JPS60140107A - 形状検出方法と装置 - Google Patents
形状検出方法と装置Info
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- JPS60140107A JPS60140107A JP24547483A JP24547483A JPS60140107A JP S60140107 A JPS60140107 A JP S60140107A JP 24547483 A JP24547483 A JP 24547483A JP 24547483 A JP24547483 A JP 24547483A JP S60140107 A JPS60140107 A JP S60140107A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/245—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、光切断法による対象物の立体形状の検出に係
り、特に対象物の側面形状をも正確に検出するのに好適
な形状検出方法と装置に関するものである。
り、特に対象物の側面形状をも正確に検出するのに好適
な形状検出方法と装置に関するものである。
スリット光投光式形状検出方法の一例の説明図である茅
I II s 91っマ促1 iI 断のさ−と9゜第
1図に例示するように、例えば、電子部品のリード1と
プリント板6のバッド2とのはんだ何部3の形状を検出
する場合、スリット光4を上方から投光し、投影輝線5
を矢印で示す前方、斜め上から検出することにより、第
2図(a)に示すような光切断像が検出されるはずであ
る。しかし、現実には、はんだ表面が金属鏡面をなすた
め、例えば、プリント板6上の投影輝線5を、はんだ何
部3の側表面で鏡像としてとらえ、第2図(b)に示す
ように正しい光切断像が検出できないことがある。
I II s 91っマ促1 iI 断のさ−と9゜第
1図に例示するように、例えば、電子部品のリード1と
プリント板6のバッド2とのはんだ何部3の形状を検出
する場合、スリット光4を上方から投光し、投影輝線5
を矢印で示す前方、斜め上から検出することにより、第
2図(a)に示すような光切断像が検出されるはずであ
る。しかし、現実には、はんだ表面が金属鏡面をなすた
め、例えば、プリント板6上の投影輝線5を、はんだ何
部3の側表面で鏡像としてとらえ、第2図(b)に示す
ように正しい光切断像が検出できないことがある。
また、リード1の側面が、はぼ垂直であり、そこに上方
からスリット投光するだめ、第2図(C)に示すように
側面の形状情報を正確に検出できないこともある。
からスリット投光するだめ、第2図(C)に示すように
側面の形状情報を正確に検出できないこともある。
ここで、第3図に従来の形状検出装置の一例の構成図を
示す。
示す。
上記の第1の問題点については、第3図に示すように、
上方力)リスポット光をスポット光投光器7によシ照射
し、投影光点を斜め上方から結像レンズ8で1次元イメ
ージセンサ9上に結像させ、スポット光投光器7、結像
レンズ8、十次元イメージセンサ9の相対位置関係を保
ったまま、同図の紙面に垂直な方向に移動させれば、そ
の防止をすることができる。しかし、この方式において
も、なお上記の第2の問題点については解決ができない
。
上方力)リスポット光をスポット光投光器7によシ照射
し、投影光点を斜め上方から結像レンズ8で1次元イメ
ージセンサ9上に結像させ、スポット光投光器7、結像
レンズ8、十次元イメージセンサ9の相対位置関係を保
ったまま、同図の紙面に垂直な方向に移動させれば、そ
の防止をすることができる。しかし、この方式において
も、なお上記の第2の問題点については解決ができない
。
また、第2の問題点を解決するには、スリット光4を、
そのスリット光面に一致させた状態で複数の方向、例え
ば左、右上方から投光すればよいが、それでは第1の問
題点の解決ができない。
そのスリット光面に一致させた状態で複数の方向、例え
ば左、右上方から投光すればよいが、それでは第1の問
題点の解決ができない。
本発明の目的は、上記した問題点を解決し、はんだ何部
のように金属光沢を有する対象物についても、その側面
形状を含む立体形状を正確に検出することができる形状
検出方法と装置を提供することにある。
のように金属光沢を有する対象物についても、その側面
形状を含む立体形状を正確に検出することができる形状
検出方法と装置を提供することにある。
まず、本発明に係る形状検出方法は、対象物に対して異
なる2方向からスポット光を投影し、その各投影スポッ
ト光の位置を当該各スポット光の投影位置の変化方向の
みの1次元像として検出し、それらの光切断線を合成し
、上記対象物の立体形状を検出するようにしたものであ
る。
なる2方向からスポット光を投影し、その各投影スポッ
ト光の位置を当該各スポット光の投影位置の変化方向の
みの1次元像として検出し、それらの光切断線を合成し
、上記対象物の立体形状を検出するようにしたものであ
る。
また、本発明に係る形状検出装置は、対象物にスポット
光を投影し、その投影スポット光の位置を当該スポット
光の投影位置の変化方向のみの1次元像として検出しう
る検出ヘッド2個を、それぞれ上記対象物に対して異な
る2方向から上記各スポット光を投影しうるように配備
し、更に、上記各検出ヘッドと上記対象物とを相対的に
移動させる機構と、その移動位置を検出する手段と、上
記の各投影スポット光による各光切断線を抽出する手段
と、その各光切断線の合成をし、また当該形状の検出処
理をする手段とを具備するようにしたものである。
光を投影し、その投影スポット光の位置を当該スポット
光の投影位置の変化方向のみの1次元像として検出しう
る検出ヘッド2個を、それぞれ上記対象物に対して異な
る2方向から上記各スポット光を投影しうるように配備
し、更に、上記各検出ヘッドと上記対象物とを相対的に
移動させる機構と、その移動位置を検出する手段と、上
記の各投影スポット光による各光切断線を抽出する手段
と、その各光切断線の合成をし、また当該形状の検出処
理をする手段とを具備するようにしたものである。
以下、本発明に係る方法・装置の一実施例を図に基づい
て併せて説明する。
て併せて説明する。
第4図は、本発明に係る形状検出装置の一実施例の構成
図であシ、その機構部は正面図で描かれている。第5図
は、同機構部の側面図である。
図であシ、その機構部は正面図で描かれている。第5図
は、同機構部の側面図である。
本装置は、スポット光投光器17A、17B。
結像レンズ18A、18Bおよび1次元イメージセンサ
19A、19Bの検出ヘッド2組有している。すなわち
、モータ10で送りネジを回転すればガイド11上を横
方向に移動する移動テーブル12と、これに搭載された
スポット投光器17A。
19A、19Bの検出ヘッド2組有している。すなわち
、モータ10で送りネジを回転すればガイド11上を横
方向に移動する移動テーブル12と、これに搭載された
スポット投光器17A。
17B1結像レンズ18A、18Bおよび1次元イメー
ジセンサ19A、19Bの2組と、2つの最明点検出回
路16A、16Bと、形状合成回路15と、形状表示部
14と、モータ制御・位置検出回路13とから構成され
ている。本実施例では、このモータ制御・位置検出回路
13は、モータ10がステッピングモータであって、そ
の中でテーブル12の位置が原点(図示せず)からの移
動量として常に分っているようにしたものである。
ジセンサ19A、19Bの2組と、2つの最明点検出回
路16A、16Bと、形状合成回路15と、形状表示部
14と、モータ制御・位置検出回路13とから構成され
ている。本実施例では、このモータ制御・位置検出回路
13は、モータ10がステッピングモータであって、そ
の中でテーブル12の位置が原点(図示せず)からの移
動量として常に分っているようにしたものである。
したがって、この部分は、例えばDCモータを駆動源と
し、テーブル移動量をリニアエンコーダなどの別手段で
検出するものでおってもよい。
し、テーブル移動量をリニアエンコーダなどの別手段で
検出するものでおってもよい。
次に、本実施例の動作を説明する。なお、説明を容易に
するため、第4図、第5図に図示のようにxr Y、z
座標系を設定する。
するため、第4図、第5図に図示のようにxr Y、z
座標系を設定する。
2つのスポット光投光器17A、17Bid、X2平面
上で任意角度αだけ傾けてテーブル12に固定されてい
る。そして、被測定物(対象物)20上では、はぼ焦点
が合い、そこに光点が投影される。これを結像レンズ1
8A、18Bおよび1次元イメージセンサ19A、19
Bからなる像検出器で検出する。像検出器は、zx圃面
上同じく角度αだけ傾け、かつxz面から角度βだけ傾
けた状態で、被測定物20上に投影された光点が1次元
イメージセンサ17A、17B上に結像するように配置
されている。
上で任意角度αだけ傾けてテーブル12に固定されてい
る。そして、被測定物(対象物)20上では、はぼ焦点
が合い、そこに光点が投影される。これを結像レンズ1
8A、18Bおよび1次元イメージセンサ19A、19
Bからなる像検出器で検出する。像検出器は、zx圃面
上同じく角度αだけ傾け、かつxz面から角度βだけ傾
けた状態で、被測定物20上に投影された光点が1次元
イメージセンサ17A、17B上に結像するように配置
されている。
第6図に1次元イメージセ/すの出力信号の波形図を示
す。同図は、横軸が1次元イメージセンサの画素列によ
って決まる座標系Z′であシ、縦軸が映像信号の出力レ
ベルを示している。
す。同図は、横軸が1次元イメージセンサの画素列によ
って決まる座標系Z′であシ、縦軸が映像信号の出力レ
ベルを示している。
1本の映像信号が同図実線のように区間(V]。
V2 )で最大値を持つ場合、最明点検出回路16A。
16Bは、その最明点の座標Zpを出力する。また、最
大値が同図破線のように上限値72以上のときは、映像
信号と下限値v2との交点のZ′座標の平均値を最明点
の座標Z、として出力する。
大値が同図破線のように上限値72以上のときは、映像
信号と下限値v2との交点のZ′座標の平均値を最明点
の座標Z、として出力する。
さらに1最大値が下限値V、以下のときは上記座標Zp
を出力しないか、まだは2.=0とする。
を出力しないか、まだは2.=0とする。
これは、上限値72以上では1次元イメージセンサが飽
和して正しいピーク位置(最明点)を検出しにくくなる
こと、また下限値vl以下ではノイズをピーク位置とし
て誤検出しやすいことを防ぐためである。なお、この処
理を単純化し、下限値v1以上のときに下限値Vtと映
像信号との交点の平均値を最明点座標Z、としたり、下
限値V1以上のときに映像信号の最大値の位置を同座標
Z。
和して正しいピーク位置(最明点)を検出しにくくなる
こと、また下限値vl以下ではノイズをピーク位置とし
て誤検出しやすいことを防ぐためである。なお、この処
理を単純化し、下限値v1以上のときに下限値Vtと映
像信号との交点の平均値を最明点座標Z、としたり、下
限値V1以上のときに映像信号の最大値の位置を同座標
Z。
とするようにしても、本発明の実施は妨げられるもので
はない。
はない。
テーブル12がモータ制御・位置検出回路13によって
移動している間、1次元イメージセンサ19A、19B
からの出力信号は、常時、最明点検出回路16A、16
B内で最明点座標2.が上記の方法で検出される。そし
て、テーブル12が所定の一定量ΔXだけ移動するごと
に、その瞬間に検出されている最明点座標Z、を形状合
成回路15へ出力する。これを2つの最明点検出回路1
6A、16Bが同時に行なうため、形状合成回路15に
は2本の光切断線が入力される。
移動している間、1次元イメージセンサ19A、19B
からの出力信号は、常時、最明点検出回路16A、16
B内で最明点座標2.が上記の方法で検出される。そし
て、テーブル12が所定の一定量ΔXだけ移動するごと
に、その瞬間に検出されている最明点座標Z、を形状合
成回路15へ出力する。これを2つの最明点検出回路1
6A、16Bが同時に行なうため、形状合成回路15に
は2本の光切断線が入力される。
いま、入力される2本の光切断線データを(Zp+t
l Xl) l (Zp21 r xt)と表現する。
l Xl) l (Zp21 r xt)と表現する。
ここで、添字1,2は2つの上記各検出回路の別を意味
する。添字iは、テーブル12の走査範囲をLtrok
a とすると、” ”’ X1trOkl /ΔX と
したときのi=l〜nである。また、左右2つの上記検
出回路の被測定物20上での検出点はXGAP だけ検
出位置がずれている。このため、検出される2つの光切
断線データもXGAPだけX方向にずれている(第4図
参照)。このXGAPは、装置の取付寸法としてあらか
じめめておくことができる。
する。添字iは、テーブル12の走査範囲をLtrok
a とすると、” ”’ X1trOkl /ΔX と
したときのi=l〜nである。また、左右2つの上記検
出回路の被測定物20上での検出点はXGAP だけ検
出位置がずれている。このため、検出される2つの光切
断線データもXGAPだけX方向にずれている(第4図
参照)。このXGAPは、装置の取付寸法としてあらか
じめめておくことができる。
いま、G = XGAP /ΔX とすると(Zpz+
、 XI)。
、 XI)。
(ZP21 、 XI−G) がずれを補正した2本の
光切断線データである。
光切断線データである。
ところで、1次元イメージセンサ19A、19Bの光切
断検出へ、ソドは、垂直から角度αだけ傾いているので
、第1ヘツドを例にとれば、第7図の座標変換の説明図
に示すように、座標Zpは角度αだけ傾いている。また
、座標Z、は、上記単位移動量ΔXを単位として、検出
器の検出倍率、検出角度βおよびイメージセンサの画素
ピッチにより決まる定数値だけずれている。その補正係
数をkとすると、第1ヘツドの光切断線データを第7図
のxz座標に変換すれば、 また、第2ヘツドについても同様に、 となる。ここで、テーブル12は左から右に走査されて
いるものとする。
断検出へ、ソドは、垂直から角度αだけ傾いているので
、第1ヘツドを例にとれば、第7図の座標変換の説明図
に示すように、座標Zpは角度αだけ傾いている。また
、座標Z、は、上記単位移動量ΔXを単位として、検出
器の検出倍率、検出角度βおよびイメージセンサの画素
ピッチにより決まる定数値だけずれている。その補正係
数をkとすると、第1ヘツドの光切断線データを第7図
のxz座標に変換すれば、 また、第2ヘツドについても同様に、 となる。ここで、テーブル12は左から右に走査されて
いるものとする。
以上より明らかなように、波形合成回路15では、2本
の光切断線データ(Zpl l r Xl ) + (
Zp21+XI)〔ここでi = l〜n ]を入力と
し、k sin C1+kCO5α、Gをあらかじめ設
定したデータとして、式(1)、(2)の変換を実行し
て(X1t 、 Zl+) 、(X21゜Z21 )
[ここでi = G +1〜n〕を碍る。これにより、
2本の光切断線は同一座標系で表現される。
の光切断線データ(Zpl l r Xl ) + (
Zp21+XI)〔ここでi = l〜n ]を入力と
し、k sin C1+kCO5α、Gをあらかじめ設
定したデータとして、式(1)、(2)の変換を実行し
て(X1t 、 Zl+) 、(X21゜Z21 )
[ここでi = G +1〜n〕を碍る。これにより、
2本の光切断線は同一座標系で表現される。
次に、形状合成回路15は、2本の光切断線データの合
成処理を行なう。その処理手順を第8図にフローチャー
ト形式で示す。これにより、1本の光切断線データ(X
k、Zk)を得ることができる。ここで、kは2本の光
切断線データの有効なデータ(V p > Vsのデー
タ)の列となる。この結果は、形状表示部14に送られ
、表示される。
成処理を行なう。その処理手順を第8図にフローチャー
ト形式で示す。これにより、1本の光切断線データ(X
k、Zk)を得ることができる。ここで、kは2本の光
切断線データの有効なデータ(V p > Vsのデー
タ)の列となる。この結果は、形状表示部14に送られ
、表示される。
上記実施例で示した光切断線合成方法は、ノ・−ドウエ
アでもソフトウェアでも実現可能である。
アでもソフトウェアでも実現可能である。
また、2つの検出器から検出された有効データをすべて
合成する方式で示したが1つの採用されたデータ点(X
k、Zh)の次のデータ点として、距離が所定値dだけ
離れた点に許容値εdの範囲に入るデータを2つの光切
断線データから抽出し、その平均位置をめることによシ
、距離dずつ離れた光切断線データをめることもできる
。なお、第11図の対象物のオーバハング部の説明図に
例示するように、オーバハングしただめに生じた凹部A
BCj)を検出しなくてもよい場合は、X方向にピッチ
dでX座標をとり、そのX座標に最も近いXllないし
X2jを持つデータを合成データとして採用するか、な
いしは許容値εdの範囲内でそのX座標に近いデータの
うち、Z値の最も大きいものを採用することによシ、合
成光切断線データを波形データ(Zk)としてめること
もできる。
合成する方式で示したが1つの採用されたデータ点(X
k、Zh)の次のデータ点として、距離が所定値dだけ
離れた点に許容値εdの範囲に入るデータを2つの光切
断線データから抽出し、その平均位置をめることによシ
、距離dずつ離れた光切断線データをめることもできる
。なお、第11図の対象物のオーバハング部の説明図に
例示するように、オーバハングしただめに生じた凹部A
BCj)を検出しなくてもよい場合は、X方向にピッチ
dでX座標をとり、そのX座標に最も近いXllないし
X2jを持つデータを合成データとして採用するか、な
いしは許容値εdの範囲内でそのX座標に近いデータの
うち、Z値の最も大きいものを採用することによシ、合
成光切断線データを波形データ(Zk)としてめること
もできる。
また、本実施例では検出結果を表示させることを示した
が、検出結果から被測定物の形状を評価したり、検査し
たりすることもできる。
が、検出結果から被測定物の形状を評価したり、検査し
たりすることもできる。
さらに、本実施例ではスポット光は上方から投影したが
、これはzy平面上の傾き角を持たせてもよいし、スポ
ット光投光器、像検出器の位置を入換えてもよい。
、これはzy平面上の傾き角を持たせてもよいし、スポ
ット光投光器、像検出器の位置を入換えてもよい。
なおまた、本実施例では検出ヘッドを移動させる形式を
例示したが、被測定物を移動させる方式であってもよい
。
例示したが、被測定物を移動させる方式であってもよい
。
さらにまだ、本実施例ではスポット光位置の検出に1次
元イメージセンサを使用する場合を示したが、これは、
1次元方向の光点位置がわかればよいので、ポジション
センサのように結像像の光量の重心位置を出力する形式
のものであってもよく、この場合は最明点検出回路16
A、16Bが不要となる。
元イメージセンサを使用する場合を示したが、これは、
1次元方向の光点位置がわかればよいので、ポジション
センサのように結像像の光量の重心位置を出力する形式
のものであってもよく、この場合は最明点検出回路16
A、16Bが不要となる。
なおまた、イメージセンサの代わシにTVカメラ、また
はフォトマルチプライヤとピンホール走査など1次方向
の光強度分布を検出できるものを用いることもできる。
はフォトマルチプライヤとピンホール走査など1次方向
の光強度分布を検出できるものを用いることもできる。
上記実施例において、XGAP を小さくシ、ないしは
Oにすると、一方のスポラトル投光が被測定物の面で反
射し、他方の像検出器の誤検出が生じたシ、他方の像検
出器の検出視野内にそのスポット像が入ってしまうこと
が生じる。この対策としては、2つのスポット光の波長
を変えておき、かつ各波長に適合し、他方のスポット光
の波長を透過しないフィルタを介して像検出をすること
により、相互に干渉することなく正しい形状検出をさせ
ることができる。あるいは、2つのスポット光を交互に
発光させ、かつ、これに同期して交互に像検出をするこ
とによっても干渉を防ぐことができる。
Oにすると、一方のスポラトル投光が被測定物の面で反
射し、他方の像検出器の誤検出が生じたシ、他方の像検
出器の検出視野内にそのスポット像が入ってしまうこと
が生じる。この対策としては、2つのスポット光の波長
を変えておき、かつ各波長に適合し、他方のスポット光
の波長を透過しないフィルタを介して像検出をすること
により、相互に干渉することなく正しい形状検出をさせ
ることができる。あるいは、2つのスポット光を交互に
発光させ、かつ、これに同期して交互に像検出をするこ
とによっても干渉を防ぐことができる。
このように、2つのスポット光投光器により、両側面に
斜めから投光するので、垂直な側面やオーバハングした
側面の形状をも、いずれかの検出器で検出することがで
き、がっ各光切断ヘッドはスポット光投影、スポット位
置変化方向のみの1次元的検出を行なっているので、は
んだ何部などのような金属鏡面であっても2次反射など
の影響を受けずに正しく形状検出ができる。したがって
、これらを合成することによシ対象物の立体形状を正確
に検出することができる。本発明は、はんだ何部など金
属光沢面を有する物体の形状計測に適用して特に有効で
ある。
斜めから投光するので、垂直な側面やオーバハングした
側面の形状をも、いずれかの検出器で検出することがで
き、がっ各光切断ヘッドはスポット光投影、スポット位
置変化方向のみの1次元的検出を行なっているので、は
んだ何部などのような金属鏡面であっても2次反射など
の影響を受けずに正しく形状検出ができる。したがって
、これらを合成することによシ対象物の立体形状を正確
に検出することができる。本発明は、はんだ何部など金
属光沢面を有する物体の形状計測に適用して特に有効で
ある。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、表面の
状態または側面形状にかかわらず立体形状を正確に検出
することができるので、各種の形状検査等の精度向上、
効率向上に顕著な効果が得られる。
状態または側面形状にかかわらず立体形状を正確に検出
することができるので、各種の形状検査等の精度向上、
効率向上に顕著な効果が得られる。
第1図は、スリット光投光式形状検出方法の一例の説明
図、第2図は、その光切断像の説明図、第3図は、従来
の形状検出装置の一例の構成図、第4図は、本発明に係
る形状検出装置の一実施例の構成図、第5図は、その機
構部の側面図、第6図は、第4図の装置の1次元イメー
ジセンサの出力信号の波形図、第7図は、同座標変換の
説明図、第8図は、同光切断線合成処理のフローチャー
ト、第9図は、同対象物のオーバノ・ング部の説明図で
。 ある。 10・・・モータ、11・・・ガイド、12・・・テー
ブル、13・・・モータ制御・位置検出回路、14・・
・形状表示部、15・・・形状合成回路、16A、16
B・・・最 5明点検出回路、17A、17B・・・ス
ポット光投光器、18A、18B・・・結像レンズ、1
9A、19B茅t 目 ジ 茅2目 蓮フ (、b) ロ 一一一−l \−−−− )ど (C) 茅J固 7 第4囚 詐5日 2 第 乙 固 茅q 囲 CD
図、第2図は、その光切断像の説明図、第3図は、従来
の形状検出装置の一例の構成図、第4図は、本発明に係
る形状検出装置の一実施例の構成図、第5図は、その機
構部の側面図、第6図は、第4図の装置の1次元イメー
ジセンサの出力信号の波形図、第7図は、同座標変換の
説明図、第8図は、同光切断線合成処理のフローチャー
ト、第9図は、同対象物のオーバノ・ング部の説明図で
。 ある。 10・・・モータ、11・・・ガイド、12・・・テー
ブル、13・・・モータ制御・位置検出回路、14・・
・形状表示部、15・・・形状合成回路、16A、16
B・・・最 5明点検出回路、17A、17B・・・ス
ポット光投光器、18A、18B・・・結像レンズ、1
9A、19B茅t 目 ジ 茅2目 蓮フ (、b) ロ 一一一−l \−−−− )ど (C) 茅J固 7 第4囚 詐5日 2 第 乙 固 茅q 囲 CD
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、対象物に対して異なる2方向からスポット光を投影
し、その各投影スポット光の位置を当該スポット光の投
影位置の変化方向のみの1次元像として検出し、それら
の光切断線を合成し、上記対象物の立体形状を検出する
形状検出方法。 2、特許請求の範囲第1項記載のものにおいて、対象に
対して異なる2方向から投影する各スポット光は、それ
ぞれ波長領域が重ならないようにするとともに、その各
投影スポット光の1次元像の検出は、それぞれ自らに対
応するものについてのみ行々うようにする形状検出方法
。 3、特許請求の範囲第1項記載のものにおいて、対象物
に対して異なる2方向から投影する各スポット光は、そ
れぞれ交互に発光させるとともに、その各投影スポット
光の1次元像の検出は、それぞれ上記の交互の発光に同
期して自らに対応するものについてのみ行なうようにす
る形状検出方法。 4、対象物にスポット光を投影し、その投影スポット光
の位置を当該スポット光の投影位置の変化方向のみの1
次元像として検出しうる検出ヘッド2個を、よれそれ上
記対象物に対して異なる2方向から上記各スポット光を
投影しうるように配備し、更に、上記各検出ヘッドと上
記対象物とを相対的に移動させる機構と、その移動位置
を検出する手段と、上記の各投影スポット光による各光
切断線を抽出する手段と、その各光切断線の合成をし、
また当該形状の検出処理をする手段とを具備するように
した形状検出装置。 5、特許請求の範囲第4項記載のものにおいて、検出ヘ
ッドは、対象物に各投影するスポット光の波長領域が相
互に重ならないようにする表ともに、その各投影スポッ
ト光の1次元像の検出を、それぞれ自らに対応するもの
についてのみ行なうようにしたものである形状検出装置
。 6、%許請求の範囲第4項記載のものにおいて、検出ヘ
ッドは、対象物に各投影するスポット光を交互に発光さ
せるとともに、その各投影スポット光−の1次元像の検
出を、それぞれ交互の発光に同期して自らに対応するも
のについてのみ行なうようにしたものである形状検出装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24547483A JPS60140107A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 形状検出方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24547483A JPS60140107A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 形状検出方法と装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60140107A true JPS60140107A (ja) | 1985-07-25 |
Family
ID=17134193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24547483A Pending JPS60140107A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 形状検出方法と装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60140107A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6318206A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-26 | Toshiba Corp | 電子部品実装検査装置 |
JPH01253606A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 搬送物体の形状・位置検出方法及びその装置 |
EP0736342A1 (en) * | 1995-03-31 | 1996-10-09 | Kawasaki Steel Corporation | Method and apparatus for measuring cross sectional dimensions of sectional steel |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP24547483A patent/JPS60140107A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6318206A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-26 | Toshiba Corp | 電子部品実装検査装置 |
JPH01253606A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 搬送物体の形状・位置検出方法及びその装置 |
EP0736342A1 (en) * | 1995-03-31 | 1996-10-09 | Kawasaki Steel Corporation | Method and apparatus for measuring cross sectional dimensions of sectional steel |
US5745237A (en) * | 1995-03-31 | 1998-04-28 | Kawasaki Steel Corporation | Method and apparatus for measuring cross sectional dimensions of sectional steel |
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