JPS6034259B2 - wire bonding equipment - Google Patents
wire bonding equipmentInfo
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- JPS6034259B2 JPS6034259B2 JP51056351A JP5635176A JPS6034259B2 JP S6034259 B2 JPS6034259 B2 JP S6034259B2 JP 51056351 A JP51056351 A JP 51056351A JP 5635176 A JP5635176 A JP 5635176A JP S6034259 B2 JPS6034259 B2 JP S6034259B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- tool
- welding
- clamper
- holding member
- Prior art date
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- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78313—Wedge
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンディング装置のボンディングヘッド
部の改良に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an improvement in a bonding head portion of a wire bonding device.
従釆、例えば超音波振動ェネルギを用いるワイヤボンデ
ィング装置のボンディングヘッド部においては、第1図
に示したように溶接すべきワイヤ(例えばアルミ線)を
巻装したスプール1よりワイヤWが引出されて図示しな
い駆動源に連結された溶接用工具2の下部に設けた挿通
穴2aを通して先端部2bの下に供出される。For example, in a bonding head of a wire bonding device using ultrasonic vibration energy, a wire W is pulled out from a spool 1 wound with a wire to be welded (for example, aluminum wire), as shown in FIG. The welding tool 2 is delivered below the tip 2b through an insertion hole 2a provided at the bottom of the welding tool 2, which is connected to a drive source (not shown).
工具2の近傍には熔接工程中の所定の時点でワイヤWを
クランプするクランパ3が配置されている。このクラン
パはワイヤWの熔接時点の前後で工具2に対する関係位
置が所定の距離変化するようになっている。そして、工
具2が先端部2bでワイヤWを第1の被溶接部に圧接し
て溶接を完了したのち、工具2が引上げられるとともに
、挿通穴2aにワイヤWを通しつつ第2の緋溶接部上方
に移動する。そして、前記と同様にして第2の溶接を完
了した時点で、クランパ3がワイヤWをクランプしてス
プールーの方向に引張りワイヤWを熔接個所の根元より
切断する。この後、工具2が引上げられ、クランパ3は
ワイヤWをクランプしたまま元の位置に戻る。これによ
りワイヤWの先端側が工具2の先端部2bの下に供出さ
れて次の熔接作業に備えられる。上記の場合、第1の溶
接を完了した時点では、スプールーと工具2との間のワ
イヤWに長さの余裕がないので、工具2が第2の溶接位
置に移動するときワイヤWを無理に引張りながら移動す
ることになる。このために、溶接したワイヤWが根元か
ら切れる所謂ネック切れを生じやすい。また、スプール
1の摩擦抵抗に変動があるとワイヤWの張力が変化して
ワイヤ線出量が一定にならず、スプールーと工具2との
間のワイヤWに不定量のたるみを生じる。このため、ク
ランパ3がクランプするワイヤWの長さ方向の位置が一
定せず、クラソパ3がワイヤWを切断後工具2に対して
送り出すワイヤWの供出量が一定にならす、工具2の先
端よりのワイヤWの突出量が一定しない。このため、次
に溶接時に被溶接個所に生ずるワイヤWのはみ出し、所
謂「テール残り」がバラつくという欠点があった。本発
明は上記の欠点を解消して良好な熔接が行なわれるよう
にしたワイヤボンディング装置を提供したものである。A clamper 3 is arranged near the tool 2 to clamp the wire W at a predetermined point during the welding process. The position of this clamper relative to the tool 2 changes by a predetermined distance before and after welding the wire W. After the tool 2 has completed welding by pressing the wire W against the first welded part with the tip 2b, the tool 2 is pulled up and the second scarlet welded part is passed through the insertion hole 2a. move upwards. Then, when the second welding is completed in the same manner as described above, the clamper 3 clamps the wire W and cuts the tension wire W from the root of the welded portion in the direction of the spool. Thereafter, the tool 2 is pulled up, and the clamper 3 returns to its original position while still clamping the wire W. As a result, the tip side of the wire W is delivered under the tip portion 2b of the tool 2, and is ready for the next welding operation. In the above case, when the first welding is completed, the wire W between the spool and the tool 2 does not have enough length, so when the tool 2 moves to the second welding position, the wire W is forced to It will move while being pulled. For this reason, the welded wire W is likely to be cut from the root, which is a so-called neck breakage. Further, if the frictional resistance of the spool 1 fluctuates, the tension of the wire W changes and the amount of wire drawn out is not constant, causing an indefinite amount of slack in the wire W between the spool and the tool 2. For this reason, the position in the length direction of the wire W clamped by the clamper 3 is not constant, and the amount of wire W fed by the clamper 3 to the tool 2 after cutting the wire W is constant. The amount of protrusion of the wire W is not constant. For this reason, there is a drawback in that the protrusion of the wire W that occurs at the welded portion during the next welding, or the so-called "tail remaining", varies. The present invention provides a wire bonding device that eliminates the above-mentioned drawbacks and allows good welding to be performed.
以下、本発明を実施例の図面により詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to drawings of embodiments.
第2図において、第1図と同一部分には同符号を付して
ある。4は図示しない駆動源により駆動されるカム支軸
で、この支軸は後述のように工具2の作動に運動して所
定の時期に自動的に駆動される。In FIG. 2, the same parts as in FIG. 1 are given the same reference numerals. Reference numeral 4 denotes a cam support shaft driven by a drive source (not shown), and this support shaft moves with the operation of the tool 2 and is automatically driven at a predetermined time as described later.
5は支軸4に固着されたカム、6は一端が支軸7に回動
自在に支持された第1のアーム、8はこのアームの長さ
方向の中間部に回動自在に支持されたカムホロア、9は
このカムホロアをカム5の周辺部に圧接するようにアー
ム6の池端に取付けられた引張スプリングである。5 is a cam fixed to the support shaft 4, 6 is a first arm whose one end is rotatably supported on the support shaft 7, and 8 is rotatably supported at the middle part of this arm in the length direction. The cam follower 9 is a tension spring attached to the end of the arm 6 so as to press the cam follower against the periphery of the cam 5.
1川ま長さ方向の中間部分で支軸11に回動自在に支持
された第2のアーム、12はこのアームの一端とアーム
6の長さ方向の一点とを連結され自在継手である。A second arm 12 rotatably supported by the support shaft 11 at the intermediate portion in the lengthwise direction is a universal joint in which one end of this arm is connected to one point in the lengthwise direction of the arm 6.
13はアーム10の他端に配設されたワイヤ保持部材で
、このワイヤ保持部村は第3図に示したように、アーム
10の先端側にこのアームの長さ方向に直角に突設され
た藤10aに緩く鉄入された一つのプーリ13a,13
bと、これらのプーリを互いに圧接するスプ1」ング1
3cと、このスプリングのバネ力を調整保持するナット
13dとよりなつている。Reference numeral 13 denotes a wire holding member disposed at the other end of the arm 10, and as shown in FIG. One pulley 13a, 13 loosely fitted with iron to the top 10a
b, and a spring 1'' that presses these pulleys together.
3c and a nut 13d that adjusts and holds the spring force of this spring.
そして、ワイヤWはプ−IJ13a,13bの間に軽く
挟まれて保持されている。上記の装置において、カム支
軸4の駆動によりカム5が回転し、カムホロア8がカム
5の長径部に接するようになるに従って、アーム6が図
の時計方向の回動し、継手12に引かれてアーム10が
反時計万向に回動する。The wire W is held by being lightly sandwiched between the pulleys 13a and 13b. In the above device, the cam 5 is rotated by the drive of the cam support shaft 4, and as the cam follower 8 comes into contact with the long diameter part of the cam 5, the arm 6 rotates clockwise in the figure and is pulled by the joint 12. The arm 10 rotates counterclockwise.
この結果、ワイヤ保持部材13はワイヤWを保持してス
プールーより遠ざかる方向に移動し、スプール1よりワ
イヤWを所定の量引き出す。また逆に、カムホロア8が
カム5の短径部に接するようになると、アーム10は時
計方向に回動し、ワイヤ保持部村13はワイヤWを保持
して工具2より遠ざかる方向に移動して工具2との間の
ワイヤWを展張する。なお、保持部村13が保持するワ
イヤWが工具2又はクランパ3により引張られる場合に
は、ワイヤWは保持部材13の保持力に抗して引出され
る。次に、上記のワイヤ保持部材を備えたワイヤボンデ
ィング装置の動作を説明する。As a result, the wire holding member 13 holds the wire W and moves in a direction away from the spool, and draws out a predetermined amount of the wire W from the spool 1. Conversely, when the cam follower 8 comes into contact with the short diameter part of the cam 5, the arm 10 rotates clockwise, and the wire holding section 13 holds the wire W and moves away from the tool 2. Stretch the wire W between the tool 2 and the tool 2. Note that when the wire W held by the holding member 13 is pulled by the tool 2 or the clamper 3, the wire W is pulled out against the holding force of the holding member 13. Next, the operation of the wire bonding apparatus equipped with the above wire holding member will be explained.
本装置による溶接作業においては、始め第4図のaに示
すように、工具2は第1の被溶接部Pの上方に離れて位
置しており、クランパ3はワイヤWをクランプしている
。溶接時には、この状態より工具2がクランパ3と共に
下げられ、工具2の先端がワイヤWの先端側を被溶接部
Pの上に圧接する。このとき、ワイヤWはクランパ3に
引かれワイヤ保持部材13の保持力に抗してスプール1
より引出される。上記の工具2によるワイヤWの圧援に
より第1の溶接が行なわれたのち、支軸4の駆動源が自
動制御され、前記のようにしてワイヤ保持部材13が矢
印イの方向に駆動され、第4図b‘こ示したようにスプ
ールーよりワイヤWを所定の量引出すとともに、クラン
パ3のクランプが解除される。これによりワイヤWは工
具2と保持部材13との間で相当量のたるみを生ずる。
次いでcに示すように工具2が引上げられるとともに、
挿通穴2aにたるんだワイヤWを通しつつ第2の溶接位
置上方に移動する。この移動後にdに示すように工具2
の先端が第2の被溶接部P′に圧接されて溶接が行なわ
れる。そして、ワイヤ保持部材13が矢印の方向に駆動
されて工具2と保持部材13との間のワイヤWがたるま
ぬようにワイヤWを展張してのち、eに示すようにクラ
ンパ3でワイヤWをクランプする。次いで、fに示すよ
うに工具2は圧後状態のままでクランパ3が矢印方向に
駆動される。これにりワイヤWは引張られて被溶接部の
根元で切断される。この後、gに示すように工具2が引
上げられ、クランパ3が矢印方向に戻される。これによ
りワイヤWの先端側が工具2の先端下に一定の長さ供出
されて次の溶接に備えられる。上記したように本発明の
ワイヤボンディング装置によれば、ワイヤクランパとワ
イヤ供給源との間でワイヤを保持するワイヤ保持部材を
設け、該ワイヤ保持部村を溶接用工具及びクランパの作
動に連動して所定の時期に該工具に近接する方向と離隔
する方向とにそれぞれ所定の距離駆動するようにしたの
で、ワイヤ溶接作業における第1の溶接の完了後前記ワ
イヤ保持部材の駆動によりワイヤを所定の長さ繰り出し
、該保持部村を工具の間のワイヤを適量たるませること
ができる。In the welding operation using this apparatus, the tool 2 is initially positioned above the first welded part P, and the clamper 3 is clamping the wire W, as shown in FIG. 4a. During welding, the tool 2 is lowered together with the clamper 3 from this state, and the tip of the tool 2 presses the tip of the wire W onto the part P to be welded. At this time, the wire W is pulled by the clamper 3 and resists the holding force of the wire holding member 13 to the spool 1.
It is drawn out more. After the first welding is performed by compressing the wire W by the tool 2, the drive source of the support shaft 4 is automatically controlled, and the wire holding member 13 is driven in the direction of arrow A as described above, As shown in FIG. 4b', a predetermined amount of the wire W is pulled out from the spool and the clamp of the clamper 3 is released. This causes the wire W to slacken considerably between the tool 2 and the holding member 13.
Next, as shown in c, the tool 2 is pulled up, and
While passing the slack wire W through the insertion hole 2a, the wire is moved upward to the second welding position. After this movement, the tool 2
Welding is performed by pressing the tip of the weld to the second welded part P'. Then, the wire holding member 13 is driven in the direction of the arrow to stretch the wire W between the tool 2 and the holding member 13 so that the wire W does not slacken, and then the clamper 3 holds the wire W as shown in e. Clamp. Next, as shown in f, the clamper 3 is driven in the direction of the arrow while the tool 2 remains in the compressed state. As a result, the wire W is pulled and cut at the root of the welded part. Thereafter, the tool 2 is pulled up as shown in g, and the clamper 3 is returned in the direction of the arrow. As a result, the tip side of the wire W is provided for a certain length under the tip of the tool 2, and is prepared for the next welding. As described above, according to the wire bonding apparatus of the present invention, a wire holding member for holding the wire is provided between the wire clamper and the wire supply source, and the wire holding member is interlocked with the operation of the welding tool and the clamper. Since the wire is driven a predetermined distance in a direction approaching the tool and a direction away from the tool at a predetermined time, after the first welding in the wire welding operation is completed, the wire is driven to a predetermined distance by driving the wire holding member. By letting out the length, the holding portion can be used to allow the wire between the tools to slacken by an appropriate amount.
これにより工具はワイヤを無理に引張ることなく容易に
第2の溶接位置に移動できるので、溶接したワイヤが根
元から切れる所謂ネック切れを無くすことができる。ま
た、溶接終了に当りクランパでワイヤを切る場合には、
ワイヤをクランプする前にワイヤ保持部材により上記と
逆にワイヤを展張して工具との間のたるみを無くすこと
ができる。これにより、クランパはワイヤを常に溶接個
所より一定長さの位置でクランプすることができるので
、クランパがワイヤを引き切って工具の先端下に供出す
るワイヤの長さを常に一定にすることができる。これに
より、次の熔接個所に生ずるワイヤ先端のハミ出し所謂
テール残りのバラッキを無くすことができる。This allows the tool to be easily moved to the second welding position without forcibly pulling the wire, thereby eliminating so-called neck cuts in which the welded wire is cut from its root. Also, when cutting the wire with a clamper at the end of welding,
Before clamping the wire, the wire can be expanded in the opposite manner to the above using the wire holding member to eliminate slack between the wire and the tool. This allows the clamper to always clamp the wire at a constant length from the welding point, so the clamper can always cut the wire and deliver the wire under the tip of the tool at a constant length. . Thereby, it is possible to eliminate the looseness of the so-called tail remaining at the tip of the wire that occurs at the next welding location.
第1図は従来のワイヤボンディング装置要部の概略を示
す説明図、第2図は本発明の実施例の概要を示す説明図
、第3図は第2図におけるワイヤ保持部材の具体的な構
成を示す説明図、第4図a〜gは本発明の装置の動作の
概要を示す説明図である。
1・・・・・・ワイヤスプール、2・・・・・・溶接用
工具、3..・..・ワイヤクランパ、13・・・・・
・ワイヤ保持部材、W・・・・・・ワイヤ、P,P′・
・・・・・被溶接部。
多ノ図多2麓
多ラ函
多々函FIG. 1 is an explanatory diagram showing an outline of the main parts of a conventional wire bonding apparatus, FIG. 2 is an explanatory diagram showing an outline of an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a specific configuration of the wire holding member in FIG. 2. FIGS. 4a to 4g are explanatory diagrams showing an overview of the operation of the apparatus of the present invention. 1... Wire spool, 2... Welding tool, 3. ..・.. ..・Wire clamper, 13...
・Wire holding member, W...Wire, P, P'・
・・・・・・Part to be welded. Tano Zuta 2 Foothills Tala Box Tatta Box
Claims (1)
接する溶接用工具と、前記工具の近傍に配置されて前記
ワイヤを前記工具とワイヤ供給源との間でクランプし前
記工具に対して変位してワイヤの切断及び供出作用を行
うワイヤクランパとを備えたワイヤボンデイング装置に
おいて、前記ワイヤクランパとワイヤ供給源との間で前
記ワイヤを所定の力で保持し前記工具及びワイヤクラン
パの作動に連動して第1の溶接完了後前記工具の移動前
に該工具に近接する方向に所定の距離移動し、また第2
の溶接完了後前記ワイヤクランパのクランプ動作前に前
記工具より離隔する方向に所定の距離移動するよう駆動
されるワイヤ保持部材を配設したことを特徴とするワイ
ヤボンデイング装置。1. A welding tool that holds the wire to be welded at its tip and presses it against the part to be welded, and a welding tool that is placed near the tool and clamps the wire between the tool and a wire supply source and presses the wire against the tool. In a wire bonding apparatus, the wire clamper is displaceable to cut and supply the wire, the wire is held with a predetermined force between the wire clamper and a wire supply source, and the tool and the wire clamper are operated. After the completion of the first welding, the tool is moved a predetermined distance in a direction approaching the tool, and the second
1. A wire bonding apparatus, further comprising a wire holding member that is driven to move a predetermined distance in a direction away from the tool after completion of welding and before the clamping operation of the wire clamper.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP51056351A JPS6034259B2 (en) | 1976-05-17 | 1976-05-17 | wire bonding equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP51056351A JPS6034259B2 (en) | 1976-05-17 | 1976-05-17 | wire bonding equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS52138458A JPS52138458A (en) | 1977-11-18 |
JPS6034259B2 true JPS6034259B2 (en) | 1985-08-07 |
Family
ID=13024799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP51056351A Expired JPS6034259B2 (en) | 1976-05-17 | 1976-05-17 | wire bonding equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6034259B2 (en) |
-
1976
- 1976-05-17 JP JP51056351A patent/JPS6034259B2/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS52138458A (en) | 1977-11-18 |
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