JPS6032128B2 - Inspection method for pinholes in sealed packaging - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ブドウ糖注射液、注射用蒸留水、牛乳、油等
の気化性のある物質やナフタリン等の昇華性物質等（本
明細書においては、これらを気化性物質と称する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to vaporizable substances such as glucose injection, distilled water for injection, milk, and oil, and sublimable substances such as naphthalene (in this specification, these are referred to as vaporizable substances). It is called.

）を密封包装した合成樹脂、紙金属等製の密封包装体の
ピンホール（ピンホール、クラック等）有無検査方法に
関する。従来、この種の密封包装体のピンホール有無検
査の一態様として真空ピンホール有無検査があり、該検
査は、電気的検査を行い得ない非導電性液体を内蔵した
密封包装体のピンホール有無検査に主として利用されて
きた。) in a sealed package made of synthetic resin, paper metal, etc., for the presence or absence of pinholes (pinholes, cracks, etc.). Conventionally, there has been a vacuum pinhole presence test as one type of pinhole presence test for this type of sealed package, and this test is used to detect the presence of pinholes in a sealed package containing a non-conductive liquid that cannot be electrically tested. It has been mainly used for inspection.

この真空ピンホール有無検査においては、密封包装体は
気密の検査室に配置され、該室は予め定めた真空状態ま
で真空とされたのち、該室の真空吸引が停止乃至遮断さ
れ、その後該室内の圧力上昇が測定され、該圧力上昇値
が予め定めた基準値以上の場合には、密封包装体にピン
ホールが有る故にそこから包装体内物が気化（本明細書
において気化とは前記気化性物質が液体状態から蒸気乃
至気体になること、或は固体状態から昇華することであ
る。In this vacuum pinhole inspection, the sealed package is placed in an airtight inspection chamber, and after the chamber is evacuated to a predetermined vacuum state, the vacuum suction in the chamber is stopped or shut off, and then the chamber is evacuated to a predetermined vacuum state. When the pressure increase value is equal to or higher than a predetermined reference value, the contents of the package are vaporized from there because there is a pinhole in the sealed package. Sublimation of a substance from a liquid state to vapor or gas, or from a solid state to sublimation.

）して当該圧力上昇が生ずるとみてピンホール有りと判
定され、圧力上昇値が基準値より小さいときにはピンホ
ール無しと判定されていた。しかしながら、前記検査時
にピンホールを有する包装体の該ピンホールから前記検
査室内に流出して残留した物質を有効に除去する手段は
何も講じられておらず、このように残留した物質は次回
の検査時において再び真空下において気化するため、次
回検査における密封包装体にピンホールが無い場合でも
検査室内の圧力は基準値以上に上昇してピンホール有り
と誤判定される欠点があり、また、このような誤判定を
避けようと前記基準値を大きくとるときにはピンホール
を有する包装体について逆にピンホール無しと誤判定さ
れる虜れがあった。), it is determined that there is a pinhole when the pressure rise occurs, and when the pressure increase value is smaller than the reference value, it is determined that there is no pinhole. However, no means has been taken to effectively remove the substances that flowed into the inspection chamber through the pinholes of the packaging body that has pinholes during the inspection, and the remaining substances are carried out in the next test. Since it is vaporized under vacuum again during the inspection, even if there are no pinholes in the sealed package in the next inspection, the pressure inside the inspection chamber will rise above the standard value and there is a drawback that it will be incorrectly determined that there are pinholes. When the reference value is set to a large value in order to avoid such erroneous determinations, packages with pinholes may be erroneously determined to have no pinholes.

更に、ピンホールから流出した物質が検査室内に残留す
ることは別に、検査前に密封包装体表面に何等かの理由
で前記気化性物質が付着していたときには、該気化性物
質も検査時に気化し、外乱（ノイズ）として作用するた
め、この場合にもピンホールの無い密封包装体について
ピンホール有りと誤判定される場合があり、また、密封
包装体表面から流出した物質がやはり検査室内に残留し
て次回検査時に外乱として作用する欠点があった。Furthermore, apart from the fact that the substance that flows out from the pinhole remains in the inspection room, if the vaporizable substance has adhered to the surface of the sealed package for some reason before the inspection, the vaporizable substance will also be removed during the inspection. In this case, a sealed package without pinholes may be mistakenly determined to have a pinhole, and substances leaked from the surface of the sealed package may still enter the inspection room. There was a drawback that it remained and acted as a disturbance during the next inspection.

また、検査後検査室内に残留した気化性物質を次回検査
に備えて十分除去しようとすれば、該検査室を長時間真
空吸引しなければならず、これは検査を非能率化させる
ものであり、特に大量密封包装体の連続的検査の障害と
なるものであった。Furthermore, in order to sufficiently remove the volatile substances remaining in the examination room after the test in preparation for the next test, the examination room must be vacuumed for a long time, which makes the examination inefficient. This was particularly an obstacle to continuous inspection of large quantities of sealed packages.

本発明の目的は、実質上外乱の無い状態下でピンホール
有無を正確に判定でき、かつ、能率的に検査を行える密
封包装体のピンホール有無検査方法を提供することにあ
る。上記目的に従い本発明は、「気化性物質を密封した
密封包装体のピンホール有無検査方法にして、前記密封
包装体を第１室内に配置し、前記第１室を気密にすると
共に内部を前記第１室に蓮設された気化用真空吸引装置
にて真空にして前記密封包装体表面に付着した気化性物
質を気化させ、気化した前記物質は前記第１室内に対し
作用するように設けた冷却用熱交換器に劣却回収するよ
うにして前記密封包装体表面の気化怪物質を実質上除去
したのち、前記密封包装体を前記第１室に蓮設された第
２室内に導入して前記第２室を気密にし、前記第２室を
該第２室に蓬設された測定用真空吸引装置にて予め決め
た真空状態となしたのち該第２室の真空吸引を遮断して
前記第２室内の気化による圧力上昇を測定し、該圧力上
昇値が、予め定めた基準圧力値以上の場合はピンホール
有り、該基準圧力値より小さい場合はピンホール無しと
判定するようにし、前記第１室において前記密封包装体
表面に付着した気化性物質を気化させる前記工程及び前
記第２室において該第２室内の圧力上昇を測定する前記
工程のうち、気化促進のため少くとも前記第１室におけ
る前記密封包装体表面に付着した気化性物質を気化させ
る前記工程において前記密封包装体の配置部位を加熱す
ることを特徴とする密封包装体のピンホール有無検査方
法」、を提供する。An object of the present invention is to provide a method for inspecting the presence or absence of pinholes in a sealed package, which can accurately determine the presence or absence of pinholes under substantially no disturbance and can perform the inspection efficiently. In accordance with the above object, the present invention provides a method for inspecting the presence of pinholes in a sealed package in which a vaporizable substance is sealed, in which the sealed package is placed in a first chamber, the first chamber is made airtight, and the inside is A vacuum suction device for vaporization installed in the first chamber was used to create a vacuum to vaporize the vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package, and the vaporized substance was provided to act on the first chamber. After the vaporized substances on the surface of the sealed package are substantially removed by being degraded and recovered in a cooling heat exchanger, the sealed package is introduced into a second chamber disposed in the first chamber. The second chamber is made airtight, and the second chamber is brought into a predetermined vacuum state using a measuring vacuum suction device installed in the second chamber, and then the vacuum suction of the second chamber is shut off. The pressure increase due to vaporization in the second chamber is measured, and if the pressure increase value is equal to or higher than a predetermined reference pressure value, it is determined that there is a pinhole, and if it is smaller than the reference pressure value, it is determined that there is no pinhole. Of the step of vaporizing the vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package in the first chamber and the step of measuring the pressure increase in the second chamber in the second chamber, at least the first A method for inspecting the presence or absence of pinholes in a sealed package, characterized in that in the step of vaporizing a vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package in a chamber, a location of the sealed package is heated.

斯かる方法は、「気化性物質を密封した密封包装体のピ
ンホール有無検査装置にして、密封包装体の入口及び出
口を備えた第１室と、密封包装体の入口及び出口を備え
ると共に該入口が前記第１室の出口に運通するように前
記第１室に蓮設された第２室と、前記第１室の入口を気
密に閉塞できる第１蓋体装置と、前記第１室の出口及び
前記第２室の入口を気密に閉塞できる第２蓋体装置と、
前記第２室の出口を気密に閉塞できる第３蓋体装置と、
前記第１室に蓮設された気化用真空吸引装置と、前記第
１室内に対し作用するように設けられた冷却用熱交換器
と、前記第２室に蓮設された測定用真空吸引装置及び圧
力測定装置と、前記第１室及び第２室における前記密封
包装体の配置部位のうち少くとも前記第１室内の該部位
を加熱できる装置とを備えたことを特徴とする密封包装
体のピンホール有無検査装置」により実施されうる。な
お、本明細書において、「冷却回収」とは気化性物質を
凍結させ或し、か液化させて凍結又は液体状態に維持す
ることを言う。Such a method consists of a device for inspecting the presence of pinholes in a sealed package containing a vaporizable substance, including a first chamber having an inlet and an outlet of the sealed package; a second chamber that is connected to the first chamber so that the inlet communicates with the outlet of the first chamber; a first lid device that can airtightly close the inlet of the first chamber; a second lid device capable of airtightly closing the outlet and the inlet of the second chamber;
a third lid device capable of airtightly closing the outlet of the second chamber;
A vaporizing vacuum suction device disposed in the first chamber, a cooling heat exchanger disposed to act on the first chamber, and a measuring vacuum suction device disposed in the second chamber. and a pressure measuring device, and a device capable of heating at least a portion of the sealed package in the first chamber and the second chamber where the sealed package is arranged. This can be carried out using a pinhole detection device. In this specification, "cooling recovery" refers to freezing or liquefying a vaporizable substance and maintaining it in a frozen or liquid state.

上記方法及び装置において、上記第２室における外乱を
より一層、かつ、迅速に少なくしようとする場合には、
上記第２室におけるピンホール有無判定時に密封包装体
より該第２室内に流出した物質を、該第２室に蓮設した
気化用真空吸引装置にて前記判定後第２室を再び真空に
しつつ該第２室に対し作用するように設けた冷却用熱交
換器に冷却回収して次の検査に備えるようにすればよい
。In the above method and apparatus, when attempting to further and quickly reduce the disturbance in the second chamber,
When determining the presence or absence of a pinhole in the second chamber, the substance that has flowed out from the sealed package into the second chamber is removed by a vacuum suction device for vaporization installed in the second chamber, and after the determination, the second chamber is evacuated again. It is sufficient to cool and recover the heat in a cooling heat exchanger provided to act on the second chamber in preparation for the next inspection.

この場合、前記第１室において前記密封包装体表面に付
着した気化性物質を気化させる前記工程、前記第２室に
おいて該第２室内の圧力上昇を測定する前記工程及び前
記第２室内に流出した物質を回収する前記工程のうち、
気化促進のため少くとも前記第１室における前記包装体
表面に付着した気化性物質を気化させる前記工程におい
て前記密封包装体の配置部位が加熱装置により加熱され
る。本発明の他の目的は、大きなピンホールが有る密封
包装体については予め排除して、小さなピンホ−ルにつ
いてはあらためて実質上外乱の無い状態下でピンホール
有無を正確かつ能率的に検査する密封包装体のピンホー
ル有無検査方法を提供することにある。In this case, the step of vaporizing the vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package in the first chamber, the step of measuring the pressure increase in the second chamber in the second chamber, and the step of measuring the pressure increase in the second chamber in the second chamber; Of the steps of recovering the substance,
In order to promote vaporization, at least in the step of vaporizing the vaporizable substance adhering to the surface of the package in the first chamber, a portion of the sealed package is heated by a heating device. Another object of the present invention is to eliminate sealed packages with large pinholes in advance, and to accurately and efficiently inspect small pinholes for the presence or absence of pinholes under substantially no disturbance. An object of the present invention is to provide a method for inspecting the presence or absence of pinholes in a package.

上記目的に従い本発明は、「気化性物質を密封した密封
包装体のピンホール有無検査方法にして、前記密封包装
体を第１室内配置し、前記第１室を気密にすると共に該
第１室を該第１室に蓮設された気化用真空吸引装置にて
真空にして前記第１室及び前記密封包装体表面に付着し
た気化性物質を気化させ、気化した前記物質は前記第１
室内に対し作用するように設けた冷却用熱交換器に冷却
回収するようにして前記第１室及び前記密封包装体表面
の気化性物質を実質上除去したのち、前記第１室を該第
１室に蓮設した測定用真空吸引装置にて予め定めた真空
状態となして該第１室の真空吸引を遮断し、その後前記
第１室内の気化による圧力上昇を測定し、該圧力上昇値
が予め定めた補助的基準圧力値以上の場合は前記密封包
装体を前記第１室から排出し、該補助的基準圧力値より
小さい場合は、前記密封包装体を前記第１室に蓮設され
た第２室内に導入して前記第２室を気密にし、前記第２
室を該第２室に達設された測定用真空吸引装置にて予め
決めた真空状態となしたのち、該第２室の真空吸引を遮
断して前記第２室内の気化による圧力上昇を測定し、該
圧力上昇値が、予め定めた基準圧力値以上の場合はピン
ホール有り、該基準圧力値より小さい場合はピンホール
無しと判定するようにし、前記第１室において前記密封
包装体表面に付着した気化性物質を気化させる前記工程
、前記第１室において該第１室内の圧力上昇を測定する
前記工程及び前記第２室において該第２室内の圧力上昇
を測定する前記工程のうち、気化促進のため少くとも前
記第１室における前記密封包装体表面に付着した気化性
物質を気化させる前記工程において前記密封包装体の配
置部位を加熱することを特徴とする密封包装体のピンホ
ール有無検査方法」を提供する。In accordance with the above object, the present invention provides a method for inspecting the presence of pinholes in a sealed package in which a vaporizable substance is sealed, in which the sealed package is placed in a first chamber, the first chamber is made airtight, and the first chamber is airtight. is evacuated by a vaporization vacuum suction device installed in the first chamber to vaporize the vaporizable substance adhering to the first chamber and the surface of the sealed package, and the vaporized substance is transferred to the first chamber.
After substantially removing the vaporizable substances on the first chamber and the surface of the sealed package by cooling and recovering them in a cooling heat exchanger provided to act on the room, the first chamber is returned to the first chamber. A vacuum suction device for measurement installed in the chamber is used to create a predetermined vacuum state, and the vacuum suction of the first chamber is cut off.Then, the pressure increase due to vaporization in the first chamber is measured, and the pressure increase value is If the pressure is above a predetermined auxiliary standard pressure value, the sealed package is discharged from the first chamber; if the pressure is lower than the auxiliary standard pressure value, the sealed package is removed from the first chamber. the second chamber to make the second chamber airtight;
After bringing the chamber to a predetermined vacuum state with a measuring vacuum suction device installed in the second chamber, the vacuum suction of the second chamber is cut off and the pressure increase due to vaporization in the second chamber is measured. If the pressure increase value is equal to or higher than a predetermined reference pressure value, it is determined that there is a pinhole, and if it is smaller than the reference pressure value, it is determined that there is no pinhole. Of the step of vaporizing the adhered vaporizable substance, the step of measuring the pressure rise in the first chamber in the first chamber, and the step of measuring the pressure rise in the second chamber in the second chamber, vaporization Inspection of the presence or absence of pinholes in a sealed package, characterized in that in the step of vaporizing the vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package in at least the first chamber, the location of the sealed package is heated to accelerate the process. method”.

この方法は「気化性物質を密封した密封包装体のピンホ
ール有無検査装置にして、密封包装体の入口及び出口を
備えた第１室と、密封包装体の入口及び出口を備えると
共に該入口が前記第１室の出口に蓮適するように前記第
１室に蓮設された第２室と、前記第１室の入口を気密に
閉塞できる第１蓋体装置と、前記第１室の出口及び前記
第２室の入口を気密に閉塞できる第２蓋体装置と、前記
第２室の出口を気密に閉塞できる第３蓋体装置と、前記
第１室に蓬設された気化用真空吸引装置、測定用真空吸
引装置及び圧力測定装置と、前記第１室内に対し作用す
るように設けられた冷却用熱交換器と、前記第２室に蓮
設された測定用真空吸引装置及び圧力測定装置と、前記
第１室及び第２室における前記密封包装体の配置部位の
うち少くとも前記第１室内の該部位を加熱できる装置と
を備えたことを特徴とする密封包装体のピンホール有無
検査装置」により実施されうる。斯る方法及び装置にお
いて、上記第２室における外乱をより一層、かつ、迅速
に少なくしようとする場合には、上記第２室におけるピ
ンホール有無判定時に密封包装体より流出した物質を、
該第２室に蓮設した気化用真空吸引装置にて前記判定後
第２室を再び真空にしつつ該第２室に対し作用するよう
に設けた冷却用熱交換器に冷却回収して次の検査に備え
るようにすればよい。This method is a device for inspecting the presence of pinholes in a sealed package containing a vaporizable substance, and includes a first chamber equipped with an inlet and an outlet of the sealed package; a second chamber disposed in the first chamber so as to fit the outlet of the first chamber; a first lid device capable of airtightly closing the inlet of the first chamber; and an outlet of the first chamber; a second lid device that can airtightly close the entrance of the second chamber; a third lid device that can airtightly close the outlet of the second chamber; and a vaporization vacuum suction device that is hung in the first chamber. , a measurement vacuum suction device and a pressure measurement device, a cooling heat exchanger provided to act on the first chamber, and a measurement vacuum suction device and pressure measurement device disposed in the second chamber. and a device capable of heating at least a portion of the first chamber where the sealed package is arranged in the first chamber and the second chamber. It can be carried out by a device. In such a method and apparatus, if the disturbance in the second chamber is to be further and quickly reduced, the substance that has flowed out from the sealed package when determining the presence or absence of a pinhole in the second chamber is
After the determination, the second chamber is evacuated again using a vacuum suction device for vaporization installed in the second chamber, and the mixture is cooled and recovered in a cooling heat exchanger installed to act on the second chamber. All you have to do is prepare for the inspection.

この場合、前記第１室において前記密封包装体表面に付
着した気化性物質を気化させる前記工程、前記第１室に
おいて該第１室内の圧力上昇を測定する前記工程、前記
第２室において該第２室内の圧力上昇を測定する前記工
程及び前記第２室内に流出した物質を回収する前記工程
のうち、気化促進のため少くとも前記第１室における前
記密封包装体表面に付着した気化性物質を気化させる前
記工程において前記密封包装体の配置部位が加熱装置に
より加熱される。In this case, the step of vaporizing the vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package in the first chamber, the step of measuring the pressure increase in the first chamber in the first chamber, and the step of measuring the pressure increase in the first chamber in the second chamber. In the step of measuring the pressure increase in the second chamber and the step of recovering the substance that has flowed into the second chamber, at least the vaporizable substance attached to the surface of the sealed package in the first chamber is removed to promote vaporization. In the vaporizing step, the location of the sealed package is heated by a heating device.

前記方法は、次のような装置によって能率的に実施され
ることができる。The method can be efficiently carried out by the following apparatus.

即ち、「密封包装体の入口及び出口を備えた第１室と、
密封包装体の入口及び出口を備えると共に該入口が前記
第１室の出口に蓮適するように前記第１室に蓮設された
第２室と、前記第１室の入口を気密に閉塞できる第１蓋
体装置と、前記第１室の出口及び前記第２室の入口を気
密に閉塞できる第２蓋体装置と、前記第２室の出口を気
密に閉塞できる第３蓋体装置とを備えた複数のユニット
体を回転運動可能の支持基体周囲に間隔をおいて配置し
、前記ユニット体の運動路中に、検査されるべき密封包
装体の供給ステーション、不良密封包装体排出ステーシ
ョン及び良品密封包装体送出しステーションを設け、前
記各ユニット体の第１室には気化用真空吸引装置を接続
すると共に該第１室内に対し作用するように冷却用熱交
換器を設け、前記ユニット体の第２室には測定用真空吸
引装置と圧力測定装置と圧力測定装置とを接続し、前記
各ユニット体の前記第１室及び第２室における前記密封
包装体の配置部位のうち少くとも該第１室内の該部位を
加熱できを装置を設けたことを特徴とする密封包装体の
ピンホール有無検査装置」である。当該装置における第
２室内には、該第２室における外乱をより一層、かつ迅
速に除去するため気化用真空吸引装置を接続すると共に
該第２室内に対し作用するように冷却用熱交換器を設け
ることができる。That is, "a first chamber equipped with an inlet and an outlet of the sealed package;
a second chamber which is provided with an inlet and an outlet of the sealed package, and which is connected to the first chamber so that the inlet is connected to the outlet of the first chamber; and a second chamber which is capable of airtightly closing the inlet of the first chamber. A second lid device that can airtightly close an outlet of the first chamber and an inlet of the second chamber, and a third lid device that can airtightly close an outlet of the second chamber. A plurality of unit bodies are arranged at intervals around a rotationally movable support base, and in the path of movement of the unit bodies, there are provided a supply station for sealed packages to be inspected, a discharge station for defective sealed packages, and a station for discharging good sealed packages. A package delivery station is provided, a vacuum suction device for vaporization is connected to the first chamber of each of the unit bodies, and a cooling heat exchanger is provided to act on the first chamber; A measuring vacuum suction device, a pressure measuring device, and a pressure measuring device are connected to the two chambers, and at least the first chamber is connected to the first chamber and the second chamber of each unit body. A device for inspecting the presence or absence of pinholes in a sealed package, characterized in that the device is equipped with a device that can heat the area in the room. A vacuum suction device for vaporization is connected to the second chamber of the device in order to remove disturbances in the second chamber more quickly, and a cooling heat exchanger is connected to the second chamber so as to act on the second chamber. can be provided.

また、当該装置における第１室には、大きなピンホール
が有る密封包装体を予め排除するための測定用真空吸引
装置及び圧力測定装置を接続することができる。Furthermore, a measuring vacuum suction device and a pressure measuring device can be connected to the first chamber of the device to previously remove sealed packages with large pinholes.

本発明の上記目的及び他の目的並びに特徴、利益は、以
下に説明する添附図面を参照した本発明の実施例の説明
から容易に明らかとなる。The above and other objects, features, and advantages of the present invention will become readily apparent from the following description of embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings.

例えば注射用蒸留水を密封した合成樹脂製容器を複数個
連接した密封包装体Ａのピンホール有無検査を例にとれ
ば、まず該密封包装体Ａを第１図に示す装置の第１室１
内に配置し、該第１室１を気密にすると共に第１室内部
を第１室１に蓮設された気化用真空吸引装置２により真
空にして包装体Ａの表面に付着した水分、油分、揮発物
質等の気化性物質を気化させる。For example, if we are testing for the presence of pinholes in a sealed package A, which is a series of a plurality of sealed synthetic resin containers containing distilled water for injection, we will first inspect the sealed package A in the first chamber 1 of the apparatus shown in FIG.
The first chamber 1 is made airtight, and the inside of the first chamber is evacuated by a vaporizing vacuum suction device 2 installed in the first chamber 1 to remove moisture and oil adhering to the surface of the package A. , to vaporize volatile substances such as volatile substances.

気化した前記物質は第１室１内に設けたコールドトラッ
プ３に凍結回収し、密封包装体Ａ表面の気化怪物質を実
質上除去する。上記工程においては、包装体Ａの配置部
位Ｂ〔従って包装体Ａの表面部〕を加熱装置１５により
加熱して、包装体Ａ表面に付着した気化性物質０の気化
を促進させ、それによって検査工程全体の能率化、迅速
化を図る。The vaporized substance is frozen and collected in a cold trap 3 provided in the first chamber 1, and the vaporized substance on the surface of the sealed package A is substantially removed. In the above process, the arrangement part B of the package A (therefore, the surface part of the package A) is heated by the heating device 15 to promote the vaporization of the volatile substance 0 attached to the surface of the package A, and thereby the inspection Aim to streamline and speed up the entire process.

上記気化促進のためには、第１室１内の真空度を増せば
よいわけだが、該真空度がある点にまで達すると包装体
Ａ表面の気化性物質は外部から熱夕を与えられない限り
凍結状態となり、以後はいくら真空度を上げても該凍結
物の温度が下降するだけでその温度に相当する該凍結物
の平衡蒸気圧乃至昇華圧を保つのみで、実質上気化現象
は認められない。In order to promote the above-mentioned vaporization, it is sufficient to increase the degree of vacuum in the first chamber 1, but when the degree of vacuum reaches a certain point, the vaporizable substance on the surface of the package A cannot be exposed to heat from the outside. After that, no matter how much the degree of vacuum is raised, the temperature of the frozen material will only decrease and the equilibrium vapor pressure or sublimation pressure of the frozen material will be maintained corresponding to that temperature, and there will be virtually no vaporization phenomenon. I can't do it.

そこで包装体Ａの配置部位〔従って包装０体Ａの表面部
〕を加熱することにより、この平衡状態を破ると共に、
包装体Ａの表面部温度とコ−ルドラップの温度との差を
増加させて気化性物質の気化及び排除駆動力を増大させ
るのである。例えば本実施例における包装体Ａの表面に
包装体Ａ内の蒸留水がピソホールから流出して付着して
いるとすると、該包装体Ａが加熱されない限り、該付着
水は略４．５７トールの真空度にて氷となり、以後真空
度を増しても、水蒸気発生は実質上認められない。そこ
で付着水の蒸発を促進するために第１室Ｙ内を仮に略９
．６６×１０‐２トール（一４０℃）の氷を作り出す）
に保とうとするとき、包装体Ａの表面部を０℃以上に保
つように第７図（付着水−熱エネルギー線図）の斜線部
Ｃに相当するエネルギーを潜熱として加えれば付着水の
蒸発排除は促進される。発生した水蒸気は上記コ−ルド
トラップ３で逆に熱をうばわれ捕獲される。一般に包装
体表面の付着物が該包装体内からピンホールを通して流
出した注射液の如き物であるときには、包装体Ａ表面部
を略０℃以上室温程度までに維持するように加熱すれば
よい。いずれにしても包装体内物質の品質を低下させる
ほどには加熱しない。さて、上記第１室１は室１の上壁
及び底壁に密封包装体Ａの入口１１及び出口１２を備え
ており、入口１１及び出口１２には第１蓋体装置１３及
び第２蓋体装置１４が付設されている。Therefore, by heating the placement part of package A (therefore, the surface area of package 0 A), this equilibrium state is broken and
By increasing the difference between the surface temperature of the package A and the temperature of the cold wrap, the driving force for vaporizing and removing the vaporizable substance is increased. For example, if the distilled water in the package A flows out from Pisohol and adheres to the surface of the package A in this example, unless the package A is heated, the attached water will be approximately 4.57 torr. It turns into ice at a vacuum level, and even if the vacuum level is increased thereafter, virtually no water vapor generation is observed. Therefore, in order to promote the evaporation of the attached water, the inside of the first chamber Y is temporarily
．． (produces ice at 66 x 10-2 torr (-40℃))
When trying to keep the surface of package A above 0°C, if energy corresponding to the shaded area C in Figure 7 (attached water - thermal energy diagram) is applied as latent heat, the attached water will evaporate and be eliminated. is encouraged. The generated water vapor is transferred to the cold trap 3, where its heat is removed and captured. Generally, when the deposit on the surface of the package is something like an injection solution that has flowed out from the package through a pinhole, the surface of the package A may be heated to maintain the temperature above about 0° C. or about room temperature. In any case, the material inside the package should not be heated to such an extent that the quality of the material is degraded. Now, the first chamber 1 is equipped with an inlet 11 and an outlet 12 for the sealed package A on the top and bottom walls of the chamber 1, and the inlet 11 and the outlet 12 are provided with a first lid device 13 and a second lid device. A device 14 is attached.

装置１３は入口１１を開放し又は気密に閉塞するように
入口１１に対し摺動可能に設けられた蓋体１３１を電磁
弁により操作されるェャシリンダ等のニューマチック手
段により開閉できるタイプのもの（例えば日本真空技術
株式会社製ゲート型ニューマチックバルブＶＡＰ型）で
ある。もっとも蓋体装置として、これ以外に自動或は手
動式の各種公知装置を用いることができることは勿論で
ある。蓋体装置１４は装置１３と同構造である。密封包
装体Ａは、装置１３，１４により室１の入口１１を開く
と共に出口１２を閉じておいて、入口１１から包装体Ａ
の自重で落下させめられて室１内配置され、しかるのち
装置１３にて入口１１が閉塞されて室１が気密とされる
。気化用真空吸引装置２は、第１室１に真空ポンプ２１
を配管援続してなる。The device 13 is of a type that can open and close a lid 131 slidably provided on the inlet 11 so as to open or airtightly close the inlet 11 using pneumatic means such as a shower cylinder operated by a solenoid valve (for example, This is a gate type pneumatic valve (VAP type) manufactured by Japan Vacuum Technology Co., Ltd. Of course, other than this, various known automatic or manual devices can be used as the lid device. The lid device 14 has the same structure as the device 13. The sealed package A is sealed by opening the inlet 11 of the chamber 1 and closing the outlet 12 by the devices 13 and 14.
It is dropped by its own weight and placed in the chamber 1, and then the entrance 11 is closed by the device 13 to make the chamber 1 airtight. The vaporization vacuum suction device 2 includes a vacuum pump 21 in the first chamber 1.
It will be supported by piping.

第１室１とポンプ２１との間には必要に応じ保守点検等
のためのバルブ（例えば手動バルブ２０）や真空吸引装
置２の作動状況をチェックするための真空計２２を適宜
鯵続することができ、更にポンプ２１の近傍にはポンプ
保護用のコールドトラップその他の冷却用熱交換器２３
に接続できる。Between the first chamber 1 and the pump 21, a valve (for example, a manual valve 20) for maintenance and inspection, etc. and a vacuum gauge 22 for checking the operating status of the vacuum suction device 2 may be connected as necessary. In addition, a cold trap and other cooling heat exchangers 23 are installed near the pump 21 to protect the pump.
can be connected to.

第１室１内に配置されたコールドトラップ３は、包装体
Ａの邪魔にならないように第１室１の内壁に沿って配置
された液体チッ素等の冷媒を通すパイプ３０を備えてな
る既に知られたタイプのものである。The cold trap 3 disposed in the first chamber 1 is equipped with a pipe 30 for passing a refrigerant such as liquid nitrogen, which is disposed along the inner wall of the first chamber 1 so as not to interfere with the package A. It is of a known type.

このコールドトラップ３は該トラップに気化性物質が過
剰に凍結して使用困難となったときに備えて随時取出し
交換できるように第１室内に着脱自在に配置されている
。もっともトラップ３は室１内に固定されてもよい。そ
の場合にはトラップ３の下方に室外へ連通せしめうる図
外液受皿を配置しておき、気化物質の過剰凍結時には該
凍結物質を液化させて該受皿により取り出せるようにす
ることができる。更に当該液化の迅速化のためにトラツ
プに適宜の加熱装置を付設しておくことができる。気化
物質を凍結回収するためのコールドトラップは、第２図
に示す如く、真空吸引装置２中に配置されていてもよい
。This cold trap 3 is removably arranged in the first chamber so that it can be taken out and replaced at any time in case the trap becomes unusable due to excessive freezing of the vaporizable substance. However, the trap 3 may also be fixed within the chamber 1. In that case, a liquid receiver (not shown) that can communicate with the outside is arranged below the trap 3, and when the vaporized substance freezes excessively, the frozen substance can be liquefied and taken out through the receiver. Further, in order to speed up the liquefaction, the trap may be equipped with a suitable heating device. A cold trap for freezing and collecting vaporized substances may be placed in the vacuum suction device 2, as shown in FIG.

この場合、コールドトラツプは当然できるだけ第１室に
近い位置に設けられることが望ましい。また第２図に示
す如く複数のコールドトラップ３１，３２を並列に配置
し、コールドトラップの能力や第１室内の湿り程度等に
応じ、分岐部に設けた弁（図示の場合三方向電磁弁）３
８によりいずれかの１又は２以上のトラップを選択的に
、或は全トラップを同時に、随時使用できるようにする
ことができる。この場合にあっても、各トラップは交換
可能に設けられるか、或は過剰凍結物を除去できる装置
を付加されることができる。なお、第２図において、弁
３４，３５，３６及び３７はトラップの交換時等に閉じ
られる手動弁である。上記コールドトラップ３，３１，
３２その他本発明において使用されるコールドトラップ
は気化物質を凍結させるタイプのものであるが、液化し
て、その液状態を冷却維持するタイプのものであっても
よい。In this case, it is naturally desirable that the cold trap be provided as close to the first chamber as possible. In addition, as shown in Fig. 2, a plurality of cold traps 31 and 32 are arranged in parallel, and a valve (a three-way solenoid valve in the case shown) is provided at the branching part depending on the capacity of the cold trap and the degree of humidity in the first chamber. 3
8, any one or more traps can be used selectively or all traps can be used at the same time. Even in this case, each trap can be provided in a replaceable manner or can be equipped with a device capable of removing excess frozen matter. In FIG. 2, valves 34, 35, 36, and 37 are manual valves that are closed when replacing the trap. The above cold trap 3, 31,
32 Others The cold trap used in the present invention is of a type that freezes a vaporized substance, but may also be of a type that liquefies and maintains the liquid state in a cool manner.

しかし、特に凍結させるタイプのものが望ましい。なお
、コールドトラップに代えて同様の機能（気化性物質を
凍結又は液化する機能）を有するその他の冷却用熱交換
器を使用できることは当然である。However, the type that freezes is particularly desirable. Note that, of course, other cooling heat exchangers having a similar function (a function of freezing or liquefying a vaporizable substance) can be used in place of the cold trap.

例えば第１室１の壁を二重構造としたジャケット式の熱
交換器を使用できる。密封包装体Ａの配置部位Ｂを加熱
する装置１５は、配置部位Ｂを囲む電熱板１５１（第８
図参照）のほか、図外のスチーム管や赤外線ヒータにて
構成することができる。For example, a jacket type heat exchanger in which the wall of the first chamber 1 has a double structure can be used. The device 15 for heating the arrangement part B of the sealed package A includes an electric heating plate 151 (eighth
(see figure), it can also be configured with a steam tube or infrared heater (not shown).

これら電熱板１５１やスチーム管、赤外線ヒータは、こ
れらからコールドトラツプ３への伝熱や室１内への不要
な伝熱をできるだけ防止するため、断熱材１５２にて外
側を囲まれることが望ましい。加熱装置としては上記の
ほか、第９図に示す如き高周波加熱装置を用いることも
できる。第９図において、１５３は高周波発振器、１５
４は導波管、１５５はアプリケータである。さて第１室
１内で、密封包装体Ａ表面に付着した気化性物質が実質
上包装体Ａから除去されたのちは、該包装体Ａを第１室
１の下に蓮設された第２室４内に導入して第２室４を気
密にし、第２室４に蓮設された測定用真空吸引装置５に
て第２室４を予め決めた真空状態となしたのち、該第２
室の真空吸引を停止乃至遮断して第２室内の圧力上昇を
圧力測定装置６にて測定し、該圧力上昇値が予め定めた
基準圧力値以上の場合はピンホール有り、該基準圧力値
よりづ・さい場合はピンホール無しと判定する。These electric heating plates 151, steam tubes, and infrared heaters are preferably surrounded on the outside by a heat insulating material 152 in order to prevent heat transfer from them to the cold trap 3 and unnecessary heat transfer into the room 1 as much as possible. . In addition to the above-mentioned heating device, a high frequency heating device as shown in FIG. 9 can also be used. In FIG. 9, 153 is a high frequency oscillator;
4 is a waveguide, and 155 is an applicator. Now, after the vaporizable substances adhering to the surface of the sealed package A have been substantially removed from the package A in the first chamber 1, the package A is transferred to the second chamber installed below the first chamber 1. The second chamber 4 is introduced into the chamber 4 to make the second chamber 4 airtight, and the second chamber 4 is brought into a predetermined vacuum state by the measuring vacuum suction device 5 installed in the second chamber 4.
Stop or cut off the vacuum suction in the chamber and measure the pressure rise in the second chamber with the pressure measuring device 6. If the pressure rise value is greater than a predetermined reference pressure value, there is a pinhole, and it is determined that the pressure rise is higher than the reference pressure value. If the pinhole is small, it is determined that there is no pinhole.

第２室４は室４の上壁及び底壁に密封包装体Ａの入口４
１及び出口４２を備えており、出口４２には第１及び第
２蓋体装置１３及び１４と同機造の第３蓋体装層４３が
付設されている。The second chamber 4 has an entrance 4 for the sealed package A on the top and bottom walls of the chamber 4.
1 and an outlet 42, and the outlet 42 is provided with a third cover layer 43 of the same construction as the first and second cover devices 13 and 14.

入口４１は第１室１の出口１２と外気に曝されることな
く蓮通しており、入口４１は第１室１の出口１２と実質
上同位層にあり、従って第２蓋体装置１４は室４の入口
４１の開閉をも同時に行う。第１室１から第２室４への
包装体Ａの導入は、予め装置４３にて室４の出口４２を
閉塞した状態で装置１４にて室１の出口１１及び室４の
入口４１を開くことにより包装体Ａを落下させて行われ
、該導入後は装置１４にて室４の入口４１が閉塞され、
室４は気密にされる。測定用真空吸引装置５は、第２室
４に配管接続された真空ポンプ５１、第２室４とポンプ
５１との間に接続された電磁パルプ５２及び該パルプ５
２を操作する圧力スイッチ６３とを備えている。The inlet 41 communicates with the outlet 12 of the first chamber 1 without being exposed to the outside air, and the inlet 41 is substantially on the same level as the outlet 12 of the first chamber 1, so the second lid device 14 is connected to the outlet 12 of the first chamber 1. The opening and closing of the entrance 41 of No. 4 is also performed at the same time. To introduce the package A from the first chamber 1 to the second chamber 4, the device 43 closes the outlet 42 of the chamber 4 in advance, and the device 14 opens the outlet 11 of the chamber 1 and the inlet 41 of the chamber 4. This is done by dropping the package A, and after the introduction, the entrance 41 of the chamber 4 is closed by the device 14,
Chamber 4 is made airtight. The measuring vacuum suction device 5 includes a vacuum pump 51 connected to the second chamber 4 via piping, an electromagnetic pulp 52 connected between the second chamber 4 and the pump 51, and the pulp 5.
A pressure switch 63 for operating 2 is provided.

第２室４がポンプ５１により真空吸引されて所定の真空
状態となると圧力スイッチ５３が作動してパルプ５２を
閉じ、第２室４の真空吸引が停止乃至遮断されるように
なっている。なお、第２室４が所定の真空状態となると
第２室４の真空吸引を停止乃至遮断するための手段とし
ては、上記圧力スイッチ５３に代えて適宜の圧力計を用
い、又上記電磁バルブ５２に代えて手動バルブを用い、
該圧力計を監視して手動バルブを閉じる等その他適宜の
手段を用いることができる。また第２室４とポンプ５１
との間には必要に応じ保持点検等のためのバルブ５０や
真空吸引装置５の作動状況をチェックするための真空計
５４を適宜接続することができ、更にポンプ５１の近傍
にはポンプ保護用のコールドトラップその他の冷却用熱
交換器５５を接続することができる。圧力測定装置６は
、第２室４と真空吸引停止バルブ５２との間で第２室か
らのパイプに接続されて第２室４内の圧力上昇を検出し
て電流に変換する圧力センサー６１と、圧力センサーか
らの入力を増幅する増幅器６２と、増幅器６２からの入
力を表示すると共に予め定めたピンホール有無判定のた
めの基準値を記憶していて増幅器からの入力が該基準値
以上であるかそれより小さいかを示す信号を出力するメ
ータリレー６３と、メ−夕リレー６３からの入力に応じ
ピンホール有り又はピンホール無しの表示を行う表示器
６４とを備えている。従ってピンホールの有無は、基準
値を記憶したオペレータがメータＩＪレー６３を監視し
て判定することもできるし、単に表示器６４によっても
判定できる。When the second chamber 4 is evacuated by the pump 51 and reaches a predetermined vacuum state, the pressure switch 53 is activated to close the pulp 52 and the vacuum suction in the second chamber 4 is stopped or cut off. Note that when the second chamber 4 reaches a predetermined vacuum state, as a means for stopping or cutting off the vacuum suction in the second chamber 4, an appropriate pressure gauge is used instead of the pressure switch 53, and the electromagnetic valve 52 Using a manual valve instead of
Any other suitable means may be used, such as monitoring the pressure gauge and closing a manual valve. Also, the second chamber 4 and the pump 51
A valve 50 for maintenance inspection, etc. and a vacuum gauge 54 for checking the operating status of the vacuum suction device 5 can be connected as necessary between the pump 51 and a valve 54 for pump protection. A cold trap or other cooling heat exchanger 55 can be connected. The pressure measuring device 6 includes a pressure sensor 61 that is connected to a pipe from the second chamber between the second chamber 4 and the vacuum suction stop valve 52 to detect a pressure increase in the second chamber 4 and convert it into an electric current. , an amplifier 62 that amplifies the input from the pressure sensor; and an amplifier 62 that displays the input from the amplifier 62 and stores a predetermined reference value for determining the presence or absence of a pinhole, and the input from the amplifier is greater than or equal to the reference value. It is provided with a meter relay 63 that outputs a signal indicating whether the pinhole is present or not, and a display 64 that displays whether there is a pinhole or not depending on the input from the meter relay 63. Therefore, the presence or absence of a pinhole can be determined by an operator who has memorized the reference value by monitoring the meter IJ relay 63, or can be determined simply by the display 64.

なお表示器６４には、圧力スイッチ５３からの信号を受
けて検査中か否かを示す（換言すれば電磁弁５２の開閉
を示す）表示部を設けてもよい。Note that the display 64 may be provided with a display section that receives a signal from the pressure switch 53 and indicates whether or not an inspection is being performed (in other words, indicates whether the solenoid valve 52 is opened or closed).

また表示器６４には真空吸引装置に適宜設けた電磁弁や
蓋体装置１３，１４，４３の電磁弁等をメータリレー６
３或は増幅器６２からの信号及び／又は圧力スイッチ５
３からの信号に応じて自動制御するコントローラを内蔵
せしめて、検査工程の自動化を図ることができる。上記
圧力測定装置その他本発明における圧力測定装置として
は、上記装置の如き構成に代えて、単なる圧力計その他
の適宜手段を用いることができる。In addition, the meter relay 64 displays the solenoid valves appropriately installed in the vacuum suction device, the solenoid valves of the lid devices 13, 14, 43, etc.
3 or signal from amplifier 62 and/or pressure switch 5
It is possible to automate the inspection process by incorporating a controller that performs automatic control according to signals from 3. As the pressure measuring device described above and other pressure measuring devices in the present invention, a simple pressure gauge or other appropriate means can be used instead of the structure of the above device.

検査終了後には、蓋体装置４３により第２室４の出口４
２が開かれ、密封包装体Ａはそこから自重により蕗下送
出しされる。After the inspection is completed, the lid device 43 closes the exit 4 of the second chamber 4.
2 is opened, and the sealed package A is sent out from there by its own weight.

上記第２室４において密封包装体Ａのピンホ−ルからの
包装体内物質の気化による圧力上昇を測定するにあたっ
ては、当該気化促進のため第２室４の包装体配置部位〔
従って該部位に配置される包装体Ａ〕を適宜の加熱装置
により加熱することもできる。When measuring the pressure increase due to the vaporization of the substance inside the package from the pinhole of the sealed package A in the second chamber 4, it is necessary to
Therefore, the package A] placed in the area can also be heated with an appropriate heating device.

斯かる第２室における加熱は、包装体Ａのピンホールが
極小の場合、またそれ故第２室の真空度を増加させたい
場合に有利である。上記第２室４におけるピンホール有
無検査のとき被検査体Ａにピンホールが有ると、該ピン
ホ−ルから流出乃至気化した包装体内物質は検査後当然
に第２室４内に残留する。この残留物は検査後再び第２
室を気密にして装置５にて真空吸引することにより除去
することもできるが、より一層確実迅速に上記残留物を
除去して次の正確なピンホール有無検査に備えることが
望ましい。この方法例を第２図に示す装置の改良例であ
る第３図に示す装置と共に説明すると、検査終了により
第２室４から包装体Ａを送出したのち、再び第２室４の
出口４２を閉じて第２室を気密にしたのち、第２室に蓮
設した気化用真空吸引装置７（より詳しくはポンプ７４
）を作動させて第２室を再び真空にし、残留物を気化さ
せると共に気化用真空吸弓ｌ装置７中の第２室に近い部
分に配置したコールドトラップ７１，７２により気化物
質を凍結回収する。気化用真空吸引装置７及びコールド
トラップ７１，７２は、第２図に示す第１室に対する気
化用真空吸引装置２及びコールドトラップ３１，３２と
同様の構成で同様に第２室４に接続されている。Such heating in the second chamber is advantageous when the pinholes in the package A are extremely small and therefore when it is desired to increase the degree of vacuum in the second chamber. If there is a pinhole in the object A to be inspected during the pinhole presence inspection in the second chamber 4, the substance inside the package that flows out or vaporizes from the pinhole naturally remains in the second chamber 4 after the inspection. This residue is removed again after the test.
Although it is possible to remove the residue by making the chamber airtight and applying vacuum suction using the device 5, it is desirable to remove the residue more reliably and quickly in preparation for the next accurate pinhole presence inspection. An example of this method will be explained together with the device shown in FIG. 3, which is an improved example of the device shown in FIG. After closing and making the second chamber airtight, the vaporization vacuum suction device 7 (more specifically, the pump 74) installed in the second chamber is
) to evacuate the second chamber again, vaporize the residue, and freeze and recover the vaporized substance using the cold traps 71 and 72 placed near the second chamber in the vacuum suction device 7 for vaporization. . The vaporization vacuum suction device 7 and cold traps 71, 72 have the same configuration as the vaporization vacuum suction device 2 and cold traps 31, 32 for the first chamber shown in FIG. 2, and are connected to the second chamber 4 in the same way. There is.

但し、装置７使用中は装置５を閉じ、装置５使用中は装
置７を閉じる弁５６及び７３を設けておく。弁５６及び
７３も電磁弁として自動化を図ることができる。上記第
２室の残留物を気化排除するに際しても、これを促進す
るため、該残留物が主として存する包装体Ａの配置部位
を適宜の加熱装置にて加熱することができる。However, valves 56 and 73 are provided to close the device 5 when the device 7 is in use, and to close the device 7 while the device 5 is in use. The valves 56 and 73 can also be automated as electromagnetic valves. In order to accelerate the vaporization of the residue in the second chamber, the portion of the package A where the residue mainly resides can be heated with an appropriate heating device.

大きなピンホールを有し、真空比においては該ピンホー
ルからの包装体内物質の気化が箸るしい包装体Ａについ
ては第１室１で予めチェックして排除することが、能率
的でもあり、第２室４内に無用の外乱を導入しない点で
も、またこれと関連して第２室４でより４・さし、ピン
ホールの有無検査を正確迅速に行える点でも望ましい。It is efficient to check and eliminate the package A in advance in the first chamber 1, as it has a large pinhole and the substance inside the package is difficult to vaporize from the pinhole under the vacuum ratio. This is desirable because unnecessary disturbances are not introduced into the second chamber 4, and in connection with this, the second chamber 4 can be further inspected for the presence of pinholes accurately and quickly.

この方法例を第２図に示す装置の改良例である第４図の
装置及び第３図に示す装置の改良例である第５図の装置
と共に説明すると、まず密封包装体Ａを第１室１内に配
置して第１室を気密に閉塞し、第１室１を気化用真空吸
引装置２により真空にすると共に包装体Ａの配置部位Ｂ
を加熱装置１５にて加熱して包装体Ａ表面に付着した気
化性物質及び第１室内に付着している場合ある気化性物
質を気化せしめ、気化した物質は装置２中に配置された
コールドトラップ３１，３２に冷却回収して第１室及び
包装体Ａ表面の気化性付着物質を実質上除去したのち、
第１室１に蓮設された測定用真空吸引装置８にて第１室
１内を所定真空状態となして第１室１の真空吸引を停止
し、そのあと、圧力測定装置９により第１室１内の圧力
上昇を測定し、該圧力上昇値が、大きなピンホールの有
無を判定するための補助的基準値以上の場合には、第１
室１の出口１２及び第２室４の入口４１及び出口４２を
蓋体装置１４及び４３にて開放して該包装体Ａを第２室
４を介して第１室１外へ落下排出せしめ、前記圧力上昇
値が補助的基準値より小さい場合には、第２室出口４２
を開くことなく第１室出口１１及び第２室入口４１を開
いて該包装体Ａを第２室４へ導入する。そのあとは、第
４図に示す装置にあっては第１図又は第２図に示す装置
におけると同様に処理し、第５図に示す装置にあっては
第３図に示す装置におけると同様に処理する。但し、第
２室における検査において採用される基準値は上記補助
的基準値より低いことが望ましい。第４図及び第５図に
示す装置の測定用真空吸引装置８及び圧力測定装置９は
第２図及び第３図に示す第２室４に対する真空吸引装置
５及び圧力測定装置６と同様の構成で同様に第１室１に
接続されている。装置８使用中は装置２を閉じ、装置２
使用中は装置８を閉じる弁２４及び８１が設けられてい
る。弁２４及び８１を電磁弁として自動化を図ることが
できる。本発明において、第３図及び第５図に示す如く
第２室４に測定用及び気化用の真空吸引装置が接続され
る場合、それらは互いに他方の真空吸引回路や真空ポン
プ等を自己の回路や真空ポンプ等として利用するもので
あってもよいことは当然である。To explain this method example together with the device shown in FIG. 4, which is an improved example of the device shown in FIG. 2, and the device shown in FIG. 5, which is an improved example of the device shown in FIG. 1, the first chamber is airtightly closed, the first chamber 1 is evacuated by the vaporizing vacuum suction device 2, and the package A is placed in the location B.
is heated by the heating device 15 to vaporize the vaporizable substances adhering to the surface of the package A and any vaporizable substances adhering to the first chamber, and the vaporized substances are transferred to a cold trap placed in the device 2. 31 and 32 to substantially remove the volatile adhesion substances on the first chamber and the surface of the package A,
The measurement vacuum suction device 8 installed in the first chamber 1 creates a predetermined vacuum state in the first chamber 1 to stop the vacuum suction in the first chamber 1, and then the pressure measurement device 9 Measure the pressure rise in the chamber 1, and if the pressure rise value is greater than or equal to the auxiliary reference value for determining the presence or absence of a large pinhole, the first
The outlet 12 of the chamber 1 and the inlet 41 and outlet 42 of the second chamber 4 are opened by the lid devices 14 and 43 to allow the package A to fall and be discharged to the outside of the first chamber 1 via the second chamber 4, If the pressure increase value is less than the auxiliary reference value, the second chamber outlet 42
The package A is introduced into the second chamber 4 by opening the first chamber outlet 11 and the second chamber inlet 41 without opening them. After that, for the device shown in FIG. 4, the processing is the same as in the device shown in FIG. 1 or 2, and for the device shown in FIG. 5, the processing is the same as in the device shown in FIG. to be processed. However, it is desirable that the reference value adopted in the examination in the second room is lower than the above-mentioned auxiliary reference value. The measurement vacuum suction device 8 and pressure measurement device 9 of the apparatus shown in FIGS. 4 and 5 have the same construction as the vacuum suction device 5 and pressure measurement device 6 for the second chamber 4 shown in FIGS. 2 and 3. Similarly, it is connected to the first chamber 1. When device 8 is in use, close device 2 and close device 2.
Valves 24 and 81 are provided to close the device 8 during use. Automation can be achieved by using the valves 24 and 81 as electromagnetic valves. In the present invention, when vacuum suction devices for measurement and vaporization are connected to the second chamber 4 as shown in FIGS. 3 and 5, they each connect the other vacuum suction circuit, vacuum pump, etc. to their own circuit. Of course, it may also be used as a vacuum pump or the like.

第４図及び第５図に示す如く第１室１に対し気化用及び
測定用の真空吸引装置が接続される場合についても同様
のことが言える。更にいずれの場合でも、第１室に対す
る真空吸引装置と第２室に対する真空吸引装置との間に
も当然同様のことが言える。上記の如く大ピンホールを
有する密封包装体Ａを第１室における検査によって排出
する場合、第１室内に対し作用すべきコールドトラップ
等の熱交換器は第１図に示す装置における如く、第１室
内に配置されてもよいが「第４図及び第５図に示す実施
例の如く、第１室外に配置される方がより望ましい。The same applies to the case where a vacuum suction device for vaporization and measurement is connected to the first chamber 1 as shown in FIGS. 4 and 5. Furthermore, in any case, the same applies naturally to the vacuum suction device for the first chamber and the vacuum suction device for the second chamber. When the sealed package A having a large pinhole is discharged by inspection in the first chamber as described above, a heat exchanger such as a cold trap that should act on the first chamber is placed in the first chamber as in the apparatus shown in FIG. Although it may be placed indoors, it is more desirable to place it outside the first room, as in the embodiments shown in FIGS. 4 and 5.

なお、第１室においてもピンホール有無を判定する場合
、第１室における検査は単に記録をとるため等にとどめ
、たとえ大ピンホール有りの場合でも良品、不良品を判
断して排除するか良品として送り出すかは第２室におけ
る再検査によってあらためて判断してもよい。In addition, when determining the presence or absence of pinholes in the first chamber, the inspection in the first chamber is limited to simply keeping records, and even if there is a large pinhole, it is necessary to judge whether the product is good or defective and reject it. Whether or not to send it out may be determined by re-examination in the second room.

この場合には、第１室において密封包装体が大ビンホー
ル有りと判定されても直ちに系外へ排出されることには
ならない。なお、第４図及び第５図に示す装置を用いる
場合、上記第１室１において、第１室内の圧力上昇を測
定する工程、第２室４において該第２室内の圧力上昇を
測定する工程、及び該第２室内に残留した物質を回収す
る工程のうち、１又は２以上において、気化促進のため
包装体Ａの配置部位を加熱することもできる。In this case, even if the sealed package is determined to have a large bottle hole in the first chamber, it will not be immediately discharged from the system. In addition, when using the apparatus shown in FIGS. 4 and 5, in the first chamber 1, a step of measuring the pressure increase in the first chamber, and a step of measuring the pressure increase in the second chamber in the second chamber 4. , and in one or more of the steps of recovering the substance remaining in the second chamber, the location of the package A may be heated to promote vaporization.

次に前記装置に比し、ピンホール有無検査をより能率的
に行える装置につき説明する第６図にはこの装置例の一
部の平面が概略的に示されている。Next, FIG. 6, which describes an apparatus that can perform pinhole presence inspection more efficiently than the above-mentioned apparatus, schematically shows a plan view of a part of an example of this apparatus.

即ち、第１図から第５図に示す各装置におけると同様の
第１室及び第２室並びに第１乃至第３の蓋体装置からな
る複数のユニット体１０が図外の公知間欠回転駆動装置
により間欠回転運動可能の支持基体１０１周囲に間隔を
おいて配置され、ユニット体１０の運動路中には包装体
Ａの供給ステーション１０２、不良密封包装体排出ステ
ーション１０３及び良品密封包装体送出しステーション
１０４が設けられる。That is, a plurality of unit bodies 10 consisting of a first chamber, a second chamber, and a first to third lid device similar to those in each device shown in FIGS. 1 to 5 are used as a known intermittent rotation drive device (not shown). are arranged at intervals around a supporting base 101 which is capable of intermittent rotational movement, and in the movement path of the unit body 10 are a supply station 102 for packaging A, a discharge station 103 for defective sealed packages, and a station for discharging good sealed packages. 104 is provided.

各ユニット体１０の第１室１に対しては、第１図乃至第
５図の装置におけると同様の気化用真空吸引装置２が接
続され、包装体Ａの配置部位を加熱できる加熱装置１５
が設けられると共に第１室内にコールドトラップ３又は
装置２中に一組のコールドトラツプ３１，３２が配置さ
れる（第６図には図示せず）。また各ユニット体１０の
第２室４（第６図では第１室の下にあって見えない）に
対しては、第１図乃至第５図の袋燈におけると同様の測
定用真空吸引装置５及び圧力測定装置６が援競される（
第６図には図示せず）。更に第２室４には、必要に応じ
、第３図及び第５図の装置におけると同様の気化用真空
吸引装置７及びコールドトラップ７１，７２が接続され
、更に必要に応じ第２室内中の包装体配置部位を加熱で
きる図外の加熱装置が設けられる。また「第１室１には
、必要に応じ、第４図及び第５図の装置におけると同様
の測定用真空吸引装置８及び圧力測定装置９が接続され
る。上記真空吸引装置２，５，７，８及びコールドトラ
ツプ３１，３２，７１，７２並びに圧力測定装置６，９
は例えば回転支持基体１０１上に配置される。A vaporizing vacuum suction device 2 similar to that in the devices shown in FIGS. 1 to 5 is connected to the first chamber 1 of each unit body 10, and a heating device 15 capable of heating the location of the package A.
is provided and a set of cold traps 31, 32 is arranged in the cold trap 3 or device 2 in the first chamber (not shown in FIG. 6). In addition, for the second chamber 4 of each unit body 10 (located under the first chamber in FIG. 6 and not visible), a vacuum suction device for measurement similar to that in the bag light of FIGS. 1 to 5 is provided. 5 and pressure measuring device 6 are supported (
(not shown in Figure 6). Further, the second chamber 4 is connected with a vacuum suction device 7 for vaporization and cold traps 71 and 72 similar to those in the apparatuses shown in FIGS. 3 and 5, as necessary. A heating device (not shown) is provided that can heat the area where the package is placed. Furthermore, a measuring vacuum suction device 8 and a pressure measuring device 9 similar to those in the devices shown in FIGS. 4 and 5 are connected to the first chamber 1 as necessary.The vacuum suction devices 2, 5, 7, 8 and cold traps 31, 32, 71, 72 and pressure measuring devices 6, 9
is arranged, for example, on the rotation support base 101.

上記各真空吸引装置、各組コールドトラップ及び圧力測
定装置のそれぞれは、各ユニット体１０毎に１つずつ設
けてもよいが、１又は２以上をそれ以上の数のユニット
体１０に対し適宜共用できるように接続してもよいこと
は勿論である。Each of the above-mentioned vacuum suction devices, cold trap sets, and pressure measurement devices may be provided one for each unit body 10, but one or more may be shared by a larger number of unit bodies 10 as appropriate. Of course, the connection may be made in any way possible.

なお、第１室１に対し測定用真空吸引装置８及び圧力測
定装置９を接続するときには、供総合ステーション１０
２と排出ステーション１０３との間に大きいピンホール
を有する包装体Ａの排出ステーション１０５が設けられ
る。供給ステーション１０２には包装体Ａの製造ライン
Ｌに接続された供給装置１０６が必要に応じて臨設され
る。Note that when connecting the measurement vacuum suction device 8 and the pressure measurement device 9 to the first chamber 1, the supply general station 10
A discharging station 105 for the package A having a large pinhole is provided between the package A and the discharging station 103. At the supply station 102, a supply device 106 connected to the production line L of the packaging body A is installed as needed.

供給装置１０６は、ラインＬから一例状に送られてくる
包装体Ａを、複数の包装体ＡからなるロットＡ′にまと
めるため包装体Ａをロットステーションとしてのコンベ
ア１０６１の送込み端に振り分け並べる装置１０６２と
、所定数包装体のロットできあがるまで、包装体Ａをコ
ンベア１０６１の途中で止めておくストッパ装置１０６
３と、ストッパ装置１０６３から出てきたロットＡ′を
ステーション１０２に配置されたユニット体１０の第１
室入口まで押し出す装置１０６４とを備えている。振分
け装置１０６２は、包装体Ａの通路１０６２ａを有して
一端がラインＬの送出し端に回動自在に取付けられ、他
端がコンベア１０６１に臨ませられた回動アーム１０６
２Ａと、このアームを包装体振り分けするように回動さ
せる図外の適宜の駆動手段とを備えている。ストリッパ
装置１０６３は、図外の駆動手段によってロットＡ′通
路に昇降できるストツパ１０６３ａとこのストツパに所
定数の包装体Ａが到達したか否かを検出して、所定数の
到達によりストッパを上昇せしめるための光電管スイッ
チ、リミットスイッチ等の適宜の図外手段を備えている
。押出し装置１０６４は、コンベア１０６１の端に設け
たストッパ壁１０６１ａと、このストツパ壁に沿ってロ
ットＡ′を押し出すプッシャー１０６４ｂと、プッシャ
ーを駆動するェャシリンダ等の適宜の図外手段とを備え
ている。ステーション１０３，１０４，１０５にはユニ
ット体１０から落下さしめられるロットＡ′を受けて移
送する適宜の図外コンベアが臨談されている。The supply device 106 distributes and arranges the packages A, which are sent one by one from the line L, to the feeding end of a conveyor 1061 serving as a lot station, in order to collect the packages A into a lot A' consisting of a plurality of packages A. A device 1062 and a stopper device 106 that stops the package A in the middle of the conveyor 1061 until a lot of a predetermined number of packages is completed.
3 and the lot A' that has come out from the stopper device 1063 is placed in the first unit body 10 disposed at the station 102.
and a device 1064 for pushing out to the chamber entrance. The sorting device 1062 includes a rotating arm 106 that has a path 1062a for the packages A, one end of which is rotatably attached to the delivery end of the line L, and the other end of which faces the conveyor 1061.
2A, and an appropriate driving means (not shown) for rotating this arm so as to sort the packages. The stripper device 1063 detects whether or not a predetermined number of packages A has reached the stopper 1063a that can be raised and lowered into the lot A' passage by a drive means (not shown) and this stopper, and raises the stopper when a predetermined number of packages A has arrived. Appropriate means (not shown) such as a phototube switch and a limit switch are provided for this purpose. The extrusion device 1064 includes a stopper wall 1061a provided at the end of the conveyor 1061, a pusher 1064b for pushing out the lot A' along the stopper wall, and appropriate means (not shown) such as a sheath cylinder for driving the pusher. Stations 103, 104, and 105 are provided with appropriate conveyors (not shown) for receiving and transporting the lot A' dropped from the unit body 10.

従って、ロットＡ′はステーション１０２へ到来してく
るユニット体１川こ次々と供給される。Therefore, lot A' is supplied to the station 102 one unit after another.

ユニット体１０の第１室に測定用真空吸引装置８及び圧
力測定装置９が接続されていないときは、ユニット体１
０がステーション１０２から１０３へ到来してそこを離
れるまでの間に前述の手順で検査が行われ、ピンホール
有りの不良密封包装体ロットＡ′はステ−ション１０３
で排出され、ピンホール熱しのロットＡ′はステーショ
ン１０４で送り出される。ユニット体１０の第２室に気
化用真空吸引装置７及びコールドトラップ７１，７２が
接続されているとき、それらはユニット体１０がステー
ション１０４を通過後、次に該第２室へロットＡ′が導
入されるまでの間に作動完了せしめられる。ユニット体
１０の第１室に装置８及び９が接続されているときには
、ユニット体１０がステーション１０２から１０５へ到
来してそこを離れるまでの間に大きいピンホール有無の
検査が前述の手順で行われ、大ピンホール有りのロット
Ａ′はステーション１０５で排出される。When the measurement vacuum suction device 8 and the pressure measurement device 9 are not connected to the first chamber of the unit body 10, the unit body 1
0 arrives at station 103 from station 103 until it leaves there, the inspection is performed according to the above-mentioned procedure, and defective sealed package lot A' with pinholes is inspected at station 103.
The pinhole-heated lot A' is discharged at station 104. When the vacuum suction device 7 for vaporization and the cold traps 71 and 72 are connected to the second chamber of the unit body 10, after the unit body 10 passes the station 104, the lot A' is transferred to the second chamber. The operation will be completed by the time it is introduced. When the devices 8 and 9 are connected to the first chamber of the unit body 10, the presence or absence of a large pinhole is inspected according to the procedure described above while the unit body 10 arrives from the station 102 to the station 105 and leaves there. However, lot A' having a large pinhole is discharged at station 105.

大ピンホールの無いロットＡ′はユニット体１０がステ
ーション１０５からステーション１０３へ到来してそこ
を離れるまでの間に更に前述の手順で検査が行われ、ピ
ンホール有りのロットＡ′はステーション１０３で排出
され、ピンホール無しのロットＡはステーション１０４
で送り出される。第１図から第６図に示す装置のいずれ
の場合においても、第１室ｉへ包装体Ａが配置される前
に、該第１室１を気化用真空吸引装置２とコールドトラ
ツプ３又は３１，３２と加熱装置１５とで十分乾燥させ
ておくことが望ましいことは勿論である。Lot A' without large pinholes is further inspected according to the above-mentioned procedure while the unit body 10 arrives from station 105 to station 103 and leaves there. Lot A' with pinholes is inspected at station 103. Lot A, which is discharged and has no pinhole, is at station 104.
sent out. In any case of the apparatus shown in FIGS. 1 to 6, before the package A is placed in the first chamber i, the first chamber 1 is connected to the vaporizing vacuum suction device 2 and the cold trap 3 or It goes without saying that it is desirable that the heating device 31, 32 and the heating device 15 be sufficiently dried.

前述した各装置において、包装体Ａの第１室１内への配
置、第１室１から第２室４の導入及び第２室４からの排
出はすべて包装体Ａの自重による落下を利用して行われ
ているが、例えば、第１室と第２室とが水平方向に蓮設
された場合には、ェャシリンダ装置等の適宜の手段を用
いて上記包装体Ａの移動を行えばよい。In each of the above-mentioned devices, the arrangement of the package A in the first chamber 1, the introduction from the first chamber 1 to the second chamber 4, and the discharge from the second chamber 4 all utilize the fall of the package A due to its own weight. However, for example, when the first chamber and the second chamber are arranged horizontally, the package A may be moved using an appropriate means such as a shower cylinder device.

かくの如く本発明によれば実質上外乱の無い状態下で密
封包装体のピンホール有無を正確に判定でき、かつ、能
率的にピンホール有無検査を行える方法を提供できる利
点がある。As described above, the present invention has the advantage of providing a method that can accurately determine the presence or absence of pinholes in a sealed package under substantially no disturbance, and can efficiently perform the pinhole presence inspection.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は本発明方法を実施する装置例を示すもので、第１
図は一装置例の一部切欠概略側面図、第２図は他の装置
例の概略側面図、第３図は更に他の装置例の概略側面図
、第４図は更に他の装置の概略側面図、第５図は更に他
の装置例の概略側面図、第６図は更に他の装置例の一部
の概略平面図、第７図は付着水温度−熱エネルギー線図
、第８図及び第９図は包装体配置部位加熱装置例の概略
図である。 Ａ…密封包装体、１・・・第１室、４…第２室、３，３
１，３２，７１，７２…コールドトラツプ、２，７・・
・気化用真空吸引装置、５，８・・・測定用真空吸引装
置、６，９・・・圧力測定装置、１１・・・第１室入口
、１２・・・第２室出口、１３・・・第１菱体装置、１
４・・・第２蓋体装置、４１・・・第２室入口、４２・
・・第２室出口、４３・・・第３蓋体装置、１０・・・
ユニット体、１０１・・・支持基体、１−０２・・・供
総合ステーション、１０３，１０５…排出ステーション
、１０４・・・送出しステーション、１５・・・加熱装
置、Ｂ・・・包装体配置部位。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図The drawings show an example of an apparatus for carrying out the method of the present invention.
The figure is a partially cutaway schematic side view of one device example, FIG. 2 is a schematic side view of another device example, FIG. 3 is a schematic side view of yet another device example, and FIG. 4 is a schematic side view of yet another device example. 5 is a schematic side view of yet another example of the device, FIG. 6 is a schematic plan view of a part of still another example of the device, FIG. 7 is a temperature-thermal energy diagram of adhered water, and FIG. 8 and FIG. 9 is a schematic diagram of an example of a heating device for a package placement site. A... Sealed package, 1... First chamber, 4... Second chamber, 3, 3
1, 32, 71, 72...cold trap, 2, 7...
・Vacuum suction device for vaporization, 5, 8... Vacuum suction device for measurement, 6, 9... Pressure measurement device, 11... First chamber inlet, 12... Second chamber outlet, 13...・First rhomboid device, 1
4...Second lid device, 41...Second chamber entrance, 42.
...Second chamber outlet, 43...Third lid device, 10...
Unit body, 101... Support base, 1-02... General station, 103, 105... Discharge station, 104... Delivery station, 15... Heating device, B... Packaging body arrangement site . Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7 Figure 8 Figure 9

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １ 気化性物質を密封した密封包装体のピンホール有無
検査方法にして、前記密封包装体を第１室内に配置し、
前記第１室を気密にすると共に内部を前記第１室に連設
された気化用真空吸引装置にて真空にして前記密封包装
体表面に付着した気化性物質を気化させ、気化した前記
物質は前記第１室内に対し作用するように設けた冷却用
熱交換器に冷却回収するようにして前記密封包装体表面
の気化性物質を実質上除去したのち、前記密封包装体を
前記第１室に連設された第２室内に導入して前記第２室
を気密にし、前記第２室を該第２室に連設された測定用
真空吸引装置にて予め決めた真空状態となしたのち該第
２室の真空吸引を遮断して前記第２室内の気化による圧
力上昇を測定し、該圧力上昇値が、予め定めた基準圧力
値以上の場合はピンホール有り、該基準圧力値より小さ
い場合はピンホール無しと判定するようにし、前記第１
室において前記密封包装体表面に付着した気化性物質を
気化させる前記工程及び前記第２室において該第２室内
の圧力上昇を測定する前記工程のうち、気化促進のため
少くとも前記第１室における前記密封包装体表面に付着
した気化性物質を気化させる前記工程において前記密封
包装体の配置部位を加熱することを特徴とする密封包装
体のピンホール有無検査方法。 ２ 気化性物質を密封した密封包装体のピンホール有無
検査方法にして、前記密封包装体を第１室内配置し、前
記第１室を気密にすると共に該第１室を該第１室に連設
された気化用真空吸引装置にて真空にして前記第１室及
び前記密封包装体表面に付着した気化性物質を気化させ
、気化した前記物質は前記第１室内に対し作用するよう
に設けた冷却用熱交換器に冷却回収するようにして前記
第１室及び前記密封包装体表面の気化性物質を実質上除
去したのち、前記第１室を該第１室に連設した測定用真
空吸引装置にて予め定めた真空状態となして該第１室の
真空吸引を遮断し、その後前記第１室の気化による圧力
上昇を測定し、該圧力上昇値が予め定めた補助的基準圧
力値以上の場合は前記密封包装体を前記第１室から排出
し、該補助的基準圧力値より小さい場合は前記密封包装
体を前記第１室に連設された第２室内に導入して前記第
２室を気密にし、前記第２室を該第２室に連設された測
定用真空吸引装置にて予め決めた真空状態となしたのち
、該第２室の真空吸引を遮断して前記第２室内の気化に
よる圧力上昇を測定し、該圧力上昇値が、予め定めた基
準圧力値以上の場合はピンホール有り、該基準圧力値よ
り小さい場合はピンホール無しと判定するようにし、前
記第１室におい１前記密封包装体表面に付着した気化性
物質を気化させる前記工程、前記第１室において該第１
室内の圧力上昇を測定する前記工程及び前記第２室にお
いて該第２室内の圧力上昇を測定する前記工程のうち、
気化促進のため少くとも前記第１室における前記密封包
装体表面に付着した気化性物質を気化させる前記工程に
おいて前記密封包装体の配置部位を加熱することを特徴
とする密封包装体のピンホール有無検査方法。[Scope of Claims] 1. A method for inspecting the presence of pinholes in a sealed package in which a vaporizable substance is sealed, wherein the sealed package is placed in a first chamber;
The first chamber is made airtight and the inside is evacuated by a vaporizing vacuum suction device connected to the first chamber to vaporize the vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package, and the vaporized substance is After substantially removing the vaporizable substance on the surface of the sealed package by cooling and recovering it in a cooling heat exchanger provided to act on the first chamber, the sealed package is placed in the first chamber. The sample is introduced into a second chamber connected to the chamber to make the second chamber airtight, and the second chamber is brought into a predetermined vacuum state using a vacuum suction device for measurement connected to the second chamber. The vacuum suction in the second chamber is shut off and the pressure increase due to vaporization in the second chamber is measured. If the pressure increase value is greater than a predetermined reference pressure value, there is a pinhole, and if it is smaller than the reference pressure value. is determined to have no pinhole, and the first
Of the step of vaporizing the vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package in the chamber and the step of measuring the pressure increase in the second chamber in the second chamber, at least the first step is performed to promote vaporization. A method for inspecting the presence or absence of pinholes in a sealed package, characterized in that in the step of vaporizing the vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package, a location of the sealed package is heated. 2. A method for inspecting the presence of pinholes in a sealed package containing a vaporizable substance, in which the sealed package is placed in a first chamber, the first chamber is made airtight, and the first chamber is connected to the first chamber. A vacuum suction device provided for vaporization was used to evacuate the vaporizable substance adhering to the first chamber and the surface of the sealed package, and the vaporized substance was provided to act on the first chamber. Vaporizable substances on the surface of the first chamber and the sealed package are substantially removed by cooling and recovering in a cooling heat exchanger, and then the first chamber is connected to the first chamber for measurement vacuum suction. The device creates a predetermined vacuum state and shuts off the vacuum suction in the first chamber, then measures the pressure increase due to vaporization in the first chamber, and determines that the pressure increase value is equal to or higher than the predetermined auxiliary reference pressure value. In this case, the sealed package is discharged from the first chamber, and if the pressure is lower than the auxiliary reference pressure value, the sealed package is introduced into a second chamber connected to the first chamber, and the sealed package is discharged from the first chamber. After making the chamber airtight and bringing the second chamber into a predetermined vacuum state with a measurement vacuum suction device connected to the second chamber, the vacuum suction of the second chamber is shut off and the second The pressure increase due to vaporization in the room is measured, and if the pressure increase value is equal to or higher than a predetermined reference pressure value, it is determined that there is a pinhole, and if it is smaller than the reference pressure value, it is determined that there is no pinhole. In the first chamber, the step of vaporizing the vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package;
The step of measuring the pressure increase in the chamber and the step of measuring the pressure increase in the second chamber in the second chamber,
Presence or absence of pinholes in the sealed package, characterized in that in the step of vaporizing the vaporizable substance adhering to the surface of the sealed package in at least the first chamber, a portion of the sealed package is heated to promote vaporization. Inspection method.