JPS60175401A - 感圧導電素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）技術分野 本発明は高分子の感圧導電素子に関する。

←）従来技術 近年、電子工業が急速な発展をしつつある。電子工業分
野におりて音、応力（ひずみ）、温度（熱も含む）、圧
力、電気、電磁波（光、紫外線。

Ｘ線、−電子線）などの物理的な情報（エネルギー）を
入力として、他の物理量に変換して出力する、あるいは
分子種やイオン種などの（ｊＳ学量として出力する、あ
るいはそれらの種々の組み合わせの情報変換（検出、変
換、記録、蓄積、出力をすべて総称）することの必要性
が高まっている。これらの分野に利用される材料として
、情報変換能を持った機能性有機制料が特に必要となっ
ている〇本発明でいう「感圧導電素子」とは膜厚方向に
圧力を加えた際、膜を介して表裏面間での膜の抵抗値が
圧力値に対応して変化し、その抵抗値が膜の表面の回路
を通じて外部に出力する素子を意味する。ただし、全く
加圧していない時は膜厚方向における固有抵抗値は１，
０６Ω・α以上を示し導電性を持たない。また、加工後
除圧すると膜は再び加圧前の抵抗値を示す。なお、こと
で「導電性を持つ」あるいは「導電性を示す」というこ
とはその物質の固有抵抗値が１０６０・αよシ小さいこ
とを意味し、「導電性金持たない」ということは固有抵
抗値が１０６Ω・α以上であることを意味する。

また、本説明の中で「膜面方向」とは添附棲第１図に矢
印Ａで示す方向であり、「膜厚方向」とは同図に矢印す
で示す方向を意味する。

「膜内」および「膜内部」とは膜の表裏面からそれぞれ
膜厚１０ｎｍ内側、の部分より内方部分全指し、第１図
中の厚み断面におけるＣ部分である。

「膜表裏面」とは膜の表面および裏面からそれぞれ膜厚
１０　ｎｍ　以内の部分全指し、第１図中の厚み断面に
おけるｅ部分に相当する。膜内の「各膜面厚さの層」と
は、膜厚方向で膜内部を１０等分した時のそれぞれの膜
厚、即ち、第１図中の厚み断面におけるｆで示される膜
厚層を意味する。また、本文中で「極大値及び極大を示
す」とは、線点の前後微小部分において、孔径が最大値
をとることを意味する。

感圧導電性を持つ膜としては、ゴム導電膜′が公知であ
る。これはゴム中にカー２７粒！ｒを分散させたもので
、この膜に導電性を持たせるには厚みが１簡以上必要で
あシ、また、この膜は膜面方向にも導電性を有する◎ （ハ）発明の目的 本発明の目的は、圧力の負荷された場所全検出する能力
において従来の膜では達成不可能な優れた分解能を持つ
導電性多孔膜からなる新規な感圧導電素子を提供するに
ある。

に）発明の構成 本発明に係る感圧導電素子は、（１）膜面方向において
同一面内の任意の点を中心とする半径０５晴の円形領域
内の２点間にのみ導電性を持ち、且つ（２）膜厚方向に
おいては圧力を負荷させた場合、負荷点と該負荷点を中
心とする周囲の半径０．５ＷＩの円形領域内の点間にの
み導電性を持ち、その膜厚方向における固有抵抗値は圧
力の変化に応じて変化する特徴を持つ多孔膜で構成され
ておシ、この膜の表裏面のうち少なくとも一方に導電物
質で構成された太さ０．５ｍｍ以下の線からなる電気回
路を有し、該電気回路に外部の電気回路と接続するだめ
の端子を複数個有することを特徴とする。

（ホ）発明の構成の具体的説明 本発明の感圧導電素子の第一の特徴は、感圧導′ＦＩＬ
素子を構成する多孔膜がその膜面方向においては、圧力
を負荷した点（以下、［負荷劇と略称する）を中心とす
る半径０．５ａｍ９円形領域内の任意の点と負荷点との
間にのみ導電性を持ち゛、他方、膜厚方向においては負
荷点と負荷点を中心とする周囲の半径０．５ｍｍの円形
領域内の点との間にのみ導電性を持つ点にある。負荷点
を中心とした半径０．５順の円形領域内の点という限ら
れた範囲内でのみ導電性を持つことによシ、片面で受け
た圧力を半径０．５ｍ以内の精度で、もう一方の面に伝
えることができる。この半径で表示した精度は小さけれ
ば小さいほど良い。しかし、たとえ多孔膜の精度を小さ
くしても、多孔膜面上の電気回路の分解能がこの精度に
適応していなくては、感圧導電素子としての分解能は向
上しない。したがって、負荷点を中心に導電性を示す範
囲としては、半径０．０１馴〜０．３ｍ＋の円形領域内
が好適である。なお、ここで「膜面方向で負荷点を中心
とする半径０．５ｍｍの円形領域内にのみ導電性をもつ
」ということは以下に示す２条件を満足していることを
意味する。

すなわち、（１ン感圧導電素子を構成する多孔膜の表裏
面に、それぞれ先端を針状にとがらせた電気抵抗測定用
の端子を２個圧着する。該端子の圧力が１００に１７ｃ
ｍ”の時の固有抵抗値が、両圧着端子の先端の中心間距
離が０，５鰭以下の場合、１ｏ６Ω・−未満となシ、ま
た、端子先端の中心間距離が０．５閣より大きい場合は
固有抵抗値は１０６Ω・譚以上となるｏ（２）先端を針
状にとがらせた電気抵抗測定用の端子を同一膜表面の２
点に圧着した際、両圧着端子間の距離が０，５謔以下の
場合両端子間の固有抵抗値が１０Ω・−よυ小さく、ま
た、０．５　＋ｍａよυ大きい場合は固有抵抗値は１０
６Ω・ｃｒｎ以上を示す。

本発明の第２の特徴は、多孔膜の膜面に垂直方向に加圧
した場合、該多孔膜の膜厚方向の固有抵抗値が変化する
点にある。負荷圧力の変化に応じて膜厚方向の固有抵抗
値が変化することにより、膜面上で受けた圧力の変化を
抵抗値の変化に変換することができる。

本発明の第３の特徴は、上記の多孔膜の表裏面のうち少
なくとも一面に導電物質で構成された太さ０．５　ｓｍ
以下の線からなる電気回路を有し、かつ該電気回路と他
の電気回路とを接続するための端子ケ複数個有する点に
ある。多孔膜の表裏面のうち少なくとも一面に目的とす
る圧力検出に最適な電気回路を描くことにより、０．５
＋ｏ＋の位置検出の分解能を持たすことが可能である。

電気回路としては、例えば、２曽の方眼形式の位置検出
機能をもったものや、スイッチ形式のものなどがあるが
、その形式は格別限定されるものではなく、妬何なる形
式でもよい。負荷点の位置の検出の分解能”ｋ　Ｏ，５
ｔｒｍにするには電気回路を構成する導電体太さは０．
５調以下でなくてはならない。電気回路を構成する導電
体は、有機高分子物質と導電性無機物質との混合物から
なることが好ましい。この混合物中においては導電性無
機物質が微粒子状に分散していることが望ましく、また
、その混合比は有機高分子物質に対する無機物質が重量
比で４０チ以下であることが望ましい。有機高分子物質
は可撓性にすぐれ圧力を負荷した際の多孔膜の変形に対
応して変形することが出来る。

そのためくり返しの変形に対して安定した電気特性を与
える。有機高分子物質としては、各種のゴム、特にシリ
コン系のゴムが変形の容易さで望ましい。導電物質とし
ては銀、白金、金等の貴金属、グラファイト、銅などの
微粉末（例えば、直径１０μｍ程度の微粉末）が好適で
ある。中でも、グラファイトおよび銅は経済的に有利で
ある。導電物質で構成された電気回路を多千〔膜の表裏
面のそれぞれに描けば、感圧導電素子としての入力、出
力形式に多様性を与えることができる。例えば、圧力ス
イッチとして、グラフィックタブレット用として、また
、圧力センサーとしての機能全付与できる。また、一方
の膜表面が電気回路を有する面でなり、もう一方の面が
導′醒物質で全面覆われている面である場合でも感圧導
電素子にグラフィックタブレフト用としての機能を付与
できる。

端子としては、膜間の抵抗の変化によって生じた電流の
変動を正確に他の電気回路に伝え得る導電性を持つもの
であればどの様なものでもよいが、好ましくは白金線、
銅線などがあげられる。端子の本数は膜の表裏面の抵抗
を測定するため最低２本であればよく、得たい情報量（
例えば、上下左右の差を考慮するとか、回路１本ごとの
差を考慮するなど）に従ってその数を増大することがで
きる。

この感圧導電素子と接続する外部の電気回路としては、
交流電源と万能抵抗測定器を組み合一わせた回路など膜
間の抵抗、電圧、電流の変化を感知し得る回路でおれば
どの様なものでもよい。

本発明の感圧導電素子の膜厚ｄは要求される力学的性質
に適する様に定められるが、膜中での電圧降下を少なく
するために小さければ小さい程良い。通常、１μｍ〜５
ｍｓ好ましくは１０μｍ〜１咽である。該素子の膜厚ｄ
は、該素子をかみそりで切断しその断面會日本電子製Ｊ
ＳＭ−Ｕ３型により観察し、測定することができる。

多孔膜としては、膜面方向において、同一面内の任意の
点を中心とする半径０．５＋ｎｍの円形領域内の２点間
にのみ導電性を持ち、且つ膜厚方向においては圧力を負
荷させた場合負荷点と該負荷点全中心とする周囲の半径
０．５畷の円形領域内の点との間にのみ導電性を持ち、
その膜厚方向における固有抵抗値は圧力の変化に応じて
変化するものであればよい。実用上好ましい一つの膜と
しては、該膜中に表裏両面に達する貫通孔をもち、その
任意の一つの孔に注目した場合この孔と直接連絡する孔
は膜内の各膜面厚さの層において膜面方向でその孔の周
囲半径Ｑ、　５　ｍ以内の円環状領域に位置し、且つ線
孔の孔径の膜厚方向における変化において、膜内部に極
大値が存在し、導電性物質を膜内部の孔径が極大値を示
す部分に封入した高分子多孔膜が挙げられる。このよう
な高分子多孔膜では、その表裏面の平均孔半、径（Ｄ／
２）は０．５μｍ以下で、かつ少なくとも１面のＤ／２
は０．００５μｍ以上であり、さらに膜内部の孔径は極
大部分で０．５憩未満であることが導電性物質を封入、
保持しておく点で望ましい。

孔半径について膜厚方向で極大値を持つ貫通孔の存在は
以下の方法で確認される。まず内部に何も封入していな
い膜（重１！ｔＷ＋）ｋ真空中（１０−２＋ｍＨｇ以下
）で水銀媒体中に浸漬する。次に、該水銀媒体を３００
気圧下に加圧し、次に大気圧で除圧後、線膜を取り出し
、線膜を肉眼観察すると黒色に見えること、また除圧後
線膜の重量（Ｗｚ　）を測定すると、Ｗ、＞Ｗｔとなる
ことから孔半径の極大部分に水銀が封入されたまま留ま
っていることが確認できる。また、極大部分の平均孔半
径及び個数はこの部分の多孔膜を薄膜状に切り出し光学
顕微鏡で直接観察することによシ測定できる。

極大部分の個数は、上記薄膜状の試料の光学顕微鏡での
観察図の写真上に、写真の引き伸ばし倍率を換算して、
試料の膜厚方向に沿って１００μｍに相当する長さを持
つ直線を引き、その直線と極大部分が交わる個数を数え
る。

本発明の感圧導電多孔膜中に封入される導電性物質の量
は負荷される圧力と膜厚に適する様に定められるが、通
常支持体の多孔膜の空孔部を占める体積比で１０〜８０
チ、好ましくは５０〜８０チである。この多孔膜の空孔
部を占める導電性物質の体積比は（Ｗｚ　Ｗｔ　）　Ｘ
　１０’／（ρ・■・Ｐｒｅ）（チ）で与えられる。こ
こで、ρは水銀の密度、■は支持体に利用した多孔膜の
体積（ｃｒｎ３）、Ｐｒｅは面内空孔率である。また、
極大部分の平均孔半径は０．００５μｍより大きく、０
．５面未満であシ、好ましくけ０．０１μｍ以上０．５
ｆｉ未満である。また、極大部分′の個数が多い程導電
性は良いが、通常１〜１０４個／１００μｍ１感圧個所
の分解能を高めるためには好ましくは１〜１０５個／１
００μｍである。

膜の表裏面には平均孔半径５　ｎｍ以上、０．５μｍ以
下の孔が面内の１ｃｒｎ２当たシ１×１０２／Ｄ個（Ｄ
の単位はｃｔｎ）以上で、５×１０４／Ｄ個以下の割合
で存在することが膜の力学的強度を大きくし、また感圧
端子の数が増えて分解能が高まる点から望ましい。

多孔膜の表裏面の孔径比が１０以上であれば、線膜へ表
裏力１らの加圧方向に依存して、たとえ同一の負荷圧力
でも異なった抵抗値を顕著に示す。

孔径の小さい膜面から圧力をかけると中の導電性物質は
もう一方の孔径の大きい面へと移動しやすいため導電性
が得られやすい。一方、反対に孔径の大きい面から加圧
すると中の導電性物質は孔径の小さい方向へは移動しに
くい。このため線膜の使用圧力１期待される導電性その
他の条件によって表裏面どちらからかの使用方向が決定
される。

また、導電性物讐とは固有抵抗値が１００釧以下の物質
を意味し、常温で固体、液体のいずれでもかまわない。

ただし、導電性物質が液体の場合、高分子多孔膜を構成
する素材と該導電性物質とのなす接触角は９０°以上で
なければならない。導電性物質が常温で固体の場合には
、有機溶媒等で溶液状にすることが望ましい。導電性物
質の具体例として、水銀、ウッドメタル、銀ペースト、
銅ペーストあるいはＬ　ｉ　ｃｔｏ　４のジメチルホル
ムアミド溶液がある。

多孔膜を形成する素材はセルロース、再生セルロース、
硝酸セルロース、コロジオン、セルロースアセテ′−ト
等の親水性素材あるいはポリエチレン、ポリゾロピレン
、ポリスチレン＋　！”）エステル、テフロン、シリコ
ン、ナイロン等の疎水性素材のいずれでもより。特に膜
の強度、孔径の制御のし易さ、対有機溶媒性などから再
生セルロースが最も好ましい。

本発明の感圧導電素子は、ソフトスイッチ用。

電子工業用、グラフィックタブレット用などとして用い
ることができる。

本発明の感圧導電素子は、例えば、以下の方法で作製で
きる。６重量％のセルロース銅アンモニア溶液を３０℃
のアセトン蒸気雰囲気のアセトン濃度が飽和蒸気圧の８
０係の雰囲気下でガラス板上に厚さ５００μｍのアプリ
ケーターで０．２　ｍ　／分の速度で流延し、該雰囲気
下に８分間放置し、ミクロ相分離が生起しかつ、希薄相
が膜表面に浸出していないのを確認後、得られた流延フ
ィルムをアセトン／水との比率が３３．６重量％でアン
モニア／水との比率がＯ，Ｓ　ｌ量チの混合溶液中（２
０℃）に６０分間水平状態で浸漬する。その後、２０℃
の２重量％硫酸水溶液中に１５分間浸漬後水洗し、次い
で、水分’ｋＦ紙で吸いとシ、２０℃のアセトン（１０
０ｉＷ量チ）中に１５分間浸漬し、膜中の水分全アセト
ンで置換しＦ紙にはさんで３０℃で風乾することによっ
て平膜が得られる。

この平膜を真空中（１０ｗｎＨｇ以下）で水銀媒体中に
浸漬し、該水銀媒体を３００気圧下に加圧し、次に大気
圧下で除圧して水銀媒体から取シ出すことによって多孔
膜を得る。この多孔膜の表面に導電性シリコンインクで
、２ｍ四方に方眼を描き、裏面には一面に導電性シリコ
ンインクを塗布する。

この表裏面の導電性シリコンインク層中に白金線端子を
それぞれ２本ずつ接続することによって本発明の感圧導
電素子が作製できる〇 （へ）実施例 以下、実施例について本発明をより具体的に説明するが
、実施例に先立ち、発明の詳細な説明中で用いられた各
種物性値の測定方法を以下に示す。

膜の表面、裏面の平均孔半径ｒ３＠ｒ４．孔数Ｎ、およ
び面内空孔率Ｐｒｅ　： 多孔膜１ｃｒｎ２当た夛の孔中径がｒ−ｒ＋ｄｒに存在
する孔の数１Ｎ（ｒ）ｄｒと表示すると（Ｎ（ｒ）は孔
半径分布関数）、平均孔半径’Ｆｓ　ｔ　ｒ４　ｔ　１
ｃｒｎ”当たりの孔数Ｎ１および面内空孔率Ｐｒｅ　Ｌ
ｒｉそれぞれ（１）式、（２）式、（３）式、および（
４）式で与えられる。

Ｐｒｅ＝ｒｃｆ″’ｒ２Ｎ（ｒ）ｄｒＸｌｏｏ　（匍　
（４）また、平均孔半径Ｄ／２はＤ／２　＝　（Ｆ３・
１４合で定義される。走査型電子顕微鏡には日本電子製
ＪＳＭ　−Ｕ　３型を用い、表裏面の電子顕微鏡写真を
撮影する。該写真から公知の方法で孔半径分布関数Ｎ（
ｒ）　ｋ算出し、これを本文中（１）〜（４）式に代入
する。すなわち、孔半径分布関数をめたい部分の走査型
電子顕微鏡写真を適当な大きさく例えば２０　ｃｍ　Ｘ
　２０　ｃｍ　）　Ｋ拡大、焼付けし、得られた写真上
に等間隔にテストライン（直線）を２０本描く。おのお
のの直線は多数の孔を横切る。孔を横切った際の孔内に
存在する直線の長さを測定し、この頻度分布関数をめる
。この頻度分布関数を用いて、例えばステレオロジー（
例えば諏訪紀夫著、定鼠形態学、岩波書店）の方法でＮ
（ｒ）ｆ：定める。平均孔半径ｒ３＋ｒ４はＮ（ｒ）ｅ
用いて（１）式、（２）式で、孔数ＮはＮ（ｒ）を用い
て（３）式で、面内空孔率ＰｒｅはＮ（ｒ）ｆ：用いて
（４）式で算出される。

実施例１ セルロースリンター（平均分子量２．３３Ｘ１０”　）
を公知の方法で調製した銅アンモニア溶液中に６重量％
濃度で溶解後、その溶液全３０℃のアセトン蒸気雰囲気
の濃度が飽和蒸気圧の７０チの雰囲気下でガラス板上に
厚さ５００μｍのアプリケーターで、０．２ｍ／分の速
度で流延した。該雰囲気下に８分間放置し、ミクロ相分
離が生起し、かつ希薄相が膜表面に浸出していないの全
確認し得られた流延フィルムをアセトン／水との比率が
３３，６重量％でアンモニア／水との比率が０．８重量
％の混合溶液中（２０℃）に６０分間水平状態で浸漬し
た。その後、２０℃の２重量％硫酸水溶液中に１５分間
浸漬し、水洗し、水分’ｔＦ紙で吸い取り、２０℃のア
セトン（１００重量重量中に１５分間浸漬し、膜中の水
分をアセトンで置換し、ｐ紙にはさんで３０℃で風乾し
た。得られた膜を真空中（１０ｍｍＨｇ以下〕でそれぞ
れ水銀を銀ペーストｐＬ１Ｃｔ０４／ＤＭＦ媒体中に浸
漬し、該媒体を３００気圧下に加圧し、次に大気圧下で
除圧して媒体から多孔膜を取υ出した。この多孔膜の表
面に、第２図（平面図）および第３図（横断面図）に示
すような電気回路を形成した。すなわち、多孔膜１の表
面に導電性シリコンインク（東芝シリコン製導電性イン
クＸＥ１４−３２２）で２咽方眼紙に太さ０、３　ｙｔ
ａａの方眼（２）ヲ描き、裏面には一面に導電性シリコ
ンインク（３）全塗布する。この表裏面の導電性シリコ
ンインク層中に白金線端子をそれぞれ表面には４本、裏
面には１本接続した。

実施例２ 実施例１で作製した平膜を１００重量係のトルエンで希
釈した実施例１の導電性シリコンインクの中にＶ漬し、
該シリコン媒体’１ｋ３００気圧下に加圧した。次に１
大気圧下で除圧して媒体中から線膜を取９出した。その
後、乾燥機で１５０℃、１分間乾燥し、線膜の表裏面に
実施例１と同様に導電性シリコンインクで回路を描き、
シリコンインク層に白金線端子をそれぞれ接続した。

比較例１ 市販の感圧導電ゴム（日本合成ゴム（株〕製）の表裏面
に実施例１と同様に導電性シリコンインクで回路を描き
、シリコンインク層に白金線端子をそれぞれ接続した。

この比較例の感圧導電素子と実施例１にあげた感圧導電
素子を用いて、グラフィックタブレット用を想定して、
素子上に４点を入力し、その３点の位置が抵抗値の差に
よりて識別可能である必どうかを検討した〇 第２図は実施例１で作製した感圧導電素子の平面図であ
って、（１）は感圧導電多孔膜、（２）は導電性塗料で
描いた表面の回路、（２５は導電性塗料で描いた端子部
を意味する。第３図はこの感圧導電素子の横断面図であ
って、（１）　、　（２）　、　（２ｍ第２図と同じで
あり、（３）は裏面の導電性塗料層である。

第４図は本発明の感圧導電素子を用いたグラフィックタ
ブレット用素子の平面図で、（４）は電流計、（５）は
定電圧電源、（６）け白金線端子を示す。第５図は、第
４図に示すグラフィックタブレット用素子の横断面図で
ある。つまｐ１該素子の表面の回路（２）端には上下左
右の４方向にそれぞれ同じ導電性シリコンインクで描い
た端子部（２物（あり、そこからそれぞれ１本ずつ白金
線端子（６筋玉でており、電流計（４）と電源（５）を
介して並列に裏面の導電塗料面（３）に接続されている
。

第６図は、第４，５図に示したグラフィックタブレット
用素子の使用例を示す。第６図において、（７）は入力
の際に用いる定圧ペンを示し、この図はペンで入力して
いる様子を示している。一点を所定のペン７で入力する
と膜間で導電性が生じ電流が流れる。その電流の流れる
様子を模式的に示したものが第７図である。ここで破１
Ｍは電流の流れを示す。この第７図でＡ点に入力すると
Ａ点の周囲の半径０．５簡の円形内の点間のみにおいて
膜の表裏で導電性を持ち、この点と接触していた回路（
２月−べてに電流が通じる。この回路全光れる電流値を
図の破線で示される様にＸｌ　＋Ｘ２　＋ｙＩ　ｔｙｚ
の方向で測定する。次に、Ａ以外の点に入力すると、つ
まり入力する位置が変化すると、ｘＩ。

Ｘｌ　Ｆ）’１　ｔｙｚ　ｋ流れる電流値が回路の長さ
の変化に応じて変化する。これは電流が流れ得る回路を
多く持つ場合、一番抵抗の少ない回路、つまりこの回路
では一番距離の短かい回路に優先的に流れることを利用
している。また、同じ位置でも入力の圧力度合によって
電流値が変化することｔ・ら力の強弱をも検出し得る。

すなわち、入力された位置はｘｌ　・Ｘｌ　＊７１　ｐ
Ｙ２の４方向の電流比によって、入力の強弱はｘｔ　Ｔ
　Ｘｌ　１　ｙｌ　ｔ　’１２の電流値によって検出で
きる。

後に掲げる表１は、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ各点で負荷圧力１０
０　Ｋ９７ｃｍ”の時に示しだＸＩ　ｔ　Ｘｌ　＋　ｙ
ｌ　ｔｙｚの電流値を実施例１の感圧導電素子と比較例
１の感圧導電素子について測定した代表例を示している
。Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ各点は４ＩＩＩ＋１１間隔で隣り合っ
ている。表１によると、４点の各電流値は実施例１の感
圧導電素子では顕著に差があるのに対して、比較例１の
感圧導電素子では、４点の電流値の差は明確でない。即
ち、比較例１の素子は４点をはっきり識別できないのに
対して、実施例１の素子は明確に識別できる。これは実
施例１の感圧導電素子に用いられている感圧導電多孔膜
がその膜面方向において、半径０．５図以内の円形内に
おいてのみ導電性を有する、つまり分解能が半径０．５
ｍＲの円形内であるという点に起因する。

以下余白

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の感圧導電素子を説明する際に用いる用
語を示す模式図である。第２図は本発明の感圧導電素子
の膜表面の電気回路の一例を示す模式図（平面図）であ
り、第３図は第２図に示す感圧導電素子の横断面図であ
る。第４図は本発明の感圧導電素子を用いたグラフィッ
クタブレット用素子の平面図であり、第５図は第４図に
示す素子の横断面図である。第６図は第４，５図に示す
グラフィックタブレット用素子に入力している態様を示
す模式図であり、第７図はその時の測定する電流を模式
的に示したものであって、破線の４方向に流れる電流値
全測定する。 各図を通して、ａ・・・膜面方向、ｂ・・・１換厚方向
、Ｃ・・・膜内及び膜内部、ｄ・・・膜厚、ｅ・・・脱
衣裏面、ｆ・・・膜内の各膜面厚さの層、１・・・感圧
導電多孔膜、２・・・導ＩＬ性塗料で描いた表面の回路
、２′・・・導電性塗料で描いた端子部、３・・・導電
性塗料層、４・・・電流１ｉ１．５・・・定電圧電源、
６・・・白金線端子、７・・・入力の際に用いる定圧ペ
ン、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ・・・入力点を示す。 特許出願人 旭化成工業株式会社 特許出願代理人 弁理士　青　木　朗 弁理士　西舘和之 弁理士　内田幸男 弁理士　山　口　昭　之 弁理士　西山雅也 吊１回 第２回 第４し１ 箒５看ｊ１ ．７同

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、下記（１ンおよび（２）の要件を満足する多孔膜か
   ら構成され、線膜の表裏面のうち少なくとも一方には導
   電物質で構成された太さＱ、　５　＋ａ以下の線からな
   る電気回路を有し、かつ該電気回路と外部の電気回路と
   を接続するための端子を複数個有することを特徴とする
   感圧導電素子。 （１）　線膜の膜面方向において、同一面内の任意の点
   を中心とする半径０．５＋ｍｎの円形領域内の２点間に
   のみ導電性を持つ。 （２）線膜の膜厚方向に圧力を負荷させた場合、負荷点
   と、該負荷点を中心とする周囲の半＆０．５　ｍｍの円
   形領域内の点との間にのみ導電性を持ち、その膜厚方向
   における固有抵抗値は圧力の変化に応じて変化する。 ２、該導電物質が有機高分子物質と導電性無機物質との
   混合物で構成されることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の感圧導電素子。 ３、特許請求の範囲第１項記載の多孔膜の両面に導電物
   質で構成された回路を有することを特徴とする特許請求
   の範囲第１項又は第２項記載の感圧導電素子。 ４、多孔膜の素材が再生セルローステアルコトを特徴と
   する特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の感
   圧導電素子。