JPS60119409A - 変位測定方法 - Google Patents
変位測定方法Info
- Publication number
- JPS60119409A JPS60119409A JP22738883A JP22738883A JPS60119409A JP S60119409 A JPS60119409 A JP S60119409A JP 22738883 A JP22738883 A JP 22738883A JP 22738883 A JP22738883 A JP 22738883A JP S60119409 A JPS60119409 A JP S60119409A
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- JP
- Japan
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- signal
- phase
- wave
- band
- adder
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S13/00—Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
- G01S13/02—Systems using reflection of radio waves, e.g. primary radar systems; Analogous systems
- G01S13/06—Systems determining position data of a target
- G01S13/08—Systems for measuring distance only
- G01S13/32—Systems for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Radar Systems Or Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は被測定物にマイクロ波を投射し、その送信波と
、被測定物からの反射波との位相差を利用して被測定物
の変位を測定する方法に関する。
、被測定物からの反射波との位相差を利用して被測定物
の変位を測定する方法に関する。
被測定物の変位を測定する方法としてはマイクロ波を被
測定物へ向けて投射し、その反射波と送信波との位相差
を利用する方法が知られている。
測定物へ向けて投射し、その反射波と送信波との位相差
を利用する方法が知られている。
その方法には、Double 5ideband Wi
th CarrierPresent方式+ Doub
le 5ideband With 5uppress
edCarrier方式、 Single 5ideb
and With CarrierPreser+を方
式、 Single 5ideband With 5
uppressedCarrier方式等があり、これ
らにはいずれも位相器が用いられている。
th CarrierPresent方式+ Doub
le 5ideband With 5uppress
edCarrier方式、 Single 5ideb
and With CarrierPreser+を方
式、 Single 5ideband With 5
uppressedCarrier方式等があり、これ
らにはいずれも位相器が用いられている。
然るごとくマイクロ波帯の位相器はその回路が複雑であ
り、高価についていた。このためこのような測定方法に
より工業計測を行うにはその回路のコスト上、計測通用
範囲が限定されてしまい好ましくなかった。
り、高価についていた。このためこのような測定方法に
より工業計測を行うにはその回路のコスト上、計測通用
範囲が限定されてしまい好ましくなかった。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、その
目的とするところ心J低周波帯の移相器を用いることに
より回路を簡潔にし、これに伴い取扱いを容易とし、ま
た信頼度を高め得る変位測定方法を提供するにある。
目的とするところ心J低周波帯の移相器を用いることに
より回路を簡潔にし、これに伴い取扱いを容易とし、ま
た信頼度を高め得る変位測定方法を提供するにある。
本発明に係る変位測定方法は、被測定物へ向i−1での
マイクロ波の送信波と、それからの反射波との位相差を
利用して被測定物の変位を測定する方法において、低周
波にて周期的変調をかけたマイクロ波をアンテナ良導き
、被測定物へ投射し、また該アンテナにて反則波を受信
し、送1受信波の混合波を検波し、検波信号の奇数次で
あるn次高調波成分及び2n次高調波成分を抽出し、一
方、前記低周波を90°移和して第1移相信号を得、ま
た、その倍周波の第2移相信号を得、第1移相信号とn
次高調波成分の信号とを掛算し、これによって得られた
信号と2n次高調波成分の信号とを加算して加算信号を
得、該加算信号と第2移相信号との位相差を検出し、こ
の位相差に基づき被測定物の変位をめることを特徴とす
る。
マイクロ波の送信波と、それからの反射波との位相差を
利用して被測定物の変位を測定する方法において、低周
波にて周期的変調をかけたマイクロ波をアンテナ良導き
、被測定物へ投射し、また該アンテナにて反則波を受信
し、送1受信波の混合波を検波し、検波信号の奇数次で
あるn次高調波成分及び2n次高調波成分を抽出し、一
方、前記低周波を90°移和して第1移相信号を得、ま
た、その倍周波の第2移相信号を得、第1移相信号とn
次高調波成分の信号とを掛算し、これによって得られた
信号と2n次高調波成分の信号とを加算して加算信号を
得、該加算信号と第2移相信号との位相差を検出し、こ
の位相差に基づき被測定物の変位をめることを特徴とす
る。
以下本発明を図面に基づき具体的に説明する。
図面は本発明の実施状態を示す模式図であり、図中1は
Mtlzオーダーの低周波発振器、2ばマイクロ波発振
器を夫々示している。マイクロ波発振器2の送信波は低
周波発振器1からの発振波(Basin(ωm t)〕
により周波数変調されており、送信波e5ば導波管3を
介して導波管3の先端に取付けられたアンテナ4へ送ら
れる。該アンテナ4は被測定物Aに向けられている。前
記導波管3の中途にはハイブリッド結合器15が設げら
れており、ハイブリッド結合器15には2乗特性の検波
器5の入力端子が接続されている。
Mtlzオーダーの低周波発振器、2ばマイクロ波発振
器を夫々示している。マイクロ波発振器2の送信波は低
周波発振器1からの発振波(Basin(ωm t)〕
により周波数変調されており、送信波e5ば導波管3を
介して導波管3の先端に取付けられたアンテナ4へ送ら
れる。該アンテナ4は被測定物Aに向けられている。前
記導波管3の中途にはハイブリッド結合器15が設げら
れており、ハイブリッド結合器15には2乗特性の検波
器5の入力端子が接続されている。
検波器5はマイクロ波発振器2からの送信波e3及び被
測定物Aからの反射波erの混合波を検波し、検波信号
eoを0次高調波を抽出する第1帯域フイルター6及び
それに対応した20次高調波を抽出する第2帯域フイル
ター8へ送る。第1帯域フイルター6から得た信号は第
1増幅器7にて増幅されて掛算器10へ与えられ、第2
帯域フイルター8から得た信号は第2増幅器9にて増幅
されて加算器11へ与えられる。
測定物Aからの反射波erの混合波を検波し、検波信号
eoを0次高調波を抽出する第1帯域フイルター6及び
それに対応した20次高調波を抽出する第2帯域フイル
ター8へ送る。第1帯域フイルター6から得た信号は第
1増幅器7にて増幅されて掛算器10へ与えられ、第2
帯域フイルター8から得た信号は第2増幅器9にて増幅
されて加算器11へ与えられる。
前記低周波発振器1の発振波(Eosin(ωmt))
は90°移相器12へ与えられ、ここで90°移和され
てその移相信号が掛算器10に与えられている。掛算器
10ば第1増幅器7からの信号E1と90°移相器】2
からの移相信号とを掛算し、その信号を加算器1】へ与
える。
は90°移相器12へ与えられ、ここで90°移和され
てその移相信号が掛算器10に与えられている。掛算器
10ば第1増幅器7からの信号E1と90°移相器】2
からの移相信号とを掛算し、その信号を加算器1】へ与
える。
加算器11ば第2増幅器9からの信号E2と掛算器10
からの信号とを加算し、加算信号E3を位相比較器14
へ与える。
からの信号とを加算し、加算信号E3を位相比較器14
へ与える。
前記90°移相器12が出力する移相信号は倍調波発生
器13へ与えられ、前記移相信号の倍周波を有する信号
が作成されて、これが位相比較器14へ与えられる。
器13へ与えられ、前記移相信号の倍周波を有する信号
が作成されて、これが位相比較器14へ与えられる。
位相比較器14は加算器1,1からの信号E3と倍調波
発生器13からの信号との位相を比較して位相差を検出
し、検出信号を出力する。
発生器13からの信号との位相を比較して位相差を検出
し、検出信号を出力する。
次に本発明の測定原理につき説明する。送信波esはマ
イクロ波発振器2からのマイクロ波が低周波発振器1か
らの発振波により周波数変調されたものであるので、そ
の角周波数ωを式で表せば下記(1)式にて示される。
イクロ波発振器2からのマイクロ波が低周波発振器1か
らの発振波により周波数変調されたものであるので、そ
の角周波数ωを式で表せば下記(1)式にて示される。
ω−ωθ十2・Δω・sin (ωmt) ・・・(1
)但し、ωm :中心周波数(ω0 > ωm)Δω:
周波数変化幅 このような送信波が検波器5へ入力される。このときの
送信波esは下記(2)式で表される。
)但し、ωm :中心周波数(ω0 > ωm)Δω:
周波数変化幅 このような送信波が検波器5へ入力される。このときの
送信波esは下記(2)式で表される。
es −Es −5in (ωt) −(21但し、E
s :送信波の振幅 被測定物Aからの反射波erについては、送信波が検波
器5からアンテナ4までの間を往復することによる位相
遅れ分をα、またアンテナ4が送信波を出力して被測定
物Aからの反射波を捉える間の位相遅れ分をφとすると
、反射波erは下記(3)式にて示される。
s :送信波の振幅 被測定物Aからの反射波erについては、送信波が検波
器5からアンテナ4までの間を往復することによる位相
遅れ分をα、またアンテナ4が送信波を出力して被測定
物Aからの反射波を捉える間の位相遅れ分をφとすると
、反射波erは下記(3)式にて示される。
er =Er −5jn (ωt−φ−α’) −(3
1但し、Er :反射波の振幅 検波器5ば信号esとerとを混合して入力しているの
で、2乗特性の検波器5ば下記(4)式にて示される信
号e。を出力する。
1但し、Er :反射波の振幅 検波器5ば信号esとerとを混合して入力しているの
で、2乗特性の検波器5ば下記(4)式にて示される信
号e。を出力する。
en −k (%Es” 十%Er′!+Es −Er
−cos (φ十(X) )−(41但し、k:検波
器の感度 いま、アンテナ4から被測定物Aまでの距離をXとする
と、位相遅れφは下記(5)式にて表され、し 但し、C:マイクロ波伝搬速度 この(5)式に前記(11式を代入するとφは(6)式
となる。
−cos (φ十(X) )−(41但し、k:検波
器の感度 いま、アンテナ4から被測定物Aまでの距離をXとする
と、位相遅れφは下記(5)式にて表され、し 但し、C:マイクロ波伝搬速度 この(5)式に前記(11式を代入するとφは(6)式
となる。
・・・(6)
一−−−−−−−−−−−−−りとすると、cos φ
は下記(7)式にて表される。即ち、 cos ψ=cos (φt+ +D−sin (0m
t) 1”’CO3φo 5cos fD3sin
(ωmt))−sin ψa ・sjn (D−sin
(ωmt))=、L (D) ・cos φo +2
・cos φ0〜 ・sin f (2n+ 1 )ωmt) ・・・(7
)但し、Jo (D)、Jzn (D)、、J?n=t
(D)は第1種へソセル関数 したがって、(7)式に示されるような合成波である前
記(4)式の検波器出力信号eoば下記(8)式にて示
される。
は下記(7)式にて表される。即ち、 cos ψ=cos (φt+ +D−sin (0m
t) 1”’CO3φo 5cos fD3sin
(ωmt))−sin ψa ・sjn (D−sin
(ωmt))=、L (D) ・cos φo +2
・cos φ0〜 ・sin f (2n+ 1 )ωmt) ・・・(7
)但し、Jo (D)、Jzn (D)、、J?n=t
(D)は第1種へソセル関数 したがって、(7)式に示されるような合成波である前
記(4)式の検波器出力信号eoば下記(8)式にて示
される。
((Q−z・kH(Es 2 +Er ” )+に−E
s−Er[、Jo(D)・cosφΩ−2・J+(D)
・5in(φo−)α)・sjn (0m t) +2
・Jz (1)) ・cos (φθ十α) ・cos
(2ωm t)−2・、J3 (D)−srn (φ
0 +α) ・sin (3ωmt) →−・・・〕・
・・(8) 検波器5の出力信号e。は奇数次である0次高調波を抽
出する第1帯域フイルター6及び20次高調波を抽出す
る第2帯域フイルター8へ送られるので、例えばn−1
とすると第1.第2帯域フイルター6.8は夫々ωm、
2ωmの角周波数の信号を抽出する。更に抽出信号は夫
々ゲインG+。
s−Er[、Jo(D)・cosφΩ−2・J+(D)
・5in(φo−)α)・sjn (0m t) +2
・Jz (1)) ・cos (φθ十α) ・cos
(2ωm t)−2・、J3 (D)−srn (φ
0 +α) ・sin (3ωmt) →−・・・〕・
・・(8) 検波器5の出力信号e。は奇数次である0次高調波を抽
出する第1帯域フイルター6及び20次高調波を抽出す
る第2帯域フイルター8へ送られるので、例えばn−1
とすると第1.第2帯域フイルター6.8は夫々ωm、
2ωmの角周波数の信号を抽出する。更に抽出信号は夫
々ゲインG+。
G2の第1.第2増幅器7.9へ送られ、第1゜第2増
幅器7,9ば夫々の入力信号を増幅して下記+91.1
Ifl1式にて示される信号E+ 、E2を出力する。
幅器7,9ば夫々の入力信号を増幅して下記+91.1
Ifl1式にて示される信号E+ 、E2を出力する。
E+ −2−に−Es −Er ’Jl (D) ・G
+−5in (0m t) ・sin (φθ+α)−
(91E2 =2・k−Es −Er −Jz (D)
・G2−cos(2ωmt)・C03(φ、+α)−
001信号E2はそのまま加算器11へ送られる。一方
の信号E1ば掛算器10へ送られ、ここで低周波発振器
1からの発振波(Eosin(ωmt))が90゜移相
器12により90°移相された信号(Eocos(ωm
t))と11算されて加算器11へ送られる。
+−5in (0m t) ・sin (φθ+α)−
(91E2 =2・k−Es −Er −Jz (D)
・G2−cos(2ωmt)・C03(φ、+α)−
001信号E2はそのまま加算器11へ送られる。一方
の信号E1ば掛算器10へ送られ、ここで低周波発振器
1からの発振波(Eosin(ωmt))が90゜移相
器12により90°移相された信号(Eocos(ωm
t))と11算されて加算器11へ送られる。
加算器11は信号E2と掛算器10からの信号とを加算
し、下記(11)式で示される加算信号E3を位相比較
器14へ送る。
し、下記(11)式で示される加算信号E3を位相比較
器14へ送る。
E3 =E+ ・cos (ωmt) 4−E2−に−
Es −Er ・ (2・Jz (D) ・G2−co
s(2ωmt)祷cos(φ(、+α)−2・、J+
(D) ・G+ ・sin (0m t)−sin (
φθ +α) ・cos (ωmt))−に−Es −
Er ・ 〔2・Jz (D)・G2−cos (2ω
mt) 争cos (φO→−α)J+ (D) ・G
+ ・sin (2ωm t)・sin (φ0 +α
)〕 ・・・(11)さて、予め第1.第2増幅器7,
9のゲインG+。
Es −Er ・ (2・Jz (D) ・G2−co
s(2ωmt)祷cos(φ(、+α)−2・、J+
(D) ・G+ ・sin (0m t)−sin (
φθ +α) ・cos (ωmt))−に−Es −
Er ・ 〔2・Jz (D)・G2−cos (2ω
mt) 争cos (φO→−α)J+ (D) ・G
+ ・sin (2ωm t)・sin (φ0 +α
)〕 ・・・(11)さて、予め第1.第2増幅器7,
9のゲインG+。
G2を被測定物Aの変位範囲に応じて夫々の増幅レベル
G。が Go =J+ (D> ・G+≧2 ・Jz (D)
・G2を満足するように調整しておくことにより上記(
11)式の加算信号E3は下記(12)式で表される。
G。が Go =J+ (D> ・G+≧2 ・Jz (D)
・G2を満足するように調整しておくことにより上記(
11)式の加算信号E3は下記(12)式で表される。
E3 =に−Es −Er −G1 −cos (2ω
mt十φ。+α) ・・・(12) 0 一方、位相比較器14へ送られる倍調波発生器13の出
力信号は、90°移相器12の出力信号E。・cos
(ωmt)を倍周波したものであり、En ・cos(
2ωmt)である。したがって位相比較器14へ与えら
れる信号の角周波数は共に2ωmとなっている。位相比
較器14は倍調波発生器13からの信号EO−cos
(2ωm t)と前記(12)式で示される加算信号E
3との位相を比較して位相差を検出し、検出信号を11
1力する。つまり出力信号として番:1φ。→−αが得
られる。
mt十φ。+α) ・・・(12) 0 一方、位相比較器14へ送られる倍調波発生器13の出
力信号は、90°移相器12の出力信号E。・cos
(ωmt)を倍周波したものであり、En ・cos(
2ωmt)である。したがって位相比較器14へ与えら
れる信号の角周波数は共に2ωmとなっている。位相比
較器14は倍調波発生器13からの信号EO−cos
(2ωm t)と前記(12)式で示される加算信号E
3との位相を比較して位相差を検出し、検出信号を11
1力する。つまり出力信号として番:1φ。→−αが得
られる。
測定位相φ。十αには2π毎の任意性があるので、これ
から距1i11t xを決定することばできないが、α
は検波器5〜アンテナ4間距離により一定であるので、
位相変化Δφ。より被測定物Aの変位ΔXを知ることが
できる。即ち変位ΔXは である。
から距1i11t xを決定することばできないが、α
は検波器5〜アンテナ4間距離により一定であるので、
位相変化Δφ。より被測定物Aの変位ΔXを知ることが
できる。即ち変位ΔXは である。
なお、上記測定原理のところでは抽出波として第1種ヘ
ソセル関数がJ+ (D)、J2 (D)の1 ものをフィルターにより抽出しているが、これ以外のも
のを抽出してもよく、その抽出波を用いても本発明は実
施できる。そして距離Xに応して感度の良い抽出波を使
用すればより精度の良い測定ができる。また上記説明で
はマイクロ波として正弦波を使用しているが、本発明は
これに限らず他の矩形波、三角波等を用いてもよく、矩
形波、三角波等を用いても同様の結果が得られることば
勿論である。
ソセル関数がJ+ (D)、J2 (D)の1 ものをフィルターにより抽出しているが、これ以外のも
のを抽出してもよく、その抽出波を用いても本発明は実
施できる。そして距離Xに応して感度の良い抽出波を使
用すればより精度の良い測定ができる。また上記説明で
はマイクロ波として正弦波を使用しているが、本発明は
これに限らず他の矩形波、三角波等を用いてもよく、矩
形波、三角波等を用いても同様の結果が得られることば
勿論である。
次に実施例に基づき本発明の効果について説明する。マ
イクロ波発振器2にはバラクタ同調ガン発振器を、また
アンテナ4には15dBオブテイマムホーンを用い、ア
ンテナ4を0.5m程度離れた0、5m X 0.5m
の鋼板である被測定物Aに向け、中心周波数ωD/2π
: 10.525GIIz 、中心波長λ:約28.5
mm、周波数変化幅Δω/ 2 n : lOMHz
、出カニ約10mWのマイクロ波を送信して鋼板の変位
測定を行った。
イクロ波発振器2にはバラクタ同調ガン発振器を、また
アンテナ4には15dBオブテイマムホーンを用い、ア
ンテナ4を0.5m程度離れた0、5m X 0.5m
の鋼板である被測定物Aに向け、中心周波数ωD/2π
: 10.525GIIz 、中心波長λ:約28.5
mm、周波数変化幅Δω/ 2 n : lOMHz
、出カニ約10mWのマイクロ波を送信して鋼板の変位
測定を行った。
その結果、分解能として10μm、また最大変位14.
25 inに対する装置位相変化出力のりニアリティ±
0.1真m以下を得た。
25 inに対する装置位相変化出力のりニアリティ±
0.1真m以下を得た。
以上詳述した如く本発明に係る変位測定方法は、低周波
にて変調したマイクロ波を用いるので移相器は低周波の
ものでよく、しかも移相角度が90゜と固定しておけば
よいから回路構成が簡潔であり、また測定のための取扱
いが容易であり、更に信頼度が高く、また十分高精度な
測定が可能である。
にて変調したマイクロ波を用いるので移相器は低周波の
ものでよく、しかも移相角度が90゜と固定しておけば
よいから回路構成が簡潔であり、また測定のための取扱
いが容易であり、更に信頼度が高く、また十分高精度な
測定が可能である。
そして本発明による場合は安価な測定装置を提供できる
等本発明は優れた効果を奏する。
等本発明は優れた効果を奏する。
図面は本発明の実施状態を示す模式図である。
■・・・低周波発振器 2・・・マイクロ波発振器3・
・・導波管 4・・・アンテナ 5・・・検波器6.8
・・・第1.第2帯域フイルター 7.9・・・第1、
第2増幅器 10・・・掛算器 11・・・加算器12
・・・90°移相器 13・・・倍調波発生器 14・
・・位相比較器 特 許 出願人 住友金属工業株式会社代理人 弁理士
河 野 登 夫 3 ■i
・・導波管 4・・・アンテナ 5・・・検波器6.8
・・・第1.第2帯域フイルター 7.9・・・第1、
第2増幅器 10・・・掛算器 11・・・加算器12
・・・90°移相器 13・・・倍調波発生器 14・
・・位相比較器 特 許 出願人 住友金属工業株式会社代理人 弁理士
河 野 登 夫 3 ■i
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、被測定物へ向けてのマイクロ波の送信波と、それか
らの反射波との位相差を利用して被測定物の変位を測定
する方法において、 低周波にて周期的変調をかけたマイクロ波をアンテナ良
導き、被測定物へ投射し、また該アンテナにて反射波を
受信し、 送、受信波の混合波を検波し、検波信号の奇数次である
n次高調波成分及び20次高調波成分を抽出し、 一方、前記低周波を90°移和して第1移相信号を得、
また、その倍周波の第2移相信号を得、 第1移相信号とn次高調波成分の信号とを掛算し、これ
によって得られた信号と2n次高調波成分の信号とを加
算して加算信号を得、該加算信号と第2移相信号との位
相差を検出し、この位相差に基づき被測定物の変位をめ
るごとを特徴とする変位測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22738883A JPS60119409A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 変位測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22738883A JPS60119409A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 変位測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60119409A true JPS60119409A (ja) | 1985-06-26 |
Family
ID=16860033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22738883A Pending JPS60119409A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 変位測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60119409A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018235167A1 (ja) * | 2017-06-20 | 2018-12-27 | 株式会社ニレコ | 位置・姿勢測定方法及び位置・姿勢測定装置 |
JP2019184565A (ja) * | 2018-04-11 | 2019-10-24 | 日本製鉄株式会社 | 変位測定方法及び変位測定装置 |
-
1983
- 1983-11-30 JP JP22738883A patent/JPS60119409A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018235167A1 (ja) * | 2017-06-20 | 2018-12-27 | 株式会社ニレコ | 位置・姿勢測定方法及び位置・姿勢測定装置 |
JP2019184565A (ja) * | 2018-04-11 | 2019-10-24 | 日本製鉄株式会社 | 変位測定方法及び変位測定装置 |
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