JPS60139403A - Method and device for manufacturing ceramics green sheet - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、セラミックススリップをグリーンシートに製
造する方法及びその装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a method and apparatus for manufacturing a ceramic slip into a green sheet.

［従来技術］ 従来、セラミックススリップによりグリーンシートを製
造する場合、スリップの分散相は数ｇｍ程度の粒径の粒
子により構成されているため、分散媒の量の少ないスリ
ップでも成膜が可能であり、しかも熱風乾燥や赤外線乾
燥等の外部加熱による乾燥法で乾燥しても、乾燥後のグ
リーンシートにひび割れ、うねり、そりτ・が発生する
ことが少なかった。[Prior art] Conventionally, when producing green sheets using ceramic slips, the dispersed phase of the slips is composed of particles with a particle size of several gm, so film formation is possible even with slips containing a small amount of dispersion medium. Moreover, even when drying was performed using a drying method using external heating such as hot air drying or infrared drying, cracks, waviness, and warpage τ were less likely to occur in the green sheet after drying.

一方、本出願人の−・人は、セラミ・ンクスグリーン成
形体の製造方法として、−・種又は二種具」−の無機質
を分散相とし水・を分散媒とするコロイドを調製し、こ
のコロイドに必要あれば親水性有機高分子バインダを添
加混合した後、前記分散媒の一部が残存する程度に分散
媒を脱離してゲルを生成し、このゲルを用いて種々の形
状のセラミ・ンクスグリーン成形体を製造する方法につ
いて特許出願した（特願昭５７−１２３８１９、特願昭
５７’−１２３８２０、特願昭５７−１３４２４５）。On the other hand, the present applicant has prepared a colloid containing an inorganic substance as a dispersed phase and water as a dispersion medium as a method for producing a ceramic green molded body. After adding and mixing a hydrophilic organic polymer binder to the colloid if necessary, the dispersion medium is removed to the extent that a portion of the dispersion medium remains to form a gel, and this gel is used to form ceramics of various shapes. A patent application was filed for a method for producing green molded bodies (Japanese Patent Applications 1982-123819, 1984-123820, and 1984-134245).

しかし、このコロイドの分散相の粒子は、従来のスリッ
プの分散相の粒子径の１／１００以下である数１０人〜
数１０００人の粒径を有するため、このコロイドをセラ
ミックスグリーンシートを製造するためのスリップとし
て使用する場合で、分散媒に水分散系もしくはアルコー
ル等の非水分散系を用いるときには、分子表面に吸着し
たこれらの分散媒の量は従来の原料に比較して増加する
傾向になる。However, the particles of the dispersed phase of this colloid range from several tens of particles to 1/100 of the particle size of the dispersed phase of conventional slip
Because it has a particle size of several thousand particles, when this colloid is used as a slip for manufacturing ceramic green sheets, and when an aqueous dispersion system or a non-aqueous dispersion system such as alcohol is used as the dispersion medium, it is adsorbed on the molecular surface. The amount of these dispersion media added tends to increase compared to conventional raw materials.

従って、」二記コロイドで成１１りした後、従来の熱風
乾燥等の外部加熱による乾燥法で乾燥すると、原料に吸
着した水又はアルコールが蒸発する時に生じる乾燥収縮
率が大きくなり、乾燥後のグリーンシートにひび割れ、
うねり、そり等が発生し易かった。このため、この種の
スリップの成膜後の乾燥を加熱乾燥により行う場合には
、大気圧下、室温より若干高い程度の温度で基１１９間
放置する必要があり、乾燥時間の短縮化が望まれていた
。Therefore, if the colloid described above is dried by a conventional drying method using external heating such as hot air drying, the drying shrinkage rate that occurs when the water or alcohol adsorbed on the raw material evaporates increases, and the Cracks in the green sheet,
Waviness, warping, etc. were likely to occur. Therefore, when drying this type of slip after film formation by heat drying, it is necessary to leave it for a period of time at a temperature slightly higher than room temperature under atmospheric pressure, and it is desirable to shorten the drying time. It was rare.

［発明の目的］ 本発明は、上記要望を充足するもので、成膜したセラミ
ックススリップを従来の乾燥時間と比べて短時間に乾燥
して、ひび割れ、うねり、そり等の欠陥のないセラミッ
クスグリーンシートを製造する方法及び装置を提供する
ことを目的とする。[Purpose of the Invention] The present invention satisfies the above-mentioned needs, and provides a ceramic green sheet that is free from defects such as cracks, undulations, and warpage by drying the formed ceramic slip in a shorter time than the conventional drying time. The purpose of the present invention is to provide a method and apparatus for manufacturing.

［発明の構成］ 本願第二発明の特徴は、水酸基を有する液体を分散媒と
するセラミックススリップを成膜し、マイクロ波により
スリップ内部より加熱乾燥してセラミ・ンクスグリーン
レ△トを成形するセラミックスグリーンシートの製造方
法にある。[Structure of the Invention] The second invention of the present application is characterized by forming a film of a ceramic slip using a liquid having hydroxyl groups as a dispersion medium, and heating and drying it from the inside of the slip using microwaves to form a ceramic nx green plate. It is in the manufacturing method of green sheets.

また本願第二発明の特徴は、水酸基を有する液体を分散
媒とするセラミンクススリップを成膜する成膜機と、成
膜されたセラミックススリップをマイクロ波により加熱
乾燥するマイクロ波乾燥機とを・備えたセラミックスグ
リーンシートの製造装置ｉ’ｉにある。・ なお、上記製造方法におけるセラミックススリップは、
一種又は二種以上のアルコキシドを加水分解することに
より調製されたスリップが好ましく、特にその分散粒子
の粒径が数１０人〜数１０００人の範囲にある場合が望
ましい。Further, the second invention of the present application is characterized by a film forming machine that forms a film of ceramic slip using a liquid having hydroxyl groups as a dispersion medium, and a microwave dryer that heats and dries the formed ceramic slip using microwaves. The ceramic green sheet manufacturing apparatus i'i is equipped with a ceramic green sheet manufacturing apparatus i'i.・In addition, the ceramic slip in the above manufacturing method is
A slip prepared by hydrolyzing one or more alkoxides is preferred, and it is particularly desirable that the particle size of the dispersed particles is in the range of several tens of particles to several thousand particles.

また、セラミックスグリーンシートを連続プロセスによ
り製造する場合には、マイクロ波乾燥機のマイクロ波の
エネルギー密度を所定の密度に調整する他に、乾燥機内
の湿度を所定の湿度に調整し、かつ乾燥機内の空気の流
れを整流すれば、ひ。In addition, when manufacturing ceramic green sheets using a continuous process, in addition to adjusting the microwave energy density of the microwave dryer to a predetermined density, it is also necessary to adjust the humidity inside the dryer to a predetermined humidity and If you rectify the air flow, H.

び割れ、うねり、そり等の欠陥が全く見られないグリー
ンシートが得られ好ましい。This is preferable because a green sheet with no defects such as cracks, waviness, and warpage can be obtained.

なお本明細書では、「アルコキシド」とはアルコールの
ＯＨ基の水素原子を全屈ｈｌｃ子で置換した化合物をい
う。In this specification, "alkoxide" refers to a compound in which the hydrogen atom of the OH group of an alcohol is substituted with a fully bent hlc atom.

本発明のセラミックスグリーンシートの製造に用いられ
るスリップは、水を分散媒とし、ｈｐ−ｍ程度の粒径の
無機質粒子を分散相とする従来から使用されているスリ
ップが適用できることは言うまでもなく、水以外のアル
コール等の水酸基を有・する分散媒を用いたスリップで
あれば適用可能である。It goes without saying that the slip used in the production of the ceramic green sheet of the present invention may be a conventionally used slip in which water is used as a dispersion medium and inorganic particles with a particle size of approximately hp-m are used as the dispersed phase. Any slip using a dispersion medium having a hydroxyl group such as an alcohol other than the above can be applied.

特に主要な分散粒子が数ｌθ人〜数ｔｏｏｏ人の粒径な
もつ無機物のコロイドが好適である。このコロイドをス
リップとする場合には、コロイ下の分散相は無機物であ
れば特に限定されず、例えばＡＩ。Particularly suitable is an inorganic colloid in which the main dispersed particles have a particle size of several lθ to several too many. When this colloid is used as a slip, the dispersed phase under the colloid is not particularly limited as long as it is an inorganic material, such as AI.

Ｍｇ、　Ｔｉ、　Ｈａ、　Ｂ　、　Ｐｂ、　Ｚｎ、　Ｚ
ｒ、　Ｂｅ等の金ノヱ又は非金属の酸化物、水酸化物も
しくはその含水化合物等が挙げられ、またこれらの混合
物であってもよい。Mg, Ti, Ha, B, Pb, Zn, Z
Examples include oxides, hydroxides, or hydrated compounds of gold or non-metals such as Be, and mixtures thereof may be used.

この場合の、無機物は一種又は二種以上のアルコキシド
を加水分解して得られる物質でもよく、例えばこの無機
物を用いたコロイドとしては、アルミニウムイソプロポ
キシド［ＡＩ’（Ｃ３Ｈ７０）３　］を加水分解してベ
ーマイト［Ａ１００Ｈ］を生成させ、これに少量の塩酸
を加えて解膠することによって得られる安定な擬ベーマ
イトゾルが挙げられる。この擬ベーマイトゾルはコロイ
ドであるため、粒子−径は均一であり、かつアルミニウ
ムアルコキシドを用いているので、容易に高純度の原料
が得られる。In this case, the inorganic substance may be a substance obtained by hydrolyzing one or more alkoxides. For example, a colloid using this inorganic substance is obtained by hydrolyzing aluminum isopropoxide [AI'(C3H70)3]. Examples include stable pseudo-boehmite sol obtained by producing boehmite [A100H] and peptizing it by adding a small amount of hydrochloric acid. Since this pseudo-boehmite sol is a colloid, the particle size is uniform, and since aluminum alkoxide is used, a highly pure raw material can be easily obtained.

更に上記コロイドに有機高分子バインダを添加し、固形
分１０重量％以上のスリツプとすることが、成膜後のス
リップの乾燥速度、乾燥収縮率等の点から好ましい。こ
の場合のスリップの限界含水率は約４００％となる。Furthermore, it is preferable to add an organic polymer binder to the colloid to obtain a slip having a solid content of 10% by weight or more, from the viewpoint of the drying rate and drying shrinkage rate of the slip after film formation. In this case, the critical moisture content of the slip is about 400%.

上記セラミックススリップの成膜方法としては、バッチ
プロセスにより成膜する場合には、ガラス板、有機高分
子板等のマイクロ波を吸収しない固体担体の表面にスリ
ップを吹イ＋ｊけたり、流込んだりするコーティング法
が採られる。また連続プロセスにより成膜する場合には
、移動担体としてキャリアフィルムを使用し、このキャ
リアフィルムに対してドクターブレード、吹伺け、ディ
ッピング、リバースロール又はパン等の一般に用いられ
るコーティング法が採られる。このキャリアフィルム材
としては、マイクロ波を吸収しない材料を用い、マイク
ロ波吸収発熱による収縮又は膨張を原因としたセラミッ
クスシートの位置ずれ、しわの発生を少なくする。この
点を考處し、フィルム材としてはポリエチレン、ポリエ
ステル、ポリプロピレン、ふっ素樹脂等の有機高分子フ
ィルムが好ましい。The method for forming the above ceramic slip is to blow or pour the slip onto the surface of a solid carrier that does not absorb microwaves, such as a glass plate or an organic polymer plate, when forming the film by a batch process. A coating method is used. In addition, when forming a film by a continuous process, a carrier film is used as a moving carrier, and commonly used coating methods such as doctor blade, blowing, dipping, reverse roll, or pan coating are applied to this carrier film. As the carrier film material, a material that does not absorb microwaves is used to reduce the occurrence of misalignment and wrinkles in the ceramic sheet due to contraction or expansion due to microwave absorption and heat generation. Considering this point, the film material is preferably an organic polymer film such as polyethylene, polyester, polypropylene, or fluorine resin.

」１記成膜されたセラミックススリップは、マイクロ波
乾燥機により加熱乾燥される。この場合、マイクロ波の
周波数は９００〜２０，０００ＭＨｚの範囲の中から任
嫌に選定することもできるが、高周波誘電加熱として主
として使用される２、４５０ＭＨｚ又は９１５ＭＨｚが
好ましい。1. The ceramic slip formed into a film is heated and dried using a microwave dryer. In this case, the frequency of the microwave can be arbitrarily selected from the range of 900 to 20,000 MHz, but preferably 2,450 MHz or 915 MHz, which are mainly used for high frequency dielectric heating.

また本発明のマイクロ波のスリップへの浸透深さを２．
５〜６．５ｃｍ程度に大きくとり、塗工膜表面からキャ
リアフィルム界面まで瞬時に内部加熱できるようにすれ
ば乾燥時間を短縮することができる。In addition, the penetration depth of the microwave of the present invention into the slip is set to 2.
The drying time can be shortened by making it as large as 5 to 6.5 cm so that internal heating can be instantaneously carried out from the surface of the coating film to the interface of the carrier film.

また上記スリップを成１１りした後、引続いてマイクロ
波乾燥する連続プロセスの場合には、マイクロ波乾燥中
に発生するセラミックスグリーンシートのひひ割れ、そ
り、うねりを完全に防止するために、乾燥機内の温度、
湿度及び空気の流れをそれぞれ調整することが好ましい
。この場合、温度調整はマイクロ波のエネルギー密度を
コントロールすることにより行い、湿度調整及び空気の
旋れ調整は、乾燥機に調湿器及び排風器を配設して行う
ことにか好ましい。In addition, in the case of a continuous process in which microwave drying is performed after the above-mentioned slip is formed, in order to completely prevent the ceramic green sheet from cracking, warping, and waviness that occur during microwave drying, drying is necessary. cabin temperature,
Preferably, humidity and air flow are adjusted respectively. In this case, temperature adjustment is preferably performed by controlling the energy density of microwaves, and humidity adjustment and air swirl adjustment are preferably performed by providing a humidifier and an exhaust fan in the dryer.

また、前記連続プロセスの場合には、乾燥機内における
塗工膜表面からの分散媒の蒸発速度と塗工膜内の分散媒
の移動速度とが同一になるように、マイクロ波のエネル
ギー密度、又はキャリアフィルムの移送速度を調整する
ことが、塗工膜表面の乾燥皮膜の発生を防ぎ、かつクラ
ックの発生を防ぐために好ましい。In the case of the continuous process, the microwave energy density or It is preferable to adjust the transport speed of the carrier film in order to prevent the formation of a dry film on the surface of the coating film and to prevent the formation of cracks.

例えば、本発明のスリップを塗工厚１〜３ｍｍに成膜し
た場合には、マイクロ波のエネルギー密度を塗工膜面積
　１ｒｎ’当り　１〜２ＫＷの範囲に調整することが、
乾燥時間の短縮化を図り、塗工膜の欠陥（ひび割れ、そ
り、うねり）の発生を防ぐために望ましく、また分散媒
の蒸発速度をＩｋｇ／ｍ’・ｈｒ以下に抑えることが、
塗工膜表面の乾燥皮膜の発生を防ぎ、かつクラックの発
生を防ぐために好ましい。For example, when the slip of the present invention is formed to a coating thickness of 1 to 3 mm, the microwave energy density can be adjusted to a range of 1 to 2 KW per rn' of coating film area.
It is desirable to shorten the drying time and prevent the occurrence of defects (cracks, warpage, waviness) in the coating film, and to suppress the evaporation rate of the dispersion medium to below I kg/m'・hr.
This is preferred in order to prevent the formation of a dry film on the surface of the coating film and to prevent the formation of cracks.

このような点から調湿された温風を乾燥機内へ送風すれ
ば、更に好結果が得られる。この場合には、塗工膜表面
の波打ち等を防ぐ観点から温風風速を１０ｍ／ｓｅｅ以
下、また温風温度は５０〜８０℃、相対湿度は５０〜８
０％の範囲が適切である。From this point of view, better results can be obtained by blowing humidity-controlled warm air into the dryer. In this case, in order to prevent the surface of the coating film from waving, etc., the hot air speed should be set to 10 m/see or less, the hot air temperature should be 50 to 80°C, and the relative humidity should be 50 to 8.
A range of 0% is appropriate.

またスリップの塗工厚又は塗工幅が大きく、マイクロ波
乾燥機の実効乾燥長を大きくする必要がある場合には、
乾燥機を複数の乾燥室に仕切り、各乾燥室にマイクロ波
発振器を備え、後段の乾燥室へ行く程、乾燥度を弱くす
ることがよい。乾燥機を複数の乾燥室に仕！／Ｊる場合
には、各乾燥室の相互のマイクロ波の干渉を防ぐために
、乾燥室を分割した構造にすることが有効である。In addition, if the coating thickness or coating width of the slip is large and it is necessary to increase the effective drying length of the microwave dryer,
It is preferable that the dryer is divided into a plurality of drying chambers, each drying chamber is equipped with a microwave oscillator, and the degree of drying is made weaker toward the later drying chambers. Use your dryer in multiple drying rooms! /J, it is effective to have a structure in which the drying chambers are divided in order to prevent mutual interference of microwaves in the drying chambers.

最後に、マイクロ波乾燥機から送出されたセラミックス
グリーンシートは、成膜時の担体と分離され、最Ｐ：製
品の用途により巻取られるか、或いはシート状のまま次
の二次成形工程、又は焼成工程に送られる。Finally, the ceramic green sheet sent out from the microwave dryer is separated from the carrier during film formation, and then rolled up depending on the intended use of the product, or left in sheet form for the next secondary forming process, or Sent to the firing process.

・・［実施例］ 次に本発明の一実施例を図面に基づいて詳しく説明する
。[Example] Next, an example of the present invention will be described in detail based on the drawings.

第１図に示すように、エンドレスベルトｌＯは駆動ロー
ル１１及び被動ロール１２に周設される。このベルト１
０の上には、移動担体であるキャリアフィルム１３が引
取りロール１４及び送出ロール１５により、ベル）１０
と同一速度で移送される。この例ではフィルム１３はポ
リエステルフィルムである。As shown in FIG. 1, the endless belt 1O is provided around a driving roll 11 and a driven roll 12. This belt 1
A carrier film 13, which is a moving carrier, is placed on top of the bell) 10 by a take-up roll 14 and a delivery roll 15.
is transported at the same speed as In this example, film 13 is a polyester film.

被動ロール１２の近傍のベル）１０上には、成膜機１７
が配設される。この成膜機１７はスリップ貯蔵槽１８及
びドクターブレード１９からなる。ドクターブレード１
９の後には、全長が約２５ｍのマイクロ波乾燥機２０が
配設される。この乾燥機２０は、マグネトロン２１を内
蔵したマイクロ波発振器２２とアイソレータ２３と整合
器２４とオーブン式の乾燥室２５とにより構成され、そ
れぞれが導波管２６を介して接続される。この導波管２
６は２つに分岐されて乾燥室２５に接続される。上記マ
イクロ波発振器２２は図外の制ｍ装置に接続され、その
マイクロ波エネルギー密度を任意に設定できるように構
成されている。A film forming machine 17 is installed on the bell (10) near the driven roll 12.
will be placed. This film forming machine 17 consists of a slip storage tank 18 and a doctor blade 19. doctor blade 1
A microwave dryer 20 having a total length of about 25 m is installed after the dryer 9. This dryer 20 includes a microwave oscillator 22 containing a magnetron 21, an isolator 23, a matching device 24, and an oven-type drying chamber 25, each of which is connected via a waveguide 26. This waveguide 2
6 is branched into two and connected to the drying chamber 25. The microwave oscillator 22 is connected to an m control device (not shown), and is configured so that its microwave energy density can be set arbitrarily.

この乾燥室２５の出口側には送気管２８が、また入口側
には排気管２９が接続され、これらの送気管２８及び排
気管２９は調湿器３ｏに接続される。こり調湿器３ｏは
、乾燥室２５内の湿度を所定の湿度に維持するために、
排気管２９から排出される乾燥室２５内の空気の湿度を
検出して、送気管２８に送り込む空気の湿度を自動的に
調整するとともに、排気管２９からの排気風速を任意に
設定できるように構成されている。３１は吸気口、３２
は排気口であって、大気に連通ずる。An air supply pipe 28 is connected to the outlet side of this drying chamber 25, and an exhaust pipe 29 is connected to the inlet side, and these air supply pipe 28 and exhaust pipe 29 are connected to a humidifier 3o. The humidifier 3o maintains the humidity in the drying chamber 25 at a predetermined level.
The humidity of the air in the drying chamber 25 discharged from the exhaust pipe 29 is detected, and the humidity of the air sent into the air supply pipe 28 is automatically adjusted, and the exhaust air speed from the exhaust pipe 29 can be arbitrarily set. It is configured. 31 is the intake port, 32
is an exhaust port and communicates with the atmosphere.

また乾燥室２５の後には、剥離ロール３３が配Ｅさｈ、
駆動ａ−ル１１の上方にはグリーンシート巻取りロール
３４が配設される。Further, after the drying chamber 25, a peeling roll 33 is arranged.
A green sheet take-up roll 34 is disposed above the drive roll 11.

このような構成の装置を用いてセラミックスグリーンシ
ートを製造する方法について説明する。A method of manufacturing a ceramic green sheet using an apparatus having such a configuration will be described.

ここで用いたセラミ、ツクススリップＡは１次の方法に
より得た。先ず、アルミニウムイソプロポキ、シト　１
モルに対して１００モルの水を加え、約８０℃で３０分
間加水分解してベーマイトを生成させ、これに少量の塩
酸を添加して解膠して擬ベーマイトゾル（Ａ１００Ｈ）
　を得た。次いで、この擬ベーマイトツルに親水性有機
質バインダとしてポリビニルアルコール、可塑剤として
３−メチルペンタン−１，３，５−トリオール（以下、
ペトリオールという。）を重量比で Ａ１００）］　：　ＰＶＡ　：ペトリオール＝　１．０
０　：　０．３３　：　０．３３の比率でそれぞれ添加
し、８０℃で攪拌溶解して固形分重量％を１０％に調整
してセラミックススリップとした。The ceramic material used here, Tuxslip A, was obtained by the first method. First, aluminum isopropoxy, cyto 1
Add 100 moles of water per mole and hydrolyze at about 80°C for 30 minutes to generate boehmite, and add a small amount of hydrochloric acid to peptize it to create pseudo-boehmite sol (A100H).
I got it. Next, polyvinyl alcohol was added to the pseudoboehmite vine as a hydrophilic organic binder and 3-methylpentane-1,3,5-triol (hereinafter referred to as
It's called petriol. ) in weight ratio A100)]:PVA:Petriol=1.0
They were added at a ratio of 0:0.33:0.33, stirred and dissolved at 80°C, and the solid content was adjusted to 10% by weight to obtain a ceramic slip.

−このセラミックススリップＡをスリップ貯蔵槽１８に
注入し、ドクターブレード１９で、ポリエステルの幅２
００ｍｍのキャリアフィルム１３上に塗布した。このフ
ィルム１３上のスリップＡの塗工幅は１５０■、塗工厚
は２ｍｍであった。このキャリアフィルム１３をベルト
１０と同速度の１５ｃｍ／ｍｉｎでマイクロ波乾ｉ機２
０の乾燥室２５内に導いた。このマイクロ波乾燥機２０
で２　、４５０ＭＨｚのマイクロ波を塗布面積１ｒｎ’
当り　０．５ＫＷ出力のエネルギー密度に調整し、かつ
調湿器３０により送気管２８から相対湿度８０％の空気
を、３０ｃｍ／ｓｅｃの風速で乾燥室内に送込み、排気
管２９から排出することにより、乾燥時間約３時間でセ
ラミックスグリーンシートＢを得た。- Pour this ceramic slip A into the slip storage tank 18 and use a doctor blade 19 to remove the polyester width 2
It was coated on a carrier film 13 with a thickness of 00 mm. The coating width of the slip A on this film 13 was 150 cm, and the coating thickness was 2 mm. This carrier film 13 is dried in the microwave dryer 2 at the same speed as the belt 10, 15 cm/min.
0 into the drying chamber 25. This microwave dryer 20
2, apply 450MHz microwave to 1rn'
By adjusting the energy density to an output of 0.5 KW per unit, and sending air with a relative humidity of 80% from the air pipe 28 into the drying chamber at a wind speed of 30 cm/sec using the humidifier 30, and discharging it from the exhaust pipe 29. Ceramic green sheet B was obtained in a drying time of about 3 hours.

このセラミ）クスグリーンシートＢは、厚みが乾燥前の
２ＩＩ１１から０．２ｍｍに薄膜化したが、ひび割れ、
そり、うねり等のグリーンシートとしての欠陥は見られ
ず、含水率が２０％の可撓性のある状態で、剥離ロール
３３でキャリアフィルム１３から剥離され、グリーンシ
ート巻取リロール３４に巻き取られた。The thickness of this ceramic green sheet B was reduced from 2II11 before drying to 0.2 mm, but cracks and
In a flexible state with a water content of 20% and no defects as a green sheet such as warping or waviness, the green sheet was peeled off from the carrier film 13 by the peeling roll 33 and wound up on the green sheet winding reroll 34. Ta.

：５２図は本発明の別の実施例装置を示すもので、この
例は　１セツトの成膜機１７に対して、　６セツトのマ
イクロ波乾＃に機２０を連設したものである。この６セ
ツトのマイクロ波乾燥機２０の全長は約２５ｍである。Figure 52 shows another embodiment of the present invention, in which one set of film forming machine 17 is connected to six sets of microwave dryers 20. The total length of the six sets of microwave dryers 20 is approximately 25 m.

第、２図において゛、第１図と同一符号は同一構成部品
を示す。In FIGS. 2 and 2, the same reference numerals as in FIG. 1 indicate the same components.

このような構成の、装置を用いたセラミックスグリーン
シートの製造例について説明する。前記実施例と同一の
セラミックススリップＡを前記実施例と同一の成膜機１
７により、幅５００ｍｍのキャリアフィルム１３上に塗
布した。このときのフィルム１３上のスリップＡの塗工
幅は４４０ｍｍ、塗工厚は一２ｍｍであった。このキャ
リアフィルム１３を３００ｍ／ｍｉｎの速度で６セツト
のマイクロ波乾燥機２０の乾燥室２５内に順次導いた。An example of manufacturing a ceramic green sheet using an apparatus having such a configuration will be described. The same ceramic slip A as in the above embodiment was processed using the same film forming machine 1 as in the above embodiment.
7, it was applied onto a carrier film 13 having a width of 500 mm. At this time, the coating width of the slip A on the film 13 was 440 mm, and the coating thickness was 12 mm. This carrier film 13 was sequentially guided into the drying chambers 25 of six sets of microwave dryers 20 at a speed of 300 m/min.

各マイクロ波乾燥機２０のマイクロ波は２，４５０ＭＨ
ｚの周波数を使用し、マイクロ波発振器２２及び調湿器
３０を次の表に示す条件に調整して乾燥した。The microwave of each microwave dryer 20 is 2,450MH
Drying was carried out using the frequency z and adjusting the microwave oscillator 22 and humidifier 30 to the conditions shown in the following table.

表 これにより、乾燥時間約１時間３０分の極めて短時間で
セラミックスグリーンシートＢを得た。このセラミック
スグリーンシー１−　Ｂは、前記実施例と同様に厚みが
Ｏ’、２ｍｍに薄膜化したが、ひひ割れ、そり、うねり
等のグリーンシートとしての欠陥は見られず、含水率が
２０％の可撓性のある状態で、剥離ロール３３でキャリ
アフィルム１３から剥離され、グリーンシート巻取りロ
ール３４に巻き取られた。As a result, ceramic green sheet B was obtained in an extremely short drying time of about 1 hour and 30 minutes. This ceramic green sheet 1-B was thinned to a thickness of O', 2 mm as in the above example, but no defects as a green sheet such as cracks, warps, and waviness were observed, and the water content was 20%. In a flexible state, the green sheet was peeled off from the carrier film 13 by a peeling roll 33 and wound up on a green sheet winding roll 34.

［発明の効果］ 以上述べたように、本発明によれば、水酸基を有する水
又はアルコール等を分散媒とするセラミックススリップ
を一般に用いられる成膜機で成膜した後、マイクロ波乾
燥機で内部加熱方式で乾燥することにより、コロイド状
のセラミックス粒子を主要構成物質とす・るスリップか
ら製造されたセラミックスグリーンシートにおいても、
乾燥後に成形されたグリーンシーＩ・に、従来見られた
ひび割れ、そり、うねり等の欠陥を解消することができ
、しかも迅速に乾燥してセラミックスグリーンシートの
製造期間を短縮することができる優れた効果がある。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, after forming a film using a commonly used film forming machine using a ceramic slip using water or alcohol having a hydroxyl group as a dispersion medium, the inner layer is dried using a microwave dryer. Ceramic green sheets manufactured from slips whose main constituents are colloidal ceramic particles by drying using a heating method,
It is an excellent product that can eliminate defects such as cracks, warpage, and undulations that were conventionally seen in Green Sea I, which is formed after drying, and can dry quickly to shorten the manufacturing period of ceramic green sheets. effective.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明第一実施例のセラミックスグリーンシー
トの製造装置の構成図。 ゛　第２図は本発明第二実施例のセラミックスグリーン
シートの製造装置の構成図。 Ａ：セラミックススリップ、Ｂ：セラミックスグリーン
シート、１０：エンドレスベルト、１３：キャリアフィ
ルム、１７：成膜機、１９：ドクターブレード、２０：
マイクロ波乾燥機、２１：マグネトロン、２２：マイク
ロ発振Ｗ、２３ニアイソレータ、２４：整合器、２５：
乾燥室、２６：導波管、３０：調湿器、３３：剥離ロー
ル、３４ニゲリーンシート巻取りロール。 ４、￥３１出願人　新技術開発１：ＩＧ業団・特許出願
人　三菱鉱業セメント株式会社・、：、：・ 手続補正書 昭和５９年２月１日 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 １、事件の表示　昭和５８年　特許願　第２４５４３７
号２、発明の名称 セラミックスグリーンシートの製造方法及びその装置３
、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　東京都千代田区永田町二丁目５番２号名　称　
新技術開発事業団 代表者　久良知　章悟 住　所　東京都千代田区丸の内−丁目５番１号名　称　
三菱鉱業セメント株式会社 代表者　小林　久明 ４、代理人 ６、補正により増加する発明の数　な　し７゛補正の対
象　明細書の）酉需雛蕾年窃；；ｉ；　ｔｐｇ８、補正
の内容 （１）明細書第９頁第２行目 「−及び排風器・−・」を「−及び排風機−」と訂正す
る。 （２）明細書第１７頁第１２行目 ［・−１２２二マイクロ発振器、−・」を、　「−・・
、２２二マイクロ波発振器、・・−」と訂正する。FIG. 1 is a configuration diagram of a ceramic green sheet manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention.゛ Fig. 2 is a configuration diagram of a ceramic green sheet manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention. A: Ceramic slip, B: Ceramic green sheet, 10: Endless belt, 13: Carrier film, 17: Film forming machine, 19: Doctor blade, 20:
Microwave dryer, 21: Magnetron, 22: Micro oscillation W, 23 Near isolator, 24: Matching box, 25:
Drying room, 26: Waveguide, 30: Humidifier, 33: Peeling roll, 34 Nigeleen sheet winding roll. 4, ¥31 Applicant: New Technology Development 1: IG Corporation, Patent Applicant: Mitsubishi Mining and Cement Co., Ltd. Procedural Amendment February 1, 1981 Kazuo Wakasugi, Commissioner of the Patent Office 1, Case Indication of 1981 Patent Application No. 245437
No. 2, Name of the invention Ceramic green sheet manufacturing method and device 3
, Relationship to the case of the person making the amendment Patent applicant address 2-5-2 Nagatacho, Chiyoda-ku, Tokyo Name
New Technology Development Corporation Representative Shogo Kurachi Address 5-1 Marunouchi-chome, Chiyoda-ku, Tokyo Name
Mitsubishi Mining Cement Co., Ltd. Representative Hisaaki Kobayashi 4, Agent 6, Number of inventions to be increased by the amendment None 7゛Subject of the amendment (Description));;i; tpg 8, Contents of the amendment (1) ) In the second line of page 9 of the specification, "- and exhaust fan..." is corrected to "- and exhaust fan-". (2) Line 12 of page 17 of the specification [-122 two micro oscillators,--] is replaced with "--.
, 22 two microwave oscillators,...-'' is corrected.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １）水酸基を有する液体を分散媒とするセラミックスス
リップを成膜し、マイクロ波により加熱乾燥してセラミ
ックスグリーンシートを成形するセラミンクスゲリーン
シートの製造方法。 ２）セラミックススリップが一種又は二種以上のアルコ
キシドを加水分解することにより調製された４５４′１
請求の範囲第１ダ１に記・或のセラミックスグリーンシ
ートの製造方法。 ３）水酸基を有する液体を分散媒とするセラミックスス
リップを成膜する成膜機と、成ｊ模されたセラミックス
スリップをマイクロ波により加熱乾燥してセラミックス
グリーンシートを成形するマイクロ波乾燥機とを備えた
セラミックスグリーンシートの製造装置。[Claims] 1) A method for producing a ceramic green sheet by forming a ceramic slip film using a liquid having hydroxyl groups as a dispersion medium, and heating and drying the film using microwaves to form a ceramic green sheet. 2) 454'1 where the ceramic slip is prepared by hydrolyzing one or more alkoxides
Claim 1: A method for manufacturing a ceramic green sheet. 3) Equipped with a film forming machine that forms a ceramic slip film using a liquid having hydroxyl groups as a dispersion medium, and a microwave dryer that heats and dries the formed ceramic slip using microwaves to form a ceramic green sheet. Ceramic green sheet manufacturing equipment.