JPS60133630U - ウエハホルダ - Google Patents

ウエハホルダ

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JPS60133630U
JPS60133630U JP1936084U JP1936084U JPS60133630U JP S60133630 U JPS60133630 U JP S60133630U JP 1936084 U JP1936084 U JP 1936084U JP 1936084 U JP1936084 U JP 1936084U JP S60133630 U JPS60133630 U JP S60133630U
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JP
Japan
Prior art keywords
wafer holder
wafer
grooves
groove
recorded
Prior art date
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Pending
Application number
JP1936084U
Other languages
English (en)
Inventor
亘 大加瀬
健一 木下
Original Assignee
テル相模株式会社
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
′　１　　　第１図はこの考案の実施例を示し、ウェハ
ホルダを用いたウェハ突上げ装置の斜視図、第２図は従
来のウェハホルダを示し、ウェハホルダを設けた押上げ
板の斜視図、第３図はこの考案の実施例を示し、ウェハ
ホルダを設けた押上げ板め部分正面図、第４図は１図の
ＩＶ−ＩＶ線矢視図である。　　　　。 ９１・・・溝、′２・・・間隔、・４・・・本体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハを収容する少くとも三つの溝を二体的に設け、該
    各溝をそれぞれ共通の一つの平面を含むように形成し、
    かっ該各溝間に間隔を隔てさせたことを特徴とするウェ
    ハホルダ。　　　、　　−
JP1936084U 1984-02-14 1984-02-14 ウエハホルダ Pending JPS60133630U (ja)

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JP1936084U JPS60133630U (ja) 1984-02-14 1984-02-14 ウエハホルダ

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1936084U JPS60133630U (ja) 1984-02-14 1984-02-14 ウエハホルダ

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JPS60133630U true JPS60133630U (ja) 1985-09-06

Family

ID=30508862

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1936084U Pending JPS60133630U (ja) 1984-02-14 1984-02-14 ウエハホルダ

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JP (1) JPS60133630U (ja)

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