JPS6020500A - Airtight vessel - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、例えば加速装置等の大型装置に使用される気
密容器にＷｌする。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention is directed to an airtight container used in a large-scale device such as an accelerator.

［発明の技術的背景とその問題点コ 従来、真空装ｈ′やガス雰囲気炉などに使用される気密
容器では、予め気密容器本体の外部又は内部に設けた熱
源を使って気密容器本体の内壁を４００℃程度の高温Ｃ
二加熱しながら、真空ポンプで排気したり、または清浄
なフォーミングガスを流して吸蔵ガスを洗浄除去する方
法が行なわ第１ている０ しかしながら、例えば加速装置のような大型の気密容器
に前述のような容器本体の吸蔵ガス除去方法を適用する
ことは、大型の容器本体の内壁を一様稟二高温加熱する
ことは技術的に極めて困難であり、かつ熱効率も悪く、
シたがって、容器本体の吸蔵ガスを十分に除去すること
ができないという不具合がある。[Technical background of the invention and its problems] Conventionally, in an airtight container used in a vacuum chamber h' or a gas atmosphere furnace, the inner wall of the airtight container body is heated using a heat source provided in advance outside or inside the airtight container body. at a high temperature of about 400℃
The first method is to clean and remove the occluded gas by evacuation with a vacuum pump or by flowing clean forming gas while heating. Applying a method for removing occluded gas from a large container body is technically extremely difficult to uniformly heat the inner wall of a large container body at a high temperature, and the thermal efficiency is also poor.
Therefore, there is a problem that the occluded gas in the container body cannot be sufficiently removed.

ところで、容器本体≦−電流を流し、ジュール熱で直接
加熱すれは短時間で効ホよく脱ガスできることが知られ
ているが、一般に使用されている厚肉の容器では、容器
本体の加熱に大電流が必要とされるため実用化されなか
った。一方、容器本体を薄肉の金属発熱体で作り、通電
加熱し易いように製作すれば容器本体の加熱には大電流
を必要としないが、真空容器のため外圧に耐えられない
のでこれも実用化できなかった。By the way, it is known that gas can be degassed effectively in a short time by applying current to the container body ≦ - and directly heating it with Joule heat. It was not put into practical use because it required a current. On the other hand, if the container body is made of a thin-walled metal heating element and made to be easily heated by electricity, a large current will not be required to heat the container body, but since it is a vacuum container, it cannot withstand external pressure, so this is also not practical. could not.

そこで、容器本体を薄肉の金属発熱体で作り、その容器
本体の外側に外圧に耐えるようにシリコン樹脂などの電
気絶縁材料よりなる層を接着して補強することが試みら
れているが、通電加熱の際の熱＠ｓ＋−よって接着力が
弱まり電気絶縁層が剥離して金属発熱体が変形したり、
あるいは脱ガスに必要な４００℃程度の筒温では電気絶
縁層が熱劣化するという不具合があった。また容器本体
の外側に設ける補強ルしてセラミックなども考えられる
がこれでは高ｆｉｌｌ自二なるという欠点があった。Therefore, attempts have been made to make the container body from a thin metal heating element and to reinforce it by adhering a layer of electrically insulating material such as silicone resin to the outside of the container body to withstand external pressure. The heat @s+- during this process weakens the adhesive strength, causing the electrical insulation layer to peel off and the metal heating element to deform.
Another problem was that the electrical insulating layer deteriorated due to heat at the cylinder temperature of about 400° C. required for degassing. Ceramic or the like may also be considered as a reinforcing layer provided on the outside of the container body, but this has the disadvantage of requiring high fill.

［発明の目的］ 本発明は、上記手情に鑑みてなされたもので、その目的
は、容器本体の脱ガスのために４００　℃程度の高温の
通電加熱に十分に耐え、短時間で良好な排気が可能でか
つ安価Ｃ；製作可能な気密容器を提供チるにある。[Object of the Invention] The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and its purpose is to sufficiently withstand electrical heating at a high temperature of about 400 °C for degassing the container body, and to produce good results in a short period of time. The purpose is to provide an airtight container that can be evacuated and is inexpensive.

［発明の概要］ 木兄明け、上記目的を達成するために、薄肉の金属発熱
体よりなる容器本体とこの容器本体の外１ｉｌｌにガラ
スコンパウンドよりなる補強層をｔ々けるとともに前記
容器本体と前記補強層とをガラス接合して一体構成とし
た気密容器を提供する。[Summary of the Invention] In order to achieve the above object, a reinforcing layer made of a glass compound is provided on a container body made of a thin metal heating element, and a reinforcing layer made of a glass compound is provided on the outside of this container body, and the container body and the To provide an airtight container integrally constructed by glass-bonding a reinforcing layer.

［発明の実施例］ 本発明の一実施例を図面を参照して説、明する。[Embodiments of the invention] An embodiment of the present invention will be described and explained with reference to the drawings.

第１図は、大Ｗ１の気密容器例えば霜、子加速器シー使
用される気密容器の断面図、第２図は第１図の正面図で
ある。FIG. 1 is a sectional view of a large W1 airtight container, such as an airtight container used in a frost or child accelerator, and FIG. 2 is a front view of FIG. 1.

同図Ｃ二おいて、１は薄肉の電気発熱体よりなる容器本
体で、例えば０．１　ｍ厚のチタンの板を環状ｇ１成形
したものである。２はガラスコンパウンドよりなる補強
層で、例えげ、石λ、ｌ、ｌ紡憾品をガラスで結合固定
したもので容器本体１の外側に結合ガラスにより接合さ
れている。そして、この補強層２は、容器本体１の外側
にグリツタイル石綿Ｍｐｓｓｔ、、ｏ１１（ＯＨ）４よ
りなる紐を捲き付け、その上に例えばＰｂＯ−ＢｇＯＢ
　−ＺｎＯ系の低融点ガラスを塗り、赤外線炉で加熱す
ることにより容易に製作することができる。３は容器本
体１の両端に溶接された一対の電極で、容器本体同士を
接続する接続フランジを兼ねている。In C2 of the same figure, 1 is a container body made of a thin electric heating element, for example, a titanium plate having a thickness of 0.1 m is formed into an annular shape g1. Reference numeral 2 denotes a reinforcing layer made of a glass compound, which is made by bonding and fixing stones λ, 1, and 1 with glass, and is bonded to the outside of the container body 1 by bonding glass. This reinforcing layer 2 is made by wrapping a string made of grit tile asbestos Mpsst, o11(OH)4 around the outside of the container body 1, and then wrapping a string made of grit tile asbestos Mpsst, o11(OH)4 on the outside of the container body 1, for example, with PbO-BgOB.
- It can be easily manufactured by coating with ZnO-based low melting point glass and heating it in an infrared furnace. Reference numeral 3 denotes a pair of electrodes welded to both ends of the container body 1, which also serve as connection flanges that connect the container bodies.

次Ｃ二、前述のように構成された容器を両端のフランジ
３．３により何本も接続して加速器の真空導管として使
用するには容器本体ｌの脱ガスを行なわなければならな
い。このためには、図示しないポンプで排気しながら、
電極３．３に適当な電圧例えば０．１關厚のチタン容器
の長さ１ｍ当りに１８．７Ｖの電圧を加えると容器本体
ＩＩ−は１釧巾当り約１７Ａの電流が流れて、略１０分
後には容器本体１の内壁を４００℃以上（ユ昇温するこ
とができるので、速かに脱ガスされる。また、容器本体
１はガラスコンパウンド層２にガラスで固着されており
、真空に引きながら通電加熱を繰り返しても破損するこ
とはないので長期の使用に耐え得る。そして、このガラ
スコンパウンド層と容器本体との結合は、ガラスコンパ
ウンド層の形成と同時ｉ二結合ガラスでなされるので農
作が容易である。C2: In order to connect a number of containers constructed as described above through flanges 3.3 at both ends and use them as vacuum conduits for an accelerator, the container body 1 must be degassed. To do this, while evacuating with a pump (not shown),
When a suitable voltage is applied to the electrode 3.3, for example, 18.7 V per meter length of a 0.1-thick titanium container, a current of approximately 17 A per 1 meter width flows through the container body II-, and approximately 10 After a few minutes, the inner wall of the container body 1 can be heated to over 400 degrees Celsius, so the gas is quickly degassed.The container body 1 is fixed to the glass compound layer 2 with glass, It can withstand long-term use because it will not break even if it is heated repeatedly while being pulled.The glass compound layer and the container body are bonded using dibond glass at the same time as the glass compound layer is formed. Farming is easy.

しかして、ガラスコンパウンド層は石綿以外にはＭｇＯ
，５ｉ０２　、　ＡＪ２０Ｂなどの劇熱性電気絶縁材の
粉末を骨相とし、これに適当な結合ガラスを組み合せて
作られる。また、結合ガラスとしては、強固な接着力を
得るため熱膨張率が容器本体より大きなものを選ぶとよ
い。そして、前記の骨材と結合ガラスの組合せで容器本
体に適したものが容易ｇユ得られるｅｌか異なるガラス
コンパウンド層を重ねて丈夫なものを作ることができる
。さらに、容器本体はチタンＴＩ以外にはタンタルＴａ
　、モリブデンＭＯ、タングステンＷ、ステンレス材な
どでもよく、肉厚は薄いほど材料費が節約できるととも
に磁界をかける加速器などでは、磁気損失が低減できる
などの利点があるが製作のし易さや気密の点から０．Ｉ
Ｎ程度が好ましい。However, the glass compound layer is made of MgO other than asbestos.
, 5i02, AJ20B, etc., is used as the bone material, and a suitable bonding glass is combined with the powder. Further, as the bonding glass, it is preferable to select a bonding glass whose coefficient of thermal expansion is larger than that of the container body in order to obtain strong adhesive strength. A combination of the above-mentioned aggregate and bonding glass can easily be used to create a container body suitable for the container body, or a durable container can be made by overlapping layers of different glass compounds. Furthermore, the container body is made of tantalum Ta other than titanium TI.
, molybdenum MO, tungsten W, stainless steel, etc. may be used.The thinner the wall thickness, the lower the material cost, and in the case of an accelerator that applies a magnetic field, it has the advantage of reducing magnetic loss, but it has the disadvantages of ease of production and airtightness. From 0. I
About N is preferable.

一方、容器本体の通電による加熱は、印加電圧で自由に
コントロールされ、容器本体ｇ二外圧がかからないよう
にすれば、１ｏｏｏ℃近くまで加熱しながら、フォーミ
ングガスを流して脱ガスするととができる。そして、こ
のような高温５二通電加熱した場合にはガラスコンパウ
ンドの結合ガラスは軟化し、一部は溶融するが骨材に包
含されて、ガラスコンパウンド層が変形したり、脱落す
る恐れはなく、通電を止め冷却すれはガラスコンパウン
ド層は補強層として再生される。On the other hand, the heating of the container body by energization can be freely controlled by the applied voltage, and if external pressure is not applied to the container body g, it is possible to degas the container body by flowing forming gas while heating it to nearly 100°C. When heated with electricity at such a high temperature, the bonded glass of the glass compound will soften and some will melt, but it will be included in the aggregate and there is no risk of the glass compound layer deforming or falling off. When the electricity is turned off and the product is cooled, the glass compound layer is regenerated as a reinforcing layer.

なお、本発明は真空容器Ｃ−限らず、清浄な雰囲気を必
要とするベルジュアや４管などの気密容器全般に適用で
きることは勿論である。It goes without saying that the present invention is applicable not only to the vacuum container C-, but also to all airtight containers such as Verdure and 4-tube containers that require a clean atmosphere.

［発明の効果］ 本発明によれば、容器本体にＷ接電流を流して加熱脱ガ
スすることが可能であるので短時間ｌ二効率よく吸蔵ガ
スを除去することができる。また。[Effects of the Invention] According to the present invention, since it is possible to heat and degas by passing a W contact current through the container body, occluded gas can be efficiently removed in a short time. Also.

容器本体を薄肉５二したので、ガス吸蔵の少ない貴金属
の採用が可能となり、高真空や清浄な雰囲気を容易に作
ることができる。さら５１補強層としてガラスコンパウ
ンドが用いられており、かつ容器本体とガラスコンパウ
ンド層はガラス接合されているので、熱膨張率や接着性
を容器本体に合わせて選択できる。したがって、耐久性
が優れた大型容器を提供することができる。Since the container body has a thin wall, it is possible to use precious metals that have little gas absorption, and it is possible to easily create a high vacuum and a clean atmosphere. Furthermore, since a glass compound is used as the reinforcing layer 51, and the container body and the glass compound layer are glass-bonded, the coefficient of thermal expansion and adhesiveness can be selected according to the container body. Therefore, a large container with excellent durability can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明の一笑施例の断面図、第２図は第１図の
正面図である。 １・・・容器本体　２・・・補強層 ３・・・接紅Ｉ、ンランジFIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a front view of FIG. 1. 1... Container body 2... Reinforcement layer 3... Red coloring I, coloring

Claims (1)

【特許請求の範囲】 （１）薄肉の金属発熱体よりなる容器本体と該容器本体
の外側Ｃニガラスコンパウンドよりなる補強層を設ける
とともＣ−前記容器本体と前記補強層とをガラス接合し
て一体構成としたことを特徴とする気密容器。 （２）容器本体はチタン、タンタル、モリブデン。 タングステンまたはステンレス材から選択された材料で
製作されている特許請求の範囲第１項記載の気密容器°
０ （８）　ガラスコンパウンドよりなる補強層は、石綿ま
たはＭｆＯ，Ｓ　ｔｏ２．　ＡＬ２ｏ６などの１ｌｊｌ
熱性電気絶縁材の粉氷からなる骨材と結合ガラスとから
構成されている特許請求の範囲第１項記載の気密容器０[Scope of Claims] (1) A container body made of a thin metal heating element and a reinforcing layer made of glass compound are provided on the outside of the container body, and C- the container body and the reinforcing layer are glass-bonded. An airtight container characterized by having an integral structure. (2) The container body is made of titanium, tantalum, and molybdenum. The airtight container according to claim 1 is made of a material selected from tungsten or stainless steel.
0 (8) The reinforcing layer made of glass compound is made of asbestos or MfO, S to2. 1ljl such as AL2o6
The airtight container 0 according to claim 1, which is composed of an aggregate made of powdered ice of a thermal electric insulating material and bonded glass.