JPS60227107A - Device for defect detection - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To detect certainly any defect even if there is a design of a certain pattern by providing a gate means for performing a detection through coincidence of the pattern data set up in accordance with the surface of non-defective goods with binary-coded data obtained from a comparative means and making a gate output to a defect detecting signal. CONSTITUTION:From a pattern memory 8 the data corresponding to a pattern in order recording to a scanning point are read out and this data and binary-coded data D1 are detected by coincidence at AND gate 9. If there is any defect the output of an image sensor 2 corresponding to the defect Z becomes a level H and the data of a mask pattern P corresponding to its point of coordinate are H due to no existance of the mask pattern P, so the output of a level H is generated from the gate 9. This output becomes a results data D2 and is changed with an even number or uneven number of a scanning line and is fetched into a buffer 10A or 10B via a switching means 11. It is entered to CPU13 via an interface 14 and a controlling motion of the time of defect detection is performed. By making a gate output to a defect detecting signal in this way any defect can surely be detected.

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野１ 本発明はフィルム、シート、板材などの表面の傷、異物
などの欠点を検出する欠点検出装置６に関するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field 1] The present invention relates to a defect detection device 6 for detecting defects such as scratches and foreign objects on the surface of a film, sheet, plate, or the like.

［背景技術１ 従来のこの種の装置としては光線をフィルム、シート、
教材などの検査物上に照射してその受光レベルにより欠
点を検出するものがあったが、模様等が印刷している場
合、模様も欠点として検出しているため模様などがある
物の欠点検出は不可能であった。[Background technology 1] Conventional devices of this type use a film, sheet, or
There was a method that detected defects based on the level of light received by irradiating it onto the object to be inspected, such as teaching materials, but if a pattern is printed, the pattern is also detected as a defect, so it is difficult to detect defects in objects with patterns. was impossible.

［発明の目的１ 本発明は上述の問題の欠点に鑑みて為されたものでその
目的とするところ一定のパターンの模様が有っても欠点
を検出することができる欠点検出装置を提供するにある
。[Objective of the Invention 1 The present invention has been made in view of the drawbacks of the above-mentioned problems, and its purpose is to provide a defect detection device that can detect defects even if there is a certain pattern. be.

１発明の開示１ （実施例） 第１図は本発明の実施例の回路構成を示すものであり、
１はＣＣＩ）素ｒを用いたイメージセンサ２を惟えたカ
メラヘットであり、照明が当てられた検査物４の像を光
学レンス３によりイメージセンサ２］−に結像させる。1 Disclosure of the Invention 1 (Embodiment) FIG. 1 shows a circuit configuration of an embodiment of the present invention.
Reference numeral 1 denotes a camera head equipped with an image sensor 2 using a CCI element r, and an image of an illuminated inspection object 4 is formed on the image sensor 2 by an optical lens 3.

５はイメージセンサ２から出力する画像の明暗に応した
アナログデータと、予め設定したスレンショルドデータ
とを比較する比較器であり、スレンショルドレベルＬ。Reference numeral 5 denotes a comparator that compares analog data corresponding to the brightness and darkness of the image output from the image sensor 2 with preset Threnskjöld data, and is a Threnskjöld level L.

を超えた場合は”Ｈ″の１，１号を、超えなかった場合
は’１．”の信号を出力して２値化データｌ）１を作成
する。If it exceeds the number 1,1 of "H", if it does not exceed '1. ” signal to create binary data l)1.

６は予めスレッショルドデータを記ｔａ設定するスレッ
ショルドデータメモリで、このスレッショルドデータメ
モリ６は記憶しであるデータをＩ）　／　Ａ変換回路７
でアナログデータに変換して比較器５に送出する。８は
検査物４の表面に例えば印刷しである模様Ａの配列位置
に対応するアドレスにマスクパータンＰデータを″Ｌ、
″レベルどして記ｔｆ１３せ模様へが存在しない位置に
対応するアドレスに６■１′ルベルのデータを記憶する
マスクパターンメモリで、このマスクパターンメモリ；
）に記憶されであるデータと上記２値化データ１）１と
はアンドデート９で論理積がとられ、該アンドデート８
のデート出力を欠点検出の結果データ１〕２とする。Reference numeral 6 denotes a threshold data memory in which threshold data is recorded and set in advance.
The data is converted into analog data and sent to the comparator 5. 8 prints, for example, the mask pattern P data on the surface of the inspection object 4 at the address corresponding to the arrangement position of the pattern A "L,"
A mask pattern memory that stores data of 6 1' level in an address corresponding to a position where there is no tf13 level.This mask pattern memory;
) and the binary data 1) 1 are logically ANDed in ANDDATE 9, and the ANDDATE 8 is
Let the date output be defect detection result data 1]2.

１０Ａ、１０１３はエラーデータパン７アで、一方１、
　ＯＡは画像走査時の偶数ラインに対応する−１−記結
果データＤ２を取り込み、他力は奇数ラインに対応する
結果データＤ２を取り込むものである。10A, 1013 is the error data pan 7a, while 1,
The OA is to take in -1- result data D2 corresponding to even lines during image scanning, and the external force is to take in result data D2 corresponding to odd lines.

１１は結果データＤ２の切り換えを行なうスイッチング
手段である。１２はイメージセンサ２」二の座標点を順
次走査するタイミングと、走査する座標点に対応１ろマ
スクパターンメモリ８のアドレスデータとを作成するカ
ウンタ兼アドレス回路である。１：（は演算制御部を４
１ユ成するコンピュータで、インターフェイス部１４を
介してカウンタ兼アドレス回路１２のスタート指令を与
えたり、あるいはマスクパターンメモリＨの読出しの制
御を行なったり、更にエラーデータバッファ１０Ａ１１
０Ｂからの欠、α検出の結果データＤ、を取り込んで例
えば不良判定を行ない当該検査物４の工程ラインからの
除去などの制御を行なう。11 is a switching means for switching the result data D2. Reference numeral 12 denotes a counter/address circuit that determines the timing for sequentially scanning the coordinate points of the image sensor 2 and creates address data for the mask pattern memory 8 corresponding to the scanned coordinate points. 1: (is the arithmetic control section 4
This computer is a computer that provides a start command to the counter/address circuit 12 via the interface section 14, controls reading of the mask pattern memory H, and also controls the error data buffer 10A11.
The defect from 0B and the result data D of α detection are taken in, for example, a defective determination is made and control is performed such as removal of the inspection object 4 from the process line.

次に動作を第２図に基づいて説明する。今検査物４が同
図（Ａ＞に示１ように矢印Ｘの方向に移動させられイメ
ージセンサ２の計測部位が図に示す直線Ｙ上に在るとす
るとイメージセンサ２上に結像された検査物４の画像に
対応するイメージセンサ２の各点の出力レベルは同図（
Ｂ）に示すように模様Ａが無い位置では明るいため低い
レベルとなり、逆に模様Ａが存在する位置では高いレベ
ルとなる。、これらのアナログテ゛−タ１土Ｍｒ＋夛υ
Ｉ、：　Ｎ　％れて比較器６に出力される。またＡ／［
）変換器１５によってデジタル（１７号に変換されイン
ター・７工イス部１４を介してフンピユータ１３に送ら
れる５、コンピュータ１３はこのデノタル信すを収り込
んで′明るさに応して補正された所定のスレッショルド
データをスレッショルドデータ、メモリ６がら読出しＤ
／Ａ変換器７を介して比較器５へ送るのである。このス
レッショルドデータと」４記イメーノセンサ２からのア
ナログデータとは比較される。つまりスレッショルドレ
ベルをイメージセンサ２の出力が超えると比較器５は”
Ｙ１゛レベルの信号を発生し、逆に超えなければｌ−，
−１ｔ、ベルの信号を発生する。このようにして走査に
応して２値化されたデータＤ１がイ：１られることにな
る。　・力走査に対応してマスクパターンメモ’Ｊ　８
からは走査点に応じアドレスから順次パータンＰに対応
したデータを第２図（Ｃ）に示すように読出され、この
データと」二記２値化データ１）ｌとはアンドデー１９
で一致検出がとられろ。即ち欠点Ｚがあればその欠点χ
に対応するイメージセンサ２の出力は″Ｈ″Ｈ″ルとな
り、その座標、−工に対応するマスクパータン１）テ゛
−夕はマスクパータンＰが存在しないため”Ｈ″である
から第２図（４））に示すようにアンドデート９がらは
’１１”レベルの出力が発生することになる。この出力
が結果データＩ）、となり、走査線が奇数が偶数がで切
り換えられるスイッチング手段１１を介してエラーデー
タパン７ア１ｏＡまたは１０　Ｂに取！）込まれたのち
、インク−７工イス部１４を介してコンビエータ１３に
入り、各種の不良検出時の制御動作がコンピュータ１３
の下で行なわれることになる。Next, the operation will be explained based on FIG. Now, if the inspection object 4 is moved in the direction of arrow The output level of each point of the image sensor 2 corresponding to the image of the inspection object 4 is shown in the same figure (
As shown in B), a position where there is no pattern A is bright and therefore has a low level, and conversely, a position where pattern A is present has a high level. , these analog data 1 earth Mr + 夛υ
I: N% and output to the comparator 6. Also A/[
) is converted into a digital signal (No. 17) by the converter 15 and sent to the computer 13 via the interface section 14. The computer 13 receives this digital signal and corrects it according to the brightness. Read the predetermined threshold data from the memory 6 as threshold data D
It is sent to the comparator 5 via the /A converter 7. This threshold data and the analog data from the image sensor 2 are compared. In other words, when the output of the image sensor 2 exceeds the threshold level, the comparator 5
Generates a signal of Y1゛ level, and conversely if it does not exceed l-,
-1t, generates a bell signal. In this way, the binarized data D1 is converted into 1:1 data according to the scanning.・Mask pattern memo 'J8 corresponding to force scanning
From there, data corresponding to the pattern P is read out sequentially from the address according to the scanning point as shown in FIG.
Detect a match using . That is, if there is a defect Z, the defect χ
The output of the image sensor 2 corresponding to ``H'' is ``H'', and the coordinates of the mask pattern 1) corresponding to the pattern 1) are ``H'' because the mask pattern P does not exist, so the output is ``H'', so the output of the image sensor 2 is ``H'', and the coordinates of the mask pattern 1) corresponding to the pattern 1) are ``H'' because the mask pattern P does not exist. As shown in 4)), the AND date 9 generates an output at the '11' level. This output becomes the result data I), and the scanning line is transferred to the error data pan 7A 1oA or 10B via the switching means 11, which switches between odd and even numbers. ) After entering the ink-7 machine section 14, it enters the combiator 13, and control operations when detecting various defects are executed by the computer 13.
It will be carried out under.

尚」二元動作のほかに模様ＡとマスクパータンＰとのず
れを検知して毎回マスクパータンＰの位置補正をコンピ
ュータ１３は行なう。In addition to the two-dimensional operation, the computer 13 detects the deviation between the pattern A and the mask pattern P and corrects the position of the mask pattern P every time.

１発明の効果１ 本発明は上述のように構成し、検査物の表面の画像を捕
らえるイメージセンサと、該イメージセンサで得られた
画像の明暗に応じたアナログデータと予め設定したスレ
ッショルドデータとを比較して２値化データを得る比較
手段と、予め良品の検査物の表面に対応させて設定した
パターンデータと上記比較下゛段からイ：また２値化デ
ータとの一致検出を行うゲート手段とを（Ｎｉｌえ、ゲ
ート手段のゲート出力を欠点検出信号としであるので、
無地であろうと、従来不可能であった模様がある場合で
あろうと、欠点があれば確実に検出することができると
いうを奏する。1 Effects of the Invention 1 The present invention is configured as described above, and includes an image sensor that captures an image of the surface of an inspection object, analog data corresponding to the brightness and darkness of the image obtained by the image sensor, and preset threshold data. Comparison means for comparing and obtaining binary data, and gate means for detecting coincidence between the pattern data set in advance to correspond to the surface of a non-defective inspection object and the binary data for comparison. Since the gate output of the gate means is used as the defect detection signal,
Whether it is a plain color or a pattern that was previously impossible, any defects can be reliably detected.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明の実施例の回路構成図、第２図は同上の
動作説明図であり、２はイメーノセンサ、４は検査物、
５は比較器、６はスレッショルドデータメモリ、８はマ
スクパターンメーモリ、りはアンドデート、Ｄｌは２値
化データ、Ｄ、は結果データである。 代理人　弁理士　百　口１　艮　七FIG. 1 is a circuit configuration diagram of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram of the same operation as above, where 2 is an image sensor, 4 is an object to be inspected,
5 is a comparator, 6 is a threshold data memory, 8 is a mask pattern memory, RI is AND date, Dl is binarized data, and D is result data. Agent Patent Attorney 100 Kuchi 1 Ai 7

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] １）検査物の表面の画像を捕らえろイメージセンサと、
該イ／−ノセンサでイ：１られな画像の明暗に応したア
ナログデータと予め設定したスレンショルドデータとを
比較して２値化データを得る比較手段と、Ｐめ良品の検
査物の表面に対応させて設定したパターンデータと−に
記比較手段から４１だ２値化データとの一致検出を行う
デー１手段とを俯え、デート手段のデート出力を火入ｒ
検出イ、１号として成ることを特徴とする欠点検出装置
。1) An image sensor that captures an image of the surface of the inspection object,
The A/- sensor is equipped with a comparison means for obtaining binarized data by comparing analog data corresponding to the brightness and darkness of the non-standard image with preset Threnskjöld data; Looking down at the pattern data set in correspondence with the data 1 means for detecting a match with the 41 bit binary data from the comparing means, input the date output of the dating means.
A defect detection device characterized in that it is configured as a detection device No. 1.