JPS60180789A - Work robot device in clean room - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体製造に用いられるようなりリーンルーム
内で作業するロボット装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a robot device used in semiconductor manufacturing and which operates in a lean room.

背景技術とその問題点 半導体製造工程は、半導体の性能及び歩留を高めるため
に清浄な室内において行われるが、清浄効果を高めるた
めに、クリーンルーム内を無人化し、レジストコーテイ
ング機、露光機、現像機、エツチング機などの各工程の
機械操作及び各工程間のチップフレームの搬送などをロ
ボットを用いて作業させることが考えられる。Background technology and its problems The semiconductor manufacturing process is carried out in a clean room to improve the performance and yield of semiconductors.In order to improve the cleaning effect, the clean room is unmanned and equipped with resist coating machines, exposure machines, and developing machines. It is conceivable to use robots to operate the machines in each process, such as the etching machine and the etching machine, and to transport the chip frame between each process.

作業の効率化のため、プロセス内の各製造装置は直線状
に配置され、ロボットはプロセスの長手方向に沿ったガ
イドレールによって移動案内されるのが好ましい。この
場合、ロボットの移動距離が長くなると、ケーブルを通
じてロボットに給電することが困難となり、ガイドレー
ルに沿った長手状給電レール面に集電子を接触させて摺
動状態にて集電するような構成と“なる。In order to improve work efficiency, it is preferable that each manufacturing device in the process is arranged in a straight line, and the robot is guided in movement by a guide rail along the longitudinal direction of the process. In this case, as the distance the robot moves becomes longer, it becomes difficult to supply power to the robot through the cable, so a configuration is adopted in which the current collector is brought into contact with the surface of a longitudinal power supply rail along the guide rail and the current is collected in a sliding state. and “become.”

ところがこの構成では、給電レールと集電子との摺動に
よる大電流授受で金属の微粉や酸化物（ブラウンパウダ
ー）が発生し、クリーンルーム内を著しく汚染する。However, with this configuration, fine metal powder and oxides (brown powder) are generated due to the large current exchange due to sliding between the power supply rail and the current collector, which significantly contaminates the inside of the clean room.

発明の目的 本発明は上述の問題を解消して、金属微粉やブラウンパ
ウダーの発生が全くない集電方式を提供することを目的
とする。OBJECTS OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems and provide a current collection system that does not generate any metal fine powder or brown powder.

発明の（既要 本発明のクリーンルーム内作業ロボット装置は、クリー
ンルーム内に長手状に配置された作業装置に沿って作業
ロボットを移動させるリニアモータを備えている。この
作業ロボットの移動路に沿って給電レールが（＝Ｊ設さ
れ、また作業ロボット側に」二記給電レールに対して接
触及び離間させる制御手段を介して集電子が設けられて
いる。更に作業ロボット側に二次電池が設けられている
。A robot device for working in a clean room according to the present invention includes a linear motor that moves a working robot along a working device arranged longitudinally in a clean room. A power supply rail is provided (=J), and a current collector is provided on the work robot side via a control means that contacts and separates from the power supply rail.Furthermore, a secondary battery is provided on the work robot side. ing.

そして」二記作業ロボットが作業位置に位置決めされた
ときには、上記制御手段によって上記集電子が−に記給
電レールに接触され、この状態で作業ロボットの作動及
び上記二次電池への充電が行われる。また作業ロボット
が移動されるときには、上記制御手段によって一上記集
電子が」；記給電レールから離間されると共に、上記二
次電池から十記リニアモータの作業ロホソＩ・側電機子
に給電が行われるように構成されている。When the working robot is positioned at the working position, the control means brings the current collector into contact with the power supply rail, and in this state the working robot is operated and the secondary battery is charged. . When the work robot is moved, the control means separates the current collector from the power supply rail and supplies power from the secondary battery to the work lobe I and side armature of the linear motor. It is configured to be

この構成により、摺動部分を経ずに給電を行うことがで
き、摺動に伴って発生する微粉によりクリーンルーム内
が汚染されることが全＜蕪くなる。With this configuration, power can be supplied without passing through the sliding portion, and the inside of the clean room is prevented from being contaminated by fine powder generated due to sliding.

実施例 以下本発明を実施例の図面に沿って説明ずろ。Example The present invention will be described below with reference to drawings of embodiments.

第１図は本発明のクリーンルー１、内作業ロボット装置
を適用した半嗜体製造プロセスの概略斜視図である。製
造室内はクリーンルームｌと監視ルーム２とに透明な隔
壁３を隅でて分離されている。FIG. 1 is a schematic perspective view of a semi-solid manufacturing process to which a clean room 1 and an internal robot device of the present invention are applied. The manufacturing room is separated into a clean room 1 and a monitoring room 2 by a transparent partition wall 3 at a corner.

この隔壁３はレジストプロセスに有害な光を除去するよ
・うなフィルター作用を有している。監視ルーム２内に
はオペレーションコンソール４が設けられ、作業者５は
コンソール４からキー人力により図外の制御コンピュー
タに動作指令を送り、この制御コンピュータから各半導
体製造装置６ａ。This partition wall 3 has a filtering effect to remove harmful light to the resist process. An operation console 4 is provided in the monitoring room 2, and an operator 5 sends operation commands from the console 4 to a control computer (not shown) using keystrokes, and from this control computer each semiconductor manufacturing device 6a is operated.

６　ｂ、６　、ｃ−−−−−一一−−−−−及びロボッ
ト７に所定のプログラムに基いた動作指令が与えられる
。6b, 6, c----11------ and the robot 7 are given operation commands based on a predetermined program.

半導体製造装置６　ａ　、６　ｂ　、６　Ｃ−−−−−
−−−−−−は、レジストプロセスにおけるレジストコ
ーティング装置、露光装置、現像装置及びこれらの装置
に付属したチェック装置などであってよい。これらの製
造装置５ａ、５ｂ−・−一−−−−−−−−−・・・・
は−列に並べられ、その長手方向にそんってロボット７
を移動させるためにガイドレール８．９が上部に設けら
れている。ロボット７のキャリッジ１０は、これらのガ
イドレール８．９に沿って設けられたリニアパルスモー
クの界磁装置及びキャリッジに内蔵の電機子によって矢
印へ方向に自走し、月つ所定位置に位置決めされる。ロ
ボット７の本体はキャリッジＩＯに設けられた昇降機構
により矢印Ｂ方向に上下動され、またロボット７の各関
節は矢印Ｃ，Ｄ。Semiconductor manufacturing equipment 6a, 6b, 6C------
------- may be a resist coating device, an exposure device, a developing device, a checking device attached to these devices, etc. in a resist process. These manufacturing devices 5a, 5b--1------------------------...
are arranged in a row, and the robots 7 are placed along the longitudinal direction.
A guide rail 8.9 is provided at the top for moving the. The carriage 10 of the robot 7 moves in the direction of the arrow by a linear pulse smoke field device provided along these guide rails 8.9 and an armature built into the carriage, and is positioned at a predetermined position. Ru. The main body of the robot 7 is moved up and down in the direction of arrow B by a lifting mechanism provided on the carriage IO, and each joint of the robot 7 is moved in the direction of arrows C and D.

Ｅ、Ｆ方向に回転自在となっていて、各関節に設ケラれ
たパルスモータによって、先端のマニピュレータ１１が
所要の動作を行うように制御されている。It is rotatable in the E and F directions, and the manipulator 11 at the tip is controlled by a pulse motor installed at each joint so that it performs the required operation.

クリーンルーム１内の空気は天井のフィルター１２から
導入され、ガイド゛レール８，９に沿って設けられたフ
ィルター１３からクリーンゾーン１４に導びかれ、更に
各装置６　ａ　、６　ｂ−−−−−−−−−・・−の上
からフィルター１５を通してエアーカーテンを成すよう
に吹き付けられる。この空気清浄システムにより、ロポ
ソ１−７の作業時や移動時等に可動部分や摺動部分から
発生し易い塵埃（金属粉など）がクリーンゾーン１４に
おいて回収され、無人化と相まって極めて清浄クリーン
ルーム１がえられる。Air in the clean room 1 is introduced from a filter 12 on the ceiling, guided to a clean zone 14 from a filter 13 provided along guide rails 8 and 9, and then to each device 6 a, 6 b. The air is blown from above through the filter 15 so as to form an air curtain. With this air cleaning system, dust (metal powder, etc.) that is easily generated from moving and sliding parts during work and movement of Roposo 1-7 is collected in the clean zone 14, and combined with unmanned operation, the clean room 1 is extremely clean. It can be grown.

第２図はキャリッジ１０の縦断面図であって、キャリッ
ジ本体は、ベアリング１６を介し゛（下側ガイドレール
９に摺動自在に担持され、また上側ガイドレール８には
一対のローラー１７を介して傾れないようｂこ保持され
ている。ロボット７はキャリッジ１０内のスプライン軸
１８によってｙ鋒可能に釣り下げられている。なおｒ目
ｊζノド７の各関節はパルスモータ１９へ・２２によっ
て凹動制御される。FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of the carriage 10, in which the carriage body is slidably supported on a lower guide rail 9 via a bearing 16, and supported on an upper guide rail 8 via a pair of rollers 17. The robot 7 is held in place so that it does not tilt.The robot 7 is suspended by a spline shaft 18 in the carriage 10 so that it can be rotated freely. Concave motion is controlled.

キャリッジ１０はロボットの移動方向に沿って設けられ
たリニアパルスモークによって自走する。The carriage 10 is self-propelled by a linear pulse smoke provided along the direction of movement of the robot.

このリニアパルスモータは下側ガイドレール９の近くに
設けられた固定側の直線状界磁装置２３と、ごれに対向
して移動側（キャリッジ側）に設けられた電機子装置２
４とを備えている。第３図の詳細斜視図に示すように、
直線状界磁装置２３は所定ピッチで配列されたスロット
２５を有し、また電機子装置２４は対応するピンチの複
数の突極２（を備えている。これらの界磁装Ｗ２３及び
電機子袋？Ｊ２４は、周知のパルスモータ又はステンピ
ングモータを直線状に展開して且つ所要長さだけ固定側
界磁部分を延長したものである。This linear pulse motor includes a linear field device 23 on the fixed side provided near the lower guide rail 9, and an armature device 2 provided on the moving side (carriage side) facing the dirt.
4. As shown in the detailed perspective view of Figure 3,
The linear field device 23 has slots 25 arranged at a predetermined pitch, and the armature device 24 has a plurality of corresponding pinch salient poles 2.These field devices W23 and armature bags ?J24 is a well-known pulse motor or stamping motor developed linearly and with the fixed side field portion extended by the required length.

キャリッジ１０の上部には集電部２８が設けられている
。この部分の拡大断面図である第４図に示すように、一
対（正負）の給電レール２９゜３０がキャリッジ１０の
移動方向に沿って絶縁層３１を介して付設されている。A current collector 28 is provided at the top of the carriage 10. As shown in FIG. 4, which is an enlarged sectional view of this portion, a pair of (positive and negative) power supply rails 29 and 30 are attached along the moving direction of the carriage 10 with an insulating layer 31 in between.

キャリッジ１０の側には給電レール２９．３０と対向し
てバネ状集電子３２．３３が移動部材３４の先端側に取
りイ（けられている。この移動部月３４はガイドロッド
３５によって水平方向に移動可能に案内され、送りモー
タ３６に結合された送りねじ３７によって水平移動され
る。On the side of the carriage 10, facing the power supply rails 29, 30, spring-like current collectors 32, 33 are cut out at the distal end side of the moving member 34. This moving member 34 is moved horizontally by a guide rod 35. It is movably guided by a feed screw 37 coupled to a feed motor 36 and horizontally moved.

集電子３２．３３は後述の制御によってキャリッジ１０
が停止しているときのみ、第５図の部分詳細図の如く給
電レール２９．３０に接触される。The collectors 32 and 33 are controlled by the carriage 10 as described below.
Only when it is at rest is it in contact with the feed rail 29, 30, as shown in the partially detailed view of FIG.

即ち、ロボット７が作業位置に位置決めされた状１　態
で、集電子３２．３３からロボット７のコントローラ及
び関節パルスモータ１９〜２２等に電流が供給される。That is, with the robot 7 positioned at the working position, current is supplied from the current collectors 32, 33 to the controller of the robot 7, the joint pulse motors 19 to 22, and the like.

移動部材３４の集電時の往動位置は、フォトセンザ３８
　（移動部材側）及びマーカー３９　（固定側）によっ
て検知される。The forward movement position of the moving member 34 when collecting current is determined by the photo sensor 38.
(moving member side) and marker 39 (fixed side).

キャリッジ】０の移動時には、第４図の如く集電子３２
．３３は給電レール２９．３０から離間される。従って
集電子３２．３３と給電レール２９．３０とが摺動する
ことがなく、金属微粉やブラウンバうダーの発生がほと
んど無いので、クリーンルーム１内を鈷′浄に保つこと
ができる。なお集電子３２．３３は摺動しないので、バ
ネ状のものであってよく、或いは通常の電気接点の如く
バネの先接に接触片を取付けた構造でもよい。特に摺動
耐性を考慮しな（てよいので、設計上の自由度は大きい
。When the carriage]0 moves, the current collector 32 is moved as shown in Figure 4.
．． 33 is spaced apart from the feed rail 29.30. Therefore, the current collectors 32, 33 and the power supply rails 29, 30 do not slide, and there is almost no generation of fine metal powder or brown powder, so the inside of the clean room 1 can be kept clean. Since the current collectors 32 and 33 do not slide, they may be spring-shaped, or they may have a structure in which a contact piece is attached to the tip of a spring like a normal electrical contact. There is a large degree of freedom in design since there is no need to particularly consider sliding resistance.

キャリッジ１０の移動時には給電が行われないので、キ
ャリッジ１０はバッテリー４１　（二次電池）をそなえ
ていて、移動時にはバッテリ−４１からリニアパルスモ
ークのキャリッジ（ｉｉ電機子装置２４に給電が行われ
、これによってキャリッジ１０が自走する。停止時には
充電器４２を通じてバッテリ−４１に充電が行われる。Since power is not supplied when the carriage 10 is moving, the carriage 10 is equipped with a battery 41 (secondary battery), and when the carriage 10 is moving, power is supplied from the battery 41 to the linear pulse smoke carriage (ii) the armature device 24, As a result, the carriage 10 moves by itself. When the carriage 10 is stopped, the battery 41 is charged through the charger 42.

第６図はキャリッジ１０内の電気系統図であって、制御
コンピュータからの指令信号Ｓｌ、Ｓ２によって集電子
用送りモータ３６及びリニアパルスモークの電気子装置
２４がスイッチ４３．４４によっ゛ζ制ｊｌｌされる。FIG. 6 is an electrical system diagram inside the carriage 10, in which the collector feed motor 36 and the linear pulse smoke armature device 24 are controlled by switches 43 and 44 in response to command signals Sl and S2 from the control computer. I will be jlled.

スイッチ４３がオンとなってキャリッジｌＯがリニアパ
ルスモータによって駆動されているときには、スイッチ
４２はオフとなっている。キャリッジ２４が所定の作業
位置に位置決めされると、スイッチ４２が正転測子に接
続され、送りモータ３６が正転して集電子３２゜３３が
給電レール２９．３０に接触される。この状態でロボッ
トコントローラ４５を通じて各１コボソトアクチユエー
タに給電が行われる。また同時に充電器４２を通じてバ
ッテリー４１に充電が行われる。When the switch 43 is on and the carriage lO is being driven by the linear pulse motor, the switch 42 is off. When the carriage 24 is positioned at a predetermined working position, the switch 42 is connected to the normal rotation probe, the feed motor 36 is rotated in the normal direction, and the current collectors 32 and 33 are brought into contact with the power supply rails 29 and 30. In this state, power is supplied to each of the robot actuators through the robot controller 45. At the same time, the battery 41 is charged through the charger 42.

ロボット７が次の作業イ装置に移動するききには、スイ
ッチ４２が逆転側−に接続され、送りモータ３６の逆転
によって集電子３２．３３が給電レール２９．３０から
８１１間される。次にスイッチ４３がオンとなり、バッ
テリー４１から電機子ｇ１２４に駆動電流か与えられる
。When the robot 7 is to move to the next work device, the switch 42 is connected to the reverse side -, and the reverse rotation of the feed motor 36 causes the current collector 32.33 to be moved between the power supply rails 29.30 and 811. Next, the switch 43 is turned on, and a driving current is applied from the battery 41 to the armature g124.

第７図はシステ１、の概略を示すブロック図である。摺
動部分を極力少なくする目的で、制御コンビｌ−り４６
．：ロボソト７との間は第７図の如く光伝送路によって
結合されている。第７図に示すように、制御コンビ１−
一夕４６からの指令データはコントに■−ラ４７を通じ
て各製造装置６ａ、６ｂ　、６　Ｃ−一−−−−−に伝
えられる。また第１図のガイドレール８，９に沿ったロ
ボット７の各位置決め点には、光データボー）４．８ａ
、４８ｂ。FIG. 7 is a block diagram schematically showing the system 1. In order to minimize the number of sliding parts, the control combination l-46
．． : It is connected to the robot soto 7 by an optical transmission line as shown in FIG. As shown in Fig. 7, the control combination 1-
Command data from the controller 46 is transmitted to each manufacturing device 6a, 6b, 6C-1 through the controller 47. Also, at each positioning point of the robot 7 along the guide rails 8 and 9 in FIG.
, 48b.

４８　Ｃ−−一・−−−−−−−−−−一−−が配置さ
れ、ロボット７がその作業位置に位置決めされたとき、
ロボット７の光データボート４９がこれらの光データボ
ート４８ａ。48 When the robot 7 is positioned at its working position,
The optical data boat 49 of the robot 7 is the optical data boat 48a.

４８ｂ−・−−−−−−−−・−と対向する。この状態
で、制御コンピュータ４６からロボット７に制御情報が
送られ、またロボット７から制御コンピュータ４６に必
要なモニターデータが送り返されて、所定のプログラム
に従ったロボット作業の制御が実行される。Opposed to 48b-----------.-. In this state, control information is sent from the control computer 46 to the robot 7, and necessary monitor data is sent back from the robot 7 to the control computer 46, so that the robot work is controlled according to a predetermined program.

プログラム外の作業をロボン１〜７にさせるときには、
第１図のオペレーションコンソール４からのキー人力に
より制御コンピュータ４６をｊｍシてロボ・ノ１〜７に
動作指令を与えることができる。また作業者５か隔壁３
を隔ててロボット７と直接に対面し、第１図のリモート
コントロールユニット５１を用いて、第７図の如くロボ
ット７の光データボー１・５０に直接動作指令を与える
ごともできる。動作指令は、プログラム作業の中断命令
、各関節ごとの回転命令、マニピユレータ１１の動作命
令、ロボットキャリッジ１０の移動命令などである。こ
れらの動作指令はリモートコントロールユニット５１の
操作パネル上において、動作モードの一つを選択し且つ
オン・オフ操作することにより発せられる。When having Robons 1 to 7 perform tasks outside of the program,
Operation commands can be given to the robots 1 to 7 by operating the control computer 46 using keys from the operation console 4 shown in FIG. Also, worker 5 or bulkhead 3
It is also possible to directly face the robot 7 across the robot 7 and use the remote control unit 51 shown in FIG. 1 to directly give operation commands to the optical data boards 1 and 50 of the robot 7 as shown in FIG. The operation commands include a command to interrupt program work, a rotation command for each joint, a command to operate the manipulator 11, a command to move the robot carriage 10, and the like. These operation commands are issued by selecting one of the operation modes and turning it on or off on the operation panel of the remote control unit 51.

発明の効果 本発明は」二連の如く、作業ロボットが作業位置に位置
決めされたときに、集電子が給電レールに接触され、こ
の状態で作業ロボットの作動及びロボット搭載の二次電
池への充電が行われ、移動時には集電子を給電レールか
ら離間へせると共に、−上記二次電池から作業ロボット
移動用のりニアモータのロボット側電機子に給電するよ
うに構成したので、給電レールと集電子とを摺動さ−Ｕ
ずに作業ロボットの作動及び移動に必要な電力を供給す
ることができる。従って摺動に伴って金属粉やブラウン
パウダーが発生ずることが無いので、クリーンルーム内
を清浄に保つことができる。Effects of the Invention The present invention is characterized in that when the working robot is positioned at a working position, the current collector is brought into contact with the power supply rail, and in this state, the working robot is operated and the secondary battery mounted on the robot is charged. The current collector is moved away from the power supply rail during movement, and the power is supplied from the secondary battery to the armature on the robot side of the linear motor for moving the work robot, so that the power supply rail and the current collector are Sliding-U
It is possible to supply the power necessary for the operation and movement of a working robot without having to use it. Therefore, no metal powder or brown powder is generated due to sliding, so the interior of the clean room can be kept clean.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明を適用した半導体製造プロセスにおける
クリーンルーム内作業ロボット装置の概略斜視図、第２
図は第１図のロボットキャリッジの要部断面図、第３図
はリニアパルスモータの概略を示す斜視図、第４図は第
２図のキャリッジの集電部の拡大断面図、第５図は第４
図における集電子の往動状態を示す部分断面図、第６図
はロボットキャリッジ内の電気系統図、第７図は第１図
のシステムの概略ブロック図である。 なお図面に用いられた符号において、 １　−一〜−〜−−−クリーンルーム ２−−−−−−・・−−−−−−−一監視ルーム３−−
−−−−−・隔壁 ４　−−−−・−・−一一−オペレーションコンソール
６ａ、６ｂ、６ｃｍ−−一半導体製造装置？−−−−−
・−・−−−−−−一ロボット８．９−　・−・−ガイ
ドレール １０・−−一−−−−−・−キャリッジ１１−−−一・
−・−−−−−−マニュピブ、レーク２３・−・−・−
＝・・−・・界磁装置２４−−−−−　電機子装置 ２８−一一−−−−−−−−集電部 ２９．３０−−−一　給電レール ３２．３３−一−〜−−−−集電子 ３４−−−−−移動部材 ３５−−−−−−−−−ガイドロット ３６−・−−−−一〜　送りモーフ ３フーーーーーー　送りねし ４　］−−・−・−−−−−−］バッフテリー４２−−
−−−−充電 器ある。 代理人　上屋　勝 常包芳男 第３図 第４図 第５図 第６図 １ 第７図 Δ４ ｔ。 （自発）手続補正書 １、事件の表示 昭和５９年特許願第３４８５５　号 ６　補正により増加する発明の数 ７、補正の対象　明細書の発明の詳細な説明の欄（１１
、明細′４＃第２第２頁桁１ を「カセット等」と補正する。 （２）、ｌ？ｙｌ絹９頁１６行目の「電気子装置」を「
電機子装置Ｊと補正する。 １；（＋、同第９頁１７行目の「４３」を「４４」き補
正する。 （４）、同第９自１９行目の「４２」を「４３」と補正
する。 （５）、同第１０頁１行目のｒ４２Ｊを「４３」と補正
する。 （６）、同第１０頁９行目の「４２」を「４３」と補正
する。 （７）、同第１０頁１１行目の「４３」を「４４」と補
正する。 一以　上−Fig. 1 is a schematic perspective view of a robot device working in a clean room in a semiconductor manufacturing process to which the present invention is applied;
The figure is a sectional view of the main part of the robot carriage shown in Fig. 1, Fig. 3 is a perspective view schematically showing the linear pulse motor, Fig. 4 is an enlarged sectional view of the current collector of the carriage shown in Fig. 2, and Fig. 5 is an enlarged sectional view of the current collector of the carriage shown in Fig. 2. Fourth
FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing the forward movement of the collector, FIG. 6 is an electrical system diagram within the robot carriage, and FIG. 7 is a schematic block diagram of the system shown in FIG. 1. In addition, in the symbols used in the drawings, 1-1~-----Clean room 2------------1 Monitoring room 3--
------・Partition wall 4 ----・--11-Operation console 6a, 6b, 6cm--1 Semiconductor manufacturing equipment? ------
・−・−−−−−−1 Robot 8.9− ・−・−Guide rail 10・−−1−−−−−−・−Carriage 11−−−1・
−・−−−−−Manupib, Lake 23・−・−・−
=... Field device 24 --- Armature device 28-1 --- Current collector 29.30 --- Power supply rail 32.33-1 --- ---Collector 34-----Moving member 35-----Guide rod 36--・----1~ Feed morph 3 hoooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooo -----]Battery 42---
---There is a charger. Agent Ueya Yoshio Katsunekane Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 1 Figure 7 Δ4 t. (Voluntary) procedural amendment 1, indication of the case Patent Application No. 34855 of 1982 6 Number of inventions increased by amendment 7, subject of amendment Column for detailed explanation of the invention in the specification (11
, correct specification '4#2, second page column 1 to read "cassette, etc." (2), l? yl silk page 9 line 16 "electronic device"
Correct with armature device J. 1; (+, "43" on the 17th line of the 9th page of the same page is corrected by "44". (4), "42" on the 19th line of the 9th page of the same page is corrected to "43". (5) , correct r42J on the 1st line of the 10th page to "43". (6), correct "42" on the 9th line of the 10th page to "43". (7), 11 on the 10th page of the same Correct “43” in line 1 to “44”. 1 or more −

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] クリーンルーム内に長手状に配置された作業装置に沿っ
て作業ロボットを移動させるリニアモータと、上記作業
ロボットの移動路に沿って付設された給電レールと、上
記給電し与ルに対して接触及び離間させる制御手段を介
して作業ロボット装置に設けられた集電子と、作業ロボ
ット側に備えられた二次電池とを具備し、上記作業ロボ
ットが作業位置に位置決めされたとき、上記制御手段に
よって上記集電子が上記給電レールに接触され、この状
態、で作業ロボットの作動及び−上記二次電池への充電
が行われ、作業ロボットが移動されるとき、上記制御手
段によって上記集電子が上記給電レールから離間される
と共に、上記二次電池から上記リニアモータの作業ロボ
ット側電機子に給電が行われるようにしたクリーンルー
ム内作業ロボット装置。A linear motor that moves a work robot along a work device arranged longitudinally in a clean room, a power supply rail attached along the movement path of the work robot, and a power supply rail that makes contact with and separates from the power supply rail. The work robot device includes a current collector provided on the work robot device and a secondary battery provided on the work robot side, and when the work robot is positioned at a working position, the work robot device Electrons are brought into contact with the power supply rail, and in this state, the work robot is operated and the secondary battery is charged, and when the work robot is moved, the control means causes the current collector to move from the power supply rail. A robot device for working in a clean room, wherein power is supplied from the secondary battery to an armature on the robot side of the linear motor.