JPS60241009A - 長作動距離高倍率対物レンズ - Google Patents
長作動距離高倍率対物レンズInfo
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- JPS60241009A JPS60241009A JP9729484A JP9729484A JPS60241009A JP S60241009 A JPS60241009 A JP S60241009A JP 9729484 A JP9729484 A JP 9729484A JP 9729484 A JP9729484 A JP 9729484A JP S60241009 A JPS60241009 A JP S60241009A
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- Japan
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- lens
- lens group
- object side
- positive
- concave surface
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、顕微鏡対物レンス、特に作動距離が大きな高
倍率対物レンズに関する。
倍率対物レンズに関する。
（発明の背景）
最近の顕微鏡の用途は多岐にわたり、対物レンズの仕様
として高Ｎ、Ａ、で作動距離が大きく、しかも高解像力
が望まれている。特に、ＩＣ関連の標本の場合には、試
料を７ちさないこと、また傷をっけないことが絶対の条
件であり、作動距離の短い対物レンズ、特に高倍率の対
物レンズはこのために非常に慎重に使用しなければなら
ず、操作性が著しく劣っていた。例えば、１００倍程度
の対物レンズの場合、作動距離は０．３〜０．４ ｍｍ
というのが普通であり、作動距離が１〜２ｍｍ必要なと
きには２０〜４０倍の対物レンズを使って接眼レンズに
高倍率のものを用い、総合倍率として１０００倍程度を
得ているのが実状であった。しかし、これでは総合倍率
は高くても、解像力そのものは対物レンズのＮ、Ａ、で
決まってしまうため、解像力が不足し具味の良くない像
しか得られない。
として高Ｎ、Ａ、で作動距離が大きく、しかも高解像力
が望まれている。特に、ＩＣ関連の標本の場合には、試
料を７ちさないこと、また傷をっけないことが絶対の条
件であり、作動距離の短い対物レンズ、特に高倍率の対
物レンズはこのために非常に慎重に使用しなければなら
ず、操作性が著しく劣っていた。例えば、１００倍程度
の対物レンズの場合、作動距離は０．３〜０．４ ｍｍ
というのが普通であり、作動距離が１〜２ｍｍ必要なと
きには２０〜４０倍の対物レンズを使って接眼レンズに
高倍率のものを用い、総合倍率として１０００倍程度を
得ているのが実状であった。しかし、これでは総合倍率
は高くても、解像力そのものは対物レンズのＮ、Ａ、で
決まってしまうため、解像力が不足し具味の良くない像
しか得られない。
また、被検標本の凹部の底を観察する場合には当然なが
ら四部の深さ以上の作動距離を有する対物レンズが必要
であり、深さが１〜２ｍｍの場合に＆ｊ：２０〜４０倍
程度の対物レンズでしか観察を行うことができなかった
。さらに、標本に対して外部から何等かの環境変化を与
える場合、例えば、電界や磁界をかげたり、冷却や加熱
を行う場合、これらのための各種装置を取り付けるにも
作動距離が長いことが不可欠である。
ら四部の深さ以上の作動距離を有する対物レンズが必要
であり、深さが１〜２ｍｍの場合に＆ｊ：２０〜４０倍
程度の対物レンズでしか観察を行うことができなかった
。さらに、標本に対して外部から何等かの環境変化を与
える場合、例えば、電界や磁界をかげたり、冷却や加熱
を行う場合、これらのための各種装置を取り付けるにも
作動距離が長いことが不可欠である。
しかしながら、高倍率であることば即ち焦点距離が小さ
くなることであり、ｉｆｆ！常は焦点距離が小さくなる
につれて作動距離も小さくなってしま・う。
くなることであり、ｉｆｆ！常は焦点距離が小さくなる
につれて作動距離も小さくなってしま・う。
作動距離を長くするには、対物レンズ基の前群の焦点距
呻を大きく廿さるを得ないが、これにより球面収差、色
収差が補正困難になってしまう。特に、残存二次スペク
トルの量が大きくなり、また短波長側の光線についての
高次の球面収差が著しくなり、これらの良好な補正は甚
だ困難を伴うものであった。
呻を大きく廿さるを得ないが、これにより球面収差、色
収差が補正困難になってしまう。特に、残存二次スペク
トルの量が大きくなり、また短波長側の光線についての
高次の球面収差が著しくなり、これらの良好な補正は甚
だ困難を伴うものであった。
（発明の目的）
本発明の目的は、高倍率であるにもかかわらず、長い作
動距離を有し、しかも優れた結像性能を有する対物レン
ズを提供することにある。
動距離を有し、しかも優れた結像性能を有する対物レン
ズを提供することにある。
（発明の概要）
本発明による対物レンズは、第１図及び第２図に示す例
の如く、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズ成分と複数の接合正レンズ成分を有し物体
からの光束を収斂光束に変換する正屈折力の第ルンズ群
Ｇい物体側により強い曲率の面を向けた正レンズ成分を
有する正屈折力の第２レンズ群Ｇ２、像側に凹面を向け
た負の接合レンズ成分を有する負屈折力の第３レンズ群
Ｇ３及び物体側に凹面を向けた負の接合レンズ成分を有
する負屈折力の第４レンズ群Ｇ４からなり、該第１１７
１群Ｇ１中の最も物体側の正メニスカスレンズ成分の屈
折率をＮ１、その物体側の凹面の曲率半径をＰ６、該第
２レンズ群Ｇ２及び該第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をそ
れぞれｆｚ、ｈ 、該第２レンズ群Ｇ２及び該第３レン
ズ群Ｇ３の中心厚をそれぞれ１２，１３、該第２レンス
群Ｇ２と該第３レンズ群Ｇ３との空気間隔をＤとし、全
系の合成焦点距離をＦとするとき、以Ｆの条件を満足す
るものである。
の如く、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズ成分と複数の接合正レンズ成分を有し物体
からの光束を収斂光束に変換する正屈折力の第ルンズ群
Ｇい物体側により強い曲率の面を向けた正レンズ成分を
有する正屈折力の第２レンズ群Ｇ２、像側に凹面を向け
た負の接合レンズ成分を有する負屈折力の第３レンズ群
Ｇ３及び物体側に凹面を向けた負の接合レンズ成分を有
する負屈折力の第４レンズ群Ｇ４からなり、該第１１７
１群Ｇ１中の最も物体側の正メニスカスレンズ成分の屈
折率をＮ１、その物体側の凹面の曲率半径をＰ６、該第
２レンズ群Ｇ２及び該第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をそ
れぞれｆｚ、ｈ 、該第２レンズ群Ｇ２及び該第３レン
ズ群Ｇ３の中心厚をそれぞれ１２，１３、該第２レンス
群Ｇ２と該第３レンズ群Ｇ３との空気間隔をＤとし、全
系の合成焦点距離をＦとするとき、以Ｆの条件を満足す
るものである。
２．５Ｆ＜ｌｌハ／ （Ｎ、−１） ｌ ＜ ５．ＯＦ
（１）２．０ ＜ ｌ ｆｚ／ ｆ＋ ｌ ＜ ４．
０ （２）５、ＯＦ＜ｔ２＋ｔ、＋Ｄ ＜ＩＯ，ＯＦ
（３）以下、これらの条件式について説明する。
（１）２．０ ＜ ｌ ｆｚ／ ｆ＋ ｌ ＜ ４．
０ （２）５、ＯＦ＜ｔ２＋ｔ、＋Ｄ ＜ＩＯ，ＯＦ
（３）以下、これらの条件式について説明する。
（１）式の条件は、球面収差、コマ収差及び像面弯曲の
補正に関するものである。この条件の下限を外れると、
対物レンズの最前レンズ面での収斂作用が弱くなり、光
栄が大きく発散してしまうため球面収差が悪化して良好
な補正が困難になる。
補正に関するものである。この条件の下限を外れると、
対物レンズの最前レンズ面での収斂作用が弱くなり、光
栄が大きく発散してしまうため球面収差が悪化して良好
な補正が困難になる。
特に、高次の球面収差とコマ収差が、作動距離が長くな
る程悪化してしまい、後続のレンズ群では十分な補正を
行うことが困難となる。また、この条件の１＋＋ｇを越
えるとペッツバール和か大きくなり、像面弯曲が補正困
難になり、平坦な像面を得ることが難しくなってしまう
。
る程悪化してしまい、後続のレンズ群では十分な補正を
行うことが困難となる。また、この条件の１＋＋ｇを越
えるとペッツバール和か大きくなり、像面弯曲が補正困
難になり、平坦な像面を得ることが難しくなってしまう
。
（２）式の条件は、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ
３との屈折力のバランスに関するものである。
３との屈折力のバランスに関するものである。
下限を外れると、相対的に第２レンズ群Ｇ２の正屈折力
が強くなりレンズ系の全長が短くなる傾向にある。この
ため、第２レンズ群Ｇ２と第３レンス群Ｇ３との各中心
厚及び両群の空気間隔を小さくシ。
が強くなりレンズ系の全長が短くなる傾向にある。この
ため、第２レンズ群Ｇ２と第３レンス群Ｇ３との各中心
厚及び両群の空気間隔を小さくシ。
レンズ系後方の発散作用によって全長を伸ばすと、ペッ
ツバール和が大きくなり、像面弯曲が残存して平坦性が
悪くなる。また、上限を越えると、相対的に第３レンズ
群Ｇ３の負屈折力が強くなり過ぎる。第３レンズ群Ｇ、
ば軸上色収差を逆色消ししており、また倍率色収差もわ
ずかながら補正不足にしているが、これらの補正作用が
強くなるため、軸上色収差が補正不足になる。これを第
４レンス群Ｇ４における逆色消しの作用を弱めて打ち消
すと第４レンズ群Ｇ４の倍率色収差の補正作用が弱くな
り、第３レンズ群Ｇ３までの残存量に加えてさらに大き
な収差量が残存してしまう。
ツバール和が大きくなり、像面弯曲が残存して平坦性が
悪くなる。また、上限を越えると、相対的に第３レンズ
群Ｇ３の負屈折力が強くなり過ぎる。第３レンズ群Ｇ、
ば軸上色収差を逆色消ししており、また倍率色収差もわ
ずかながら補正不足にしているが、これらの補正作用が
強くなるため、軸上色収差が補正不足になる。これを第
４レンス群Ｇ４における逆色消しの作用を弱めて打ち消
すと第４レンズ群Ｇ４の倍率色収差の補正作用が弱くな
り、第３レンズ群Ｇ３までの残存量に加えてさらに大き
な収差量が残存してしまう。
条件式（３）は、第２レンス群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３
との各レンズ厚及び両群の間隔に関するものであり、物
像間距離即ちレンズ系の全長と、他の対物レンズとの同
焦点を保つための対物レンズ長（同焦点距離）とのバラ
ンスを図るためのものである。この条件の下限を外れる
と、第３レンズ群Ｇ３を射出する光束が十分に絞られな
いうちに第４レンズ群Ｇ４での強い発散作用を受りるこ
ととなり、レンズ系全長が長くなってしまう。このため
、レンズ系全体を比例縮小すると、作動距離もこれと共
に短くなってしまい操作性が悪くなる。また、第２レン
ス群Ｇ２の屈折力を強くしてレンズ系の全長を小さくす
ると条件（２）の下限を外れた場合と同様に像面の平坦
性を維持することが難しくなってしまう。他方、この条
件の」１限を越えると、第４レンズ群Ｇ４に入射する光
束が絞られ過ぎるため、第４レンズ群Ｇ４の強い発散作
用によってもレンズ系全長を所定の長さに維持すること
が難しくなってしまう。このためにレンズ系全長を比例
拡大ずれは、作動距離は長くすることができるが、対物
レンズ鏡筒の長さが他の対物レンズより大きくなり過ぎ
て、同焦点を保つことが難しくなってしまう。
との各レンズ厚及び両群の間隔に関するものであり、物
像間距離即ちレンズ系の全長と、他の対物レンズとの同
焦点を保つための対物レンズ長（同焦点距離）とのバラ
ンスを図るためのものである。この条件の下限を外れる
と、第３レンズ群Ｇ３を射出する光束が十分に絞られな
いうちに第４レンズ群Ｇ４での強い発散作用を受りるこ
ととなり、レンズ系全長が長くなってしまう。このため
、レンズ系全体を比例縮小すると、作動距離もこれと共
に短くなってしまい操作性が悪くなる。また、第２レン
ス群Ｇ２の屈折力を強くしてレンズ系の全長を小さくす
ると条件（２）の下限を外れた場合と同様に像面の平坦
性を維持することが難しくなってしまう。他方、この条
件の」１限を越えると、第４レンズ群Ｇ４に入射する光
束が絞られ過ぎるため、第４レンズ群Ｇ４の強い発散作
用によってもレンズ系全長を所定の長さに維持すること
が難しくなってしまう。このためにレンズ系全長を比例
拡大ずれは、作動距離は長くすることができるが、対物
レンズ鏡筒の長さが他の対物レンズより大きくなり過ぎ
て、同焦点を保つことが難しくなってしまう。
上記の如き本発明の構成において、軸上色収差について
は収斂性の第ルンズ群Ｇ、と第２レンス群Ｇ２とで補正
過剰となるのを発散性の第３レンズ群Ｇ３及び第４レン
ヌ群Ｇ、とで補正し、倍率の色収差については、各レン
ズ群によって補正することが望ましい。このために、本
発明では、第３レンズ群Ｇ３を物体側がら順に正レンズ
と両凹負レンズとの貼合せで構成し、第４レンズ群Ｇ４
を物体側がら順に両凹負レンズと両凸正レンズとの貼合
せで構成するとともに、第３レンズ群Ｇ、中の正レンズ
及び負レンズのアソへ数をそれぞれＶｐ３．Ｖｎ３ と
し、第４レンズ群Ｇ４中の正レンズ及び負レンズのアソ
へ数をそれぞれνｐ４＋Ｖｎ４ とするとき、１５ ＜
（Ｖｎｚ Ｖｐ３） ＋ （Ｖｎ４Ｖｐ４） 〈６０
（４）の条件を満たすことが望ましい。
は収斂性の第ルンズ群Ｇ、と第２レンス群Ｇ２とで補正
過剰となるのを発散性の第３レンズ群Ｇ３及び第４レン
ヌ群Ｇ、とで補正し、倍率の色収差については、各レン
ズ群によって補正することが望ましい。このために、本
発明では、第３レンズ群Ｇ３を物体側がら順に正レンズ
と両凹負レンズとの貼合せで構成し、第４レンズ群Ｇ４
を物体側がら順に両凹負レンズと両凸正レンズとの貼合
せで構成するとともに、第３レンズ群Ｇ、中の正レンズ
及び負レンズのアソへ数をそれぞれＶｐ３．Ｖｎ３ と
し、第４レンズ群Ｇ４中の正レンズ及び負レンズのアソ
へ数をそれぞれνｐ４＋Ｖｎ４ とするとき、１５ ＜
（Ｖｎｚ Ｖｐ３） ＋ （Ｖｎ４Ｖｐ４） 〈６０
（４）の条件を満たすことが望ましい。
（４）式の下限を外れると、第ルンス群Ｇ１及び第２レ
ンズ群Ｇ２で補正過剰となる軸上色収差を第３レンズ群
Ｇ３及び第４レンズ群Ｇ４によって補正するために、第
３レンズ群Ｇ３及び第４レンズ群Ｇ４中の貼合せ面の曲
率を強くしなければならなくなり、この結果短波長光に
対する高次の球面収差が補正不足になり過ぎる。また、
第ルンズ群Ｇ、及び第２レンズ群Ｇ２での軸上色収差量
を小さくすると、倍率色収差の補正が難しくなり全体と
して良好な性能を維持することが難しくなる。他方、こ
の」−眼を越えると、第３レンズ群Ｇ３及び第４レンズ
群Ｇ４中の貼合せ面の曲率か弱くなり、短波長光に対す
る高次の球面収差が補正過剰となってしまう。尚、第４
レンズ群Ｇ４としては、物体側に凹面を向けた正メニス
カスレンズと両凹負レンズとの貼合せからなる両凹形状
の負レンズ成分で構成することも可能であり、この場合
にも上記の（４）弐の条件を満たすことが望ましい。
ンズ群Ｇ２で補正過剰となる軸上色収差を第３レンズ群
Ｇ３及び第４レンズ群Ｇ４によって補正するために、第
３レンズ群Ｇ３及び第４レンズ群Ｇ４中の貼合せ面の曲
率を強くしなければならなくなり、この結果短波長光に
対する高次の球面収差が補正不足になり過ぎる。また、
第ルンズ群Ｇ、及び第２レンズ群Ｇ２での軸上色収差量
を小さくすると、倍率色収差の補正が難しくなり全体と
して良好な性能を維持することが難しくなる。他方、こ
の」−眼を越えると、第３レンズ群Ｇ３及び第４レンズ
群Ｇ４中の貼合せ面の曲率か弱くなり、短波長光に対す
る高次の球面収差が補正過剰となってしまう。尚、第４
レンズ群Ｇ４としては、物体側に凹面を向けた正メニス
カスレンズと両凹負レンズとの貼合せからなる両凹形状
の負レンズ成分で構成することも可能であり、この場合
にも上記の（４）弐の条件を満たすことが望ましい。
また、第２レンズ群Ｇ２の物体側のレンズ面の面層折力
をΦ２、第３レンズ群Ｇ３の像側のレンズ面の面舵折力
をΦ３とするとき、 ２〈ｌΦ３／Φ２１＜５ （５） １ の条件を満たすことも望ましい。ここで、Φ２及び
Φ３は、第２レンズ群Ｇ２の物体側レンズ面の曲率半径
をＲ２、屈折率をＮ２ とし、第３レンズ群Ｇ。
をΦ２、第３レンズ群Ｇ３の像側のレンズ面の面舵折力
をΦ３とするとき、 ２〈ｌΦ３／Φ２１＜５ （５） １ の条件を満たすことも望ましい。ここで、Φ２及び
Φ３は、第２レンズ群Ｇ２の物体側レンズ面の曲率半径
をＲ２、屈折率をＮ２ とし、第３レンズ群Ｇ。
の像側レンズ面の曲率半径をＲ３、屈折率を■、とする
とき、それぞれ 中２−（Ｎ２−１）／Ｒ２ Φ３ ＝ Ｎ −Ｎ：ｌ） ／Ｌ と定義される。
とき、それぞれ 中２−（Ｎ２−１）／Ｒ２ Φ３ ＝ Ｎ −Ｎ：ｌ） ／Ｌ と定義される。
（５）式の下限を外れると、第２レンズ群Ｇ２の物体側
のレンズ面の収斂作用が強くなり、レンズ系の全長を所
定の長さとするためには、第２レンズ群Ｇ２及び第３レ
ンズ群Ｇ３の中心厚および両群の空気間隔を小さくして
、後続の発散レンズ群との間隔を小さくしなければなら
ない。このため、ペソッハール和が大きくなって像面の
平坦性を維持することが難しくなり、更に、メリディオ
ナル像面が補正過剰となり第３レンス群Ｇ３や第４レン
ス群Ｇ４によっても良好な補正は難しくなる。また、条
件（５）の上限を越えると、メリディオナル像面が補正
不足になり過ぎ、像面の平坦性が悪化する。更に、第２
レンズ群Ｇ２の物体側レンズ面の屈折力が弱くなって第
２レンズ群Ｇ２としての屈折力が弱まり、相対的に第３
レンズ群Ｇ３の負屈折力が強くなって、上記（２）式の
条件の上限を越えた場合と同様に、倍率色収差が大きく
残存してしまう。
のレンズ面の収斂作用が強くなり、レンズ系の全長を所
定の長さとするためには、第２レンズ群Ｇ２及び第３レ
ンズ群Ｇ３の中心厚および両群の空気間隔を小さくして
、後続の発散レンズ群との間隔を小さくしなければなら
ない。このため、ペソッハール和が大きくなって像面の
平坦性を維持することが難しくなり、更に、メリディオ
ナル像面が補正過剰となり第３レンス群Ｇ３や第４レン
ス群Ｇ４によっても良好な補正は難しくなる。また、条
件（５）の上限を越えると、メリディオナル像面が補正
不足になり過ぎ、像面の平坦性が悪化する。更に、第２
レンズ群Ｇ２の物体側レンズ面の屈折力が弱くなって第
２レンズ群Ｇ２としての屈折力が弱まり、相対的に第３
レンズ群Ｇ３の負屈折力が強くなって、上記（２）式の
条件の上限を越えた場合と同様に、倍率色収差が大きく
残存してしまう。
（実施例）
以下、本発明の実施例について説明する。第１図は本発
明による第１実施例のレンズ構成図である。第ルンズ群
Ｇ、は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズ１．い同じく物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズ１．２、両凸正レンズし３、それぞれ負メ
ニスカスレンズと正レンズとの貼合せからなる３個の貼
合せ正レンズＩ、４゜ＬＳ＋ｌ−６からなり、第２レン
ズ群Ｇ２は両凸正レンズ１．７とこれと貼合され物体側
により強い曲率の面を向けた負レンズ１，８とからなり
、第３レンズ群Ｇ３は像側により曲率の強い面を向けた
正レンズＬ９とこれと貼合された両凹負レンズＬＩＯと
からなり、第４レンズ群Ｇ、は両凹負レンズＬｌ＋ こ
れと貼合され１ま た両凸正レンズＩ、１□とからなっている。
明による第１実施例のレンズ構成図である。第ルンズ群
Ｇ、は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズ１．い同じく物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズ１．２、両凸正レンズし３、それぞれ負メ
ニスカスレンズと正レンズとの貼合せからなる３個の貼
合せ正レンズＩ、４゜ＬＳ＋ｌ−６からなり、第２レン
ズ群Ｇ２は両凸正レンズ１．７とこれと貼合され物体側
により強い曲率の面を向けた負レンズ１，８とからなり
、第３レンズ群Ｇ３は像側により曲率の強い面を向けた
正レンズＬ９とこれと貼合された両凹負レンズＬＩＯと
からなり、第４レンズ群Ｇ、は両凹負レンズＬｌ＋ こ
れと貼合され１ま た両凸正レンズＩ、１□とからなっている。
本発明による第２実施例は、第１図に示した第１実施例
とほぼ同一のレンズ構成を有しているためレンズ構成図
は省略した。第１、第２実施例は共に、倍率１００倍で
、Ｎ、Ａ、０．８５を有し、作動距離が全系の焦点距離
の１．１倍以上である。
とほぼ同一のレンズ構成を有しているためレンズ構成図
は省略した。第１、第２実施例は共に、倍率１００倍で
、Ｎ、Ａ、０．８５を有し、作動距離が全系の焦点距離
の１．１倍以上である。
また、本発明による第３実施例は第２図のレンズ構成図
に示す如く、基本的には前述の実施例と同様の構成を有
しているが、第ルンス群Ｇ１中の貼合せ正レンズＬ４と
し、との空気間隔が大きくなっている点、また第２レン
ズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との空気間隔が大きく、第
３レンズ群Ｇ３と第４レンズ群Ｇ４との空気間隔が小さ
くなっていることが特徴的である。第４実施例は、第２
図に示した第３実施例とほぼ同一のレンズ構成を有して
いるためレンズ構成図は省略した。第３実施例及び第４
実施例も共に、倍率１００倍で、Ｎ、Ａ、０．８０を有
し、作動距離が全系の焦点距離の１．４倍以上である。
に示す如く、基本的には前述の実施例と同様の構成を有
しているが、第ルンス群Ｇ１中の貼合せ正レンズＬ４と
し、との空気間隔が大きくなっている点、また第２レン
ズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との空気間隔が大きく、第
３レンズ群Ｇ３と第４レンズ群Ｇ４との空気間隔が小さ
くなっていることが特徴的である。第４実施例は、第２
図に示した第３実施例とほぼ同一のレンズ構成を有して
いるためレンズ構成図は省略した。第３実施例及び第４
実施例も共に、倍率１００倍で、Ｎ、Ａ、０．８０を有
し、作動距離が全系の焦点距離の１．４倍以上である。
以下の表に各実施例の諸元を示す。但し、各表中、左端
の数字は物体側からの順序を表すものとし、βは倍率を
、Ｎ、Ａ、は開口数を、智、Ｄ、は作動距Ｍを、Ｐはペ
ンツバール和をそれぞれ表すものとする。尚、屈折率ｎ
及びアツベ数νばそれぞれ基準波長としてのｄ線（λ−
５８７．６ｎｍ ）に対する値である。
の数字は物体側からの順序を表すものとし、βは倍率を
、Ｎ、Ａ、は開口数を、智、Ｄ、は作動距Ｍを、Ｐはペ
ンツバール和をそれぞれ表すものとする。尚、屈折率ｎ
及びアツベ数νばそれぞれ基準波長としてのｄ線（λ−
５８７．６ｎｍ ）に対する値である。
３
ｚ
４
第フ１ｔｊｉＪ！！ｉ
第３実施（舛
５
１７ −−
６
上記第１、第２、第３及び第４実施例についての諸収差
図をそれぞれ順に、第３図、第４図、第５図及び第６図
に示す。各収差図には、基準波長としてのｄ線（λ−５
８７．６ｎｍ ）についての球面収差、非点収差、コマ
収差及び歪曲収差を示し、球面収差図中には、併せて、
Ｃ線（λ−６５６．３ｎｍ ）、Ｆ線（λ−４８６．１
ｎｍ ）及び８線（λ−４３５，８ｎｍ ）についても
示した。
図をそれぞれ順に、第３図、第４図、第５図及び第６図
に示す。各収差図には、基準波長としてのｄ線（λ−５
８７．６ｎｍ ）についての球面収差、非点収差、コマ
収差及び歪曲収差を示し、球面収差図中には、併せて、
Ｃ線（λ−６５６．３ｎｍ ）、Ｆ線（λ−４８６．１
ｎｍ ）及び８線（λ−４３５，８ｎｍ ）についても
示した。
各諸収差図から、何れの実施例も１００倍という高倍率
でありながら、大きな作動距離を有し、しかも優れた結
像性能を有していることが明らかである。特に、高倍率
で長作動距離の対物レンズに発生しがちな短波長光線に
ついての高次の球面収差が極めて良好に補正されている
ことが判る。
でありながら、大きな作動距離を有し、しかも優れた結
像性能を有していることが明らかである。特に、高倍率
で長作動距離の対物レンズに発生しがちな短波長光線に
ついての高次の球面収差が極めて良好に補正されている
ことが判る。
（発明の効果）
以上の如く、本発明によれば、高倍率であるにもかかわ
らず、長い作動距離を有し、しかも優れた結像性能を有
する対物レンズが達成される。従って、被検物体の四部
の底までも十分に検鏡することができると共に、半導体
素子の種々の検査に８ 対応でき、その操作性を高め、最近一層の高集積化がな
されている半導体素子の検査に大きく寄与するものであ
る。
らず、長い作動距離を有し、しかも優れた結像性能を有
する対物レンズが達成される。従って、被検物体の四部
の底までも十分に検鏡することができると共に、半導体
素子の種々の検査に８ 対応でき、その操作性を高め、最近一層の高集積化がな
されている半導体素子の検査に大きく寄与するものであ
る。
第１図は本発明による第１実施例のレンズ構成図、第２
図は本発明による第２実施例のレンズ構成図であり、第
３、第４、第５及び第６図はそれぞれ第１、第２、第３
及び第４実施例の諸収差図である。 〔主要部分の符号の説明〕 Ｇ１・・・第１１２１群 Ｇ２・・・第２レンズ群 Ｇ１・・・第３レンズ群 Ｇ４・・・第４レンズ群 出願人 日本光学工業株式会社 代理人 渡辺隆男 ９
図は本発明による第２実施例のレンズ構成図であり、第
３、第４、第５及び第６図はそれぞれ第１、第２、第３
及び第４実施例の諸収差図である。 〔主要部分の符号の説明〕 Ｇ１・・・第１１２１群 Ｇ２・・・第２レンズ群 Ｇ１・・・第３レンズ群 Ｇ４・・・第４レンズ群 出願人 日本光学工業株式会社 代理人 渡辺隆男 ９
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレ
ンズ成分と複数の接合正レンズ成分を有し物体からの光
束を収斂光束に変換する正屈折力の第１１２１群、物体
側により強い曲率の面を向けた正レンズ成分を有する正
屈折力の第２レンズ群、像側に凹面を向けた負の接合レ
ンズ成分を有する負屈折力の第３レンズ群及び物体側に
凹面を向りた負の接合レンズ成分を有する負屈折力の第
４レンズ群からなり、該第１１２１群中の最も物体側の
正メニスカスレンズ成分の屈折率をＮいその物体側の凹
面の曲率半径をＲい該第２レンズ群及び該第３レンズ群
の焦点距離をそれぞれり、ｈ、該第２レンズ群及び該第
３レンズ群の中心厚をそれぞれｔ２．ｔ３、該第２レン
ズ群と該第３レンズ群との空気間隔をＤとし、全系の合
成焦点距離をＦとするとき、以下の条件を満足すること
を特徴とする対物レンズ。 ２．５ Ｆ＜ ＩＲＩ／ （Ｎ、−１） ｌ ＜ ５．
ＯＦ （１）２．０ ＜ ｌ ｆ２／ｆ３１ ＜４．０
（２）５、ＯＦ＜ｔ２＋ｔ、−１−Ｄ ＜ＩＯ，ＯＦ
（３）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9729484A JPS60241009A (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 長作動距離高倍率対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9729484A JPS60241009A (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 長作動距離高倍率対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60241009A true JPS60241009A (ja) | 1985-11-29 |
| JPH0426447B2 JPH0426447B2 (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=14188477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9729484A Granted JPS60241009A (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 長作動距離高倍率対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60241009A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6323119A (ja) * | 1986-07-04 | 1988-01-30 | Mitsutoyo Corp | 顕微鏡用対物レンズ |
| US5132845A (en) * | 1990-07-06 | 1992-07-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | High mangification objective lens system |
| JP2008145787A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Olympus Corp | 長作動距離対物レンズ |
-
1984
- 1984-05-15 JP JP9729484A patent/JPS60241009A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6323119A (ja) * | 1986-07-04 | 1988-01-30 | Mitsutoyo Corp | 顕微鏡用対物レンズ |
| US5132845A (en) * | 1990-07-06 | 1992-07-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | High mangification objective lens system |
| JP2008145787A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Olympus Corp | 長作動距離対物レンズ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0426447B2 (ja) | 1992-05-07 |
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