JPS60261183A - レ−ザ−装置 - Google Patents
レ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS60261183A JPS60261183A JP11737684A JP11737684A JPS60261183A JP S60261183 A JPS60261183 A JP S60261183A JP 11737684 A JP11737684 A JP 11737684A JP 11737684 A JP11737684 A JP 11737684A JP S60261183 A JPS60261183 A JP S60261183A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- output
- laser light
- detector
- reflecting plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技皇公夏
本発明は医療及び工業加工用に使用されるレーザー装置
に関し、特にレーザー光の出力を測定するパワーモニタ
ー系を備えたレーザー装置に関するもので゛ある。
に関し、特にレーザー光の出力を測定するパワーモニタ
ー系を備えたレーザー装置に関するもので゛ある。
従来韮譜ｉｆｆ恵
レーザー装置において、従来、レーザー発振器より出射
されるレーザー光の出力検出の為に、ビームスプリッタ
−を用いてレーザー光の一部を出力検出器に導き、この
出力検出器の値から前記レーザー発振器より出射された
レーザー光全体の出力を測定するパワーモニター系が提
案されている。
されるレーザー光の出力検出の為に、ビームスプリッタ
−を用いてレーザー光の一部を出力検出器に導き、この
出力検出器の値から前記レーザー発振器より出射された
レーザー光全体の出力を測定するパワーモニター系が提
案されている。
上記の様なパワーモニター系を採用する事により、レー
ザー装置本来の機能、例えば医療用装置に、おける組織
の切開、工業用装置における材料の切断等を行いながら
レーザー光の出力測定が可能となる。
ザー装置本来の機能、例えば医療用装置に、おける組織
の切開、工業用装置における材料の切断等を行いながら
レーザー光の出力測定が可能となる。
しかしながら、従来のパワーモニター系においては、レ
ーザー光の偏光状態の変化によるビームスプリッターの
反射率の変動を考慮せず、１つの反射面からの反射光の
みを使用してパワーモニターを行う構成になっていた為
、レーザー光の偏光状態が変化した場合、ビームスプリ
ッタ−による反射率が変化してしまい、レーザー光の出
力測定の精度を低下させるという欠点を有していた。
ーザー光の偏光状態の変化によるビームスプリッターの
反射率の変動を考慮せず、１つの反射面からの反射光の
みを使用してパワーモニターを行う構成になっていた為
、レーザー光の偏光状態が変化した場合、ビームスプリ
ッタ−による反射率が変化してしまい、レーザー光の出
力測定の精度を低下させるという欠点を有していた。
発明の目的
本発明は上述の点に鑑みてなされたものであり、レーザ
ー光の偏光状態に変化があったとしても、その影響をで
きる限り小さくする様なパワーモニター系を備えたレー
ザー装置を提供する事を目的とする。
ー光の偏光状態に変化があったとしても、その影響をで
きる限り小さくする様なパワーモニター系を備えたレー
ザー装置を提供する事を目的とする。
去１側ｍ腹
以下、図面に基づいて本発明を説明する。
第１図は本発明に係る一実施例の斜視図であり。
第２図は第１図で示す実施例のレーザー光線の進み方を
示す光路図であり、（Ａ）はその側面図、（Ｂ）はその
平面図である。尚１本実施１、例においてはレーザー発
振器としてＹＡＧレーザーを使用している。
示す光路図であり、（Ａ）はその側面図、（Ｂ）はその
平面図である。尚１本実施１、例においてはレーザー発
振器としてＹＡＧレーザーを使用している。
共振器ジャケット１の内部にはレーザー媒質であるＹＡ
Ｇロッド（図示せず）と励起用ランプ２が取り付けられ
、該励起用ランプ２の両端には図示しないレーザー電源
からの電圧印加用リード線３が接続されている。さらに
ＹＡＧロッド軸上。
Ｇロッド（図示せず）と励起用ランプ２が取り付けられ
、該励起用ランプ２の両端には図示しないレーザー電源
からの電圧印加用リード線３が接続されている。さらに
ＹＡＧロッド軸上。
共振器ジャケット１の外部に全反射鏡４及び部分反射鏡
５が配置されている。以上のＹＡＧレーザー発振器の構
成は公知の事実であり、レーザー発振機構についての説
明は省略する。
５が配置されている。以上のＹＡＧレーザー発振器の構
成は公知の事実であり、レーザー発振機構についての説
明は省略する。
前記部分反射鏡５より出射されたレーザー光６の光軸上
には、レーザー反射光６ａが略水平方向に進む様に（第
２図（Ｂ）参照）、ガラス製第１反射板７が第１反射板
取付は台８に固着配置されている。第ル−ザー出力検出
器９は、前記レーザー反射光６ａを検出する為にその光
路中に配置され、第１検出器取付は台１０に固定設置さ
れる。
には、レーザー反射光６ａが略水平方向に進む様に（第
２図（Ｂ）参照）、ガラス製第１反射板７が第１反射板
取付は台８に固着配置されている。第ル−ザー出力検出
器９は、前記レーザー反射光６ａを検出する為にその光
路中に配置され、第１検出器取付は台１０に固定設置さ
れる。
また、レーザー光６の光軸上前記第１反射板７の前方に
、ガラス製第２反射板１１が、レーザー光の反射角が前
記第１反射板とほぼ同じ４５°で反射方向が約９０°異
なる垂直方向となる様（第２図（Ａ）参照）、第２反射
板取付は台１２に固χｆ配置されている。さらに第２レ
ーザー出力検出器１３が、前記第２レーザー反射板１１
からの反射光６ｂを検出する為にその光路中、第２検出
器取付は台１５に固定設置されている。第ル−ザー出力
検出器９には信号引き出し線９ａ、第２レーザー出力検
出器１１には信号引き出し線１１ａがそれぞれ楚続され
ご信号処理回路１４につながれている。
、ガラス製第２反射板１１が、レーザー光の反射角が前
記第１反射板とほぼ同じ４５°で反射方向が約９０°異
なる垂直方向となる様（第２図（Ａ）参照）、第２反射
板取付は台１２に固χｆ配置されている。さらに第２レ
ーザー出力検出器１３が、前記第２レーザー反射板１１
からの反射光６ｂを検出する為にその光路中、第２検出
器取付は台１５に固定設置されている。第ル−ザー出力
検出器９には信号引き出し線９ａ、第２レーザー出力検
出器１１には信号引き出し線１１ａがそれぞれ楚続され
ご信号処理回路１４につながれている。
ス】Ｕ殊９ｊす１
共振器より出射されたレーザ・−光６を第１反射板７に
よりそ９１部を分光し、第ル−サー出力検出器９へ入射
させる。第ル−ザー出力検出器９からは、入射レーザー
光の強度に比例した出力値ｖ１が出力される。さらに第
１反射板７を透過したレーザー光６を第２反射板１１に
よりその１部を分光し、第２レーザー出力検出器１３へ
入射させる。第２レーザー出力検出器１３からは入射レ
ーザー光の強度に比例した出力値ｖ２が出力される。各
出力値ｖｔ 、Ｖ２は信号処理回路１４へ入力され、ｖ
、 十Ｖ２という値として信号処理回路１４より出力さ
れ、この値がレーザー光６の全出力に比例する事により
、レーザー出力を精度良くモニターする事ができる。
よりそ９１部を分光し、第ル−サー出力検出器９へ入射
させる。第ル−ザー出力検出器９からは、入射レーザー
光の強度に比例した出力値ｖ１が出力される。さらに第
１反射板７を透過したレーザー光６を第２反射板１１に
よりその１部を分光し、第２レーザー出力検出器１３へ
入射させる。第２レーザー出力検出器１３からは入射レ
ーザー光の強度に比例した出力値ｖ２が出力される。各
出力値ｖｔ 、Ｖ２は信号処理回路１４へ入力され、ｖ
、 十Ｖ２という値として信号処理回路１４より出力さ
れ、この値がレーザー光６の全出力に比例する事により
、レーザー出力を精度良くモニターする事ができる。
では次に、なぜこの構成によりレーザー光の偏光状態が
変化した場合でも、正確な出力モニターが行えるかを説
明する。今、レーザー光６が部分偏光しており、第１反
射板７に対してＳ偏光、Ｐ偏光となる偏光成分の比をχ
：１−χとする（０≦χ≦１）。第１反射板７のレーザ
ー光反射角におけるＳ偏光成分、Ｐ偏光成分の反射率を
それぞれＡ、Ｂ、レーザー光６の強度を１と仮定する。
変化した場合でも、正確な出力モニターが行えるかを説
明する。今、レーザー光６が部分偏光しており、第１反
射板７に対してＳ偏光、Ｐ偏光となる偏光成分の比をχ
：１−χとする（０≦χ≦１）。第１反射板７のレーザ
ー光反射角におけるＳ偏光成分、Ｐ偏光成分の反射率を
それぞれＡ、Ｂ、レーザー光６の強度を１と仮定する。
この時、第１反射板７により反射されるレーザー光６ａ
の強度Ｉ、は １１＝Ａχ十Ｂ（１−χ） 自・・・・・（１）となる
。
の強度Ｉ、は １１＝Ａχ十Ｂ（１−χ） 自・・・・・（１）となる
。
さらに第２反射板１１においては、レーザー光の反射面
が第１反射板７に対して９０°回転している為、第１反
射板７にとってＳ偏光成分はＰ偏光成分に、Ｐ偏光成分
はＳ偏光成分となる。従って第２反射板１１により反射
されるレーザー光６ｂの強度工２は ｌ２＝Ｂχ（１−Ａ）＋Ａ（１−χ）（１−Ｂ） ・・
・・（２）となる。各検出器からの出力は各々Ｉ、及び
■２に比例する。よって雨検出器からの出力値を加え合
せた物は１１＋Ｉ、に比例する。
が第１反射板７に対して９０°回転している為、第１反
射板７にとってＳ偏光成分はＰ偏光成分に、Ｐ偏光成分
はＳ偏光成分となる。従って第２反射板１１により反射
されるレーザー光６ｂの強度工２は ｌ２＝Ｂχ（１−Ａ）＋Ａ（１−χ）（１−Ｂ） ・・
・・（２）となる。各検出器からの出力は各々Ｉ、及び
■２に比例する。よって雨検出器からの出力値を加え合
せた物は１１＋Ｉ、に比例する。
（１）、（２）より
Ｉ、＋：ｔ２＝Ａχ＋Ｂ−８χ＋Ｂχ−ＡＢχ＋Ａ−Ａ
Ｂ−Ａχ＋ＡＢχ ＝Ａ＋Ｂ−ＡＢ ・・・・・・・・・（３）となる。す
なわち、トータルの反射強度はレーザー光の偏光成分の
割合χによらない為、レーザー光の偏光状態にかかわら
ず一定の反射強度を得る事ができる。従って信号処理回
路１４がらの出力により全出力をモニターする事が可能
となる。
Ｂ−Ａχ＋ＡＢχ ＝Ａ＋Ｂ−ＡＢ ・・・・・・・・・（３）となる。す
なわち、トータルの反射強度はレーザー光の偏光成分の
割合χによらない為、レーザー光の偏光状態にかかわら
ず一定の反射強度を得る事ができる。従って信号処理回
路１４がらの出力により全出力をモニターする事が可能
となる。
見朝■羞來
以上の様に本発明によれば、し゛−ザー光の偏光状態が
レーザー出力の変化あるいは発振器の経時変化等により
変化した場合でも、ビームスプリッタ−としてのレーザ
ー反射率がトータルで一定となり、精度の良いパワーモ
ニターを得る事ができる。又、出力検知器の感度と反射
板のＳ偏光とＰ偏光の反射率が既知であれば、偏光状態
の不明なレーザー光の出力も正確にモニターする事がで
きる。この様に精度の良いパワーモニターができれば、
そのモニター値を利用し、レーザー発振器へ帰環をかけ
てより出力の安定したレーザー装置を得る事ができる。
レーザー出力の変化あるいは発振器の経時変化等により
変化した場合でも、ビームスプリッタ−としてのレーザ
ー反射率がトータルで一定となり、精度の良いパワーモ
ニターを得る事ができる。又、出力検知器の感度と反射
板のＳ偏光とＰ偏光の反射率が既知であれば、偏光状態
の不明なレーザー光の出力も正確にモニターする事がで
きる。この様に精度の良いパワーモニターができれば、
そのモニター値を利用し、レーザー発振器へ帰環をかけ
てより出力の安定したレーザー装置を得る事ができる。
更に、本発明は、レーザー発振器の種類によらず、応用
する事が可能である。尚、Ｅ記実施例においては、２つ
の反射面を得る為、２枚の反射板を使用した物について
説明したが、これに限るものではなく、複数個のガラス
製プリズムを貼り合せた物等においても、同様の効果を
得る事ができるのは勿論である。
する事が可能である。尚、Ｅ記実施例においては、２つ
の反射面を得る為、２枚の反射板を使用した物について
説明したが、これに限るものではなく、複数個のガラス
製プリズムを貼り合せた物等においても、同様の効果を
得る事ができるのは勿論である。
第１図は本発明の一実施例の斜視図である。第２図は第
１図で示した実施例のレーザー光線の進み方を示す光路
図であり、（Ａ）はその側面図、ＣＢ）はその平面図で
ある。 ６・・・レーザー光 ７・・・第１反射板 ９・・・第ル−ザー出力検出器 １１・・・第２反射板 １３・・・第２レーザー出力検出器 １４・・・信号処理回路 特許出願人 旭光学工業株式会社 系１面 （ δ−
１図で示した実施例のレーザー光線の進み方を示す光路
図であり、（Ａ）はその側面図、ＣＢ）はその平面図で
ある。 ６・・・レーザー光 ７・・・第１反射板 ９・・・第ル−ザー出力検出器 １１・・・第２反射板 １３・・・第２レーザー出力検出器 １４・・・信号処理回路 特許出願人 旭光学工業株式会社 系１面 （ δ−
Claims (1)
- レーザー発振器と、該発振器から出射されたレーザー光
の光路中に配置され該レーザー光の一部を分光してレー
ザー出力検出器に導くビームスプリッタ−とを具備し、
前記レーザー出力検出器の出力から前記レーザー発振器
より出射されたレーザー光の全出力をモニターするレー
ザー装置において、前記ビームスプリッタ−がレーザー
光路中の引続いた少なくとも２つの反射面を備え、該反
射面は反射角が略等しくかつ反射方向が略９０６異なっ
て設置され、前記レーザー光出力検出器へ反射光を導き
該レーザー光出力検出器からの出力値を加え合せる事に
より、前記レーザー発振器より出射されたレーザーの出
力をモニターする事を特徴とするレーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11737684A JPS60261183A (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11737684A JPS60261183A (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | レ−ザ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60261183A true JPS60261183A (ja) | 1985-12-24 |
Family
ID=14710115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11737684A Pending JPS60261183A (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60261183A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006129757A1 (ja) * | 2005-06-02 | 2009-01-08 | エスティーシー株式会社 | 半導体レーザ励起固体レーザ制御装置、及びこれを備えた半導体レーザ励起固体レーザ装置、並びにこれを備えた画像形成装置 |
| WO2020026600A1 (ja) * | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザエネルギ測定装置、およびレーザエネルギ測定方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5497082A (en) * | 1978-01-17 | 1979-07-31 | Mitsubishi Electric Corp | Intensity detector of laser beam |
| JPS58119688A (ja) * | 1982-01-11 | 1983-07-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ出力検知装置 |
-
1984
- 1984-06-07 JP JP11737684A patent/JPS60261183A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5497082A (en) * | 1978-01-17 | 1979-07-31 | Mitsubishi Electric Corp | Intensity detector of laser beam |
| JPS58119688A (ja) * | 1982-01-11 | 1983-07-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ出力検知装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006129757A1 (ja) * | 2005-06-02 | 2009-01-08 | エスティーシー株式会社 | 半導体レーザ励起固体レーザ制御装置、及びこれを備えた半導体レーザ励起固体レーザ装置、並びにこれを備えた画像形成装置 |
| US7830931B2 (en) | 2005-06-02 | 2010-11-09 | Stc Inc. | Semiconductor laser excitation solid laser device and an image formation device having the same |
| WO2020026600A1 (ja) * | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザエネルギ測定装置、およびレーザエネルギ測定方法 |
| JP2020020610A (ja) * | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザエネルギ測定装置、およびレーザエネルギ測定方法 |
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