト層を設け
その上に磁性膜を形成した記録媒体を搭載したことを特
徴とする磁気ディスク装置。In magnetic disk drives that use aluminum as a recording medium, electrolysis is performed in an aqueous solution containing 9- and 6-valent chromium ions to perform alumite treatment on the aluminum substrate for the purpose of corrosion protection or adjusting electromagnetic characteristics. A magnetic disk device comprising a recording medium provided with an alumite layer and a magnetic film formed thereon.