JPS60135608U - 光学式変位検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る光学式変位検出装置の実施例の要
部を示す正面図、第２図は第１図のｎ−■線に沿う拡大
断面図、第３図は同実施例の要部を拡大して示す分解斜
視図、第４図は同実施例による測定精度とスケール長さ
の関係を示す線図である。 １０・・・メインスケールユニット、１２・・・光学格
子、１４・・・メタルテープ、１６・・・長細ベース、
１８・・・テープ取付面、２０・・・テープ案内手段、
２２・・・磁石体、２４・・・固定手段、２６・・・固
着手段、２８・・・引張固着手段、３４・・・引張手段
。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）対応する光学格子をそれぞれ備えたインデックス
   スケールユニットとメインスケールユニットとを相対移
   動させて、両スケールユニットの相対移動変位量を検出
   すると共に、前記メインスケールユニットは、反射型の
   光学格子が形成された可撓性のメタルテープを長細ベー
   スに取付けてなる光学式変位検出装置において、前記メ
   タルテープを磁性材料から形成すると共に、前記長細ベ
   ースのテープ取付面に形成され、前記メタルテープをメ
   インスケールユニット相対移動方向に略真直に案内する
   テープ案内手段と、前記長細ベースのテープ取付面に配
   置され、前記メタルテープを、その光学格子面が、真直
   となるように吸着保持する磁石体と、前記テープ案内手
   段により案内され、且つ、前記磁石体により吸着保持さ
   れている前記メタルテープの長手方向両端を前記長細ベ
   ースに固定する固定手段と、を設けたことを特徴とする
   光学式％式％
2. （２）前記固定手段は、前記メタルテープの一端を固定
   する固定手段と、他端に適宜の引張力を与えて固定する
   引張固着手段と、を有してなる実用新案登録請求の範囲
   第１項記載の光学式変位検出装置。
3. （３）　　前記テープ案内手段は、前記長細ペニスのテ
   ープ取付面に形成された、前記メタルテープと同一幅の
   溝とされた実用新案登録請求の範囲第１項又は第２項記
   載の光学式変位検出装置。
4. （４）前記磁石体は前記溝の底部に配置された実用新案
   登録請求の範囲第３項記載の光学式変位検・出装置。、