JPS60170869U - ウエハカウンタ - Google Patents

ウエハカウンタ

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JPS60170869U
JPS60170869U JP5651984U JP5651984U JPS60170869U JP S60170869 U JPS60170869 U JP S60170869U JP 5651984 U JP5651984 U JP 5651984U JP 5651984 U JP5651984 U JP 5651984U JP S60170869 U JPS60170869 U JP S60170869U
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JP
Japan
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wafer
wafer storage
wafer counter
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sensor
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JP5651984U
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JPH0124669Y2 (ja
Inventor
若旅　易
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東京エレクトロン相模株式会社
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Publication date
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Priority to JP5651984U priority Critical patent/JPS60170869U/ja
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  • Packaging For Recording Disks (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例の斜視図、第２図は第１図の■
−■線部断面図、第３図は第２図のｍ−■線部断面図、
第４図は他の実施例の要部斜視図、第５図は第４図の使
用状態を示す正面図、番６図は各センサ受光部の作動状
態を示す線図、第７図は従来のウェハカウンタの使用状
態を示す斜視図、第８図は第７図の■−■線部断面図、
第９図は第８図のＩＸ−ＩＸ線部断面図である。 １・・・センサ受発光部、２・・・ウェハ収容溝、１１
・・・ウェハ収容溝２の底面を含む面、１２・・・空間
部、３ａ・・・センサ受発光部を固着した測板、３ａ′
・・・３ａに対応する側板、３ｂ・・・上下動可能な平
板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　複数のセンサ受発光部１を等間隔かつ一列に配設し
    、該センサ受発光部１を挾んで両側に互に対応するウェ
    ハ収容溝２を有する部材を並設するとともに、該ウェハ
    収容溝２の底面１１を含む面とセンサ受発光部１の頭部
    との間に空間部１２を設けたことを特徴とするウェハカ
    ウンタ。 ２　ウェハ収容溝を有する部材が互に対抗する一対の可
    動側板３　ａ、　　３ａ’であることを特徴とする実用
    新案登録請求の範囲第１項記載のウェハカウンタ。 ３　ウェハ収容溝２を有する部材が上下動が可能な平板
    ３ｂであることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    １項記載のウェハカウンタ。
JP5651984U 1984-04-17 1984-04-17 ウエハカウンタ Granted JPS60170869U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5651984U JPS60170869U (ja) 1984-04-17 1984-04-17 ウエハカウンタ

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5651984U JPS60170869U (ja) 1984-04-17 1984-04-17 ウエハカウンタ

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Publication Number Publication Date
JPS60170869U true JPS60170869U (ja) 1985-11-12
JPH0124669Y2 JPH0124669Y2 (ja) 1989-07-26

Family

ID=30580189

Family Applications (1)

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JP5651984U Granted JPS60170869U (ja) 1984-04-17 1984-04-17 ウエハカウンタ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60170869U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6313344A (ja) * 1986-07-03 1988-01-20 Teru Saamuko Kk ウェハカウンタ及びウェハカウント方法
JPS64743A (en) * 1987-02-13 1989-01-05 Tokyo Electron Ltd Counter for wafer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6313344A (ja) * 1986-07-03 1988-01-20 Teru Saamuko Kk ウェハカウンタ及びウェハカウント方法
JPS64743A (en) * 1987-02-13 1989-01-05 Tokyo Electron Ltd Counter for wafer

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Publication number Publication date
JPH0124669Y2 (ja) 1989-07-26

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