JPS6024428A - 圧力センサ− - Google Patents
圧力センサ−Info
- Publication number
- JPS6024428A JPS6024428A JP13313283A JP13313283A JPS6024428A JP S6024428 A JPS6024428 A JP S6024428A JP 13313283 A JP13313283 A JP 13313283A JP 13313283 A JP13313283 A JP 13313283A JP S6024428 A JPS6024428 A JP S6024428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode plate
- elastic body
- pressure sensor
- projection part
- thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧力により容量を変化させる圧力センサーに
関する。
関する。
第１図は水晶発振器のブロックダイアグラムで１１が可
変容量、１２が水晶振動子、１ａが帰還増幅器で全体と
して水晶発振器を形成している。
変容量、１２が水晶振動子、１ａが帰還増幅器で全体と
して水晶発振器を形成している。
この可変容量１１を変化させると、水晶発振器の発振周
波数が変化するこきは、一般によく知られている。本圧
力センサーは圧力の変化を容量の変化に変換するもので
あり、この容量変化で水晶発振器の発掘周波数を変化さ
せ、圧力を測定する圧力センサーである。
波数が変化するこきは、一般によく知られている。本圧
力センサーは圧力の変化を容量の変化に変換するもので
あり、この容量変化で水晶発振器の発掘周波数を変化さ
せ、圧力を測定する圧力センサーである。
既に、圧力センサーとして可変容量を利用したものが発
表されているが、弾性体が杼り返し使用により疲労し、
再現性を悪くする恐れかあった。
表されているが、弾性体が杼り返し使用により疲労し、
再現性を悪くする恐れかあった。
本発明は、弾性体の繰り返し使用による疲労を減少させ
、再現性が良好でより安定した圧力セン→ノ・−を提供
するものである。また、容量を弾性体の伸縮する方向吉
直角な方向に対向する電極を設け、従来のものより構造
を簡略化して薄型化に有利なものとなっている。
、再現性が良好でより安定した圧力セン→ノ・−を提供
するものである。また、容量を弾性体の伸縮する方向吉
直角な方向に対向する電極を設け、従来のものより構造
を簡略化して薄型化に有利なものとなっている。
第２図は、本発明の弾性体２０で薄膜部２Ｉの中央部に
突起部２２を周辺部に肉厚部２３を一体成形により設け
られたものである。
突起部２２を周辺部に肉厚部２３を一体成形により設け
られたものである。
第３図（ａ）は、圧力センサーの１実施例でありこの第
２図の弾性体２０を用いた圧力センサーの斜視図、同図
（ｂ）はＡ−Ａから切断した断面図である。（但し第３
図（ａ）には誘電体３３は省電しである）。弾性体の突
起部２２に第１電極板３１が固着されている。この第１
電極板と対向して、第２電極板３２が配置されている。
２図の弾性体２０を用いた圧力センサーの斜視図、同図
（ｂ）はＡ−Ａから切断した断面図である。（但し第３
図（ａ）には誘電体３３は省電しである）。弾性体の突
起部２２に第１電極板３１が固着されている。この第１
電極板と対向して、第２電極板３２が配置されている。
その間にテフロン等の薄い誘電体３３が両電極間の短絡
防１にも兼ねて挿入されている。
防１にも兼ねて挿入されている。
開口部３４より流体の圧力変化が伝えられると、それに
応じて弾性体２０の薄膜部２１か伸び縮みし突起部２２
が移動することにより第１電極板３１と第２電極板３２
の間の間隔が変化し、その結果容量が変化する。また３
０は、空気の流通部である。
応じて弾性体２０の薄膜部２１か伸び縮みし突起部２２
が移動することにより第１電極板３１と第２電極板３２
の間の間隔が変化し、その結果容量が変化する。また３
０は、空気の流通部である。
この圧力センサーの特徴は、全体を非常に薄型にするこ
とができる点である。開口の管状の部分を除けば、第３
図（ｂ）の筐体部３６の長さＬは、６ａ＋ｍ程度で作る
事ができる。その代わりに容量の変化量を大きくとる場
合、面積は大きくなる。
とができる点である。開口の管状の部分を除けば、第３
図（ｂ）の筐体部３６の長さＬは、６ａ＋ｍ程度で作る
事ができる。その代わりに容量の変化量を大きくとる場
合、面積は大きくなる。
この圧力センサーで、薄膜部２１の厚さと外形寸法を所
定の圧力変化で突起部２２の移動距離が２ｍｍになるよ
うに設計し、これにより電極間隔が２ 、３ ｍｍより
０ 、３ ｍｏ＋変化したとする。電極板は１５φ、間
に０．２…ｍのテフロシートが挿入されているとすると
、容量の変化は、約１ｐＦより８ｐＦである。この程度
の容量変化か得られれば、通常の圧ツノセンサーとして
は充分で、これにより水晶発振器の周波数変化は１０Ｍ
Ｈｚの周波数で４ ｋＨｚになる。従って測定しようと
する圧力の変化で突起部の移動距離が２關になるよう、
薄膜部の厚さ、外形寸法を決定する。
定の圧力変化で突起部２２の移動距離が２ｍｍになるよ
うに設計し、これにより電極間隔が２ 、３ ｍｍより
０ 、３ ｍｏ＋変化したとする。電極板は１５φ、間
に０．２…ｍのテフロシートが挿入されているとすると
、容量の変化は、約１ｐＦより８ｐＦである。この程度
の容量変化か得られれば、通常の圧ツノセンサーとして
は充分で、これにより水晶発振器の周波数変化は１０Ｍ
Ｈｚの周波数で４ ｋＨｚになる。従って測定しようと
する圧力の変化で突起部の移動距離が２關になるよう、
薄膜部の厚さ、外形寸法を決定する。
第４図は他の実施例で、弾性体としてシリコンゴムを使
用した場合、シリコンゴムには接着剤がっかない。そこ
で電極板をとめるのは、第４図の断面図のように突起部
２２を円筒形にしておき、これに極力軽量の樹脂の棒状
基台、又は金属であればバイブ状の基台４１を挿入し、
この上に接着剤又はハンダ等で電極板を固定する。４２
は、第１電極板３１吉第２電極板３２がらの引出しリー
ド線である。
用した場合、シリコンゴムには接着剤がっかない。そこ
で電極板をとめるのは、第４図の断面図のように突起部
２２を円筒形にしておき、これに極力軽量の樹脂の棒状
基台、又は金属であればバイブ状の基台４１を挿入し、
この上に接着剤又はハンダ等で電極板を固定する。４２
は、第１電極板３１吉第２電極板３２がらの引出しリー
ド線である。
第５図はさらに、もう一つの実施例で弾性体５１の薄膜
部５２の周辺部分に肉厚部５３を設けさらに、その外周
部に弾性体め保持も兼ねた筐体部よりの肉厚部５４を設
けたものである。
部５２の周辺部分に肉厚部５３を設けさらに、その外周
部に弾性体め保持も兼ねた筐体部よりの肉厚部５４を設
けたものである。
こうすることにより薄膜部５２の伸縮の影響が筐体部側
肉厚部５４まで極力及ばないようにしたものである。即
ち、肉厚部５３がない時は薄膜部５２の伸縮は保持して
いる筐体部ｆｌｌｌ＋肉厚部５４まで及ぶ。しかし筐体
部側肉厚部５４の肉厚を厚くすることにより薄膜部の伸
縮による保持部の変形等の影響は極力小さくすることが
できる。これにさらに肉厚部５３を設けることにより、
薄膜部５２の伸縮の影響が肉厚部５３で吸収され、保持
の筐体部側肉厚部５４まで及ばないようにしたものであ
る。この様にする事により繰り返し使用による再現性が
良好になる。弾性体の形状は、円形、矩形等、任意の形
の成形が可能であり、また再現性も良好である。もちろ
ん本実施例の図のように肉厚部を形成せず、漸次厚みが
弾性体の中心から外に向かい厚くなるようにしてもよい
。
肉厚部５４まで極力及ばないようにしたものである。即
ち、肉厚部５３がない時は薄膜部５２の伸縮は保持して
いる筐体部ｆｌｌｌ＋肉厚部５４まで及ぶ。しかし筐体
部側肉厚部５４の肉厚を厚くすることにより薄膜部の伸
縮による保持部の変形等の影響は極力小さくすることが
できる。これにさらに肉厚部５３を設けることにより、
薄膜部５２の伸縮の影響が肉厚部５３で吸収され、保持
の筐体部側肉厚部５４まで及ばないようにしたものであ
る。この様にする事により繰り返し使用による再現性が
良好になる。弾性体の形状は、円形、矩形等、任意の形
の成形が可能であり、また再現性も良好である。もちろ
ん本実施例の図のように肉厚部を形成せず、漸次厚みが
弾性体の中心から外に向かい厚くなるようにしてもよい
。
本発明において、弾性体きしてシリコンゴムを例に挙げ
たが、他の弾性体であってもよい。また圧電体として水
晶振動子を例に挙げたが、他にタンタル酸リチウム、圧
電セラミック等を用いた発振器であってもよい。
たが、他の弾性体であってもよい。また圧電体として水
晶振動子を例に挙げたが、他にタンタル酸リチウム、圧
電セラミック等を用いた発振器であってもよい。
第１図は水晶発振器のブロックダイアグラム。
第２図は弾性体を示す斜視図。第３図（ａ）は本発明の
圧力センサーを示す斜視図。第３図（ｂ）、第４図、第
５図は本発明による圧力センサーの断面図である。 ２０．５１・・・・・・弾性体 ２２・・・・・・突起部 ３１・・・・・・第１電極板 ３２・・・・・・第２電極板 ３６．３６゛・・・・・・筐体部 ３３・・・・・・誘電体
圧力センサーを示す斜視図。第３図（ｂ）、第４図、第
５図は本発明による圧力センサーの断面図である。 ２０．５１・・・・・・弾性体 ２２・・・・・・突起部 ３１・・・・・・第１電極板 ３２・・・・・・第２電極板 ３６．３６゛・・・・・・筐体部 ３３・・・・・・誘電体
Claims (3)
- （１） 弾性体の中央部に突起部を持ち、該突起部に該
弾性体主面とほぼ平行に第１電極板を設け、該第１電極
板と対向して第２電極板が該弾性体とともに筐体部に固
定され該第４電極と第２電極とで容量を形成したことを
特徴とする圧力センサー。 - （２） 該容量を形成する第１電極板去第２電極板七の
間に、誘電体を挿入したことを特徴とする特許請求の範
囲第１項の圧力センサー。 - （３） 該弾性体の厚みが、該突起部から筐体部に向い
厚くなっていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
の圧力センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13313283A JPS6024428A (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 圧力センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13313283A JPS6024428A (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 圧力センサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6024428A true JPS6024428A (ja) | 1985-02-07 |
Family
ID=15097520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13313283A Pending JPS6024428A (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 圧力センサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6024428A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170538U (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-29 | ||
| JPS6319527A (ja) * | 1986-05-05 | 1988-01-27 | テキサス インスツルメンツ インコ−ポレイテツド | 容量性圧力トランスジュ−サを備えた圧力センサ |
| JPS6428528A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Nec Corp | Highly sensitive semiconductor pressure sensor |
| CN109238518A (zh) * | 2018-09-17 | 2019-01-18 | 胡耿 | 微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法 |
-
1983
- 1983-07-21 JP JP13313283A patent/JPS6024428A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170538U (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-29 | ||
| JPS6319527A (ja) * | 1986-05-05 | 1988-01-27 | テキサス インスツルメンツ インコ−ポレイテツド | 容量性圧力トランスジュ−サを備えた圧力センサ |
| JPS6428528A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Nec Corp | Highly sensitive semiconductor pressure sensor |
| CN109238518A (zh) * | 2018-09-17 | 2019-01-18 | 胡耿 | 微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3617780A (en) | Piezoelectric transducer and method for mounting same | |
| US2900536A (en) | Design of electro-mechanical transducer elements | |
| JPS6034687B2 (ja) | 圧力電子変換素子 | |
| JPWO2005012922A1 (ja) | 加速度センサ | |
| US4435986A (en) | Pressure transducer of the vibrating element type | |
| JPS6024428A (ja) | 圧力センサ− | |
| US6786095B2 (en) | Acceleration sensor | |
| US4991153A (en) | Vibration type transducer | |
| JPS6070810A (ja) | 縦振動型圧電振動子 | |
| JPS6013235A (ja) | 圧力センサ− | |
| JPH01236721A (ja) | セラミック共振子 | |
| JP3142632B2 (ja) | 気圧計 | |
| SU883681A1 (ru) | Датчик давлени с частотным выходом | |
| JPS59108928A (ja) | 圧力センサ− | |
| JPS58833Y2 (ja) | 電子式差圧伝送器 | |
| SU1413452A1 (ru) | Датчик давлени | |
| JPS6056233A (ja) | 圧力センサユニツト | |
| JPS5930041A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS6020134A (ja) | 圧力センサ | |
| JPS5934239Y2 (ja) | 圧電形電気音響変換器 | |
| JPH05243886A (ja) | 圧電部品 | |
| SU1003003A2 (ru) | Датчик влажности газов | |
| JPS63266337A (ja) | 振動式トランスジユ−サ | |
| JPS5838717Y2 (ja) | 密封ボタン型圧電発音体 | |
| JPH01114724A (ja) | 振動式トランズジューサ |