JPS60261374A - 真空中における作動装置 - Google Patents
真空中における作動装置Info
- Publication number
- JPS60261374A JPS60261374A JP11653684A JP11653684A JPS60261374A JP S60261374 A JPS60261374 A JP S60261374A JP 11653684 A JP11653684 A JP 11653684A JP 11653684 A JP11653684 A JP 11653684A JP S60261374 A JPS60261374 A JP S60261374A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spring
- shape
- vacuum
- shaft
- retainer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03G—SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS; MECHANICAL-POWER PRODUCING DEVICES OR MECHANISMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR OR USING ENERGY SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03G7/00—Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for
- F03G7/06—Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like
- F03G7/065—Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like using a shape memory element
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N10/00—Electric motors using thermal effects
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えば真空プロセス装置のような真空中にお
いて作動されて種々の運動操作を行なうマニピュレータ
、ノ〜ンドリング機構、駆動機構等のような作動装置に
関するものである。
いて作動されて種々の運動操作を行なうマニピュレータ
、ノ〜ンドリング機構、駆動機構等のような作動装置に
関するものである。
真空中の治具や機構等の作動装置への駆動の伝達は一般
に駆動軸をＯリング、ウィルソンシール等の真空シール
を介して直接機械的にカップリングして行なっている。
に駆動軸をＯリング、ウィルソンシール等の真空シール
を介して直接機械的にカップリングして行なっている。
そのため各可動部または摺動部からダストが発生したシ
、また真空シール部は動的シールであるため潤滑の持続
＼シール材の定期的な交換が必要であるだけでなく１真
空漏れの危険があり、さらには大気側の駆動部は真空シ
ール部の摺動抵抗を考慮した出力にする必要がある。ま
た構造的には動的シール部は複雑でしかも精密に構成さ
れるので作動装置が複雑かつかさばυコスト高となりし
かも自由度が小さい欠点があるＯ そこで本発明は、従来の機械的連動結合構造における動
的シールに伴なう上述のような欠点を・形状記憶効果を
もつ合金を利用することによって解決することにあり、
従って本発明の目的は、動的シールを実質的に使用する
必要がなくしかも大気側と真空側との間の密封手段とし
て静的シールを使用でき自由度を大きくできる真空中に
おける作動装置を提供することにある。
、また真空シール部は動的シールであるため潤滑の持続
＼シール材の定期的な交換が必要であるだけでなく１真
空漏れの危険があり、さらには大気側の駆動部は真空シ
ール部の摺動抵抗を考慮した出力にする必要がある。ま
た構造的には動的シール部は複雑でしかも精密に構成さ
れるので作動装置が複雑かつかさばυコスト高となりし
かも自由度が小さい欠点があるＯ そこで本発明は、従来の機械的連動結合構造における動
的シールに伴なう上述のような欠点を・形状記憶効果を
もつ合金を利用することによって解決することにあり、
従って本発明の目的は、動的シールを実質的に使用する
必要がなくしかも大気側と真空側との間の密封手段とし
て静的シールを使用でき自由度を大きくできる真空中に
おける作動装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明による真を中の作動
装置は１真空中で種々の動作を行なうようにされた各可
動Ｓｔ−形状記憶効果をもつ合金で構成し・合金の少な
くとも一方の形状から他方の形状への転移を外部から制
御して可動Ｓを駆動するように構成したことを特徴とし
ている。
装置は１真空中で種々の動作を行なうようにされた各可
動Ｓｔ−形状記憶効果をもつ合金で構成し・合金の少な
くとも一方の形状から他方の形状への転移を外部から制
御して可動Ｓを駆動するように構成したことを特徴とし
ている。
本発明においては、外部からの合金形状の変態の制御は
好ましくは電気的エネルギおよび（または）熱的エネル
ギの供給によって行なわれ得る・また本発明において可
動Ｓｔ構成する合金の形状変化の速度を速めるため必要
ならばばね手段を組み込むことができる・ 作 用 このように構成することによって、作動装置は外部から
機械的運動を導入せずに作動装置ｔ駆動させることがで
き、また構成部材自体が形状変化することによって所望
の動作が行なわれ・シール部の摺動抵抗を伴なうことが
なく、各可動変形部を種々組合せることで大きな自由度
を得ることができる。
好ましくは電気的エネルギおよび（または）熱的エネル
ギの供給によって行なわれ得る・また本発明において可
動Ｓｔ構成する合金の形状変化の速度を速めるため必要
ならばばね手段を組み込むことができる・ 作 用 このように構成することによって、作動装置は外部から
機械的運動を導入せずに作動装置ｔ駆動させることがで
き、また構成部材自体が形状変化することによって所望
の動作が行なわれ・シール部の摺動抵抗を伴なうことが
なく、各可動変形部を種々組合せることで大きな自由度
を得ることができる。
実 施 例
以下添附図面を参照して本発明の幾つかの実施例につい
て説明するが、これは単に例示のためのものであり、本
発明はこれら実施例に限定されるものではない。
て説明するが、これは単に例示のためのものであり、本
発明はこれら実施例に限定されるものではない。
第１．２図には）直線運動用の可動要素を示し、１＼２
は絶縁物から成るハウジングでその中に形状記憶合金製
のコイルばね６が配置されており、その一端は−・ウジ
ング２の端壁で受け他端は絶縁物から成る出力軸４の一
端に設けられた受け部材４ａで受けられている。またノ
ーウジング１の端壁と上記受は部材４ａとの間にはバイ
アスばね５が装着されている。上記出力軸４およびそれ
の受け部材４ａは−ウジングト２内で軸線方向に往復動
できるようにされておシ為そして出力軸４の他端４ｂは
ケーシング１から外力へのびている。コイルばね６の両
端は適当な電源（図示してない）に接続された電流導入
ケーブル６．７に接続されている。また図面において８
はケーブル６を案内する絶縁チューブである。 − このように構成した可動要素の動作においてコイルばね
３に電流を流して加熱した高温時には第１図に示すよう
にコイルばね３はバイアスばね５に抗して出力軸４を上
方へ動かす。そしてコイルばね３への電流をしゃ断して
コイルばね３が低温に変移すると、コイルばね６は収縮
し、出力軸４を下刃へ動かす。この場合バイアスはね５
は応動速度を高めるためコイルばね６の収縮を促進する
ように働く。従ってこのようなバイアスばね５の代りに
コイルばね３に対して冷媒を供給して高温状態から低温
状態への転移時間を短縮させることによっても同様の作
用が得られ得る。このようにして出力軸４の直線往復運
動が得られる。
は絶縁物から成るハウジングでその中に形状記憶合金製
のコイルばね６が配置されており、その一端は−・ウジ
ング２の端壁で受け他端は絶縁物から成る出力軸４の一
端に設けられた受け部材４ａで受けられている。またノ
ーウジング１の端壁と上記受は部材４ａとの間にはバイ
アスばね５が装着されている。上記出力軸４およびそれ
の受け部材４ａは−ウジングト２内で軸線方向に往復動
できるようにされておシ為そして出力軸４の他端４ｂは
ケーシング１から外力へのびている。コイルばね６の両
端は適当な電源（図示してない）に接続された電流導入
ケーブル６．７に接続されている。また図面において８
はケーブル６を案内する絶縁チューブである。 − このように構成した可動要素の動作においてコイルばね
３に電流を流して加熱した高温時には第１図に示すよう
にコイルばね３はバイアスばね５に抗して出力軸４を上
方へ動かす。そしてコイルばね３への電流をしゃ断して
コイルばね３が低温に変移すると、コイルばね６は収縮
し、出力軸４を下刃へ動かす。この場合バイアスはね５
は応動速度を高めるためコイルばね６の収縮を促進する
ように働く。従ってこのようなバイアスばね５の代りに
コイルばね３に対して冷媒を供給して高温状態から低温
状態への転移時間を短縮させることによっても同様の作
用が得られ得る。このようにして出力軸４の直線往復運
動が得られる。
第３．４図には回転式の可動要素の一例を示す。
この可動要素はブラケット９の一端に絶縁物の座１０を
固定し・他端に出力軸１１を回転可能に取付け、座１０
と出力軸１１との間に形状記憶合金製の板ばね１２を装
着して構成されている＠板ばね１２の両端近くには電流
導入ケーブル１３．１４がそれぞれ接続されており、ま
たこの板ばね１２は例えば低温時には平板状の形状を呈
し、高温時にツイストした形状を呈す。従って電流がし
ゃ断されているときは第３図の状態にあり、板はね１２
が電流の導入によって加熱されると第４図に示すように
ツイストして出力軸１１を矢印で示すように回転させる
。この場合も取ばね１２の応答速度を高めるため冷却手
段やバイアス手段を組合 ゛せることかでき、或いは板
ばね１２１Ｃ予じめ応力を加えておいてもよい。
固定し・他端に出力軸１１を回転可能に取付け、座１０
と出力軸１１との間に形状記憶合金製の板ばね１２を装
着して構成されている＠板ばね１２の両端近くには電流
導入ケーブル１３．１４がそれぞれ接続されており、ま
たこの板ばね１２は例えば低温時には平板状の形状を呈
し、高温時にツイストした形状を呈す。従って電流がし
ゃ断されているときは第３図の状態にあり、板はね１２
が電流の導入によって加熱されると第４図に示すように
ツイストして出力軸１１を矢印で示すように回転させる
。この場合も取ばね１２の応答速度を高めるため冷却手
段やバイアス手段を組合 ゛せることかでき、或いは板
ばね１２１Ｃ予じめ応力を加えておいてもよい。
第５図には第１．２図に示す可動要素を利用した作動装
置を基板クランノ臂−として実施した例を示し、各可動
要素１５の出力軸１６には爪１７が取付けられ、基板１
８に対して押え位ｉｔ（実線で示す）と解放位置（一点
鎖線で示す）との間で動くようにされて匹る。各可動要
素１５の電流導入ケーブル（図示してない）は真空容器
の壁に設けた一一一メチックシール等の電流導入真空継
手を通って外部へ導かれる。
置を基板クランノ臂−として実施した例を示し、各可動
要素１５の出力軸１６には爪１７が取付けられ、基板１
８に対して押え位ｉｔ（実線で示す）と解放位置（一点
鎖線で示す）との間で動くようにされて匹る。各可動要
素１５の電流導入ケーブル（図示してない）は真空容器
の壁に設けた一一一メチックシール等の電流導入真空継
手を通って外部へ導かれる。
第６図には、第３．４図に示す回転型可動要素を用いて
モニタシャッタの作動装置に応用した例を示し、作動装
置１９はその出力軸２０に装着されたシャッタ２１をモ
ニタ２２に対して開閉位置に動かすように構成されてい
る。
モニタシャッタの作動装置に応用した例を示し、作動装
置１９はその出力軸２０に装着されたシャッタ２１をモ
ニタ２２に対して開閉位置に動かすように構成されてい
る。
効果
以上説明してきたように本発明による作動装置は外部か
ら機械的伝動機構を用いずに真空クール部から電流や熱
エネルギ等の導入だけで駆動させることができ、シール
部の摺動抵抗無く、シール材の寿命が長くすることがで
き・また可動部を種々に設計することによって所望の操
作を容易に行なわせることができ、真空中における負荷
の移動や操作に広く応用することができる。
ら機械的伝動機構を用いずに真空クール部から電流や熱
エネルギ等の導入だけで駆動させることができ、シール
部の摺動抵抗無く、シール材の寿命が長くすることがで
き・また可動部を種々に設計することによって所望の操
作を容易に行なわせることができ、真空中における負荷
の移動や操作に広く応用することができる。
第１．２図は本発明の作動装置の要部の一実施斜視図、
第５．６図は異なる使用例を示す斜視図である。 図中、３．１２：形状記憶合金製の可動部材、６．７．
１６．１４：電流導入グープル。
第５．６図は異なる使用例を示す斜視図である。 図中、３．１２：形状記憶合金製の可動部材、６．７．
１６．１４：電流導入グープル。
Claims (1)
- 真蛮中で種々の動作を行なう各可動部を形状記憶効果を
もつ合金で構成し、合金の少なくとも一方の形状から他
力の形状への転＃を外部から制御して可動部を駆動する
ように構成したことを特徴とする真空中における作動装
置・
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11653684A JPS60261374A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 真空中における作動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11653684A JPS60261374A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 真空中における作動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60261374A true JPS60261374A (ja) | 1985-12-24 |
Family
ID=14689552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11653684A Pending JPS60261374A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 真空中における作動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60261374A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62128202A (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-10 | Mitsubishi Electric Corp | 副反射鏡駆動装置 |
| JPS6322486A (ja) * | 1986-02-17 | 1988-01-29 | 清水建設株式会社 | 吊り治具及び吊持装置 |
| WO2010069508A1 (de) * | 2008-12-18 | 2010-06-24 | Otto Egelhof Gmbh & Co. Kg | Anordnung zum verstellen eines ventils |
| CN103758718A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-30 | 浙江工业大学 | 利用树干膨胀能量的发电装置 |
-
1984
- 1984-06-08 JP JP11653684A patent/JPS60261374A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62128202A (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-10 | Mitsubishi Electric Corp | 副反射鏡駆動装置 |
| JPS6322486A (ja) * | 1986-02-17 | 1988-01-29 | 清水建設株式会社 | 吊り治具及び吊持装置 |
| WO2010069508A1 (de) * | 2008-12-18 | 2010-06-24 | Otto Egelhof Gmbh & Co. Kg | Anordnung zum verstellen eines ventils |
| JP2012512369A (ja) * | 2008-12-18 | 2012-05-31 | オットー・エゲルホフ・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニ・カーゲー | 弁をシフトさせるための構造体 |
| US9581144B2 (en) | 2008-12-18 | 2017-02-28 | Otto Egelhof Gmbh & Co. Kg | Arrangement for adjusting a valve |
| CN103758718A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-30 | 浙江工业大学 | 利用树干膨胀能量的发电装置 |
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