JPS60200842A - 紫外線透過用ガラス - Google Patents
紫外線透過用ガラスInfo
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- JPS60200842A JPS60200842A JP5238584A JP5238584A JPS60200842A JP S60200842 A JPS60200842 A JP S60200842A JP 5238584 A JP5238584 A JP 5238584A JP 5238584 A JP5238584 A JP 5238584A JP S60200842 A JPS60200842 A JP S60200842A
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- glass
- ultraviolet rays
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- transmitting ultraviolet
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C4/00—Compositions for glass with special properties
- C03C4/0085—Compositions for glass with special properties for UV-transmitting glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/11—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen
- C03C3/112—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen containing fluorine
- C03C3/115—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen containing fluorine containing boron
- C03C3/118—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen containing fluorine containing boron containing aluminium
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はたとえばレーザ核融合に使用される紫外線透
過用ガラスに関づるものである。
過用ガラスに関づるものである。
最近、レーザ核融合実験において、より短波長のレーザ
光はど小さなエネルギで爆縮を起すことがわかり、これ
まで用いられていたネオジムガラスレーザの波長１，０
５μｍの光を高調波変換した波長０．３５μｍ（３ω光
）のレーザ光が使われつつある。この場合に問題となる
のは、従来レーデシステム中の光学素子ガラスどして用
いられているＢＫ−７＜***ショット社製光学ガラス）
が、波長０．３５μｍの光透過率が低く、ソーラリゼー
ションが生じるため使用できないことである。これに対
し、 波長０．３５μｍの光透過率が高く、耐ソーラリ
ゼーション特性にすぐれたガラスとして、重量％で ５
ｉＱ２ ６０〜７０、Ｂ２Ｏ３１５〜２５、Ａｌ２Ｏ３
１〜５、Ｒ２０（Ｒ＝Ｋ。
光はど小さなエネルギで爆縮を起すことがわかり、これ
まで用いられていたネオジムガラスレーザの波長１，０
５μｍの光を高調波変換した波長０．３５μｍ（３ω光
）のレーザ光が使われつつある。この場合に問題となる
のは、従来レーデシステム中の光学素子ガラスどして用
いられているＢＫ−７＜***ショット社製光学ガラス）
が、波長０．３５μｍの光透過率が低く、ソーラリゼー
ションが生じるため使用できないことである。これに対
し、 波長０．３５μｍの光透過率が高く、耐ソーラリ
ゼーション特性にすぐれたガラスとして、重量％で ５
ｉＱ２ ６０〜７０、Ｂ２Ｏ３１５〜２５、Ａｌ２Ｏ３
１〜５、Ｒ２０（Ｒ＝Ｋ。
Ｎａ、Ｌｉ）１０〜２０、Ｒ’ ０ （Ｒ’ ＝Ｍｇ、
ＣａＳ Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｐｂ） Ｏ〜５の組成から
なるホウケイ酸ガラスが知らむでいる。
ＣａＳ Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｐｂ） Ｏ〜５の組成から
なるホウケイ酸ガラスが知らむでいる。
また、レーザ核融合等の大出力レーザシステムにおいて
は、出力を効率良く取り出すために光学ガラス表面の反
射防止処理が必要不可欠である。
は、出力を効率良く取り出すために光学ガラス表面の反
射防止処理が必要不可欠である。
従来の真空蒸着法による多層反射防止ツーｌ−膜はレー
ザ光に対する損傷しきい値が低く、レーザシステムの出
力はこれにより制限されていた。これに対し、ガラス表
面を多価カチオンを含む弱アルカリ溶液中で処理するこ
とによりレーザ損傷しきい値の高い反射防止膜を製造覆
る方法が特開０３５８−６９７４６号公報に報告されて
おり、づくなくとも５重量％以上のアルカリ金属を含有
づるケイ酸塩ガラスについて任意の波長で反射率の低い
膜を形成し得ることが述べられている。
ザ光に対する損傷しきい値が低く、レーザシステムの出
力はこれにより制限されていた。これに対し、ガラス表
面を多価カチオンを含む弱アルカリ溶液中で処理するこ
とによりレーザ損傷しきい値の高い反射防止膜を製造覆
る方法が特開０３５８−６９７４６号公報に報告されて
おり、づくなくとも５重量％以上のアルカリ金属を含有
づるケイ酸塩ガラスについて任意の波長で反射率の低い
膜を形成し得ることが述べられている。
しかしながら、前記の組成からなるホウケイ酸ガラスは
Ａｌ２Ｏ３の含有量が多いため、前記公報に示された処
理方法では良好な反射防止膜が形成されない。これは、
Ａｌ２Ｏ３の含有ｍが多いガラスはガラス構造が強固な
ため浸食されにくく、充分な多孔質膜が得られないため
である。
Ａｌ２Ｏ３の含有量が多いため、前記公報に示された処
理方法では良好な反射防止膜が形成されない。これは、
Ａｌ２Ｏ３の含有ｍが多いガラスはガラス構造が強固な
ため浸食されにくく、充分な多孔質膜が得られないため
である。
この発明は上記のことから、波長０．３５μｒｎの光透
過率が高く、しかも表面に多孔質の反射防止膜を形成し
得る紫外線透過用ガラスを提供することを目的とするも
のである。
過率が高く、しかも表面に多孔質の反射防止膜を形成し
得る紫外線透過用ガラスを提供することを目的とするも
のである。
ここにおいて、この発明は発明者らは、前記の組成から
なるガラスに重量％で０．１〜６のＦ２を添加すると、
波長０．３５μｍの光透過率の高いガラスが得られ、ま
たこれを１）８８．７〜１０．０で多価金属イオンを含
有しない緩衝性溶液で処理すると、Ｆ２の作用によりガ
ラス構造にゆるみが生じ浸食されやすくなって浸食を受
け、溶液中に溶１ノ出したＦ−が浸食を促進させる一方
、溶液中に溶は出したＡＩ３＋がガラスの浸食を制御し
、それににリガラス表面に光学的に均一で反射率が低く
、レーザ損傷しきい値の高い多孔質の反射防止膜が形成
されることを見い出した。なお、Ｆ２の含有量が重量％
で０．１以下で１は波長０．３５μｍの光透過率が向上
しないし良好な反射防止膜を形成することもできず、一
方１０％以上ではガラスが失透しやづくなる。
なるガラスに重量％で０．１〜６のＦ２を添加すると、
波長０．３５μｍの光透過率の高いガラスが得られ、ま
たこれを１）８８．７〜１０．０で多価金属イオンを含
有しない緩衝性溶液で処理すると、Ｆ２の作用によりガ
ラス構造にゆるみが生じ浸食されやすくなって浸食を受
け、溶液中に溶１ノ出したＦ−が浸食を促進させる一方
、溶液中に溶は出したＡＩ３＋がガラスの浸食を制御し
、それににリガラス表面に光学的に均一で反射率が低く
、レーザ損傷しきい値の高い多孔質の反射防止膜が形成
されることを見い出した。なお、Ｆ２の含有量が重量％
で０．１以下で１は波長０．３５μｍの光透過率が向上
しないし良好な反射防止膜を形成することもできず、一
方１０％以上ではガラスが失透しやづくなる。
すなわち、この発明による紫外線透過用ガラスは、重量
％で５ｉ０２６０〜７０、Ａｌ２Ｏ：１ １〜５ 、
８２ ０３ １５〜２５、Ｒ２０（Ｒ＝Ｋ 、Ｎａ 、
Ｌｉ）１０〜１５、Ｒ’ Ｏ（Ｒ’ ＝ＭＱ、ｃａ、ｓ
ｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｐｂ）Ｏ〜５、外削でＦ２０１〜６か
らなる組成を有している。またこの発明による紫外線透
過用ガラスは、上記の組成を右し、表面に多孔質の反射
防止膜を形成してなる。
％で５ｉ０２６０〜７０、Ａｌ２Ｏ：１ １〜５ 、
８２ ０３ １５〜２５、Ｒ２０（Ｒ＝Ｋ 、Ｎａ 、
Ｌｉ）１０〜１５、Ｒ’ Ｏ（Ｒ’ ＝ＭＱ、ｃａ、ｓ
ｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｐｂ）Ｏ〜５、外削でＦ２０１〜６か
らなる組成を有している。またこの発明による紫外線透
過用ガラスは、上記の組成を右し、表面に多孔質の反射
防止膜を形成してなる。
次表に、この発明によるガラスの組成例（試料Ｎ００２
〜８）を、Ｆ２を含有しない従来のガラス（試料Ｎｏ、
１）とともに示し、また試料Ｎｏ。
〜８）を、Ｆ２を含有しない従来のガラス（試料Ｎｏ、
１）とともに示し、また試料Ｎｏ。
１〜８およびＢＫ−７のいずれも１０ｃｍ厚のガラスに
対する波長０．３５μｍの光透過率を示す。試料Ｎ０８
２〜８のガラスは、原料として、酸洗浄を行って精製し
たケイ石粉、フッ化アルミニウム、水酸化アルミニウム
、無水硼砂、ホウ酸、炭酸カリウム、硝酸カリウム、炭
酸リチウム、亜鉛華、酸性フッ化カリウムを各々のガラ
スの組成となるよう精秤し、混合したのち、白金るつぼ
内で１４５０℃で３時間溶解しながら溶解中に３０分間
撹拌し、１３５０℃に降温してから鋳鉄製の枠内に流し
込み通常の方法で徐冷後、冷間で研削・ｒＩＩＴＩｇを
行って１０ｃｍ厚のガラスを１ｑたものである。なお、
ガラス中の鉄分は波長０．３５μｍｌの光透過に大きな
影響を及ぼづため、原料混合物いわゆるバッチ段階で２
ｐ、ｐ、ｒｒｌ、以下にしＩＣ６Ｃ以下余白）この表か
ら明らかなように、Ｆ２を含有しない従来のガラス（試
料ＮＯ，１）はＢＫ−７より波長０．３５μｍの光透過
率が高く、この発明によるガラス（試料Ｎｏ６２〜８）
は試料Ｎｏ、１のカラスよりも波長０．３５μｍの光透
過率がざらに高い。
対する波長０．３５μｍの光透過率を示す。試料Ｎ０８
２〜８のガラスは、原料として、酸洗浄を行って精製し
たケイ石粉、フッ化アルミニウム、水酸化アルミニウム
、無水硼砂、ホウ酸、炭酸カリウム、硝酸カリウム、炭
酸リチウム、亜鉛華、酸性フッ化カリウムを各々のガラ
スの組成となるよう精秤し、混合したのち、白金るつぼ
内で１４５０℃で３時間溶解しながら溶解中に３０分間
撹拌し、１３５０℃に降温してから鋳鉄製の枠内に流し
込み通常の方法で徐冷後、冷間で研削・ｒＩＩＴＩｇを
行って１０ｃｍ厚のガラスを１ｑたものである。なお、
ガラス中の鉄分は波長０．３５μｍｌの光透過に大きな
影響を及ぼづため、原料混合物いわゆるバッチ段階で２
ｐ、ｐ、ｒｒｌ、以下にしＩＣ６Ｃ以下余白）この表か
ら明らかなように、Ｆ２を含有しない従来のガラス（試
料ＮＯ，１）はＢＫ−７より波長０．３５μｍの光透過
率が高く、この発明によるガラス（試料Ｎｏ６２〜８）
は試料Ｎｏ、１のカラスよりも波長０．３５μｍの光透
過率がざらに高い。
つぎに反射防止膜の形成方法について実施例に従って説
明する。
明する。
［実施例１］
上記表の試料Ｎｏ、４のガラスを厚さ５ ｍ ｍで５０
ｍ ＩＴＩ ×５０ｍ ｒｒ＋に光学研磨し、これを０
０５ＭＮａ２ＣＯ３と０．ＩＭ ＮａＨＣＯ：＋溶液と
を１：９の容積比で混合した６０℃の溶液中に１６時間
浸漬した後、６０℃の温水で水洗し、さらに室温のエタ
ノール中に浸漬してから室温で乾燥して反射率測定試料
とした。その反射率の測定結果を図中ａに示す。反射率
測定には光透過率測定と同様、島津製作所製の島津マル
ヂパーパス自記分光光度計Ｍ Ｐ、、Ｓ−５０００型を
使用した。なお、この混合溶液調整時のｐＩ−１は８．
７であり、ガラス試料を１６時間浸漬後−す変化なかっ
た。
ｍ ＩＴＩ ×５０ｍ ｒｒ＋に光学研磨し、これを０
０５ＭＮａ２ＣＯ３と０．ＩＭ ＮａＨＣＯ：＋溶液と
を１：９の容積比で混合した６０℃の溶液中に１６時間
浸漬した後、６０℃の温水で水洗し、さらに室温のエタ
ノール中に浸漬してから室温で乾燥して反射率測定試料
とした。その反射率の測定結果を図中ａに示す。反射率
測定には光透過率測定と同様、島津製作所製の島津マル
ヂパーパス自記分光光度計Ｍ Ｐ、、Ｓ−５０００型を
使用した。なお、この混合溶液調整時のｐＩ−１は８．
７であり、ガラス試料を１６時間浸漬後−す変化なかっ
た。
［実施例２］
実施例１と同一のガラスを、０．０３Ｍ Ｎａ２ＨＰＯ
４の溶液に６０℃で１６時間浸漬後、実施例１と同様の
洗浄、乾燥を行って反射防止膜ｆりのガラスを得た。そ
の反射率の測定結果を図中すに示Ｊ０なお、この溶液の
調整時のｐｌ−１は９．８で、ガラス試料を１６時間浸
漬後も変化なかった。
４の溶液に６０℃で１６時間浸漬後、実施例１と同様の
洗浄、乾燥を行って反射防止膜ｆりのガラスを得た。そ
の反射率の測定結果を図中すに示Ｊ０なお、この溶液の
調整時のｐｌ−１は９．８で、ガラス試料を１６時間浸
漬後も変化なかった。
［実施例３］
実施例１と同一のガラスを、０．０３Ｍ Ｎａ２ＨＡＳ
Ｏ４の溶液に６０℃で１６時間浸漬後、実施例１と同様
の方法で反射防止膜イ」のガラスを１１１だ。
Ｏ４の溶液に６０℃で１６時間浸漬後、実施例１と同様
の方法で反射防止膜イ」のガラスを１１１だ。
その反射率の測定結果を図中Ｃに示づ。なお、この溶液
の調整時のｐＨは９２で、１６時間カラスを浸漬後も変
化なかった。
の調整時のｐＨは９２で、１６時間カラスを浸漬後も変
化なかった。
なお、図４１ｄは従来の試料Ｎｏ、１のガラスを実施例
３の方法で処理したものの反則率の測定結果である。
３の方法で処理したものの反則率の測定結果である。
図から明らかなように、この発明によるＦ２を含有する
ガラスは反射防止膜が形成され、その結果従来のものよ
り低い反射率を有することがわかる。さらに、反射防止
膜を形成さけるだめの！ｌｌ！！理液は弱酸性酸の酸性
塩であり、ガラス処理後もｐＨの変化がなく、緩衝作用
をもつことがわかる。
ガラスは反射防止膜が形成され、その結果従来のものよ
り低い反射率を有することがわかる。さらに、反射防止
膜を形成さけるだめの！ｌｌ！！理液は弱酸性酸の酸性
塩であり、ガラス処理後もｐＨの変化がなく、緩衝作用
をもつことがわかる。
この発明は上記のように構成したので、波長０３５μｍ
の光透過率が高く、そのためたとえばレーザ核融合実験
において従来の波長１．０５μｍのものより波長が短く
小さなエネルギで爆縮を起す０．３５μｍのレーザシス
テム中の光学素子ガラスとして好適である等のすぐれた
効果を有する：乙のである。また表面に多孔質の反射防
止膜を形成したこの発明による紫外線透過用ガラスは、
上記の効果に加えて、従来の真空蒸着法による多層反射
防止コート膜よりもレーザ光に対する損傷しきい値が高
く、そのためレーザシステムにおいて出力を効率よく取
り出すことができて出力の向上を図ることができる等の
効果がある。
の光透過率が高く、そのためたとえばレーザ核融合実験
において従来の波長１．０５μｍのものより波長が短く
小さなエネルギで爆縮を起す０．３５μｍのレーザシス
テム中の光学素子ガラスとして好適である等のすぐれた
効果を有する：乙のである。また表面に多孔質の反射防
止膜を形成したこの発明による紫外線透過用ガラスは、
上記の効果に加えて、従来の真空蒸着法による多層反射
防止コート膜よりもレーザ光に対する損傷しきい値が高
く、そのためレーザシステムにおいて出力を効率よく取
り出すことができて出力の向上を図ることができる等の
効果がある。
図はこの発明によるガラスを各処理液で処理した場合の
反射率の測定結果をａ、ｂ、ｃに示り図であり、参考の
ため従来のガラスを同様の処理液で処理したものの反射
率の測定結果をｄに示しである。 出 願 人 株式会社 保谷硝子 代 理 人 朝 倉 正 幸 ３５０ ４００ ４５０ ５００ ５５０波長（ｎｍ）
反射率の測定結果をａ、ｂ、ｃに示り図であり、参考の
ため従来のガラスを同様の処理液で処理したものの反射
率の測定結果をｄに示しである。 出 願 人 株式会社 保谷硝子 代 理 人 朝 倉 正 幸 ３５０ ４００ ４５０ ５００ ５５０波長（ｎｍ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 重量％で Ｓ ｉ ０２ ６０〜７０ Ａ１２０３ １〜５ Ｂ２０３ １５〜２５ Ｒ２０（Ｒ＝に、 Ｎ ａ、、Ｌ ！ ） １０〜１５
Ｒ’ ＯＣＲ’ −Ｍ Ｑ １Ｃａ １Ｓ ｒ １ｏ
〜５Ｂａ、Ｚｎ、Ｐｂ） 外削で Ｆ２ ０．１〜６ からなる組成を有する紫外線透過用ガラス。 ２ 重■％で ５ｉ０２ ６０〜７０ Δ１２０３ １〜５ ８２０３ １５〜２５ Ｒ２０（Ｒ＝に、 Ｎａ、 Ｌ ｔ ） １０〜１５Ｒ
’ Ｏ（Ｒ’ ＝Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ１ ０〜５Ｂａ、Ｚ
ｎ、Ｐｂ） 外削で Ｆ２ ０．１〜６ からなる組成を有し、表面に多孔質の反射防止膜を形成
してなる紫外線透過用ガラス。 ３ 前記反射防止膜は前記組成を有するガラスをｐＨ８
，７〜１０．０の溶液で表面処理することにより形成さ
れる特許請求の範囲第２項記載の紫外線透過用ガラス。 ４ 前記溶液はｐＨ８，７〜１０．０の緩衝作用をもつ
特許請求の範囲第３項記載の紫外線透過用ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5238584A JPS60200842A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 紫外線透過用ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5238584A JPS60200842A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 紫外線透過用ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60200842A true JPS60200842A (ja) | 1985-10-11 |
| JPH0210770B2 JPH0210770B2 (ja) | 1990-03-09 |
Family
ID=12913336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5238584A Granted JPS60200842A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 紫外線透過用ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60200842A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8900086A (nl) * | 1988-01-20 | 1989-08-16 | Schott Glaswerke | U.v. doorlatend glas. |
| JPH0455337A (ja) * | 1990-06-21 | 1992-02-24 | Ohara Inc | 紫外線透過性ガラス |
| US5610108A (en) * | 1993-10-15 | 1997-03-11 | Schott Glaswerke | Reducing melt borosilicate glass having improved UV transmission properties and water resistance and methods of use |
| EP1162180A1 (en) * | 2000-06-05 | 2001-12-12 | Kabushiki Kaisha Ohara | Optical glass suffering little change in refractive index when exposed to ultra-violet light during service |
| JP2011251903A (ja) * | 2000-06-05 | 2011-12-15 | Ohara Inc | 光照射による屈折率変化の小さい光学ガラス |
| JP2015193521A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-11-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
| DE202020107534U1 (de) | 2020-12-03 | 2021-07-14 | Schott Ag | Borosilicatglasartikel |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6021830A (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-04 | Nippon Electric Glass Co Ltd | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
| JPS6077144A (ja) * | 1983-10-03 | 1985-05-01 | Hoya Corp | 紫外線透過ガラス |
-
1984
- 1984-03-21 JP JP5238584A patent/JPS60200842A/ja active Granted
Patent Citations (2)
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| US7196027B2 (en) | 2000-06-05 | 2007-03-27 | Kabushiki Kaisha Ohara | Optical glass suffering little change in refractive index by radiation of light |
| JP2011251903A (ja) * | 2000-06-05 | 2011-12-15 | Ohara Inc | 光照射による屈折率変化の小さい光学ガラス |
| JP2015193521A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-11-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
| JP2018131384A (ja) * | 2014-03-19 | 2018-08-23 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラスの製造方法 |
| JP2018197190A (ja) * | 2014-03-19 | 2018-12-13 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| DE202020107534U1 (de) | 2020-12-03 | 2021-07-14 | Schott Ag | Borosilicatglasartikel |
| EP3950619A2 (de) | 2020-12-03 | 2022-02-09 | Schott AG | Borosilicatglasartikel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0210770B2 (ja) | 1990-03-09 |
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