JPS6026099Y2 - プラズマ重合装置の内部電極構造 - Google Patents
プラズマ重合装置の内部電極構造Info
- Publication number
- JPS6026099Y2 JPS6026099Y2 JP1333483U JP1333483U JPS6026099Y2 JP S6026099 Y2 JPS6026099 Y2 JP S6026099Y2 JP 1333483 U JP1333483 U JP 1333483U JP 1333483 U JP1333483 U JP 1333483U JP S6026099 Y2 JPS6026099 Y2 JP S6026099Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- plasma polymerization
- electrode structure
- internal electrode
- polymerization equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この考案はプラズマ重合装置の内部電極構造に関する。
（ロ）従来技術
グロー放電開始後、電極板はプラズマにたたかれるため
、その温度が上昇する。
、その温度が上昇する。
これに伴い放電電流及び放電電圧が変化するので、結局
電極板が飽和温度に達するまでの間、放電負荷が一定し
ないことになる。
電極板が飽和温度に達するまでの間、放電負荷が一定し
ないことになる。
安定した重合反応を得ようとすれば、放電負荷が一定し
ている必要があるので、電極板が飽和温度に達するまで
の時間は短い方が望ましい。
ている必要があるので、電極板が飽和温度に達するまで
の時間は短い方が望ましい。
しかしながら、従来装置の電極構造は、比較的厚い電極
板をマグネット固定プレートに直接又は熱伝導カラーを
介して取り付けるものであるので、電極板の熱容量が大
きい。
板をマグネット固定プレートに直接又は熱伝導カラーを
介して取り付けるものであるので、電極板の熱容量が大
きい。
そのため、電極板が飽和温度に達するまでに長時間を要
し、その間安定した重合反応を得られないという欠点が
ある。
し、その間安定した重合反応を得られないという欠点が
ある。
（ハ）目的
この考案は、電極板が飽和温度に達するまでの時間が短
い、プラズマ重合装置の内部電極構造を提供することを
目的としている。
い、プラズマ重合装置の内部電極構造を提供することを
目的としている。
に）構成
この考案に係るプラズマ重合装置の内部電極構造を、実
施例の装置の図番を付して説明すると、薄板電極２をマ
グネット固定プレート１に断熱カラー３を介して取り付
けることにより、薄板電極２の熱容量を小さくしたこと
を特徴としている。
施例の装置の図番を付して説明すると、薄板電極２をマ
グネット固定プレート１に断熱カラー３を介して取り付
けることにより、薄板電極２の熱容量を小さくしたこと
を特徴としている。
（ホ）実施例
第１図はこの考案に係るプラズマ重合装置の電極構造の
実施例を示すす解体斜視図、第２図は実施例に係る電極
の平面図、第３図はその正面図である。
実施例を示すす解体斜視図、第２図は実施例に係る電極
の平面図、第３図はその正面図である。
第１図・・・第３図において、１は磁性体よりなる２個
の分離されたマグネット固定プレートであり、その表面
には長手方向に沿って複数の係止片が所定間隔で形成さ
れている。
の分離されたマグネット固定プレートであり、その表面
には長手方向に沿って複数の係止片が所定間隔で形成さ
れている。
このマグネット固定プレートは、例えばステンレス鋼な
どの非磁性材料よりなる薄板電極２の背面に例えばセラ
ミック等からなる断熱カラー３を介在させて取り付けら
れる。
どの非磁性材料よりなる薄板電極２の背面に例えばセラ
ミック等からなる断熱カラー３を介在させて取り付けら
れる。
薄板電極２は熱容量を小さくするために、その板厚を０
．５〜１．０ｍｍ程度とする。
．５〜１．０ｍｍ程度とする。
薄板電極２の表面に突起物が出ないようにするために、
前記マグネット固定プレートとの取り付けは、裏面の４
カ所に設けられたスタッドボルトにより行われる。
前記マグネット固定プレートとの取り付けは、裏面の４
カ所に設けられたスタッドボルトにより行われる。
一方、マグネット固定プレート１の係止片によって形成
される間隙には、棒状マグネット４を極性がそろうよう
に嵌め込まれる。
される間隙には、棒状マグネット４を極性がそろうよう
に嵌め込まれる。
どの間隙に棒状マグネット４を嵌め込むかは、重合条件
との関連で適宜に定められる。
との関連で適宜に定められる。
そして、前記棒状マグネット４を覆うようにマグネット
カバー５を取り付け、棒状マグネット４を保持する。
カバー５を取り付け、棒状マグネット４を保持する。
このマグネットカバー５には高周波電力を供給するリー
ド線６が接続されている。
ド線６が接続されている。
上述したマグネット固定プレート１、薄板電極２、棒状
マグネット４、マグネットカバー５等は電極本体１０を
構成している。
マグネット４、マグネットカバー５等は電極本体１０を
構成している。
電極本体１０は絶縁パイプ９を介して、′ＬＪの字形状
の電極サポート７に取り付けされる。
の電極サポート７に取り付けされる。
この電極サポート７の底部には、電極間距離スケール８
が設けられる。
が設けられる。
かかるプラズマ重合装置の電極は、第２図及び第３図に
示すように所定間隔を隔てて、薄板電極２が対向するよ
うに、真空チャンバ内に設置される。
示すように所定間隔を隔てて、薄板電極２が対向するよ
うに、真空チャンバ内に設置される。
そして、両電極の中間部には図示しない被処理材料が保
持される。
持される。
次にこの実施例の作動状態を説明する。
リード線６を介して電極本体１０に高周波電力が供給さ
れると、供給電力の極性変化に応じて、両薄板電極２，
２間でグ冶−放電が生ずる。
れると、供給電力の極性変化に応じて、両薄板電極２，
２間でグ冶−放電が生ずる。
このとき、電極間には第２図に矢印Ｈで示すような磁場
を生じているので、電子やイオン等がこの磁束にそって
ピンチされ、電極間に保持された被処理材料に高分子膜
が形成される。
を生じているので、電子やイオン等がこの磁束にそって
ピンチされ、電極間に保持された被処理材料に高分子膜
が形成される。
（へ）効果
この考案に係るプラズマ重合装置の内部電極構造は、薄
板電極をマグネット固定プレートに断熱カラーを介して
取り付けたことを特徴としているので、前記電極が飽和
温度に達するまでの時間を短くすることができる。
板電極をマグネット固定プレートに断熱カラーを介して
取り付けたことを特徴としているので、前記電極が飽和
温度に達するまでの時間を短くすることができる。
従って、この考案によれば、安定した重合反応を早く得
ることができる。
ることができる。
第１図はこの考案に係るプラズマ重合装置の電極構造の
実施例を示す解体斜視図、第２図は実施例に係る電極の
平面図、第３図はその正面図である。 １・・・・・・マグネット固定プレート、２・・・・・
・薄板電極、３・・・・・・断熱カラー ４・・・・・
・棒状マグネット、５・・・・・・マグネットカバー、
６・・・・・・リード線、７・・・・・・電極サポート
、８・・・・・・電極間距離スケール、９・・・・・・
絶縁パイプ、１０・・・・・・電極本体。
実施例を示す解体斜視図、第２図は実施例に係る電極の
平面図、第３図はその正面図である。 １・・・・・・マグネット固定プレート、２・・・・・
・薄板電極、３・・・・・・断熱カラー ４・・・・・
・棒状マグネット、５・・・・・・マグネットカバー、
６・・・・・・リード線、７・・・・・・電極サポート
、８・・・・・・電極間距離スケール、９・・・・・・
絶縁パイプ、１０・・・・・・電極本体。
Claims (1)
- 薄板電極をマグネット固定プレートに断熱カラーを介し
て取り付けたことを特徴とするプラズマ重合装置の内部
電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1333483U JPS6026099Y2 (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | プラズマ重合装置の内部電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1333483U JPS6026099Y2 (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | プラズマ重合装置の内部電極構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59117643U JPS59117643U (ja) | 1984-08-08 |
| JPS6026099Y2 true JPS6026099Y2 (ja) | 1985-08-06 |
Family
ID=30144724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1333483U Expired JPS6026099Y2 (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | プラズマ重合装置の内部電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6026099Y2 (ja) |
-
1983
- 1983-01-31 JP JP1333483U patent/JPS6026099Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59117643U (ja) | 1984-08-08 |
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