JPS60195069A - Porous ceramic and manufacture - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は新規な多孔性セラミック及びその製造方法を提
供する。詳しくはアルミニウム。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides a novel porous ceramic and method of manufacturing the same. More details on aluminum.

ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも一
種の金属の炭化物又は窒化物よりなる焼結体で、焼結さ
れて結合された該アルミニウム、ケイ素及びホウ素より
なる群から選ばれた少なくとも一種の金属の炭化物又は
窒化物の結晶粒子の一部に連続した孔を構成してなるこ
とを特徴とする多孔性セラミックである。また本発明は
アルミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれ
た少なくとも一種の金属の炭化物又は窒化物　６０〜９
７重量％とカーボン　３〜４−Ｏ重量％とからなる焼結
体を、酸素又は炭酸ガスを含訃雰囲気下に６００〜９０
０℃の温度で加熱して含有カーボンを除去することを特
徴とする多孔性セラミックの製造方法をも提供するもの
である。A sintered body made of a carbide or nitride of at least one metal selected from the group consisting of silicon and boron, which is sintered and bonded to at least one metal selected from the group consisting of aluminum, silicon, and boron. This porous ceramic is characterized in that continuous pores are formed in part of crystal grains of carbide or nitride. The present invention also provides carbides or nitrides of at least one metal selected from the group consisting of aluminum, silicon, and boron.
A sintered body consisting of 7% by weight of carbon and 3-4% by weight of carbon was heated to 600-90% by weight in an atmosphere containing oxygen or carbon dioxide gas.
The present invention also provides a method for producing a porous ceramic, characterized in that the carbon contained therein is removed by heating at a temperature of 0°C.

従来、各種産業用及び民生用の機拡２機器材料或いは電
子機器材料等に種々のセラミック又はセラミック投合体
が使用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, various ceramics or ceramic composites have been used as materials for various industrial and consumer-use mechanical devices, electronic devices, and the like.

しかしながら特定の用途に要求されるニーズを満足する
材料を工業的に製造することはしばしば困難を伴う。However, it is often difficult to industrially produce materials that meet the needs of specific applications.

本発明者等は特定の性状を有する種々のセラミック体の
開発を鋭意行って来た。特に多孔性セラミックを工業的
に製造する研究を続けた結果、新規な多孔性セラミック
の開発に成功し、ここに提案するに至った。The present inventors have worked diligently to develop various ceramic bodies having specific properties. In particular, as a result of continuing research on the industrial production of porous ceramics, we succeeded in developing a new porous ceramic, which we have proposed here.

即ち、本発明はアルミニウム、ケイ素及びホウ素よりな
る群から選ばれた少なくとも一種の金属の炭化物又は窒
化物よりなる焼結体で、焼結されて結合された該アルミ
ニウム。That is, the present invention is a sintered body made of a carbide or nitride of at least one metal selected from the group consisting of aluminum, silicon, and boron, and the aluminum is sintered and bonded.

ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも一
種の金属の炭化物又は窒化物の結晶粒子の一部に連続し
た孔を構成してなることを特徴とする多孔性セラミック
である。また本発明はアルミニウム、ケイ素及びホウ素
よりなる群から選ばれた少なくとも一種の金属の炭化物
又は窒化物　Ｇｏ〜９７　重量％とカーボン　３〜４０
重量％とからなる焼結体を、酸素又は炭酸ガスを含む雰
囲気下に６００〜９００℃の温度で加熱して含有カーボ
ンを除去することを特徴とする多孔性セラミックの製造
方法をも提供するものである。This porous ceramic is characterized in that continuous pores are formed in a part of crystal grains of carbide or nitride of at least one metal selected from the group consisting of silicon and boron. The present invention also provides a carbide or nitride of at least one metal selected from the group consisting of aluminum, silicon, and boron Go~97% by weight and carbon 3~40% by weight
% by weight is heated at a temperature of 600 to 900°C in an atmosphere containing oxygen or carbon dioxide to remove carbon contained therein. It is.

本発明の多孔性セラミックはその成分がアルミニウム、
ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少くとも一種
の金属の炭化物又は窒化物（以下、単に焼結成分化合物
と言う）よりなる焼結体で、該焼結成分化合物の結晶粒
子の一部に連続した孔を看している。該孔の形状、大き
さ等についてはその製造方法によって影春なうけるので
一部に限定出来ないが一般には０．１〜ｒｏｏｐｍ　の
ものから選択出来る。これらの孔がどのように構成され
ているかは多孔性セラミックを機械的に破断し、その破
断面の電子顕微鏡写真をとることによって確認出来る。The porous ceramic of the present invention contains aluminum,
A sintered body made of carbide or nitride of at least one metal selected from the group consisting of silicon and boron (hereinafter simply referred to as sintered component compound), in which some of the crystal grains of the sintered component compound include Watching a series of holes. The shape, size, etc. of the pores are influenced by the manufacturing method, and cannot be limited to a specific one, but generally they can be selected from 0.1 to loop pm. The structure of these pores can be confirmed by mechanically breaking the porous ceramic and taking an electron micrograph of the broken surface.

例えば添付図面第１図は本発明の実施例１で得られた多
孔性セラミックを機械的に破断し、その破断面を電子顕
微鏡で撮影したものである。第１図から明らかなように
焼結成分化合物（第１図にあっては窒化アルミニウム）
の粒子の結晶が相互に緊密に充填されていて、その粒子
の粒界面の一部の充填部が欠如し、この欠如部が連続し
た孔を形成している。従って焼結成分化合物同志は相互
にその結晶粒の一部が焼結してつらなっているので、強
度は著しく強く、形状の安定性もすぐれている。例えば
該多孔性セラミックは２０％の空隙率を有するものにあ
ってユ０ｋＩｉ以上の強度を有するものさえある。For example, FIG. 1 of the accompanying drawings shows the porous ceramic obtained in Example 1 of the present invention mechanically fractured and the fractured surface taken with an electron microscope. As is clear from Figure 1, the sintered component compound (aluminum nitride in Figure 1)
The crystals of the particles are closely packed with each other, and some of the grain interfaces of the particles are missing, and this missing part forms continuous pores. Therefore, the sintered component compounds have a part of their crystal grains sintered and connected to each other, so the strength is extremely strong and the shape stability is also excellent. For example, some porous ceramics have a porosity of 20% and have a strength of more than 0 kIi.

本発明の多孔性セラミックはその製造方法を特に限定す
るものではないが、その代表的なものを例示すると次ぎ
の通りである。先ず、前記焼結成分化合物となる粉末（
以下、第一成分化合物と言う）とカーボン又はカーボン
になる得る化合物（以下、第二成分化合物と言う）とを
混合する。該第−成分化合物は既に公知の化合物である
。本発明の多孔性セラミックを得る原料としてはこれら
の公知の化合物をそのま＼使用して、焼結すればよい。Although there are no particular limitations on the manufacturing method of the porous ceramic of the present invention, typical examples thereof are as follows. First, powder (
Carbon or a compound that can become carbon (hereinafter referred to as a second component compound) are mixed. The first component compound is a known compound. As raw materials for obtaining the porous ceramic of the present invention, these known compounds may be used as they are and sintered.

一般には焼結性をより好ましくするために該第−成分化
合物の粒子径は出来るだけ小さく、しかも粒度分布が揃
ったものが好適である。Generally, in order to improve the sinterability, it is preferable that the particle size of the first component compound be as small as possible and have a uniform particle size distribution.

これらの粒子径及び粒度分布は該第−成分化合物の種類
、焼結条件等によって火なり一部に限定出来ないが一般
には例えば平均粒子径が５μｍ以下好ましくは２μｍ以
下で、粒度分布は平均粒子径をＤとするとき０．４Ｄ〜
１、（Ｄの範囲の粒子が９０容量％以上を占めるような
もので、その純度が９５％以上好ましくは９８％以上の
ものが特に好適に使用される。特に第一成分化合物のな
かで窒化アルミニウムを用いるときは次ぎのような本発
明者等が開発した新規な窒化アルミニウム粉末を用いる
と好適である。The particle size and particle size distribution of these particles depend on the type of the first component compound, the sintering conditions, etc., and cannot be limited to a certain part, but in general, the average particle size is, for example, 5 μm or less, preferably 2 μm or less, and the particle size distribution is based on the average particle size. When the diameter is D, 0.4D~
1. Those in which particles in the range D occupy 90% by volume or more, and whose purity is 95% or more, preferably 98% or more, are particularly preferably used.In particular, among the first component compounds, nitrided When using aluminum, it is preferable to use the following new aluminum nitride powder developed by the present inventors.

例えば、平均粒子径が２μｍ以下、３μｍ以下の粒子の
ものを７０容ｆｉ％以上の割合で含有するもので且つ酸
素含有量３．０重皿％以下好ましくは１．５重量％以下
及び窒化アルミニウムの純度が９５％以上の窒化アルミ
ニウム粉末である。For example, it contains particles with an average particle size of 2 μm or less, 3 μm or less in a ratio of 70 volume fi% or more, and has an oxygen content of 3.0 weight percent or less, preferably 1.5 weight percent or less, and aluminum nitride. Aluminum nitride powder with a purity of 95% or more.

上記窒化アルミニウム粉末は次ぎのような製造方法によ
って得られる。The above aluminum nitride powder is obtained by the following manufacturing method.

即ち、 ラム微粒子と灰分含、ｉｏ、２重ｆｉｔ％以下好ましく
は０．１重量％以下で平均粒子径が１μｍ微粉末対該カ
ーボン微粉末の重量比は１：０．３６〜１：１であり； （２〕　得られた緊密混合物を、適宜乾燥し、窒素又は
アンモニアの雰囲気下Ｔ　１４００〜１７００℃　の温
度で焼成し； （３）　次いで得られた微粉末を酸素を含む雰囲気下で
６００〜９００℃の温度で加熱し℃未反応のカーボンを
加熱除去し、窒化アルミニウム含量が少くとも９５重量
％誉であり、結合酸素の含量が最大３．０重量グ好まし
くは１．５重量％であり、且つ不純物としての金属化合
物の含量が金属として最大０．３重量％である平均粒子
径が２μｍ以下の窒化アルミニウム粉末を生成せしめる
ことによって製造することができる。That is, the weight ratio of the lamb fine powder to the carbon fine powder is 1:0.36 to 1:1, with an ash content, io, double fit% or less, preferably 0.1% by weight or less, and an average particle diameter of 1 μm. Yes; (2) The resulting intimate mixture is suitably dried and calcined at a temperature of T 1,400 to 1,700°C under an atmosphere of nitrogen or ammonia; (3) The resulting fine powder is then heated for 600 °C in an oxygen-containing atmosphere. Heating at a temperature of ~900°C to remove unreacted carbon, the aluminum nitride content is at least 95% by weight, and the bound oxygen content is at most 3.0% by weight, preferably 1.5% by weight. It can be produced by producing aluminum nitride powder having an average particle size of 2 μm or less and containing a metal compound as an impurity of up to 0.3% by weight as metal.

本発明の多孔性セラミックの第二成分化合物はカーボン
又は焼結体を製造する過程でカーボンとなりうる化合物
である。従って、第二成分化合物の原料として必らずも
カーボンを使用する必要はない。例えば焼結後にカーボ
ンとなりうる化合物例えばポリエチレングリコール、デ
ンプン、等を原料として使用することも出来る。しかし
ながら、一般にはカーボンブラック、黒鉛化カーボン等
を原料として使用するのが好ましい。上記第一成分化合
物と第二成分化合物との混合割合は後述するように多孔
性セラミックの空隙率、孔径等に影響を与えるのでクシ
に応じて適宜実施すればよい。一般には前記第一成分化
合物（０〜　９７　重量％と第二成分化合物即ちカーホ
ン　３〜４０　ｆｆｌｆｉ％となるように選べば良好で
ある。The second component compound of the porous ceramic of the present invention is carbon or a compound that can become carbon in the process of producing a sintered body. Therefore, it is not necessary to use carbon as a raw material for the second component compound. For example, compounds that can become carbon after sintering, such as polyethylene glycol, starch, etc., can also be used as raw materials. However, it is generally preferable to use carbon black, graphitized carbon, etc. as raw materials. The mixing ratio of the first component compound and the second component compound affects the porosity, pore diameter, etc. of the porous ceramic, as will be described later, so it may be adjusted appropriately depending on the comb. In general, it is preferable to select a proportion of the first component compound (0 to 97% by weight) and the second component compound, that is, carphone, of 3 to 40% by weight.

次いで前記第一成分化合物と第二成分化合物とを混合し
た混合物を焼結すると第一成分化合物と第二成分化合物
との複合セラミックを得ることが出来るが、該混合に際
して、該第−成分化合物の焼結助剤を例えば０．１〜５
重九％となるように用いることはしばしば好適な実施態
様となる。該焼結助剤は第一成分化合物の種類によって
それぞれ多少異なるので、該第−成分化合物の！ｌＩｉ
類に応じて公知の焼結助剤から選び決定すればよい。一
般に好適に使用される焼結助剤は周期律表第［ａ族。Next, by sintering the mixture of the first component compound and the second component compound, a composite ceramic of the first component compound and the second component compound can be obtained. Sintering aid, for example 0.1 to 5
Using 9% by weight is often a preferred embodiment. The sintering aid differs somewhat depending on the type of the first component compound, so it depends on the type of the first component compound. lIi
The sintering aid may be selected from known sintering aids depending on the type. Generally, the sintering aids preferably used are those in Group A of the Periodic Table.

同第、［ａ族等の金属酸化物該金属炭酸塩、該金属硝酸
塩等である。In the same section, metal oxides such as group a metal carbonates, metal nitrates, etc.

前記第一成分化合物と第二成分化合物との原料混合比が
得られる多孔性セラミックの空隙率な決定するので得ら
れる多孔性セラツクスに要求される空隙率に応じて、予
め混合比特に上記第二成分化合物の混合比を決定してお
くのがよい。また同様に多孔性セラミックの孔径は原則
として前記第二成分化合物の粒子径によって影響される
ので、得られる多孔性セラミックに要求される孔径に応
じて該第二成分化合物の粒子径のものを選ぶとよい。The raw material mixing ratio of the first component compound and the second component compound determines the porosity of the porous ceramic to be obtained. It is better to determine the mixing ratio of the component compounds in advance. Similarly, the pore size of the porous ceramic is in principle influenced by the particle size of the second component compound, so the particle size of the second component compound is selected depending on the pore size required for the resulting porous ceramic. Good.

また上記混合は特に限定されないが一般には、水、炭化
水素類、アルコール類１石油エーテル等の公知の液体分
散媒体中で湿式混合することによって混合するのが好適
である。Although the above-mentioned mixing is not particularly limited, it is generally preferable to perform wet mixing in a known liquid dispersion medium such as water, hydrocarbons, alcohols, petroleum ether, or the like.

上記混合された混合物は必装に応じて乾燥した後、焼結
に供される。該焼結するための温度は前記第一成分化合
物の種類によって異なり一部に限定出来ないが一般には
１６００〜２２００℃の温度から選べば好適である。The above-mentioned mixture is dried as required and then subjected to sintering. The temperature for sintering varies depending on the type of the first component compound and cannot be limited to a particular temperature, but it is generally suitable to select a temperature from 1,600 to 2,200°C.

前記方法で得られた焼結体は前記第一成分化合物とカー
ボンとからなる複合セラミックである。この複合セラミ
ックは次いで酸素又炭酸ガスを含む雰囲気下に６００−
９００℃の湿度で加熱する。この加熱処理によって複合
セラミック中のカーボンが酸素と反応し、複合セラミッ
クから除去され、本発明の多孔性セラミックとなる。The sintered body obtained by the above method is a composite ceramic consisting of the first component compound and carbon. This composite ceramic was then heated to 600°C in an atmosphere containing oxygen or carbon dioxide.
Heat at 900°C humidity. Through this heat treatment, carbon in the composite ceramic reacts with oxygen and is removed from the composite ceramic, resulting in the porous ceramic of the present invention.

本発明の多孔性セラミックは前記したような種々の性状
を有するが、強度が大きい多孔性セラミックの出現によ
り、工業的に電子機器、電気部品、放熱板等積々の用途
に広く使用される。The porous ceramic of the present invention has various properties as described above, but with the emergence of porous ceramics with high strength, they are widely used industrially in a variety of applications such as electronic devices, electrical parts, and heat sinks.

本発明を更に具体的に説明するため以下実施例を拳げて
説明−ｆるが本発明はこれらの実施例に限定きれるもの
ではない。EXAMPLES In order to explain the present invention more specifically, Examples will be described below, but the present invention is not limited to these Examples.

実施例　１ 純度９９．９９％（不純物分析値を表１に示す）で平均
粒子径が０．５２μｍで６μｍ以下の粒子の割合が９５
　ｖｏ１％のアルミナ１００重量部と、灰分０．０８ｖ
ｔ％で平均粒子径が０．４５μｍのカーボンブラック５
０重針部とを、ナイロン製ポットとナイロンコーティン
グしたボールを用イエタノールを分散媒体として均一に
ボールミル混合した。得られた混合物を乾燥後、高純度
黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガスを５Ｉｌ／ｍｉｎ
で連続的に供給しながら１６００℃の温度で６時間加熱
した。得られた反応混合物を空気中で７５０℃の温度で
４時間加熱し、未反応のカーボンを酸化除去した。得ら
れた白色の粉末はＸ線回折分析（Ｘｒａｙ　ｄｉｆｆｒ
ａｃｔｉｏｎ　ａｎａｌｙＢｉａ　）の結果、単相（ｓ
ｉｎｇｌｅ　ｐｈａｓｅ　）　のＡＡ’Ｎであり、ＡＪ
２　ｏ３　の回折ピークは無かった。また該粉末の平均
粒子径を粒度分布測定器（相場製作所　０ＡＰＡ−５０
０）を用いて測定したところ１．３１μｍであり、３μ
ｍ以下が９０容量％を占めた。走査壓電子顕微鏡による
観察ではこの粉末は平均０．７μｍ程度の均一な粒子で
あった。また比表面積の測定値は４．０ｍ”／ｆであっ
た。この粉末の分析値を表２に示す。Example 1 The purity is 99.99% (impurity analysis values are shown in Table 1), the average particle diameter is 0.52 μm, and the proportion of particles of 6 μm or less is 95%.
VO1% alumina 100 parts by weight and ash content 0.08v
Carbon black 5 with an average particle size of 0.45 μm at t%
The zero-heavy needle portion was uniformly mixed in a ball mill using a nylon pot and a nylon-coated ball using iethanol as a dispersion medium. After drying the resulting mixture, it was placed in a flat plate made of high-purity graphite and nitrogen gas was introduced into an electric furnace at a rate of 5 Il/min.
The mixture was heated at a temperature of 1600° C. for 6 hours while being continuously supplied with water. The resulting reaction mixture was heated in air at a temperature of 750° C. for 4 hours to oxidize and remove unreacted carbon. The obtained white powder was subjected to X-ray diffraction analysis (Xray diffraction analysis).
As a result of the action analysis Bia ), the single phase (s
ingle phase) AA'N, AJ
There was no 2 o3 diffraction peak. In addition, the average particle diameter of the powder was measured using a particle size distribution analyzer (Aiba Seisakusho 0APA-50).
0), it was 1.31μm, and 3μm
m or less accounted for 90% by volume. When observed using a scanning electron microscope, this powder was found to be uniform particles with an average size of about 0.7 μm. Further, the measured value of the specific surface area was 4.0 m''/f. The analytical values of this powder are shown in Table 2.

表　Ｉ　ＡＡ！２０３粉末分析値 Ａ１２　ｏ３含有量　９９．９９％ 元　素　含有量（’ＰＰＭ） Ｍ　ｇ　〈　５ Ｏｒ　（１０ Ｓ　１　３０ ｚ　ｎ　〈　５ Ｆ　θ　２２ ０ｕ　、　（５ Ｃａ　〈２　Ｏ Ｎ　１　１５ Ｔ　１　く　５ 表　２　ＡＡ’Ｎ粉末分析値 ｈｌｌＮ含有ｉ　９７．８％ 元　素　含有量 Ｍｇ　＜　５　（ＰＰＭ） ｃｒ　２１　（’） ｓｌ　１２５　（ｙ　） ｚｎ　９　（Ｉ　） Ｆ、　’　２’Ｏ（ｒ） Ｃｕ　〈　５　（Ｉ　） Ｍｎ　ｓ　（＃　） Ｎｉ　２７　（’＃） Ｔ１　〈　５　（Ｉ　） ｃｏ　＜５　（’） Ａ１　６４．８　（ｗｔ％） ＰＩ　３３．４（＃） ｏ　１．１（＃） ０　０．１１（＃） 上記窒化アルミニウム粉末８０重量部と、平均粒径０．
４μｍのカーボンブラック２０重量部とを、ナイロン製
ポットとナイロン・コーチインクしたボールを用い、エ
タノールを分散媒体として均一にボールミル混合した。Table I AA! 203 powder analysis value A12 o3 content 99.99% Element content ('PPM) M g 〈 5 Or (10 S 1 30 z n 〈 5 F θ 22 0u , (5 Ca 〈2 O N 1 15 T 1 5 Table 2 AA'N powder analysis value hllN content i 97.8% Element content Mg < 5 (PPM) cr 21 (') sl 125 (y) zn 9 (I) F, '2'O(r ) Cu < 5 (I) Mns (#) Ni 27 ('#) T1 < 5 (I) co <5 (') A1 64.8 (wt%) PI 33.4 (#) o 1.1 ( #) 0 0.11 (#) 80 parts by weight of the above aluminum nitride powder and an average particle size of 0.
20 parts by weight of 4 μm carbon black were uniformly mixed in a ball mill using a nylon pot and a ball coated with nylon coach ink, using ethanol as a dispersion medium.

得られたスラリーを、乾燥器内で６０℃、２４時間乾燥
を行なった。The obtained slurry was dried in a dryer at 60° C. for 24 hours.

上記混合粉末１２Ｆｔを、窒化硼素粉末を内面に塗布し
た内径４Ｑｍの黒鉛型中で、２００　ＫＰ／ＣＩｒＬｔ
の加圧下、１気圧の窒素中に於いて２０００℃３時間加
圧焼結した。得られた焼結体は、黒色の光沢を有するも
のであった。The above mixed powder 12Ft was heated to 200 KP/CIrLt in a graphite mold with an inner diameter of 4Qm whose inner surface was coated with boron nitride powder.
Pressure sintering was carried out at 2000° C. for 3 hours in nitrogen at 1 atm. The obtained sintered body had black luster.

また、この焼結体の密度は２．９１．！ｉ’／α３であ
ったＯ 次に、上記複合焼結体を電気炉に入れ、空気中にて８０
０℃１２時間焼成してカーボンを酸化除去した。酸化処
理後の焼結体は灰白色になを測定したところ２８％であ
ったことから、窒化アルミニウム多孔体であることが判
った。Moreover, the density of this sintered body is 2.91. ! Next, the above composite sintered body was placed in an electric furnace and heated for 80 minutes in air.
Carbon was oxidized and removed by firing at 0°C for 12 hours. The sintered body after the oxidation treatment had a grayish white color and was found to be 28%, indicating that it was a porous aluminum nitride body.

上記多孔体から、約３ｎ角、長さ約４０瓢の試験片を切
り出し、１５００番のサンドペーパーで磨いた後、曲げ
強度を測定した。測定条件は、クロス−ヘクト・スピー
ド１１ＩＩＩＺ分、スパン２０襲の６点曲げとした。測
定値より計算された曲げ強度の平均値は、６Ｋｐ／ｍで
あった。A test piece of about 3n square and about 40 gourds in length was cut out from the porous body, and after polishing with No. 1500 sandpaper, the bending strength was measured. The measurement conditions were 6-point bending with a cross-hect speed of 11IIIZ and a span of 20 strokes. The average bending strength calculated from the measured values was 6 Kp/m.

一方、本実施例で得られた窒化アルミニウム多孔体の加
工性を調べたところ、超硬ドリルによる穿孔、超硬バイ
トによる高速切削のいずれも容易に行なえ、快削性であ
ることが判った。On the other hand, when the workability of the aluminum nitride porous body obtained in this example was investigated, it was found that it was easy to perform both drilling with a carbide drill and high-speed cutting with a carbide cutting tool, and was free-cutting.

尚、図１は、本実施例で得られた窒化アルミニウム多孔
体の機械的破断面の走査型電子顕微鏡写真（倍率３００
０倍）である。Note that FIG. 1 is a scanning electron micrograph (magnification: 300) of the mechanically fractured surface of the porous aluminum nitride material obtained in this example.
0 times).

牛図伽偽鳩Φす盃用 図１ｔさ宥座枠１１７：硬用し廿唖必了ルミニウム汐Ｌ
＃；ｎ＊＜ｆ譲駈白０走沓型仁与山檄葭刃簿て小さ。Cow figure fake pigeon Φsu sake cup figure 1t.
#;n*<f The pitcher is small.

特許出願人 徳山曹達株式会社 口　１ 手続ン市正書（自発） 昭和５９年５月　９日 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 １９事件の表示　特願昭５９−４９２０９号２、発明の
名称 多孔性セラミック及びその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　山口県徳山市御影町１番１号 徳山曹達株式会社　東京本部 特約情報部　電話５９７−５１１１ ４６補正命令の日付　自　発 ５、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容Patent Applicant: Tokuyama Soda Co., Ltd. 1 Procedural Official Letter (self-motivated) May 9, 1980 Director General of the Patent Office Kazuo Wakasugi Indication of Case 19 Patent Application No. 1983-49209 2 Name of Invention Porous Ceramic and its manufacturing method 3, relationship with the case of the person making the amendment Patent applicant address 1-1 Mikage-cho, Tokuyama-shi, Yamaguchi Prefecture Tokuyama Soda Co., Ltd. Tokyo Headquarters Special Agreement Information Department Telephone 597-5111 46 Date of amendment order In-house 5. Column 6 of “Detailed Description of the Invention” of the specification to be amended, Contents of the amendment

Claims (1)

【特許請求の範囲】 （υ　アルミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群から
選ばれた少なくとも一種の金属の炭化物又は窒化物より
なる焼結体で、焼結されて結合された該アルミニウム、
ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも一
種の金属の炭化物又は窒化物の結晶粒子の一部に連続し
た孔を構成してなることを特徴とする多孔性セラミック
。 （２）　アルミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群か
ら造ばれた少なくとも一種の金属の炭化物又は窒化物　
６ｏ〜９ｑ重量％とカーボン　３〜＋０　重量％とから
なる焼結体を、酸素又は炭酸ガスを含む雰囲気下に６０
０〜９００℃の温度で加熱して含有カーボンを除去する
ことを特徴とする多孔性セラミックの製造方法。[Scope of Claims] (υ A sintered body made of a carbide or nitride of at least one metal selected from the group consisting of aluminum, silicon, and boron, and the aluminum is sintered and bonded;
A porous ceramic characterized in that continuous pores are formed in a part of crystal grains of carbide or nitride of at least one metal selected from the group consisting of silicon and boron. (2) At least one metal carbide or nitride made from the group consisting of aluminum, silicon, and boron.
A sintered body consisting of 60 to 9q% by weight and 3 to +0% by weight of carbon is heated for 60% by weight in an atmosphere containing oxygen or carbon dioxide gas.
A method for producing a porous ceramic, comprising removing carbon contained therein by heating at a temperature of 0 to 900°C.