JPS6030163A - 薄膜太陽電池モジユ−ル - Google Patents

薄膜太陽電池モジユ−ル

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JPS6030163A
JPS6030163A JP58138565A JP13856583A JPS6030163A JP S6030163 A JPS6030163 A JP S6030163A JP 58138565 A JP58138565 A JP 58138565A JP 13856583 A JP13856583 A JP 13856583A JP S6030163 A JPS6030163 A JP S6030163A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は同一基板上に分離形成された複数の薄膜太陽電
池ユニットセルを直列接続してなる薄膜太陽電池モジュ
ールに関する。
〔従来技術とその問題点〕
最近、不純物制御技術の成功により、アモルファス半導
体が新しい材料として注目され、特に太陽エネルギー変
換素子への実用化研究が活発に進められている。このア
モルファス半導体がデバイス材料として有望視されるの
は、U換型の不純物ドーピングが可能でPN接合の形成
や、伝導度の制御が出来るからである。更に例えばアモ
ルファスシリコンは、太陽光スペクトルのピーク付近で
吸収係数が単結晶シリコンのそれと比較して一桁位大き
く、薄膜太陽電池とした場合の材料コストは単結晶の場
合の約100分の1にすることが出来ると予想されてい
る。
しかしこのような薄膜太陽電池においても、アモルファ
スシリコンで吸収され光11L変換に利用される太陽光
は一部分のみであり、吸収されkいで透過してしまう光
が存在する。
〔発明の目的〕
本発明は入射太陽光をさらに有効に利用して変換効率が
商く、さらに信頼性の高いれDkk陶電池モジュールを
提供することを目的とする。
〔発明の要点〕
本発明は第一の半導体からなる光電変換領域と両側に透
明電極を有し、分離形成された複数の直列接続ユニット
セルを備えシ透明基板と第二の半導体から疫る光電変換
領域と反基板側に透明電極を有し、分離形成された複数
の直列接続ユニットセルを備えた基板とが基板を外側に
して対向して互に連結され、側基板上のユニットセル間
の空間は外部よシ遮断され、その場合第一の半導体のバ
ンドキャップが第二の半導体のバンドギャップより広い
ことによって上記の目的を達成する。
〔発明の実施例〕
第1図は本発明による第一の実施例を示した断面図であ
る。工1はガラス等の透明絶縁基板である。21〜26
は一定の間隔をおいて分離形成された透明′#、極であ
り、1.TO,5n02等からなる。
31〜36は広いバンド・ギャップを有する半導体の接
合であシ、例えばアモルファスシリコンのp−1−n接
合である。この場合光の入射側の例えばp層にアモルフ
ァスSiCのようなさらにバンドギャップの広い層を用
いることも有効である。
41〜46は透明導電膜から成る電極である。この結果
6ケのユニットセルが直列接続されたa −8i太陽電
池の出力が両端から取シ出される。
一方12はガラス等の絶縁基板であるが、これは必ずし
も透明である必要はない。51〜56は一定の間隔をお
いて分離形成された金属電極であシ、例えばAl、A9
等の蒸着膜である。61〜66は狭いバンドギャップを
有する半導体接合であシ、例工Id−yモルファスシリ
コン・ゲルマニウム(7)p−i−n接合である。71
〜76は透明電極である。これも6ケのユニットセルが
直列接続されたa−8rGe太陽電池の出力が両端から
取シ出される。
これら二枚の基板を太陽電池が向い合う様に配置し、周
縁をアルミ等のフレーム13でa結L、yリコーン等の
透明樹脂14によって封止す乙。
光15がガラス板11を通って入射すると、広いバンド
ギャップを有する半導体からなる光電変換領域31〜3
6で吸収されない光は狭いバンドギャップを有する光電
変換領域61〜66に達し、両領域で光電流が発生する
。両党電変換領域は互に無関係に形成できるので製作上
都合が良い。しかもそれらが封止されているので、湿度
そのた外部ふん囲気に対する保穫は非常に優れている。
第2図は本発明による第二の実施例を示した断面図であ
る。第1図と同様にガラス等の透明絶縁基板11の上に
透明電極21〜25は一定の間隔をおいて分離形成され
、その上の31〜35は広いバンドギャップを有する半
導体の接合(例えばアモルファスシリコン)である。4
1〜45は透明導電膜から成る電極である。一方、他の
ガラス板12上に一定の間隔を置いて金属蒸着膜51〜
56を分離形成する。61〜66は狭いバンドギャップ
を有する半導体接合(例えはアモルファスシリコンゲル
マニュ・−ムI) p −i n 形m造) fある。
その上に透明電極71〜76が設けられる。
これら二枚の基板を太陽電池が向い合う様に配置し、低
融点ガラス15で封止する。中はAr等の不活性ガス1
6を封入する。
ざこ生先電流の取シ出しは第一の例とは異なり、二枚の
直列型太陽電池の両端を接続するので、アモルファスシ
リコン太陽電池とアモルファスシリコン・ゲルマニュー
ム太陽電池の出力が並列に接続され導線17よシとシ出
されている。ここでは前者は5直列、後者は6直列の例
を取りあげたが、本来各々の最適動作電圧(VOp)が
等しくなる様に決定される。また第一の例と同様に、両
光電変換領域31〜35および61〜66は互に無関係
に形成できるので、製作上都合が良い。しかも第一の例
以上に信頼性に優れている。
以上二つの実施例を記したが、モジュールの封止方法に
関する点、二押類の太陽電池の接続方法に関する点は、
第一、第二の実施例を交互に採用しても良いことは言う
址でも々い。また、側基板上のユニットセルの半導体は
とこで取りあげたアモルファスシリコン、アモルファス
シリコンゲルマニュームに拘束されるものでもない。
〔発明の効果〕
以上述べてきた様に、本発明によれは、バンドギャップ
の異なる二種類の半導体から成る太陽箪池のユニットセ
ルを別々の基板上に、各々直列接続して形成し、これら
を向い合う様にして、モジュール化した。その結果、バ
ンドギャップの広い半導体からなる太陽電池ユニットセ
ル側から入射]7た光はそのユニットセルで吸収され、
接合によp光電流が発生するが、吸収されない光は対向
するバンドギャップの狭い半導体からなる太陽電池ユニ
ットセルで吸収され、再び光電流を発生ずるので、入射
光の利用効率が向上する。しかも内基板上の太陽電池は
外気から遮断され、堅固な構造を有するので信頼性の高
く、変換効率のすぐれた薄膜太陽電池モジュールを得る
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の断面図、第2図は異なる実
施例の断面図である。 11・・・・・・透明基板、12・・・・・・絶縁基板
、 13・・・・・・フレーム、15・・・・・・ガラ
ス、21〜26.41〜46゜71〜76・・・・・・
透明電極、31〜36・・・・・・アモルファスシリコ
ン薄膜、51〜56・・・・・・金属電極、61〜66
・・・・・・アルモルファスシリコン・ゲルマニウム薄
膜。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1)第一の半導体からなる光電変換領域と両側に透明電
    極を有し、分離形成された複数の直列接続ユニットセル
    を備えた透明基板と、第一の半導体よシ狭いバンドギャ
    ップを持つ第二の半導体からなる光電変換領域と反基板
    側に透明電極を有し、分離形成された直列接続ユニット
    セルを備えた基板とが基板を外側にして対向して位置し
    て互に連結され、両系板上のユニットセル間の空間は外
    部よシ遮断されたことを特徴とする薄膜太陽電池モジュ
    ール。
JP58138565A 1983-07-28 1983-07-28 薄膜太陽電池モジユ−ル Granted JPS6030163A (ja)

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Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS628578A (ja) * 1985-06-04 1987-01-16 シーメンス ソーラー インダストリーズ,エル.ピー. 薄膜太陽電池モジュール
JPS62142372A (ja) * 1985-12-17 1987-06-25 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換装置の作製方法
JPS62142373A (ja) * 1985-12-17 1987-06-25 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換半導体装置
JPS62189766A (ja) * 1986-02-15 1987-08-19 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換装置の作製方法
JPS62198171A (ja) * 1986-02-25 1987-09-01 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換半導体装置
EP1005096A3 (en) * 1998-11-12 2000-12-27 Kaneka Corporation Solar cell module
JP2004039942A (ja) * 2002-07-05 2004-02-05 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 太陽光ハイブリッドモジュール
EP1962331A2 (en) * 2007-02-26 2008-08-27 LG Electronics Inc. Thin-film solar cell and method of manufacturing the same
WO2009067991A2 (de) * 2007-11-29 2009-06-04 Osram Opto Semiconductors Gmbh Halbleiteranordnung sowie verfahren zur herstellung einer halbleiteranordnung
JP2010087504A (ja) * 2008-10-01 2010-04-15 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 太陽エネルギー変換デバイス
US20100307559A1 (en) * 2009-06-05 2010-12-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Photoelectric conversion device and method for manufacturing the same
FR2948498A1 (fr) * 2009-07-23 2011-01-28 Solsia Panneau solaire photovoltaique a diodes en couches minces
JP2011526737A (ja) * 2008-07-03 2011-10-13 アイメック 多重接合太陽電池モジュールおよびそのプロセス
EP2461362A1 (fr) * 2010-12-06 2012-06-06 Solsia Panneau solaire photovoltaïque à diodes en couches minces
JP5043244B1 (ja) * 2012-02-20 2012-10-10 立山科学工業株式会社 太陽光発電システム
JP2014511041A (ja) * 2011-04-05 2014-05-01 ユニバーシティー オブ フロリダ リサーチ ファウンデーション,インコーポレイテッド 赤外線(ir)光電池を薄膜光電池上に集積する方法及び装置
US9997571B2 (en) 2010-05-24 2018-06-12 University Of Florida Research Foundation, Inc. Method and apparatus for providing a charge blocking layer on an infrared up-conversion device
US10134815B2 (en) 2011-06-30 2018-11-20 Nanoholdings, Llc Method and apparatus for detecting infrared radiation with gain
US10700141B2 (en) 2006-09-29 2020-06-30 University Of Florida Research Foundation, Incorporated Method and apparatus for infrared detection and display
US10749058B2 (en) 2015-06-11 2020-08-18 University Of Florida Research Foundation, Incorporated Monodisperse, IR-absorbing nanoparticles and related methods and devices

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55141960U (ja) * 1979-03-29 1980-10-11
JPS57187975A (en) * 1981-05-15 1982-11-18 Agency Of Ind Science & Technol Photoelectric converter
JPS58215081A (ja) * 1982-06-08 1983-12-14 Mitsui Toatsu Chem Inc アモルフアスシリコン太陽電池

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55141960U (ja) * 1979-03-29 1980-10-11
JPS57187975A (en) * 1981-05-15 1982-11-18 Agency Of Ind Science & Technol Photoelectric converter
JPS58215081A (ja) * 1982-06-08 1983-12-14 Mitsui Toatsu Chem Inc アモルフアスシリコン太陽電池

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS628578A (ja) * 1985-06-04 1987-01-16 シーメンス ソーラー インダストリーズ,エル.ピー. 薄膜太陽電池モジュール
JPS62142372A (ja) * 1985-12-17 1987-06-25 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換装置の作製方法
JPS62142373A (ja) * 1985-12-17 1987-06-25 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換半導体装置
JPS62189766A (ja) * 1986-02-15 1987-08-19 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換装置の作製方法
JPS62198171A (ja) * 1986-02-25 1987-09-01 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換半導体装置
EP1005096A3 (en) * 1998-11-12 2000-12-27 Kaneka Corporation Solar cell module
US6300556B1 (en) 1998-11-12 2001-10-09 Kaneka Corporation Solar cell module
US6384315B1 (en) 1998-11-12 2002-05-07 Kaneka Corporation Solar cell module
JP2004039942A (ja) * 2002-07-05 2004-02-05 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 太陽光ハイブリッドモジュール
US10700141B2 (en) 2006-09-29 2020-06-30 University Of Florida Research Foundation, Incorporated Method and apparatus for infrared detection and display
EP1962331A2 (en) * 2007-02-26 2008-08-27 LG Electronics Inc. Thin-film solar cell and method of manufacturing the same
JP2008211217A (ja) * 2007-02-26 2008-09-11 Lg Electronics Inc 薄膜型太陽電池及びその製造方法
EP1962331A3 (en) * 2007-02-26 2012-09-26 LG Electronics Inc. Thin-film solar cell and method of manufacturing the same
WO2009067991A2 (de) * 2007-11-29 2009-06-04 Osram Opto Semiconductors Gmbh Halbleiteranordnung sowie verfahren zur herstellung einer halbleiteranordnung
WO2009067991A3 (de) * 2007-11-29 2009-08-20 Osram Opto Semiconductors Gmbh Halbleiteranordnung sowie verfahren zur herstellung einer halbleiteranordnung
JP2011526737A (ja) * 2008-07-03 2011-10-13 アイメック 多重接合太陽電池モジュールおよびそのプロセス
JP2010087504A (ja) * 2008-10-01 2010-04-15 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 太陽エネルギー変換デバイス
US20100307559A1 (en) * 2009-06-05 2010-12-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Photoelectric conversion device and method for manufacturing the same
EP2438621A1 (en) * 2009-06-05 2012-04-11 Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. Photoelectric conversion device and method for manufacturing the same
EP2438621A4 (en) * 2009-06-05 2014-04-23 Semiconductor Energy Lab PHOTOELECTRIC CONVERSION DEVICE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
FR2948498A1 (fr) * 2009-07-23 2011-01-28 Solsia Panneau solaire photovoltaique a diodes en couches minces
US9997571B2 (en) 2010-05-24 2018-06-12 University Of Florida Research Foundation, Inc. Method and apparatus for providing a charge blocking layer on an infrared up-conversion device
EP2461362A1 (fr) * 2010-12-06 2012-06-06 Solsia Panneau solaire photovoltaïque à diodes en couches minces
JP2014511041A (ja) * 2011-04-05 2014-05-01 ユニバーシティー オブ フロリダ リサーチ ファウンデーション,インコーポレイテッド 赤外線(ir)光電池を薄膜光電池上に集積する方法及び装置
US10134815B2 (en) 2011-06-30 2018-11-20 Nanoholdings, Llc Method and apparatus for detecting infrared radiation with gain
JP5043244B1 (ja) * 2012-02-20 2012-10-10 立山科学工業株式会社 太陽光発電システム
WO2013125105A1 (ja) * 2012-02-20 2013-08-29 立山科学工業株式会社 太陽光発電システム
US10749058B2 (en) 2015-06-11 2020-08-18 University Of Florida Research Foundation, Incorporated Monodisperse, IR-absorbing nanoparticles and related methods and devices

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JPH0527278B2 (ja) 1993-04-20

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