JPS60136142A - Electron beam circularity adjusting device - Google Patents
Electron beam circularity adjusting deviceInfo
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- JPS60136142A JPS60136142A JP24384983A JP24384983A JPS60136142A JP S60136142 A JPS60136142 A JP S60136142A JP 24384983 A JP24384983 A JP 24384983A JP 24384983 A JP24384983 A JP 24384983A JP S60136142 A JPS60136142 A JP S60136142A
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- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は電子ビーム真円度調整装置に係り、特に、電子
ビームの真円度を高精度、高信頼度で調整することを志
向した電子ビーム真円度調整装置に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Application of the Invention] The present invention relates to an electron beam roundness adjustment device, and particularly to an electron beam which is intended to adjust the roundness of an electron beam with high precision and high reliability. This invention relates to a roundness adjustment device.
電子ビーム加工において、工具に相当する電子ビームの
横断面形状（以下、単に電子ビームの形状という）は、
特に穴加工の場合、穴の加工形状精度に太きく影響する
ものである。この電子ビームの形状は、１１子銃の７ラ
イメント形状が当該電子ビームの形状に直接影督するこ
と。In electron beam machining, the cross-sectional shape of the electron beam corresponding to the tool (hereinafter simply referred to as the shape of the electron beam) is
Particularly in the case of hole machining, it greatly affects the accuracy of the hole machining shape. The shape of this electron beam is directly influenced by the shape of the 7 lines of the 11 sub-gun.
電子ビー、ムを細く集束するためのレンズに固有の非対
称性に起因する非点収差があることなどのために、楕円
形となり、加工穴の真円度が低下するという問題点があ
った。Due to astigmatism caused by the inherent asymmetry of the lens used to narrowly focus the electron beam, the hole becomes elliptical and the roundness of the machined hole decreases.
そこで、従来の電子ビーム加工においては。Therefore, in conventional electron beam processing.
ステイグメータと呼ばれる非点収差補正装置を使用して
、実際の加工に先だって、前記ステイグメータにより、
を子ビームの真円度調整（を子ビームを被加工物に照射
したときの人血、すなわち発光像の形状が真円になるよ
うに調整すること）を行なっていた。Using an astigmatism correction device called a stigmater, the stigmator performs the following steps prior to actual processing:
Adjustment of the roundness of the child beam (adjustment so that the shape of the human blood, that is, the emitted image, when the workpiece is irradiated with the child beam is a perfect circle) was performed.
その構成を、第１図を使用して説明する。Its configuration will be explained using FIG.
第１図は、従来の電子ビーム真円度調整装置を示す略示
図である。この第１囚において、１は、１！子銃７から
放出された電子ビーム、３は。FIG. 1 is a schematic diagram showing a conventional electron beam roundness adjustment device. In this first prisoner, 1 is 1! The electron beam 3 is emitted from the sub-gun 7.
試験加工用（詳細後述）の被加工物、２は、この試験加
工用被加工物３の加工点に電子ビーム１を細く集束する
ためのレンズ、４は、その上に前記試験加工開被カロエ
物３を載置するテーブル、５は、ステイグメーター流を
調整することにより、ｉ！電子ビームの真円度を調整す
ることができるステイグメータ、５αは、このステイグ
メータ５へステイグメーター流を供給する一流供給回路
、５ｂは、互いに直角２万同（ｘ、ｙ方向）の楕円成分
を調整するための２つのダイアルからなる。ステイグメ
ータ電流調節ダイアル、６は、試験加工用被加工物３の
加工点を観察するための加工点観察用望遠鏡、６αは１
．その接眼部、１３は、加工点観察時の光路、１４は、
この光路１３を曲けるためのプリズムである。A workpiece for test processing (details will be described later); 2 is a lens for narrowly focusing the electron beam 1 on the processing point of the test workpiece 3; The table 5 on which the object 3 is placed is set to i! by adjusting the stigma meter flow. A stigma meter 5α that can adjust the roundness of the electron beam is a first-class supply circuit that supplies a stigma flow to the stigma meter 5, and 5b is a first-class supply circuit that supplies elliptical components that are 20,000 perpendicular to each other (in the x and y directions). It consists of two dials for adjustment. Stigmeter current adjustment dial, 6 is a processing point observation telescope for observing the processing point of the test workpiece 3, 6α is 1
．． The eyepiece section 13 is the optical path when observing the processing point, and 14 is the
This is a prism for bending this optical path 13.
このように構成した電子ビーム真円度調整装置によって
、実加工に先だって、電子ビームの真円度を調整する方
法を説明する。A method of adjusting the roundness of an electron beam using the electron beam roundness adjusting device configured as described above before actual processing will be explained.
実際に穴加工を行なう前に、を子ビーム１゜、レンズ２
の加工条件を設定し、テーブル４上に試験加工用被加工
物３を載置する。この試験加工用被加工物３の材質とし
ては、実加工を施す被加工物の材質と同一のもの、もし
くはステンレスなどの電子ビーム照射時の発光が鮮明な
材質が適している。電子ビーム１を前記試験加工用被加
工物３に照射すると１発光像の形状は。Before actually drilling holes, set the beam 1° and the lens 2.
The processing conditions are set, and the test workpiece 3 is placed on the table 4. Suitable materials for the test workpiece 3 include the same material as the workpiece to be actually processed, or materials that emit clear light when irradiated with an electron beam, such as stainless steel. When the electron beam 1 is irradiated onto the test workpiece 3, the shape of one emitted light image is as follows.
光路１３を通りプリズム１４により曲げられて、加工点
観察用望遠鏡６へ入射される。そこで。The light passes through the optical path 13, is bent by the prism 14, and enters the processing point observation telescope 6. Therefore.
加工点観察用望遠鏡乙の接眼部６αをフｍして前記発光
像の形状を肉眼で観察しながら、その形状が真円になる
ようにステイグメータ電流ル司節ダイアル５ｈを手動で
操作し工、電流供給回路５αからステイグメ〜り５へ供
給するステイグメータ電流を調節する。ステイグメータ
電流調節ダイアル５ｂは、互いに直角な２方同の楕円成
分を調整する７こめの２つのダイアルがあるので１両者
を適当Ｋｊ藺節して前記発光像の形状が系内になるよう
にする。このようにして電子ビームの真円度を調整した
のち、試験加工用被加工物６０代りに実加工を施す被加
工物をテーブル４上に載置して実加工を行なう。While observing the shape of the emitted light image with the naked eye through the eyepiece 6α of the telescope B for observing the processing point, manually operate the stigma meter current control dial 5h so that the shape becomes a perfect circle. , adjusts the stigmator current supplied from the current supply circuit 5α to the stigmator 5. The stigmator current adjustment dial 5b has two dials with a 7-inch diameter that adjust the same elliptical components in two directions perpendicular to each other, so adjust both appropriately so that the shape of the luminescent image is within the system. . After adjusting the roundness of the electron beam in this way, a workpiece to be actually machined is placed on the table 4 instead of the test workpiece 60, and the actual process is performed.
しかし、上述した従来の亀子ビーム真円灰調整装置によ
れば、真円度の調整を加工点組紐用望遠鏡６を通した人
間の目によって行なうのであるから、官能検査となり、
調整の信頼性が著しく低く、各調整毎のはうつきや、複
数−葦者があると各個人間のほらつきも大きいという欠
点があった。However, according to the conventional Kameko beam roundness adjustment device described above, the roundness is adjusted by the human eye through the processing point braid telescope 6, so it becomes a sensory test.
The reliability of the adjustment was extremely low, and there was a drawback that there was a large amount of fluctuation between each adjustment, and when there were multiple participants, there was also a large amount of fluctuation between individuals.
本発明は、上記した従来技術の欠点を隙去して、電子ビ
ームの真円度調整を、烏ｒｉｉ度、高信頼度で、しかも
容易に行なうことができる電子ビーム具用度調整・装置
の提供を、−１：の目的とするものである。The present invention eliminates the above-mentioned drawbacks of the prior art and provides an electron beam tool adjustment/device that can easily adjust the roundness of an electron beam with high reliability. The purpose is to provide -1:.
本発明に係る電子ビーム真円度調整装置の構成は、ステ
イグメータ電流を調ＮＪ１−ることにより電子ビームの
真円度を調整することができるステイグメータと、前ｄ
じ電子ビームを照射したときの試験加工用被加工物の発
光像の画像を入力する九゛亀変換素子と、この光電変換
素子に入力した画像を２値化処理して幽該画像の輪郭を
記憶する画像処理部と、この画像処理部に記憶した前記
輪郭で囲まれた図形の真円度係数を計算する真円度評価
部と、前記真円度係数に基づいて前記画像の真円度係数
を成人にするステイグメータ電流を見出すための最適値
探査部と。The configuration of the electron beam roundness adjustment device according to the present invention includes a stigmater that can adjust the circularity of the electron beam by adjusting the stigmator current, and a front d
A nine-tone conversion element inputs the image of the luminescence image of the test workpiece when irradiated with the same electron beam, and the image input to this photoelectric conversion element is binarized to create the outline of the image. an image processing unit for calculating the circularity coefficient of the figure surrounded by the outline stored in the image processing unit; and a circularity evaluation unit for calculating the circularity coefficient of the figure surrounded by the outline stored in the image processing unit; With the optimal value exploration part to find the stigmameter current that makes the coefficient adult.
この最適値探査部から指令されたステイグメータ電流を
前記ステイグメータへ供給する電流供給回路とを具備せ
しめるようにしたものである。The apparatus further includes a current supply circuit for supplying the stigmater current commanded from the optimum value searching section to the stigmator.
さらに詳しくは、従来の肉眼による真円度調整方法に代
わり、光電変換系子９画は処理部を用いて、電子ビーム
を照射したときの試験加工用被加工物の発光像をメモリ
に記憶し、さらに、真円度評価部、最適値探査部を用い
て、ステイグメータへ供給する電流の調節を演算処理に
よって行なうことにより、電子ビームの真円度調整を人
手を煩わせず自動的に行なわせるようにしたものである
。More specifically, instead of the conventional roundness adjustment method using the naked eye, the nine photoelectric conversion systems use a processing section to store in memory the luminescent image of the test workpiece when irradiated with an electron beam. Furthermore, by using a roundness evaluation unit and an optimum value search unit to adjust the current supplied to the stigmater through arithmetic processing, the roundness of the electron beam can be adjusted automatically without human intervention. This is how it was done.
以下１本発明を実施例によって説明する。 The present invention will be explained below by way of examples.
第２図は１本発明の一実施例に係る電子ビーム真円度調
整装置を示す略示図、第６図は、絹２図におげろ画像処
理部に記憶された人血の画像の輪郭の一例を示す輪郭図
である。FIG. 2 is a schematic diagram showing an electron beam roundness adjustment device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a schematic diagram of an image of human blood stored in the image processing section. It is a contour diagram showing an example.
第２図において、第１図と同−贅号を付したものは同一
部分である。そして８は、電子ビーム１を加工点に照射
したときの試験加工用被加工物６０発光像の画像を入力
する光″ａ変換素子に係るテレビカメラ、９は、このテ
レビカメラ８に入力した画像を明暗２値化処理して当該
画像の輪郭を記憶する画像処理部、１０は、前記輪郭で
囲唸れた図形の真円度係数Ｒ（・杆軸後述）を針具する
真円度評価部、１１は、前記真円度係数Ｒに基づいて前
記画像の真円度係数を最大にするためのステイグメータ
電流１．Ｅ、 Ｉ、 （それぞれ互いに面角方向の構内
成分を調整するためのステイグメータ電流）を見出すた
めの最適値探査部、１２は、この最適値探査部１１から
指令されたステイグメータ電流をステイグメータ５へ供
給する奄流供帽回路である。In FIG. 2, the same parts as those in FIG. 1 are marked with the same parentheses. Reference numeral 8 denotes a television camera associated with a light a conversion element that inputs an image of the light emission image of the test workpiece 60 when the electron beam 1 is irradiated to the processing point; 9 denotes the image input to the television camera 8; 10 is a roundness evaluation unit that calculates the roundness coefficient R (rudder axis will be described later) of the figure surrounded by the outline. , 11 are stigmator currents 1.E, I, for maximizing the circularity coefficient of the image based on the circularity coefficient R; The optimum value search unit 12 for finding the optimum value search unit 12 is a torrent supply circuit that supplies the stigma meter current commanded from the optimum value search unit 11 to the stigma meter 5.
前記した真円度係数Ｒについて説明すると。The circularity coefficient R mentioned above will be explained.
ある図形の真円度係数Ｒは、次式によって足輪される。The roundness coefficient R of a certain figure is determined by the following equation.
Ｒ−（４ｙ円周率×図形の面積）／（図形の周囲長）２
この真円度係数Ｒは、その図形が真円の場合にはＲ＝１
である。真円でない場合には１７〈１であり、真円に近
つくにつれてＲは１に近づくものである。R - (4y pi x area of figure) / (perimeter of figure) 2
This roundness coefficient R is R=1 if the figure is a perfect circle.
It is. If it is not a perfect circle, 17<1, and as it approaches a perfect circle, R approaches 1.
このように構成したｔ子ビーム真円度調整装置によって
、を子ビームの真円度を調整する方法を説明する。まず
、チーグル４上に試験加工用被加工物３を載置する。電
子ビーム１．レンズ２の加工条件を設定するとともに、
電流供給回路１２ｉＡこステイグメータ電流の初期値１
ｘｏ −１ｙ。A method for adjusting the circularity of a child beam using the t-child beam circularity adjusting device configured as described above will be explained. First, the test workpiece 3 is placed on the Cheagle 4. Electron beam 1. While setting the processing conditions for lens 2,
Current supply circuit 12iA Initial value of stigma meter current 1
xo −1y.
を、最適値探査部１１にステイグメータ１１、流度化量
ｃｌ（を、それぞれ設定する。, the stigma meter 11 and the flow rate conversion amount cl ( are set in the optimum value search unit 11, respectively.
ここで、電子ビーム真円度ルω拮装置をＯＮにすると、
電子銃７から電子ビーム１が放出され。Here, when the electron beam roundness control device is turned on,
An electron beam 1 is emitted from an electron gun 7.
レンズ２によりこの電子ビーム１が試験加工用被加工物
３の加工点に県東して照射される。電流供給回路１２か
らステイグメータ５へステイグメータ電流Ｉ工。、 １
，０が供給され、ステイグメータ５によって試験加工用
被加工物３の発光１象の形状が初期調整される。調整さ
れた発光像の画像は、光路１６を通りノリズム１４で曲
げられ。The electron beam 1 is directed through the lens 2 and irradiated onto the processing point of the test workpiece 3. Stigmeter current I is supplied from the current supply circuit 12 to the stigmeter 5. , 1
, 0 are supplied, and the shape of one light emission image of the test workpiece 3 is initially adjusted by the stigmator 5. The image of the adjusted luminescent image passes through the optical path 16 and is bent by the norism 14.
テレビカメラ８へ入射する１、前記画像は画は処理部９
へ入力され、ここで明ｌ１ｆ２値化処理して画１．沢の
輪郭を明らかにして、その輪郭１５がテレビカメラの視
野１６とともに記憶される（第３図）６その輪郭１５は
真円度評価部１０へ入力され、ここで助成によって、輪
郭１５で囲まれた図形の真円度係数Ｒｏをめ・′る。こ
の真円度評価部Ｒ，と、さきのステイメータ電流１ｘＯ
＝ １３７０とが最適値探査部１１へ入力される。そし
て、１．’１０を固定し。The image enters the television camera 8, and the image is processed by the processing unit 9.
is input to image 1, which is then subjected to bright l1f binarization processing. The contour of the stream is determined and its contour 15 is stored together with the field of view 16 of the television camera (FIG. 3).6 The contour 15 is input to the roundness evaluation section 10, where it is surrounded by the contour 15 with assistance. Find the roundness coefficient Ro of the figure. This roundness evaluation part R, and the previous stay meter current 1xO
= 1370 is input to the optimum value search unit 11. And 1. Fixed '10.
ＩＪＣＯをｄＪだけ変化さたステイグメータ電流１ｘ、
−Ｉｘｏ 十（１’Ｉ、 Ｉｙｏが電流供給回路１２
へ指令され。Stigmeter current 1x with IJCO changed by dJ,
-Ixo ten (1'I, Iyo is the current supply circuit 12
ordered to.
この電流供給回路１２からステイクメータ５へそのステ
イグメータ電流１ＪＣＩ 、ＩｙＯが供給される。The stake meter currents 1JCI and IyO are supplied from this current supply circuit 12 to the stake meter 5.
これによって調整された試験加工用被加工物３０発光像
は、さきと同様にしてテレビカメラ８へ入射され１画像
処理部９でその画像の輪郭が記憶され、真円度評価部１
０で真円度係数Ｒ１が針具される。この真円度係数Ｒ１
と、さぎのステイグメータ１□流１．、、 Ｉｙ、とが
最適値探査部１１へ入力される。そしてＲ，〉ＲＪｉら
ば、Ｉ工１をさらにｄＩだげ変化させたステイグメータ
電流Ｉｘ２＝ｌｘ、 十ｄｌ 、 Ｉｙｏが＆席供給回
路１２へ指令され、この電流供給回路１２からステイグ
メータ５へそのステイグメータ電流１Ｘ：２ 、１ｙＯ
か供給される。The light emission image of the test workpiece 30 thus adjusted is incident on the television camera 8 in the same way as before, and the contour of the image is stored in the image processing section 9, and the roundness evaluation section 1
The roundness coefficient R1 is set to 0. This roundness coefficient R1
And the rabbit's stigma meter 1□ style 1. ,, Iy, are input to the optimum value search unit 11. Then, if R,〉RJi, the stigma meter current Ix2=lx, 10 dl, Iyo, which further changes I 1 by dI, is commanded to &seat supply circuit 12, and the stigma meter current Ix2=lx, 10 dl, Iyo is transmitted from this current supply circuit 12 to stigma meter 5. Current 1X: 2, 1yO
or supplied.
以上の操作が繰返されて、真円度係数の大きさが、その
前に針具した真円度係数と等しいか。After the above operation is repeated, is the roundness coefficient equal to the roundness coefficient of the previous needle?
小さくなったとき、すなわち最大になったとき。When it becomes small, that is, when it becomes maximum.
その１．か固定される。ＩｙＶＣついても同様の操作が
行なわれ、真円度係数が最大になったときのＩｙが固定
される。以上述べたＩ工、Ｉｙを固定するまでの操作を
繰返して、その前に計算したＩＪ＋Ｉｙとの差が９ｆ足
誤差範囲に入ったとき計算が打切られ、打切りたときの
Ｉｘ、 Ｉｙが真円度係数を最大にする。すなわち試験
加工用被加工物３０発光像の真円度を最もよくするステ
イグメータ電流としてめられる。Part 1. or fixed. A similar operation is performed for IyVC, and Iy when the roundness coefficient becomes maximum is fixed. Repeat the above-mentioned operations until fixing IJ and Iy, and when the difference from the previously calculated IJ+Iy falls within the 9f foot error range, the calculation is aborted, and Ix and Iy at the time of abort are perfect circles. Maximize the degree factor. In other words, it is determined as the stigmator current that best improves the roundness of the luminescent image of the test workpiece 30.
このようにして１ったステイグメータ′眠流Ｉｘ、 Ｉ
、が電流供給回路１２へ指令され、この電流供給回路１
２からステイグメータ５へそのステイグメータ電流１．
、 Ｉｙが供給されたとき、真円度調整終了を報知す
るランプ（図示せず）が点灯する。In this way, the stigma meter 'Sleep Current Ix, I
is commanded to the current supply circuit 12, and this current supply circuit 1
2 to the stigma meter 5. The stigma current 1.
, Iy is supplied, a lamp (not shown) that notifies the completion of roundness adjustment is lit.
電子ビームの真円度が調整されたら、試験加工用被加工
物６０代りに実加工用の被加工物をテーブル４上に載置
して実加工を行なえばよい。Once the roundness of the electron beam is adjusted, a workpiece for actual processing may be placed on the table 4 instead of the test workpiece 60 for actual processing.
以上説明したように本実施例によれば、テレビカメラ８
９画１象処理＠９．真円度評価部１０゜最適値探査部１
１を設け、Ｘ流供給回路１２へ、最適値探査部１１から
の指令を入力するようにしたので、電子ビーム１の真円
度調整を人手を煩わせずに容易に実施することができ１
、人間の官能検査による真円度評価と異なり、測定の繰
返し精度が良い、すなわち信頼性が高い、１．子ビーム
の真円度調整を行なうことができるという効果がある。As explained above, according to this embodiment, the television camera 8
9 strokes 1 image processing @9. Roundness evaluation section 10° Optimum value exploration section 1
1 is provided, and a command from the optimum value exploration section 11 is inputted to the X flow supply circuit 12. Therefore, the roundness adjustment of the electron beam 1 can be easily carried out without any manual effort.
, Unlike the roundness evaluation by human sensory test, the repeatability of measurement is good, that is, the reliability is high; 1. This has the effect that the circularity of the child beam can be adjusted.
また、この発明は、熱的に異方性のある材料に高真円度
の穴をカロエする場合、を子ビームの真円度をくずして
、加工穴の形状を真円にすることにも適用できるもので
ある。In addition, when cutting a highly rounded hole in a thermally anisotropic material, this invention can also be used to destroy the circularity of the child beam and make the hole formed into a perfect circle. It is applicable.
なお１本実施例においては、光電変換素子としてテレビ
カメラ８を使用したが、テレビカメラ８０代り・にリニ
アイメージセンサなどを使用しても、同様の効果を萎す
るものである。In this embodiment, the television camera 8 is used as the photoelectric conversion element, but even if a linear image sensor or the like is used instead of the television camera 80, the same effect will not be obtained.
以上詳細に説明したように本会明によれば。 According to the present meeting, as explained in detail above.
電子ビームの真円度ｗｔＡ整を、高精度、尚信頼度で、
しかも容易に行なうことができる電子ビーム真円度調整
装置を提供することができる。The roundness wtA of the electron beam can be maintained with high precision and reliability.
Furthermore, it is possible to provide an electron beam roundness adjustment device that can be easily adjusted.
第１図は、従来の電子ビーム真円度調整装置を示す略示
図、′Ｍ２図は１本発明の一実施例に係る電子ビーム真
円度調整終了を示す略示図、。
第６図は、第２図における画像処理部に８Ｇ憶された天
面の画像の輪郭の一例を示ず輪郭図である。
１・・・電子ビーム ２・・・レンズ
３・・・試験加工用被加工物
５・・・ステイグメータ ７・・・１．子銃８・・・テ
レビカメラ ９・・・画像処理部１０・・・真円度評価
部 １１・・・最適値探査部１２・・・を派供給回路
１５・・・輪郭Ｉ□、Ｉｙ・・・ステイグメーター流
代理人弁理士 高 楢 明 夫
第１図FIG. 1 is a schematic diagram showing a conventional electron beam roundness adjustment device, and FIG. FIG. 6 is a contour diagram showing an example of the contour of the image of the top surface stored in 8G in the image processing section in FIG. 2. 1...Electron beam 2...Lens 3...Workpiece for test processing 5...Stigmeter 7...1. Sub-gun 8...TV camera 9...Image processing section 10...Roundness evaluation section 11...Optimum value exploration section 12...
15...Outline I
Claims (1)
ムの真円度を調整することができるステイグメータと、
前記電子ビームを照射したときの試験加工用被加工物の
発光像の画像を入力する光電変換素子と、この光電変換
素子に入力した画像を２１直化処理して当該画像の輪郭
を記憶する画像処理部と、この画像処理部に記憶した前
記輪郭で囲まれた図形の真円度係数を計算する真円度評
価部と、前記真円度係数に基づいて前記画像の真円度係
数を最大にするステイグメータ電流を見出すための最適
値探査部と、この最適値探査部から指令されたステイグ
メータ電流を前記ステイグメータへ供給する電流供給回
路とを具備したこと特徴とする電子ビーム真円度調整装
置。a stigmameter that can adjust the circularity of the electron beam by adjusting the stigmator current;
A photoelectric conversion element that inputs an image of the luminescence image of the test workpiece when irradiated with the electron beam, and an image that stores the outline of the image by processing the image input to the photoelectric conversion element into a 21-scale image. a processing unit; a roundness evaluation unit that calculates a roundness coefficient of a figure surrounded by the outline stored in the image processing unit; and a roundness evaluation unit that calculates a roundness coefficient of the image to a maximum based on the roundness coefficient. 1. An electron beam roundness adjustment device comprising: an optimum value searching section for finding a stigmater current to give a value; and a current supply circuit supplying a stigmator current commanded from the optimum value searching section to the stigmator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24384983A JPS60136142A (en) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | Electron beam circularity adjusting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24384983A JPS60136142A (en) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | Electron beam circularity adjusting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60136142A true JPS60136142A (en) | 1985-07-19 |
Family
ID=17109863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24384983A Pending JPS60136142A (en) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | Electron beam circularity adjusting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60136142A (en) |
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1983
- 1983-12-26 JP JP24384983A patent/JPS60136142A/en active Pending
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