JPS60249155A - 光導電部材 - Google Patents
光導電部材Info
- Publication number
- JPS60249155A JPS60249155A JP59104667A JP10466784A JPS60249155A JP S60249155 A JPS60249155 A JP S60249155A JP 59104667 A JP59104667 A JP 59104667A JP 10466784 A JP10466784 A JP 10466784A JP S60249155 A JPS60249155 A JP S60249155A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon
- surface protecting
- protecting layer
- layer
- photoconductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/14—Inert intermediate or cover layers for charge-receiving layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は光導電部材に関し、更に詳しくは、機械的強度
が大きい表面保護層を有し、もって使用寿命が大幅に改
善された光導電部材に関する。
が大きい表面保護層を有し、もって使用寿命が大幅に改
善された光導電部材に関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
従来からの光導電部材としては、■導電性支持体の上に
Cd5若しくはZnOを有機質のバインダーと共に焼結
したちの;■導電性支持体の上にSe若しくは5e−T
e系を蒸着したもの又はプラズマグロー放電反応によっ
て非晶質シリコン(以下、a−3iと記す)の膜を形成
したもの;■ポリビニルカルバソール若しくはトリニト
ロフルオレンのような有機感光体材料を導電性支持体の
上に塗布したもの;などが知られており、既にこれらは
製品として市場にでまわっている。
Cd5若しくはZnOを有機質のバインダーと共に焼結
したちの;■導電性支持体の上にSe若しくは5e−T
e系を蒸着したもの又はプラズマグロー放電反応によっ
て非晶質シリコン(以下、a−3iと記す)の膜を形成
したもの;■ポリビニルカルバソール若しくはトリニト
ロフルオレンのような有機感光体材料を導電性支持体の
上に塗布したもの;などが知られており、既にこれらは
製品として市場にでまわっている。
しかしながら、これら従来の光導電部材における共通し
た問題点は、表面摩耗に基づく耐用寿命の問題である。
た問題点は、表面摩耗に基づく耐用寿命の問題である。
例えば、前述した、■、■の光導電部材はその表面硬度
が基本的には小さく軟らかいので長い耐用寿命は望めな
い。また、■のうち、Se、Teで光増感したものも、
その表面硬度がウィッカース硬さで数十(Hマ)程度で
ありあまり、硬いとはいえない。しかし、■のうち、a
−8i膜を有するものは、そのHマが約1000であっ
て、その機械的強度は大である。
が基本的には小さく軟らかいので長い耐用寿命は望めな
い。また、■のうち、Se、Teで光増感したものも、
その表面硬度がウィッカース硬さで数十(Hマ)程度で
ありあまり、硬いとはいえない。しかし、■のうち、a
−8i膜を有するものは、そのHマが約1000であっ
て、その機械的強度は大である。
一般に、感光体材料は、電子写真複写機やレーザダイオ
ードプリンタ用の感光体のように、カールソン方式を適
用する限り、該感光体の表面は常時摩擦されていてその
表面変質が避けがたい。そのため、例えば、レーザダイ
オードプリンタの様にメンテナンスフリーで、かつ、
100万枚以上の印写連続運転に供した場合、そのよう
な過酷な条件に耐え得るような感光体はいまだ開発され
ていない。
ードプリンタ用の感光体のように、カールソン方式を適
用する限り、該感光体の表面は常時摩擦されていてその
表面変質が避けがたい。そのため、例えば、レーザダイ
オードプリンタの様にメンテナンスフリーで、かつ、
100万枚以上の印写連続運転に供した場合、そのよう
な過酷な条件に耐え得るような感光体はいまだ開発され
ていない。
a−8iMの場合、その耐摩耗性が良好であることによ
り、他の感光体材料の場合よりも長寿命であり、約lO
万枚まではメンテナンスフリーで印写連続運転が可能で
あるが、目標を 100万枚と置いたときその特性は未
だ不充分である。
り、他の感光体材料の場合よりも長寿命であり、約lO
万枚まではメンテナンスフリーで印写連続運転が可能で
あるが、目標を 100万枚と置いたときその特性は未
だ不充分である。
このため、a−9iの光導電層の上に、例えば、シリコ
ン窒化膜、シリコン酸化膜、シリコン炭化膜のような薄
膜を表面保護層としてプラズマグロー放電反応によって
形成して長寿命化を企てることが試みられているが、し
かし、それもいまだ充・分とはいいがたいのが現状であ
る。
ン窒化膜、シリコン酸化膜、シリコン炭化膜のような薄
膜を表面保護層としてプラズマグロー放電反応によって
形成して長寿命化を企てることが試みられているが、し
かし、それもいまだ充・分とはいいがたいのが現状であ
る。
したがって、耐摩耗性が一層優れた表面保護層を備えた
光導電部材への要望は非常に高まっている。
光導電部材への要望は非常に高まっている。
[発明の目的]
本発明は、上記した要望に応え、耐摩耗性が優れた表面
保護層を備え、したがって耐用寿命が改善された光導電
部材の提供を目的とする。
保護層を備え、したがって耐用寿命が改善された光導電
部材の提供を目的とする。
[発明の概要]
本発明の光導電部材は、光導電層の上に表面保護層を有
する光導電部材において、該表面保護層が、無定形炭素
又は硬質炭素から成る層であることを特徴とする。
する光導電部材において、該表面保護層が、無定形炭素
又は硬質炭素から成る層であることを特徴とする。
本発明の表面保護層を構成する無定形炭素又は硬質炭素
は、いわゆる黒鉛結晶が成長していない組織の炭素であ
る0例えば、ダイヤモンド状構造の炭素、熱分解炭素、
i−カーボンと指称されるようなものである。
は、いわゆる黒鉛結晶が成長していない組織の炭素であ
る0例えば、ダイヤモンド状構造の炭素、熱分解炭素、
i−カーボンと指称されるようなものである。
層の厚みは0.05〜5ILm程度でよく、あまり薄い
と表面保護層としての機能低下をきたし、逆にあまり厚
いと感光体活性自体に悪影響を及ぼすなどの問題が生ず
る。
と表面保護層としての機能低下をきたし、逆にあまり厚
いと感光体活性自体に悪影響を及ぼすなどの問題が生ず
る。
このような表面保護層は次のようにして形成することが
できる。すなわち、プラズマ放電反応を利用する化学蒸
着法(C:VD法)により、常法に従って、導電性支持
体(例えば、アルミニウム板又は ゛トラム)の上に障
壁層、光導電層をこの順序で積層形成したのち、反応系
を例えばメタン、アセチレンなどの炭化水素に切換え、
所定の圧力、温度で所定時間反応を進め、該光導電層表
面に無定形炭素、硬質炭素を沈着せしめて層形成する方
法である。
できる。すなわち、プラズマ放電反応を利用する化学蒸
着法(C:VD法)により、常法に従って、導電性支持
体(例えば、アルミニウム板又は ゛トラム)の上に障
壁層、光導電層をこの順序で積層形成したのち、反応系
を例えばメタン、アセチレンなどの炭化水素に切換え、
所定の圧力、温度で所定時間反応を進め、該光導電層表
面に無定形炭素、硬質炭素を沈着せしめて層形成する方
法である。
このとき、ガス圧は0.01− I Torr 、温度
15o〜400℃の条件下で成膜操作をすることが好
適である。
15o〜400℃の条件下で成膜操作をすることが好
適である。
[発明の実施例]
1 。
アルミニウム製のドラムをプラズマグロー放電反応装置
内にセットし、高周波電力3oowでドラムを280℃
に高周波加熱した。
内にセットし、高周波電力3oowでドラムを280℃
に高周波加熱した。
ついで、ジポラン(B2)16)/シラン(S + H
a )の注入容積比I X 10’ 、 メタン(G)
l )/ S、+Haノ注入容積比lとなるように各成
分ガスを装置に流入し、反応圧を2Torrに維持して
10分間反応を継続せしめた(障I!層の形成)、つい
でこのまま15分間放置してから、ここにB H/ S
+Ha=I X 10−’の注入B 容積比で2成分ガスを流入し45分開成膜操作を行なっ
た(光導電層の形成)。
a )の注入容積比I X 10’ 、 メタン(G)
l )/ S、+Haノ注入容積比lとなるように各成
分ガスを装置に流入し、反応圧を2Torrに維持して
10分間反応を継続せしめた(障I!層の形成)、つい
でこのまま15分間放置してから、ここにB H/ S
+Ha=I X 10−’の注入B 容積比で2成分ガスを流入し45分開成膜操作を行なっ
た(光導電層の形成)。
ついで、このまま10分間放置してから、S r )l
4゜B2H6のガス供給を絶ち、CH4のみを、流量
100m文/winで流入して反応圧をl Torrに
維持し5分間成膜操作を行なった(表面保護層の形成)
。
4゜B2H6のガス供給を絶ち、CH4のみを、流量
100m文/winで流入して反応圧をl Torrに
維持し5分間成膜操作を行なった(表面保護層の形成)
。
約0.5gmの表面保護層が形成され、これは無定形炭
素であることがX線回折分析から判明した。
素であることがX線回折分析から判明した。
つぎに、このドラムをLDプリンタに実装して寿命試験
を行なったところ、 100万枚の連続印写後の感光体
特性の変動はほとんど認められなかった。
を行なったところ、 100万枚の連続印写後の感光体
特性の変動はほとんど認められなかった。
100万枚印写後の主要特性を初期特性(カッコ内)と
比較して以下に示す。
比較して以下に示す。
表面受容電位 500V (510V)暗減衰率15秒
で26% (同25%)半減露光量 0.81ux−s
ec (0,61ux−sec)残留電位15V (1
2V) 実施例2 光導電層の形成までの操作は実施例1と同様に行なった
。その後、10分間放置してから、5i)l、 、 B
2O,の供給を絶ち、代りにエチレンのみを流量100
1愛/winで流入し1反応圧をl Torrに維持し
、ドラム温度280℃のまま高周波電力を400Wに高
めて5分間プラズマグロー反応を行なった。厚みlpm
の無定形炭素の層が形成された。
で26% (同25%)半減露光量 0.81ux−s
ec (0,61ux−sec)残留電位15V (1
2V) 実施例2 光導電層の形成までの操作は実施例1と同様に行なった
。その後、10分間放置してから、5i)l、 、 B
2O,の供給を絶ち、代りにエチレンのみを流量100
1愛/winで流入し1反応圧をl Torrに維持し
、ドラム温度280℃のまま高周波電力を400Wに高
めて5分間プラズマグロー反応を行なった。厚みlpm
の無定形炭素の層が形成された。
得られたドラムを実施例1と同様にLDプリンタに実装
して寿命試験を行なった。 100万枚印写後の感光体
特性は以下のとおりであった。
して寿命試験を行なった。 100万枚印写後の感光体
特性は以下のとおりであった。
表面受容電位 500V (510V)暗減衰率15秒
で27% (同25%)半減露光量 0.71ui、s
ec (0,81ux・5ec)残留電位18V (1
2V) [発明の効果] 以上の説明で明らかなように、本発明の光導電部材は、
その表面保護層の機械的強度、とりわけ硬度が高いので
耐摩耗性に優れ、その耐用寿命が著しく延び、従来問題
とされていた印写連続運転の枚数を大幅に増加せしめる
ことを可能としてその工業的価値は大である。
で27% (同25%)半減露光量 0.71ui、s
ec (0,81ux・5ec)残留電位18V (1
2V) [発明の効果] 以上の説明で明らかなように、本発明の光導電部材は、
その表面保護層の機械的強度、とりわけ硬度が高いので
耐摩耗性に優れ、その耐用寿命が著しく延び、従来問題
とされていた印写連続運転の枚数を大幅に増加せしめる
ことを可能としてその工業的価値は大である。
Claims (1)
- 光導電層の上に表面保護層を有する光導電部材において
、該表面保護層が、無定形炭素界は硬質炭素から成る層
であることを特徴とする光導電部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59104667A JPS60249155A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 光導電部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59104667A JPS60249155A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 光導電部材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60249155A true JPS60249155A (ja) | 1985-12-09 |
Family
ID=14386812
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59104667A Pending JPS60249155A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 光導電部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60249155A (ja) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6315257A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
JPS6315255A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
JPS6315256A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
JPS6346467A (ja) * | 1986-08-14 | 1988-02-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真用感光体 |
US4797338A (en) * | 1986-09-16 | 1989-01-10 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member comprising charge generating layer and charge transporting layer |
US4801515A (en) * | 1986-07-08 | 1989-01-31 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an overcoat layer |
US4851313A (en) * | 1986-06-10 | 1989-07-25 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member comprising charge generating layer and charge transporting layer and process for preparing same |
US4868076A (en) * | 1986-09-26 | 1989-09-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member comprising charge generating layer and charge transporting layer |
US4871632A (en) * | 1986-09-26 | 1989-10-03 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member comprising charge generating layer and charge transporting layer |
US4882256A (en) * | 1986-10-14 | 1989-11-21 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an overcoat layer comprising amorphous carbon |
US4886724A (en) * | 1987-03-09 | 1989-12-12 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an overcoat layer and process for manufacturing the same |
US4891291A (en) * | 1987-03-09 | 1990-01-02 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an amorphous carbon overcoat layer |
US4906544A (en) * | 1986-03-20 | 1990-03-06 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member of plasma polymerized amorphous carbon charge transporting layer and charge generating layer |
US4939056A (en) * | 1987-09-25 | 1990-07-03 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member |
US4965156A (en) * | 1988-03-07 | 1990-10-23 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an overcoat layer and process for manufacturing the same |
US4994337A (en) * | 1987-06-17 | 1991-02-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an overcoat layer |
US5000831A (en) * | 1987-03-09 | 1991-03-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Method of production of amorphous hydrogenated carbon layer |
US5166018A (en) * | 1985-09-13 | 1992-11-24 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
JPH0766436A (ja) * | 1993-08-24 | 1995-03-10 | Ricoh Co Ltd | 有機光起電力素子 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57114146A (en) * | 1981-01-08 | 1982-07-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Electrophotographic receptor |
JPS6061761A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 電子写真用感光体 |
JPS60225163A (ja) * | 1984-04-23 | 1985-11-09 | Tdk Corp | 電子写真感光体 |
-
1984
- 1984-05-25 JP JP59104667A patent/JPS60249155A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57114146A (en) * | 1981-01-08 | 1982-07-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Electrophotographic receptor |
JPS6061761A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 電子写真用感光体 |
JPS60225163A (ja) * | 1984-04-23 | 1985-11-09 | Tdk Corp | 電子写真感光体 |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5166018A (en) * | 1985-09-13 | 1992-11-24 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
US4906544A (en) * | 1986-03-20 | 1990-03-06 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member of plasma polymerized amorphous carbon charge transporting layer and charge generating layer |
US4851313A (en) * | 1986-06-10 | 1989-07-25 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member comprising charge generating layer and charge transporting layer and process for preparing same |
JPS6315255A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
JPS6315256A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
JPS6315257A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
US4801515A (en) * | 1986-07-08 | 1989-01-31 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an overcoat layer |
JPS6346467A (ja) * | 1986-08-14 | 1988-02-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真用感光体 |
US4797338A (en) * | 1986-09-16 | 1989-01-10 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member comprising charge generating layer and charge transporting layer |
US4871632A (en) * | 1986-09-26 | 1989-10-03 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member comprising charge generating layer and charge transporting layer |
US4868076A (en) * | 1986-09-26 | 1989-09-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member comprising charge generating layer and charge transporting layer |
US4882256A (en) * | 1986-10-14 | 1989-11-21 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an overcoat layer comprising amorphous carbon |
US4886724A (en) * | 1987-03-09 | 1989-12-12 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an overcoat layer and process for manufacturing the same |
US4891291A (en) * | 1987-03-09 | 1990-01-02 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an amorphous carbon overcoat layer |
US5000831A (en) * | 1987-03-09 | 1991-03-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Method of production of amorphous hydrogenated carbon layer |
US4994337A (en) * | 1987-06-17 | 1991-02-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an overcoat layer |
US4939056A (en) * | 1987-09-25 | 1990-07-03 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member |
US4965156A (en) * | 1988-03-07 | 1990-10-23 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an overcoat layer and process for manufacturing the same |
JPH0766436A (ja) * | 1993-08-24 | 1995-03-10 | Ricoh Co Ltd | 有機光起電力素子 |
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