JPS60133630U - ウエハホルダ - Google Patents
ウエハホルダInfo
- Publication number
- JPS60133630U JPS60133630U JP1936084U JP1936084U JPS60133630U JP S60133630 U JPS60133630 U JP S60133630U JP 1936084 U JP1936084 U JP 1936084U JP 1936084 U JP1936084 U JP 1936084U JP S60133630 U JPS60133630 U JP S60133630U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer holder
- wafer
- grooves
- groove
- recorded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
′ 1 第1図はこの考案の実施例を示し、ウェハ
ホルダを用いたウェハ突上げ装置の斜視図、第2図は従
来のウェハホルダを示し、ウェハホルダを設けた押上げ
板の斜視図、第3図はこの考案の実施例を示し、ウェハ
ホルダを設けた押上げ板め部分正面図、第4図は1図の
IV−IV線矢視図である。 。 91・・・溝、′2・・・間隔、・4・・・本体。
ホルダを用いたウェハ突上げ装置の斜視図、第2図は従
来のウェハホルダを示し、ウェハホルダを設けた押上げ
板の斜視図、第3図はこの考案の実施例を示し、ウェハ
ホルダを設けた押上げ板め部分正面図、第4図は1図の
IV−IV線矢視図である。 。 91・・・溝、′2・・・間隔、・4・・・本体。
Claims (1)
- ウェハを収容する少くとも三つの溝を二体的に設け、該
各溝をそれぞれ共通の一つの平面を含むように形成し、
かっ該各溝間に間隔を隔てさせたことを特徴とするウェ
ハホルダ。 、 −
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1936084U JPS60133630U (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | ウエハホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1936084U JPS60133630U (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | ウエハホルダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60133630U true JPS60133630U (ja) | 1985-09-06 |
Family
ID=30508862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1936084U Pending JPS60133630U (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | ウエハホルダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60133630U (ja) |
-
1984
- 1984-02-14 JP JP1936084U patent/JPS60133630U/ja active Pending
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