JPS60263402A - Moisture sensitive material - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、電気抵抗値の変化により雰囲気の相対湿度
を検知する湿度センサー用の感湿材料に関するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a moisture-sensitive material for a humidity sensor that detects the relative humidity of an atmosphere based on a change in electrical resistance.

〔従来技術〕[Prior art]

昨今では、前記のような機能を有する感湿材料としては
、雰囲気に対して物理的、化学的に安定であり強度も高
い金属酸化物系セラミックスが最も多く用いられてきた
。このような従来のセラミックスからなるものの感湿メ
カニズムは、水蒸気が多孔質なセラミック表面で解離し
て生じた水素イオン（Ｈ＋）の濃度が１周囲の相対湿度
によって異なるため、感湿部の電気抵抗値が変化するこ
とを利用したものである、そして、このＨ＋は、下記刊
行物に示されるように相対湿度が低い場合には９表面に
生成している水酸基上をホッピングにより伝導し、相対
湿度が高い場合には、水和したＨ＋が水溶液中と同様に
水膜を伝導するとされてイル（刊行物、即ち、Ｊ、ＲＡ
ｎａｅｒｓｏｎ　ａｎｄ　Ｇ、Ａ。Recently, metal oxide ceramics, which are physically and chemically stable in the atmosphere and have high strength, have been most often used as moisture-sensitive materials having the above-mentioned functions. The humidity sensing mechanism of such conventional ceramics is that the concentration of hydrogen ions (H+) generated when water vapor dissociates on the porous ceramic surface varies depending on the relative humidity of the surroundings, so the electrical resistance of the humidity sensing part changes. This method takes advantage of the fact that the value changes, and as shown in the following publication, when the relative humidity is low, this H+ is conducted by hopping on the hydroxyl group generated on the surface of 9, and the relative humidity increases. When the
naerson and G,A.

Ｐａｒｋｓ　：雑誌基：　Ｊ、　Ｐｈｙｓ　、　Ｏｈｅ
ｍ　、第７２巻。Parks: Magazine base: J, Phys, Ohe
m, vol. 72.

第３６６２頁１９６８年発行）。一方、湿度センサーを
空調機による自動湿度コントロール等の用途に使用する
場合、駆動および検知回路上の使い易さの点でより低い
電気抵抗値を有する湿度センサーが要望されている。し
かし、上記のようなＨによる電気伝導を利用するもので
あって、しかもある程度良好な感度を有するセンサーで
ある限り。No. 3662, published in 1968). On the other hand, when a humidity sensor is used for applications such as automatic humidity control in an air conditioner, a humidity sensor having a lower electrical resistance value is desired in terms of ease of use in driving and detection circuits. However, as long as the sensor utilizes electrical conduction due to H as described above and has a certain degree of sensitivity.

その電気抵抗値には、下限値（おおむね相対湿度５０％
で５００にΩ程度、９０％で２ＯＫΩ程度）があり、電
気抵抗値がより低く使い易いセンサーは得られ難いのが
現状であった。The electrical resistance value has a lower limit (approximately 50% relative humidity).
At present, it is difficult to obtain a sensor with a lower electrical resistance value and ease of use.

また、Ｈによる電気伝導全利用する従来の大部分のセラ
ミック感湿材料では、空気中での使用または放置によっ
て水（湿気）の吸脱着がくり返されると、ＯＨ基が表面
に安定化化学吸着されてしまうために、センサーの抵抗
値が経時的に大きく変化してしまうことが避けられない
ので、これ全初期特性に一！！で復帰さゼるには、実開
昭５５−１６１２４８．５５−１６１２４９　、特開昭
５２−６１７８８゜５４−７０８９５．５４−１０１３
９９．５５−８７９４１　。In addition, in most conventional ceramic moisture-sensitive materials that fully utilize electrical conduction through H, when water (moisture) is adsorbed and desorbed repeatedly by being used in the air or left unattended, OH groups become stabilized by chemical adsorption on the surface. Because of this, it is unavoidable that the resistance value of the sensor changes greatly over time, so this is a problem with all initial characteristics! ! To restore it, use Utility Model Publication No. 55-161248.55-161249, Japanese Patent Application Publication No. 52-61788゜54-70895.54-1013.
99.55-87941.

５６−２５４２　、５６・−１０９０４４、５６−１６
０６４９号公報などに見られるように、感湿材料の周囲
、カバー、基板内、電極等にヒーター全般け、感湿材料
金５００〜６００℃に通電加熱することによって変化し
た特性を初期特性にまで復帰はぜることが行なわれてい
る。しかし、この方法は経済的、省エネルギー的および
安全的に見て好ましいとは言えないものである。56-2542, 56・-109044, 56-16
As seen in Publication No. 0649, heaters are placed around the moisture-sensitive material, in the cover, inside the substrate, on the electrodes, etc., and the characteristics changed by heating the moisture-sensitive material with electricity to 500 to 600°C are restored to the initial characteristics. A comeback is underway. However, this method cannot be said to be preferable from an economical, energy saving and safety standpoint.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

この発明は上記従来のものの欠点を除去するためになさ
れたもので、結合剤中に、アルカリ金属。This invention was made in order to eliminate the drawbacks of the above-mentioned conventional methods, and includes an alkali metal in the binder.

アルカリ土類金属およびハロゲンの内の少なくとも一種
とグラファイトとの層間化合物並びにその複合層間化合
物の内の少なくとも一種を含有する組成物の焼成残留物
を用いることによし、経時劣化防止用の加熱装置（ヒー
ター）全必ずしも必要とぜすとも長期間感湿特性の安定
した感湿材料を提供すること全目的とする。A heating device for preventing deterioration over time ( Heater) The overall purpose is to provide a moisture-sensitive material with stable moisture-sensitive properties over a long period of time, even if not necessarily necessary.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

この発明に係わる結合剤としては９例えは、メチルシリ
コーン、メチルフェニルシリコーン、アルミニウムホス
フェート、エチルシリケート重合体、および水ガラスな
ど焼成によシ多孔質化するものが用いられ、これらは、
下記グラファイト層間化合物およびその保合層間化合物
の結合剤となる。その多孔質化のため、この発明の感湿
材料に。Examples of the binder used in this invention include methyl silicone, methylphenyl silicone, aluminum phosphate, ethyl silicate polymer, and water glass, which become porous upon firing.
It serves as a binder for the graphite intercalation compound and its holding intercalation compound below. Due to its porous nature, the moisture sensitive material of this invention.

グラファイト層間化合物およびその複合層間化合物の下
記効果が明確に現われると共に、吸着水量が多くなるた
めに抵抗値のより低い感湿材料が得られるのである。The following effects of the graphite intercalation compound and its composite intercalation compound clearly appear, and since the amount of adsorbed water is increased, a moisture-sensitive material with a lower resistance value can be obtained.

この発明に係わるグラファイトとの層間化合物およびそ
の複合層間化合物としては、アルカリ金属、アルカリ土
類金属、ハロゲンのうちの少なくとも一種とグラファイ
トとの層間化合物、又はその複合層間化合物を用いる必
要がある。なぜなら。As the intercalation compound with graphite and the composite intercalation compound thereof according to the present invention, it is necessary to use an intercalation compound of at least one of an alkali metal, an alkaline earth metal, and a halogen with graphite, or a composite intercalation compound thereof. because.

発明者はその他の化合物（上記金属の酸化物および硫化
物等）とグラファイトとの層間化合物およびその複合層
間化合物についても実施例と同様の実験全行なったとこ
ろ、これらのものは抵抗値が高く、イオン伝導の効果は
現われなかった。The inventor conducted all the experiments similar to those in the Examples for intercalation compounds of other compounds (oxides and sulfides of the above metals, etc.) and graphite, and composite intercalation compounds thereof, and found that these compounds had high resistance values. No effect of ion conduction appeared.

なお、この発明の実施例の感湿材料が皮膜の造膜効果、
乾燥および硬化促進、亀裂防止並ひに下地基板への接着
性向上の目的で以下に示す金属酸化物等の無機質材料粉
末を添加剤として含有することがある。It should be noted that the moisture-sensitive material of the embodiment of this invention has a film-forming effect,
For the purpose of accelerating drying and curing, preventing cracks, and improving adhesion to the underlying substrate, inorganic material powders such as metal oxides shown below may be contained as additives.

以下実施例を示すことによりこの発明の詳細な説明する
が、これによりこの発明を限定するものではない。The present invention will be explained in detail by showing Examples below, but the present invention is not limited thereto.

実施例１ 第１図は、この発明の一実施例の感湿材料全相いた湿度
センサーの斜視図であり１図において、ｆｌｌは絶縁基
板、（２）は電極、（３）は感湿皮膜、（４）はリード
線である。Embodiment 1 FIG. 1 is a perspective view of a humidity sensor including all the moisture-sensitive materials according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, fl1 is an insulating substrate, (2) is an electrode, and (3) is a moisture-sensitive film. , (4) are lead wires.

即ち、アルミナの絶縁基板（１）上に、ｐｔ−ｐａ合金
系ペーストにて０．２顛間隔で１０対のくし形状の電極
（２）ラスクリーン印刷し、Ｐｔ　のリード線（４）を
取り付は後焼付けを行なった。この上に、下記組成例１
の組成物にシンナーを加えて攪拌機にて混練後、混合物
を浸漬処理により、約５０μｍの厚さに塗布し、１８０
℃　１０分間の予備焼成後。That is, on an alumina insulating substrate (1), 10 pairs of comb-shaped electrodes (2) are screen-printed at 0.2 square intervals using a PT-PA alloy paste, and the Pt lead wires (4) are removed. For attachment, post-baking was performed. On top of this, the following composition example 1
After adding thinner to the composition and kneading it with a stirrer, the mixture was applied to a thickness of about 50 μm by immersion treatment.
°C after 10 minutes pre-baking.

６００℃で３０分間焼成して感湿皮膜（３）ヲ得、第１
図のようなこの発明の一実施例の感湿材料上用いた湿度
センサー全製作した、 組成例１ 結合剤：メチルフェニルシリコーン　６４．８重ｉ％グ
ラファイト層間化合物：　Ｃ６Ｌｉ　２８．５重量％添
加剤：　ＡＡ！２Ｊ　５．２重量％ マイカ　２０重量％ 硬化剤（アミン）０．５重量％ このようにして製作したこの発明の一実施例の感湿材料
を用いた湿度センサーと、感湿皮膜に１２５０℃で４時
間焼結しｆＣＡｌ２Ｏ！ｌ　ＭｇＯＺｎＯ系セラミック
スを用い、他は第１図の場合と同様にして得た従来タイ
プのセラミック湿度センサーとの両サンプルにより、感
湿特性（相対湿度鉤−電気抵抗（Ｑ））とその経時変化
を比較測定したところ。Baked at 600°C for 30 minutes to obtain moisture sensitive film (3), 1st
The entire humidity sensor used on the moisture-sensitive material of the embodiment of this invention as shown in the figure was manufactured. Composition Example 1 Binder: Methylphenyl silicone 64.8% by weight Graphite intercalation compound: C6Li 28.5% by weight Additives : AA! 2J 5.2% by weight Mica 20% by weight Curing agent (amine) 0.5% by weight A humidity sensor using the moisture-sensitive material of an embodiment of the present invention manufactured in this way and a moisture-sensitive film at 1250°C. Sintered for 4 hours and fCAl2O! l Using MgOZnO ceramics and a conventional type ceramic humidity sensor obtained in the same manner as in Figure 1, we measured the moisture sensitivity characteristics (relative humidity hook - electrical resistance (Q)) and its change over time. When compared and measured.

第２図の結果が得られた。なお、印加電圧は交流ＩＶ、
５０１１ｚである。第２図において１曲線（Ａ１）およ
び（Ａ２）は各々従来タイプのものの初期および６か月
間室内放置後の感湿特性曲線し１曲線（Ｂ１）および（
Ｂ２）は各々この発明の一実施例の感湿材料を用いたも
のの初期および６力１月間室内放置後の感湿特性である
。The results shown in Figure 2 were obtained. Note that the applied voltage is AC IV,
It is 5011z. In Fig. 2, curves (A1) and (A2) are the moisture sensitivity characteristic curves of the conventional type at the initial stage and after being left indoors for 6 months, respectively.
B2) shows the moisture sensitivity characteristics at the initial stage and after being left indoors for one month using the humidity sensitive material of one embodiment of the present invention.

この図から明らかなように、従来のＨ＋伝導タイプのセ
ラミックスを感湿材料に用いた湿度センサーは、６か月
間放置後には、抵抗値が初期と比べて２桁はど大と々す
、感湿機能もかなり低下し）　てしまったのに対して、
この発明の一実施例の感湿材料を用いた湿度センサーは
、６か月間放置後にはわずかに抵抗値が小となったのみ
であゃ、感湿機能の低下も見られな力１つｆｃｏｔ；ｉ
、初期の感湿特性曲線（Ａ１）および（Ｂ１）　’！ｒ
比較するとわかるように、この発明の一実施例の感湿材
料を用いたものの方が従来のものよりも抵抗値が１桁以
上小さく、たとえば相対湿度５０％では５０にΩ。As is clear from this figure, the resistance value of a humidity sensor using conventional H+ conductive type ceramics as the moisture-sensitive material increases by two orders of magnitude compared to the initial value after being left unused for 6 months. The humidity function has also deteriorated considerably),
The humidity sensor using the moisture-sensitive material of one embodiment of the present invention showed a slight resistance value after being left unused for 6 months, and no deterioration of the moisture-sensing function was observed. ;i
, initial moisture sensitivity characteristic curves (A1) and (B1)'! r
As can be seen from the comparison, the resistance value of the material using the moisture-sensitive material according to an embodiment of the present invention is one order of magnitude lower than that of the conventional material, for example, 50 Ω at a relative humidity of 50%.

９０％では１にΩであるため９回路上使い易いものであ
る。この発明の感湿材料の抵抗値が低い理由は、グラフ
ァイトの層間に存在するアルカリイオン（この場合はＬ
１＋）が、感湿部表面の吸着水によって呼ひ出され２表
面電気伝導に加わることによるためと考えられる。一般
にグラファイト層間化合物は、ファンデルワールス力で
結合した眉間に各種のイオン全収容することができるこ
とが知られている。すなわち、この場合クラファイトは
Ｌ１＋イオンを安定に存在さぞ、かつ吸着水の有無によ
るその出入ジを円滑に行なわせる役目を成すものと推察
される。At 90%, it is 1Ω, so it is easy to use in 9 circuits. The reason for the low resistance value of the moisture-sensitive material of this invention is that the alkali ions (in this case L
1+) is called out by the adsorbed water on the surface of the humidity sensitive part and is added to the 2 surface electrical conduction. It is generally known that graphite intercalation compounds can accommodate all of the various ions between the eyebrows that are bonded by van der Waals forces. That is, in this case, it is presumed that the graphite plays a role in stably existing L1+ ions and allowing them to move in and out smoothly depending on the presence or absence of adsorbed water.

実施例２ 下記組成例η組成物に水會加えて攪拌機にて混線後混線
物を実施例１と同様に電極およびリード線を形成したア
ルミナ基板上にハケ塗りにて約４０μｍの厚さに塗布し
た。ついで、１３０℃　３０分間の乾燥後、４５０℃で
１．５時間焼成して感湿皮膜を得。Example 2 The following composition example η composition was mixed with water and mixed with a stirrer, and then the mixed material was applied to a thickness of about 40 μm by brushing onto an alumina substrate on which electrodes and lead wires were formed in the same manner as in Example 1. did. Then, after drying at 130°C for 30 minutes, it was baked at 450°C for 1.5 hours to obtain a moisture-sensitive film.

第１図と同様の湿度センサーを製作した。A humidity sensor similar to that shown in Figure 1 was manufactured.

組成例２ 結合剤ニアルミニウムホスフェート５３．５重量％グラ
ファイト層間化合物：　Ｃ！８０Ｊ　２０．５重量％添
加物：　ＴｉＯ２１５，２重量％ ベントナイト　１０８重量％ このよう圧して製作したこの発明の他の実施例の感湿材
料音用いた湿度センサーと、感湿材料として１４５０℃
で５時間焼結したｃｒ２ｏ５−ｃａｏ系セラミックスを
用い、他は第１図の場合と同様の従来タイプのセラミッ
ク湿度センサーとの両サンプルにより、感湿特性（相対
湿度（至）−電気抵抗便））とその経時変化を実施例１
の場合と同様に測定した。Composition Example 2 Binder Nialuminum Phosphate 53.5% by Weight Graphite Intercalation Compound: C! 80J 20.5% by weight Additives: TiO2 15.2% by weight Bentonite 108% by weight Other embodiments of the moisture-sensitive material of this invention produced by pressing as described above A humidity sensor using sound and a temperature of 1450°C as the moisture-sensitive material
Using CR2O5-CAO ceramics sintered for 5 hours at ) and its changes over time are shown in Example 1.
It was measured in the same way as in the case of .

この場合、経時劣化を促進するために１両センサー全６
０℃、相対湿度９５％の恒温恒湿槽中に３００時間放直
した後の感湿特性全測定して初期特性と比較した。その
結果全第３図に示す。第３図において２曲線（Ｃ１）お
よび（Ｃ２）は、各々従来タイプのものの初期および劣
化促進テスト後の特性を示し１曲線（Ｄｌ）および（Ｂ
２）は、各々この発明の他の実施例の感湿材料を用いた
吃のの初期および劣化促進テスト後の特性である。第３
図から、この発明の他の実施例の感湿材料を用いたもの
は、従来タイプのものに比べて初期特性において約１桁
抵抗値が低く、また従来タイプのものは、劣化促進テス
ト後には抵抗値が２桁はど大と々ってしまったのに対し
て、この発明の他の実施例の感湿材料を用いたものは、
テスト後も抵抗値がやや小となったのみであることが明
らかである、なお、劣化促進テストにおいて、従来タイ
プのものの初期特性が大きく変化した理由は、やはりＯ
Ｈ基の強い化学吸着と吸着水の毛細管凝縮にともなうセ
ラミックの微細構造中における粒子の体積膨張による細
孔の閉塞が主であると推察でれる。また、この発明の他
の実施例の感湿材料を用いたものではこの場合も、グラ
ファイト層間中のハロゲンイオン（この場合はＯＡ！　
）が感湿皮膜中を移動するという伝導形式をとるものと
思わわる。In this case, in order to accelerate deterioration over time, all six sensors in one car are installed.
After being left in a constant temperature and humidity chamber at 0° C. and 95% relative humidity for 300 hours, all moisture sensitivity characteristics were measured and compared with the initial characteristics. The results are shown in Figure 3. In Fig. 3, two curves (C1) and (C2) represent the characteristics of the conventional type at the initial stage and after the accelerated deterioration test, respectively, and one curve (Dl) and (B
2) are the characteristics after the initial stuttering test and the accelerated deterioration test using the moisture-sensitive materials of other examples of the present invention. Third
From the figure, it can be seen that the resistance value of the moisture-sensitive material according to another embodiment of the present invention is about one order of magnitude lower in initial characteristics than that of the conventional type, and that the conventional type has a lower resistance value after the accelerated deterioration test. While the resistance value was extremely high by two digits, the resistance value of the material using the moisture-sensitive material of the other embodiment of this invention was
It is clear that the resistance value only became slightly smaller after the test.The reason for the large change in the initial characteristics of the conventional type in the accelerated deterioration test is also the O
It is inferred that the main cause is the clogging of pores due to volume expansion of particles in the ceramic microstructure due to strong chemical adsorption of H groups and capillary condensation of adsorbed water. In addition, in the case of using the moisture-sensitive material according to another embodiment of the present invention, halogen ions (in this case, OA!) between the graphite layers are also present.
) seems to take the form of conduction, in which the particles move through the moisture-sensitive film.

実施例３ 下記組成例３〜５の組成物を用いて、実施例１゜２と同
様にして第１図のようなこの発明の他の実施例の感湿材
料を用いた湿度センサー全それぞれ製作して、感湿特性
（相対湿度−−電気抵抗幹））とその経時変化を調べた
。その結果、実施例１および２の場合と同様に、これら
のこの発明の他の実施例の感湿材料を用いｆｃ湿度セン
サーは、ＯＨ基の固着による感湿特性の経時変化がほと
んどないものであることが判明した。Example 3 Using the compositions of Composition Examples 3 to 5 below, a humidity sensor using the moisture-sensitive material of another example of this invention as shown in FIG. 1 was manufactured in the same manner as in Example 1-2. The moisture sensitivity characteristics (relative humidity--electrical resistance) and their changes over time were investigated. As a result, as in Examples 1 and 2, the FC humidity sensors using the moisture-sensitive materials of these other Examples of the present invention showed almost no change in moisture-sensing characteristics over time due to the fixation of OH groups. It turns out that there is something.

組成例３ 結合剤：エチルシリケート重合体　３８５重量％グラフ
ァイト層間化合物：　ｃ６ｃａ　３Ｂ、１１輌％添加剤
二Ｆ０２０５　１７．８重量％ マイカ　５．６重量％ 組成例４ ｆ　結合剤：水ガラス　４８５亘−Ｍ−％グラファイト
層間化合物：　０５０ｕＯＡ！２　２５．８重量％添加
剤：　０ｒ２０５　１３．６３ｊ蓋％（１１） Ａ１２０５　１２．１重量％ 組成例５ 結合剤：メチルシリコー：／　６２．３　ｉｉ％クラフ
ァイト層間化合物：　ａＢｘ　１２．４重ｆｔ％ＣＩ　
２Ｌ１　１２．４重量％ 添加剤：　Ｍｇ０　６．９重量％ （３ａＯｓ、ｏ　重量％ 〔発明の効果〕 以上説明したとう凱　この発明は、結合剤中に。Composition Example 3 Binder: Ethyl silicate polymer 385% by weight Graphite intercalation compound: c6ca 3B, 11% Additive F0205 17.8% by weight Mica 5.6% by weight Composition Example 4 f Binder: Water glass 485% by weight M-% graphite intercalation compound: 050uOA! 2 25.8 wt% Additive: 0r205 13.63j Lid% (11) A1205 12.1 wt% Composition Example 5 Binder: Methyl silicone: / 62.3 ii% Graphite intercalation compound: aBx 12.4 weight ft %CI
2L1 12.4% by weight Additives: Mg0 6.9% by weight (3aOs, o% by weight [Effects of the Invention] The above-described tokai is added to the binder.

アルカリ金属、アルカリ土類金属およびハロゲンの内の
少々くとも一浅とグラファイトとの層間化合物並ひにそ
の複合層間化合物の内の少なくとも一種全含有する組成
物の焼成残留物を用いることにより、経時劣化防止用の
加熱装置（ヒーター）全必ずしも必要とぜすとも長期間
感湿特性の安定した感湿材料を得ることができ１例えば
湿度センサーに有用である。By using the firing residue of a composition containing at least one of at least one of alkali metals, alkaline earth metals, and halogens and graphite, as well as composite intercalation compounds thereof, Even if a heating device (heater) for preventing deterioration is not necessary, a moisture-sensitive material with stable moisture-sensing properties for a long period of time can be obtained, and is useful for example in humidity sensors.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は、この発明の一実施例の感湿材料を用いた湿度
センサーの廁視図、第２図および第３図（１２） は、そわぞれこの発明の実施例の感湿材料を用いた湿度
センサーと従来の湿度センサーを比較する感湿特性図で
ある。 図において、　＋１１は絶縁基板、（２）は電極、（３
）は感湿皮膜、（４）はリード線、（ＡＩ）　、　（Ａ
２）　、　（０１）　、　（０２）は比較従来例の感湿
特性、（Ｂ１）　、　（Ｂ２）　、　（Ｄｌ）　。 （Ｄ２）はこの発明の実施例の感湿材料を用いた７８度
センサーの感湿特性である。 代理人大岩増雄 第１′！！！Ｉ 第２図 相　対湿度　（ｙ、） 第３図 ０　５０　ｔｏ。 １１］　ｊむすｒ　ミ星　度　（％）FIG. 1 is a perspective view of a humidity sensor using a moisture-sensitive material according to an embodiment of the present invention, and FIGS. FIG. 3 is a humidity sensitivity characteristic diagram comparing the used humidity sensor and a conventional humidity sensor. In the figure, +11 is an insulating substrate, (2) is an electrode, and (3
) is the moisture sensitive film, (4) is the lead wire, (AI), (A
2), (01), and (02) are the moisture sensitivity characteristics of the comparative conventional example; (B1), (B2), and (Dl). (D2) is the moisture sensitivity characteristic of the 78 degree sensor using the moisture sensitive material of the example of this invention. Agent Masuo Oiwa 1st! ! ! I Figure 2 Relative humidity (y,) Figure 3 0 50 to. 11] jmusur mi star degree (%)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 結合剤中に、アルカリ金属、アルカリ土類金属およびハ
ロゲンの内の少なくとも一種とグラファイトとの層間化
合物並びにその複合層間化合物の内の少なくとも一種を
含有する組成物の焼成残留物から成る感湿材料。A moisture-sensitive material comprising a firing residue of a composition containing, in a binder, an intercalation compound of graphite with at least one of an alkali metal, an alkaline earth metal, and a halogen, and at least one of a composite intercalation compound thereof.