JPS60171595U - 超純水製造装置 - Google Patents
超純水製造装置Info
- Publication number
- JPS60171595U JPS60171595U JP5982684U JP5982684U JPS60171595U JP S60171595 U JPS60171595 U JP S60171595U JP 5982684 U JP5982684 U JP 5982684U JP 5982684 U JP5982684 U JP 5982684U JP S60171595 U JPS60171595 U JP S60171595U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrapure water
- water production
- ion exchange
- production equipment
- exchange resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は、液化炭酸ガスと接触したイオン交換
樹脂の有機物溶出及びイオン交換特性を示す実験データ
の線図、第３図は本考案の一実施例である超純水製造装
置を示す系統図である。 、１・・・濾過装置、３・・・逆浸透装置、４・・・脱
気装置、５・・・脱塩装置、７・・・殺菌装置、８・・
・ポリラシャ−。
樹脂の有機物溶出及びイオン交換特性を示す実験データ
の線図、第３図は本考案の一実施例である超純水製造装
置を示す系統図である。 、１・・・濾過装置、３・・・逆浸透装置、４・・・脱
気装置、５・・・脱塩装置、７・・・殺菌装置、８・・
・ポリラシャ−。
Claims (1)
- すくなくとも逆浸透装置、イオン交換樹脂脱塩、装置、
殺菌装置及び限外−過装置あるいは膜濾過装置からなる
ものにおいて、液化ガスあるいは超臨界ガスによるイオ
ン交換樹脂調製系統を、前記イオン交換樹脂脱塩装置に
設けたことを特徴とする超純水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5982684U JPS60171595U (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 超純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5982684U JPS60171595U (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 超純水製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60171595U true JPS60171595U (ja) | 1985-11-13 |
Family
ID=30586604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5982684U Pending JPS60171595U (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 超純水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60171595U (ja) |
-
1984
- 1984-04-25 JP JP5982684U patent/JPS60171595U/ja active Pending
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