JPS60164143A - クリ−ンル−ム用運搬車のバツテリ交換設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体製造工場や医療用設備等におけるクリ
ーンルーム内での物品運搬を行なうための運搬車に対す
るバッテリ交換設備に関し、詳しくは、ダウン７０一式
クリーンルーム内を走行させる運搬車に装備するバッテ
リの交換設備に関する。

運搬車においては、走行用駆動装置あるいは荷役用駆動
装置の電源として、又は、走行制御あるいは荷役制御を
行なわせるために装備される、制御回路及び制御用各種
機器の電源としてバッテリを装備させることになり、そ
して、そのバッテリを適時充電バッテリと交換すること
になる。

そのための設備を構成するに、一般に、供給されるバッ
テリを保管しながら充電する保管棚を設けると共に、バ
ッテリ保管棚とバッテリ交換用位置に停止された運搬車
との間に亘ってバツテリを移送自在なバッテリ移載装置
を設けることになる。　そして、このような設備をダウ
ン７０一式クリーンルームに対して装備させるに、本発
明者は、バッテリ保管棚をクリーンルーム内に設置する
手段を考えたが、この手段の場合、クリーンルーム内に
バッテリ保管棚の設置スペースを設けなければならない
点に起因して、クリーンルームの床面積が狭く々る不利
があり、且つ、七わを回避させるためにはクリーンルー
ム自体を大型にし々ければならない不利があると共に、
充電に伴いバッテリ保管棚から発生する、水素ガス等の
排ガスがクリーンルーム内を汚染する虞れがあった。　
ちなみに、排ガスによる汚染を回避すべく、バッテリ保
管棚を覆うカバ一体、及び、七力からの排気ガスをクリ
ーンルーム外に案内放出するダクトを設けることてなる
が、カバ一体やダクトから万が−にも排ガスが漏ｎると
、七り、が直ちにクリーンルーム内を汚染するものとな
るため、排気ガスによる汚染回避に対する信頼性に欠け
るものであった。

さらには、バッテリ保管棚をクリーンルーム内に設置す
る場合においては、バッテリ移載装置をもクリーンルー
ム内において大きな範囲に亘って昇降させる状態で設け
々けわばならないものとなり、そのバッテリ移載装置の
作動に伴い発生する摩耗粉等の微粒子がクリーンルーム
内を汚染する不都合もあった。

本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、そ
の目的は、クリーンルームの床面積を減少することのな
い状態で、しかも、排ガスによりクリーンルームを汚染
することを抑制する状態で、そのうえ、バッテリ移載装
置によりクリーンルームを汚染することを抑制する状態
でバッテリ交換を行なわせることができるクリーンルー
ム用バッテリ交換設備を提供する点にある。

本発明によるクリーンルーム用達８車のバッテリ交換設
備の特徴構成は、供給されるバッテリを保管しながら充
電するバッテリ保管棚を、前記クリーンルームの下方に
設けるさ共に、前記バッテリ保管棚とバッテリ交換用位
置に停止された運搬車との間に亘ってバッテリを移送自
在なバッテリ移載装置を設けた点にあり、その作用効果
は、次の通りである。

すなわち、クリーンルームの下方に、バッテリ保管棚を
設けるようにしであるから、バッテリ保管棚のためにク
リーンルームの床面積が減少することがないのであり、
しかも、パンテリ保管棚からの排ガスが直ちにクリーン
ルーム内を汚染することを回避できる。　つまり、バッ
テリ保管棚を、クリーンルームの下部に形成する空気循
環用流路の外方に配置させる場合はもちろんのこと、パ
ンテリ保管棚を、排気ガスを前記空気循環用流路外に案
内放出するダクトが延出されるカバ一体にて覆う状態で
、前記空気循環用流路内に位置させる場合においても、
前記空気循環用流路内の空気はクリーンルームて本来的
に備えらねる浄化機能によって浄化され今　θ）七、　
ウ　１１−・ノ　パノ　−　ム　−コ　Ｖ　暑　弓そ　
七　４１　λ　１、　θ）１り　ネるから、カバ一体あ
るいはダクトから万が一排ガスが漏れることがあっても
、そのために直ちにクリーンルーム内が汚染されること
がない。

そのうえ、バッテリ移載装置け、クリーンルーム下方の
バッテリ保管棚とクリーンルームの床壁面部に位置する
運搬車との間で昇降作動するものとなり、クリーンルー
ム内の上方へ大きく突出しないものとなるから、バッテ
リ移載装置から発生する微粒子がクリーンルームを抑制
することを極力回避できる。　つまり、バッテリ移載装
置がクリーンルーム内に突出した状態で作動する場合に
おいて、クリーンルームを汚染する虞れがあるものの、
上述の如くバッテリ多載装置をクリーンルーム内の床壁
面部近くに突出させわば良い点と、ダクンフロ一式りリ
ーンルーム内の空気流れによって、床壁面部においてバ
ッテリ移載装置から発生する微粒子を迅速にクリーンル
ーム外へ排出できる点との相乗作用によって、バッテリ
移載装置のためにクリーンルームを汚染することを抑制
できる。

従って、クリーンルーム床面積の有効利用を図る状態で
、しかも、クリーンルームの本来構成を有効利用しなが
ら、バッテリ保管棚からの排ガスやバッテリ移載装置か
らの微粒子によってクリーンルームを汚染することを抑
制する状態でバッテリ交換を行なわせることができるの
であり、もって、実用上の利点穴なりリーンルーム用運
搬車のバッテリ交換設備を得るに至った。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図に示すように、ＨＥＰＡフィルタ（Ｆ）を天井側
に設け、床形成用のグレーチング１１）を設けると共に
、空気をＨＥＰＡフィルタ（Ｆ）を通して下方に送風し
ながら上下に循環流動させるプロワ（２）を設けて、浄
化空気を天井側から床側に流動させる、いわゆるグクン
７０一式のクリーンルーム（５）を構成し、そして、ク
リーンルーム内に配置したステーション（図示せず）あ
るいけカプセル収納棚住）と車体に備えさせた物品収納
部（３）との聞での荷役作業を行なう荷役用ロボット（
４）を備えた運搬車（Ｂ）を、床壁面に沿って走行自在
に段け、もって、例えば半導体製造工場においてクエハ
収納カプセル（ｘ）を運搬させる等、各種の物品運搬を
行なえるように構成しである。　但し、図中（ｔＪ）ｌ
ｄ、クリーンルーム（３）内へのカプセレ搬送設備であ
る。

前記運搬車（Ｂ）を構成するに、第１図乃至第４図に示
すように、左右一対の推進車輪（６）を、変速自在な電
動モータにて各別に駆動させるように設けると共に、前
後一対の遊転輪（６）を、縦軸芯周りで自由回動自在に
設けて、左右推進車輪（５）の回転速度を異ならせるこ
とにより操向できるように構成しである。　−１ニジて
、縦長スリット状のレーザー光線（６）を運搬車走行径
路に沿って投射するレーザー発生装置（７）を、クリー
ンルーム回内に固定設置すると共に、７オトダイオ９シ ード等のレーデ光線受光素子の複数個を車体横巾方向に
並べた追従用センサー（８）を、運搬車（Ｂ）における
レーザー発生装置（７）に対向するケーシング壁面部に
設け、もって、追従用センサー（８）におけ゛る受光素
子のうちの中央側のものが受光する状態を維持するよう
に、左右推進車輪（６）の回転速度を自動変速させて、
運搬車（Ｂ）を走行径路に沿って自動走行させるように
構成しである。

但し、例示はしないが、行先データや荷役作業指令等の
各種情報を出力するコントローラを固定設置し、運搬車
（Ｂ）を荷役用位置やバッテリ交換用位置に停止させる
ための停止位置を表示するマークを走行路面に設けると
共に、前記コントローラからの情報を車体側のコントロ
ールボックスに伝達する受信器、及び、台車停止位置を
前記コントロールボックスに伝達するマーク読取用セン
サーの夫々を、運搬車（Ｂ）側に設けて、運搬車（Ｂ）
を荷役のために所望の位置で停止させること、荷役用ロ
ボット（４）を作動させること、荷役後の運搬車（Ｂ）
を次の停止位置側に向けて発進させること、運搬車（Ｂ
）をバッテリ交換用位置に停止させること、及び、パン
テリ交換後の運搬車（Ｂ）を発進させること夫々を、前
記コントローラの情報に基づいて行なわせるようにしで
ある。

次に、バッテリ交換設備について詳述する。

供給さｒ、るパッチ１月９）の収納ケース（ｌＯ）を保
管しながら充電するパンテリ保管棚（Ｄ）を、前記クリ
ーンルーム（５）の下部に形成する空気循環用流路（ｒ
）内に位置させる状態でクリーンルーム内の下方に設け
ると共に、そのバッテリ保管ＩＪＩ（Ｄ）を覆うカバ一
体（ｏｉ、それからの水素ガス等の排気ガスを前記空気
循環用流路外へ案内放出するダ　。

クト（１２＋、及び、カバ一体（１１）内の排気ガスを
ダクト（１匂に向けて送風するファンθ３）を夫々設け
、そして、前記バッテリ保管棚（Ｄ）と前記バッテリ交
換用位置に停止さ力、た運搬車（Ｂ）のパンテリ収納部
（Ｉ（）との間に亘ってケース（１０）内に収納させた
パッチ１月９）全移送自在なバッテリ移載装置（Ｅ）　
ｋ設け、もって、運搬車（Ｂ）　Ｋ装備させたパッチ１
月９）を取出してバッテリ保管棚（Ｄ）　Ｋ供給すると
共に、保管ａ　（Ｄ）に保管さねている充電完了バッチ
１月９）を運搬車（Ｂ）に供給する、バッテリ交換作業
を行なわせるように構成しである。

但し、図中（１４）は、バッテリ移載装置＠）の挿脱の
ためにクリーンルーム床壁面部に形成した口θ０を開閉
するスライド式の扉であって、流体圧シリンダ（１６）
によって開閉操作自在に設けらゎ・ている。

前記バッテリ保管ｍ（Ｄ）を構成するに、上下方向に並
ぶ充電用棚部（ａ）の複数個を設けると共に、給水用Ｓ
部（ｂ）の７個を、充電用棚部（ａ）の下方に備えさせ
、そして、第７図に示すように、充電用棚部（ａ）の夫
々に、バッテリ収納ケース（１０）に備えさせた電気端
子（Ｓ）が嵌合する充電用端子（Ｔ）、及び、バッテリ
収納ケース（１０）に備えさせた上下スライド式のロッ
ク部材（Ｉ７）が係合する凹部付部材（１枠を設けであ
る。　又、前記カバ一体（ＩＩ）によって、バッテリ挿
脱側前面部を除いて覆うと共に、充電用Ｓ部（ａ）の入
口部夫々に、バッテリ収納ケース（１０）の上面及び両
横側面に接触作用するゴム製の膜状体Ｑ９）を設けであ
る。　但し、膜状体０９）の夫々に左右一対の切れ目（
Ｃ）を形成して、バッテリ収納ケース（１ｏ）の挿脱を
円滑に行なわせるようにしである。

前記運搬車側のバッテリ収納部を構成するに第５図に示
すように、前記電気端子（ｓ）が嵌合する受電用端子（
Ｔａ）や前記ロック部材（ｌηが係合する凹部付部材（
１８ａ）を備えさせるようにしである。

前記バッテリ移載装置（Ｅ）を構成するに、第３図乃至
第６図に示すように、正面視形状Ｕ字状のバッテリ受は
台（２０）を、縦姿勢のガイド枠＠１１　Ｋ沿って駆動
昇降自在に設け、その受け台（イ）に対して出退自在に
支持させたバッテリ押引操作用枠体□□□を、電動モー
フにて正逆駆動させるチェーン＋２３）Ｋ取付ける状態
で設け、そして、パンテリ押引操作用枠体（社）に、ス
プリング（財）によって保合側付勢された前記ロック部
材０ηの上方屈曲部（１７Ａ）に係合する保合片（２２
Ａ）、その保合片（２２Ａ）の両横側に振分は位置させ
、且つ、バッテリ収納ケース側に弾性付勢させた左右一
対の姿勢矯正用抑圧ロッド（２２Ｂ）　、及び、左右一
対のパンテリ収納ケース押込操作用ロッド（２２Ｃ）を
夫々設け、もって、保合片（２２Ａ）をロック部材上方
屈曲部（１７Ａ）に係合させた状態でバッテリ受は台（
社）を上昇作動させることにより、ロック部材ａ７）を
解除操作できるように、しかも、その状態で押引操作用
枠体−を引退側に作動させることにより、バッテリ収納
部（Ｈ）あるいはバッテリ保管棚（Ｄ）に位置するバッ
テリ収納ケース（ｌＯ）をバッテリ受は台（２０）側に
引張り移動させることができるように、且つ、その引張
り作動時において左右の押圧ロッド（２２Ｂ）によって
パンテリ収納ケース（ｌＯ）の姿勢部わを抑制できるよ
うに、そのうえ、押引操作用枠体−を突出側に作動させ
ることにより、押込操作用ロッド（２２Ｃ）により押圧
しながらパンテリ収納部（Ｈ）６るいはバッテリ保管ａ
（ＤＪ内に向けてバッテリ収納ケース（１０）を押込み
移動させることができるように構成しである。

さらに説明すれば、バッテリ押引操作用枠体（財）の引
退作動に伴って、バッテリ収納ケース（１０）をバッテ
リ受は台−側に受け入れ、その状態においてバッテリ受
は台（財）を昇降作動させ、その後、バッテリ押引操作
用枠体Ｖ４の突出作動に伴って、バッテリ収納ケース（
ｌｏｌをバッテリ収納部（Ｈ）あるいけバッテリ保管Ｉ
ＪＩ（Ｄ）内に供給する手順で、バッテリ移送作業を行
々えるようにし、しかも、バッテリ受は台（財））の昇
降機能を有効利用して、ロック部材θ乃の操作を行なわ
せるようにしである。

但し、バッテリ液が設定量以下になると点灯作動する液
量検出器□□□を、バッテリ収納ケース（１０）　Ｋ備
えさせると共に、その検出Ｗ（２均の点灯作動音検出し
て点灯作動する表示器シロ）を、前記バッテリ受は台（
財）ＩＶｃ設け、もって、充電に際して給水が必要であ
ることを作業者に知らせるととり；できるようにしであ
る。　すなわち、バッテリ移載装置幅）を作動させ々が
らバッテリ交換作業を行なうに際して、給水要が確認さ
れた場合にお論ては、運搬車側から取出したバッテリ収
納ケース（ｌＯ）を給水用棚部（ｂ）　Ｋ保管させて、
手動で、あるいは、自動で給水を行々わせたのち、充電
用棚部（ａ）に供給することになる。

上記実施例において、バッテリ移載装置（Ｅ）の運転は
、手動で行なわせる他、充電用棚部（ａ）のバッテリ存
否検出情報、充電バッテリの検出情報、及び、バッテリ
液検出情報等に基づいて自動運転させるようにしてもよ
い。

次に、別の実施例を説明する。

クリーンルーム（Ａ）の具体構成は各種変更でき、要は
、浄化空気を天井部側から床側に流動させる形式であれ
ばよい。

運搬車（Ｂ）としては、車体そのものに物品収納部（３
）を備える形式の他、物品収納用台車部分を牽引する形
式のもの等、各種構成のものが使用できる。

パンプリ保管ａ　（Ｄ）の具体構成は各種変更でき、セ
して、バッテリ移載装置［有］）の具体構成も、バッテ
リ保管ｍ　（Ｄ）や運搬車（Ｂ）の構成に応じて各種変
更できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係るクリーンルーム用運搬車のバッテリ
交換設備の実施例を示し、第１図は部の切欠正面図、第
６図はバッテリを移載装置側に取出した状態を−示す平
面図、第７図は充電用棚部の切欠側面図である。 （９）・・・・・バッテリ、（１１！・・・・・・カバ
一体、Ｈ・・・・・・ダクト、（８）・・・・・・クリ
ーンルーム、（Ｂ）・・・・運搬車、（Ｄ）・・・・・
・バッテリ保管棚、（Ｅ）・・・・・・バッテリ移載装
置、（ｒ）・・・・・・空気循環用流路。 代理人　弁理士　北　村　修 コ１

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■　ダウン７０一式クリーンルーム（８）内を走行させ
   る運搬車ＣＢ）に装備するバッテリ（９）の交換設備で
   あって、供給されるバッテリ（９）を保管しながら充電
   するバッテリ保管棚（Ｄ）を、前記クリーンルーム（８
   ）の下方に設けると共に、前記バッテリ保管棚（Ｄ）と
   バッテリ交換用位置に停止された運搬車（Ｂ）との間に
   亘ってバッテリ（９）を移送自在なバッテリ移載装置（
   Ｅ）を設けであるクリーンルーム用運搬車のバッテリ交
   換設備。 ■　前記バッテリ保管ａ（ｆ））を、前記クリーンルー
   ム（Ａ）の下部に形成する空気循環用流路（ｒ）内に位
   置させると共に、前記バッテリ保管棚（Ｄ）を覆うカバ
   一体（ｌｌ’ｌ　、及び、それからの排気ガスを前記空
   気循環用流路外へ案内放出するダクＮ＋２の夫々を備え
   させである特許請求の範囲第０項に記載のクリーンルー
   ム用運搬車のバッテリ交換設備。