JPS60194593A - 電子装置の配線パタ−ン - Google Patents

電子装置の配線パタ−ン

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Publication number
JPS60194593A
JPS60194593A JP5068384A JP5068384A JPS60194593A JP S60194593 A JPS60194593 A JP S60194593A JP 5068384 A JP5068384 A JP 5068384A JP 5068384 A JP5068384 A JP 5068384A JP S60194593 A JPS60194593 A JP S60194593A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring pattern
wiring
width
length
pattern
Prior art date
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Pending
Application number
JP5068384A
Other languages
English (en)
Inventor
阿部 秀郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP5068384A priority Critical patent/JPS60194593A/ja
Publication of JPS60194593A publication Critical patent/JPS60194593A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明はサーマルヘッドや光センサのように薄ンに関す
るものである。
(従来の技術) サーマルヘッドでは、例えば第1図に示されるように基
板1上に複数個の発熱抵抗体2が配列され、各発熱抵抗
体2の一端は駆動回路に接続される個別電極配線パター
ン3に接続され、また各発熱抵抗体2の他端は全発熱抵
抗体2に共通に接続される共通電極4に接続されている
。そして、個別電極配線パターン3は駆動回路との接続
が簡単になるように、図のように折り曲げられ、駆動回
路との接続部5が一箇所にまとめられるのが普通である
。6は共通電極4と電源回路との接続部である。
このようなサーマルヘッドにおいて、従来は全ての配線
パターン3についてその幅が等しく設定されている。配
線パターン3の抵抗値Rは、R=ρ・L/W−T (ρは配線パターン3の固有抵抗、Lは長さ、Wはパタ
ーン幅、Tは膜厚)と表わされるが、このようか蒲[配
線バタ・−ンは蒸着法やスパッタリング法により形成さ
れた薄膜にホトリソグラフィ法などのパターン化技法を
用いて形成されるので、固有抵抗ρと膜厚Tは全配線パ
ターン3シこついて一定である。そのため、パターン幅
を一定としている従来のサーマルヘッドでは、配線パタ
ーン3の長さの相違がそのまま配線パターン3の抵抗値
の相違として現れることになる。
いま、第1図のようなサーマルヘッドで配線パターン3
の抵抗値を計算してみる。例えば、最外側の配線パター
ン3−1の長さくL+ a+L1b)を1.4cm、最
内側の配線パターン3−7の長さくL7a+L7b)を
0.8cm、パターン幅Wを共通に80μm、膜厚Tを
2μm、固有抵抗ρを7XiO’ Ω・CIl+にッケ
ル)とした場合、配線パターン3−1.3−7の抵抗値
R1,R7はそれぞ匙6.lΩ、3.5Ωとなる。一般
に、発熱抵抗体2の抵抗値は100Ω前後であるので、
この場合、配線パターンの長さの相違により抵抗値が3
%程度相違することになる。これに発熱抵抗体2の抵抗
値のばらつきも加わり、これらの抵抗値の相違が印字の
際の印字濃度のばらつきとなって現れる。
第1図では最長配線パターン3−1と最短配線パターン
3−7の間の長さの比は2倍程度であるが、一層複雑な
他の配線パターンではこの比は2倍以上になることもし
ばしばあり、印字品質を高める上で問題となる。
このような配線パターンの抵抗値のばらつきに起因する
問題は、サーマルヘッドだけではなく、例えば光センサ
などの電子装置でもその検出感度のばらつきなどとして
現れるので、このように長さの異なる薄膜配線パターン
を有する電子装置には共通に存在する問題である。
(目的) 本発明は、複数の配線パターンを有する電子装置におい
て、配線抵抗のばらつきを小さくすることにより、素子
間の特性のばらつきを小さくすることを目的とするもの
である。
(I成) 本発明は、配線パターンの幅もしくは長さ5又は幅と長
さとをともに調整することにより、配線抵抗のばらつき
を小さくしたものである。
以下、実施例により本発明の詳細な説明する。
第1図は7個の発熱抵抗体2を備えたシャトル型サーマ
ルヘッドの例であり、発熱抵抗体2の配列方向と、配線
パターン3の駆動回路への接続部5の配列方向とは直交
するように設定されているため、その間をつなぐ配線パ
ターン3−1〜3−7はそれぞれL字形に折曲げられ、
最外側の配線パターン3−1から最内側の配線パターン
3−7に行くに従って順次長さが短かくなっている。そ
して本実施例では、配線パターンは、その長さが短かく
なるに従って幅が順次狭くなるように形成さ九でいる。
最長の配線パターン3−1と最短の配線パターン3−7
のjIJllの中間配線パターン3−2〜3−6は、図
の実施例のように幅が順次変化するように形成してもよ
く、または隣接する数本ずつのグループに分割し、グル
ープ単位で幅を変えるようにしまた、図のように折れ曲
った配線パターンでは、折曲り各部1例えば縦の部分と
横の部分、で幅を異ならせてもよい。その場合、折曲り
各部のL/Wの和、例えば配線パターン3−1では(L
+ a/W+ a)+ (L+ b/W+ b)。
が長さの異なる配線パターン間で大きく異ならないよう
に幅を設定すればよい。
具体的な例として、図示の場合に例えば前示の如く最外
側、最内側の配線パターン3−1.3−7の長さくL+
 a+L+ b)、(1−7a+L7b)をそれぞれ1
 、4cm、 0.8cm、膜厚T、固有抵抗ρも同じ
値であるとしたとき、配線パターン3−1の幅V/+a
、W+bを120μm、配線パターン3−7の幅W7 
a 、 W7 bを80μmとすると、配線パターン3
−1.3−7の配線抵抗はそれぞれ4.1Ω、3.5Ω
となる。すなわち、最長の最外側配線パターン3−1と
最短の最内側配線パターン3−7との間の配線抵抗の差
は1発熱抵抗体2の抵抗値の1%以内であり、従来のよ
うに全した場合に3%前後であったことに比べると、印
字濃度の均一性が改良されることになろう第2図は同じ
くシャトル型サーマルヘッドの例であるが、今度は配線
パターン10の幅を一定とし、長さが汰きく異ならない
ようにパターンに工夫をした例である。この場合も発熱
抵抗体2の配列方向と、配線パターン10の駆動回路へ
の接続部5の配列方向とは直交している。そして、配線
パターン10−1〜]、 O−20はそれぞれ発熱抵抗
体2と接続部5の間に折れ曲げて形成され、各配線パタ
ーン10−1〜1.0−20の長さが互いに大きく異な
らないように設計されている。
本実施例の場合、配線抵抗の比は配線パターンの長さの
比に直接対応して改良される。
また、配線パターンの幅と長さをともに調整することに
より配線抵抗のばらつきを抑えるようにしてもよい。
本発明はサーマルヘッドに限らず、光センサその他の電
子装置にも同様にして適用できることは言うまでもない
(効果) 本発明によれば、配線パターンの抵抗値のばらつきが小
さくなる結果、サーマルヘッドの印字濃度や光センサの
検出感度などの素子の特性のばらつきも小さくなり、特
性の一定した品質の高い電子装置を得ることができるよ
うになる。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明をサーマルヘッドに適用した
実施例を示す平面図である。 2・・・・・・発熱抵抗体、3.lO・・・・・・配線
パターン、L+ a、I、+ b、L7 a、L7 b
−−配線パターンの長さ、 Wla、W+ b、W7 ’a−W7 b−配線パター
ンの幅。 特許出願人 株式会社リコー 第1図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1,)M数個の素子を有し、素子の配列方向と素子の
    配線パターンの配列方向とが異なる電子装置において、
    配線パターン相互間の抵抗値の差が小さくなるようにそ
    れらの配線パターンの幅及び/又は長さが調整されてい
    ることを特徴とする配線パターン。 (2)配線パターンが折れ曲っている場合、各配線パタ
    ーンについて折曲り各部のL i / W 1(Li及
    びWiはそれぞれ折曲り各部の長さ及び幅)の和が配線
    パターン相互間で大きく異ならないように調整されてい
    る特許請求の範囲第1項に記載の配線パターン。
JP5068384A 1984-03-16 1984-03-16 電子装置の配線パタ−ン Pending JPS60194593A (ja)

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JP5068384A JPS60194593A (ja) 1984-03-16 1984-03-16 電子装置の配線パタ−ン

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