JPS60113101A - 波長歪みの減少装置 - Google Patents
波長歪みの減少装置Info
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- JPS60113101A JPS60113101A JP59230442A JP23044284A JPS60113101A JP S60113101 A JPS60113101 A JP S60113101A JP 59230442 A JP59230442 A JP 59230442A JP 23044284 A JP23044284 A JP 23044284A JP S60113101 A JPS60113101 A JP S60113101A
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 241001024304 Mino Species 0.000 claims 1
- 238000013019 agitation Methods 0.000 claims 1
- 102000005840 alpha-Galactosidase Human genes 0.000 claims 1
- 108010030291 alpha-Galactosidase Proteins 0.000 claims 1
- 229940033685 beano Drugs 0.000 claims 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の要約〕
光学系を有するミソシェルソン干渉計のような干渉計に
おける可動性鏡の角運動により生ずる波長誤差を減少さ
せる装置につき開示し、この装置はエネルギを損失する
ことなしにビーム幅を減少させた後、これを可動性鏡に
衝突させる。この装置の他の利点は、所望に応してたと
えば吸光セルを使用する装置のような減少幅のビームと
多重光路とを使用しうろことである。
おける可動性鏡の角運動により生ずる波長誤差を減少さ
せる装置につき開示し、この装置はエネルギを損失する
ことなしにビーム幅を減少させた後、これを可動性鏡に
衝突させる。この装置の他の利点は、所望に応してたと
えば吸光セルを使用する装置のような減少幅のビームと
多重光路とを使用しうろことである。
本発明は一般にインタフェロメト刀−に関し、さらに詳
細には干渉計と組み合せた光学装置に関するものである
。
細には干渉計と組み合せた光学装置に関するものである
。
従来、干渉計における可動性鏡は装置の口径を構成する
ことが知られている。手の届かない星、或いはそ分抽の
遠い光線源を観ヨ11する際、可動および静止鏡が装置
の口径を構成する。今日までインタフェロメトリーの全
ゆる面において、口径の幅が大きい程、装置は良好であ
るという概念が存在する。
ことが知られている。手の届かない星、或いはそ分抽の
遠い光線源を観ヨ11する際、可動および静止鏡が装置
の口径を構成する。今日までインタフェロメトリーの全
ゆる面において、口径の幅が大きい程、装置は良好であ
るという概念が存在する。
干渉計装置における検知器は、そこにffj突するビー
ムの変調強度のみを検知する(熱作用は別の問題である
ため、ここでは考慮しない)。
ムの変調強度のみを検知する(熱作用は別の問題である
ため、ここでは考慮しない)。
か(して、干渉針は強度依存性の干渉像を発生する。
干渉計型の全ての装置は、出力(強度)を検知器に確立
するには可動性鏡に頼る。装置としての干渉計は変調装
置であって、この装置に衝突するビームの強度を測定し
ない。干渉計を通過し、次いで検知器に衝突するのは出
力(強度)である。干渉装置における検知器は、この検
知器に衝突するビームの変調強度のみを検知する。
するには可動性鏡に頼る。装置としての干渉計は変調装
置であって、この装置に衝突するビームの強度を測定し
ない。干渉計を通過し、次いで検知器に衝突するのは出
力(強度)である。干渉装置における検知器は、この検
知器に衝突するビームの変調強度のみを検知する。
ビームの光源が手の届かない上記のような場合(たとえ
ば、星の場合)、問題とする出力、ずわなちビームの強
度はできるだけ太き(なければならないことが明らかで
ある。かくして、最大量の情報が集められ、検知器に衝
突する。事実、通常の場合には光源を第2図に示したよ
うに使用する。
ば、星の場合)、問題とする出力、ずわなちビームの強
度はできるだけ太き(なければならないことが明らかで
ある。かくして、最大量の情報が集められ、検知器に衝
突する。事実、通常の場合には光源を第2図に示したよ
うに使用する。
第2図はミソシェルソン干渉計■の形態の従来技術を示
し、光源Sと視4!!鏡Cとを備え、さらにビームスプ
リッタHと固定&M M l と可動性鏡Mλと焦点鏡
Fと検知器りとを備える。可動性鏡M2に集光しうる光
の量は主として口径によることが判る。この配置は、た
とえば試料セルにつき操作する場合、大して便利でない
。この種の装置の製造業者の多くは、全部でないまでも
、これを改変している。
し、光源Sと視4!!鏡Cとを備え、さらにビームスプ
リッタHと固定&M M l と可動性鏡Mλと焦点鏡
Fと検知器りとを備える。可動性鏡M2に集光しうる光
の量は主として口径によることが判る。この配置は、た
とえば試料セルにつき操作する場合、大して便利でない
。この種の装置の製造業者の多くは、全部でないまでも
、これを改変している。
現在実用されているものは、一般にビームを平行化させ
、次いでこれを焦点に集めて試料室を貫通させ、その後
必要に応じてこれを初期の寸法まで増大させる。初期寸
法まで増大した後、これを再び平行化させて干渉計に移
動させる。
、次いでこれを焦点に集めて試料室を貫通させ、その後
必要に応じてこれを初期の寸法まで増大させる。初期寸
法まで増大した後、これを再び平行化させて干渉計に移
動させる。
これは初期平向ビームと再増大平向ビームとの比を1:
lの比にする。
lの比にする。
第3図も従来の装置であって、光源Sと第1規準鏡C1
と第1焦点鏡F1 とこの焦点における試料セルAと第
2規準鏡C2,と干渉計Iとを備え、さらにビームスプ
リンタHと固定鏡M1と可動性鏡MLと第2焦点鏡F工
と検知器りとを備える。
と第1焦点鏡F1 とこの焦点における試料セルAと第
2規準鏡C2,と干渉計Iとを備え、さらにビームスプ
リンタHと固定鏡M1と可動性鏡MLと第2焦点鏡F工
と検知器りとを備える。
第3図においても口径は主として可動性鏡の口径である
。
。
第4図も試料セルに使用するのに便利な従来型の装置で
ある。光s5sからの照射線は第1規準鏡C1に移動し
、次いで干渉計Iに到り、この装置において参照符号H
はビームスブリック、M4.は固定鏡、M7は可動性鏡
、Flは第1焦点鏡、Aは試料セル、Slは焦点、Cλ
は第2規準鏡、F2は第2焦点鏡、Dは検知器である。
ある。光s5sからの照射線は第1規準鏡C1に移動し
、次いで干渉計Iに到り、この装置において参照符号H
はビームスブリック、M4.は固定鏡、M7は可動性鏡
、Flは第1焦点鏡、Aは試料セル、Slは焦点、Cλ
は第2規準鏡、F2は第2焦点鏡、Dは検知器である。
これらの干渉針およびその他の多くの干渉計は、その出
力につき可動性鏡の口径に依存する。
力につき可動性鏡の口径に依存する。
可動性鏡の口径が実際の口径である。本発明は可動性鏡
の口径に関するものであるため、光学要素の口径につき
検討する必要がある。
の口径に関するものであるため、光学要素の口径につき
検討する必要がある。
第5図を参照して、参照符号Sは光学表面である。fl
およびfLが2つの焦点であるとすれば、そのいずれ
か一方を実像とすることができ、〔−閃、+■〕におけ
るその位置は不特定である。f、からの主線とX軸とが
一致するよT、およびγユが図示したようにfl およ
び第2 に対する光線である場合、積分としての表面S
にわたるT、の先端はSにまたがる。
およびfLが2つの焦点であるとすれば、そのいずれ
か一方を実像とすることができ、〔−閃、+■〕におけ
るその位置は不特定である。f、からの主線とX軸とが
一致するよT、およびγユが図示したようにfl およ
び第2 に対する光線である場合、積分としての表面S
にわたるT、の先端はSにまたがる。
に対し平向な方向を有する単位ベクトルである。
→
dsは表面Sの微分単位であり、その方向はγJ の先
端において接線面に対し垂直であり、f、から離間する
方向である。
端において接線面に対し垂直であり、f、から離間する
方向である。
fl に対する有効口径を見出すには、光学表定せねば
ならず、かつ全表面につき合計を算出せねばならない。
ならず、かつ全表面につき合計を算出せねばならない。
fl が無限大である場合、f。
に対する有効口径と通常の口径とが一致する。
この口径は有効口径の特殊の場合である。
本発明の目的は、ミソシエルシン干渉計のような干渉計
における可動性鏡の角運動により生ずる波長誤差を減少
させることである。
における可動性鏡の角運動により生ずる波長誤差を減少
させることである。
本発明によれば、エネルギの損失なしに可動性鏡に衝突
するビームの有効幅を減少させることにより、ミソシェ
ルソン干渉針のような干渉計における可動性鏡の角運動
により生ずる波長誤差を減少させる装置およびその方法
が提供され、その構成については特許請求の範囲第1項
および第5項に記載する。
するビームの有効幅を減少させることにより、ミソシェ
ルソン干渉針のような干渉計における可動性鏡の角運動
により生ずる波長誤差を減少させる装置およびその方法
が提供され、その構成については特許請求の範囲第1項
および第5項に記載する。
第1図は本発明による装置1oを示し、これは干渉計2
0および光源Sと組み合せて、焦点鏡22と、焦点鏡2
2の有効口径B1 よりも幅狭い平向ビームB2を発生
させる視準鏡24と所望に応じビームB2における試料
セルA1とを備え、前記干渉計20はビームスプリッタ
26と固定鏡28と可動性鏡30と所望に応じ斜行鏡3
2とを備え、さらにこの装置は所望に応じ他の試料セル
ALと第2焦点鏡34と検知器りとを備える。
0および光源Sと組み合せて、焦点鏡22と、焦点鏡2
2の有効口径B1 よりも幅狭い平向ビームB2を発生
させる視準鏡24と所望に応じビームB2における試料
セルA1とを備え、前記干渉計20はビームスプリッタ
26と固定鏡28と可動性鏡30と所望に応じ斜行鏡3
2とを備え、さらにこの装置は所望に応じ他の試料セル
ALと第2焦点鏡34と検知器りとを備える。
本発明の1つの利点は、光学系が出力の増大において極
めて効率的であり、かつ本発明に到るまでは従来無益と
考えられていた分野に極めて有利に使用しうろことであ
る。たとえば、第1図は焦点鏡22で示されるように楕
円を特徴とする。第1図は決して本発明の唯一の実施例
ではない。
めて効率的であり、かつ本発明に到るまでは従来無益と
考えられていた分野に極めて有利に使用しうろことであ
る。たとえば、第1図は焦点鏡22で示されるように楕
円を特徴とする。第1図は決して本発明の唯一の実施例
ではない。
第6図は本発明の他の実施例を示し、装置40における
光学系は干渉計50と光源Sとの組み合せ、第1規準鏡
52、第1焦点鏡54、この第1規準鏡の有効口径Bl
(平向ビーム)よりも幅狭い平向ビームBLを発生す
る第2規準鏡56、所望に応じビームB2における試料
セルA1 からなり、干渉計50はビームスプリンタ5
8と固定鏡60と可動性鏡62と所望に応じ斜行鏡64
とを備え、さらに所望に応じ他の試料セルA2と第2焦
点鏡66と検知器りとを備える。さらに、第1図および
第6図の装置を組み合せて、さらに狭いビームを発生さ
せることもできる。その他の設削ば、本発明に基づき当
業者には明らかであろう。
光学系は干渉計50と光源Sとの組み合せ、第1規準鏡
52、第1焦点鏡54、この第1規準鏡の有効口径Bl
(平向ビーム)よりも幅狭い平向ビームBLを発生す
る第2規準鏡56、所望に応じビームB2における試料
セルA1 からなり、干渉計50はビームスプリンタ5
8と固定鏡60と可動性鏡62と所望に応じ斜行鏡64
とを備え、さらに所望に応じ他の試料セルA2と第2焦
点鏡66と検知器りとを備える。さらに、第1図および
第6図の装置を組み合せて、さらに狭いビームを発生さ
せることもできる。その他の設削ば、本発明に基づき当
業者には明らかであろう。
本発明の特に重要な利点をここに示す。光B:Lの比較
的狭いビームの使用は、可動性鏡に対する動揺の許容性
を緩和する。所定の光束密度(強度)のビームが可動性
鏡に衝突する場合、鏡運動において角度歪み(すなわぢ
動揺)が、生じないことが重要である。鏡が正確に平向
移動しない場合、干渉波長における歪みが生ずる。
的狭いビームの使用は、可動性鏡に対する動揺の許容性
を緩和する。所定の光束密度(強度)のビームが可動性
鏡に衝突する場合、鏡運動において角度歪み(すなわぢ
動揺)が、生じないことが重要である。鏡が正確に平向
移動しない場合、干渉波長における歪みが生ずる。
事実、干渉計の有用性は、この歪みがλ/10よりもず
っと大きい場合に著しく阻害される。
っと大きい場合に著しく阻害される。
その結果、現在製造業者は鏡の運動における平向性を保
証するよう努力している。 ゛しかしながら、同一の鏡
につき同一の光束密度(強度)の狭いビームを使用する
場合、鏡の運動における同じ量の動揺(すなわち角度変
位)はずっと少ない歪みを検知器へ移動させる。何故な
ら、歪みの増加または減少(他の全ての因子は同一であ
るとする)は数学的にビームの幅の比となるからである
。すなわち、これは形成される相似三角形の各月の測定
値の比、ずなわちλ1/λ2.=B I/BLである。
証するよう努力している。 ゛しかしながら、同一の鏡
につき同一の光束密度(強度)の狭いビームを使用する
場合、鏡の運動における同じ量の動揺(すなわち角度変
位)はずっと少ない歪みを検知器へ移動させる。何故な
ら、歪みの増加または減少(他の全ての因子は同一であ
るとする)は数学的にビームの幅の比となるからである
。すなわち、これは形成される相似三角形の各月の測定
値の比、ずなわちλ1/λ2.=B I/BLである。
第7図はその詳細を示している。可動性鏡Mの2つの位
置Mz、aおよびM、、bは角度「a」の動揺を示して
いる。ビームB2はより小さい点(すなわち鏡に沿った
小さい範囲の点)に衝突するので、変位λヱは任意所定
の角度raJにつき幅広ビームB1 に対する変位λf
よりも比例的に小さい。
置Mz、aおよびM、、bは角度「a」の動揺を示して
いる。ビームB2はより小さい点(すなわち鏡に沿った
小さい範囲の点)に衝突するので、変位λヱは任意所定
の角度raJにつき幅広ビームB1 に対する変位λf
よりも比例的に小さい。
したがって、同一光束密度の2つの光ビームが存在すれ
ば、ビームが幅狭い程、−このビームが可動性鏡に衝突
する際のλの変化が小さくなり、かつ歪量も小さくなる
と言える。
ば、ビームが幅狭い程、−このビームが可動性鏡に衝突
する際のλの変化が小さくなり、かつ歪量も小さくなる
と言える。
第1図に示した装置10により幾つかの他の利点も得ら
れる。先ず、出力における損失がない。同一光源を使用
しかつ同一の放物線鏡を使用すれば、検知器に焦点を合
せる入射光線(比較の目的で試料セルは全ての場合、空
とする)は第2図、第3図、第4図および第6図におい
て同じ強度を有し、第1表面鏡からの損失は無視できる
。
れる。先ず、出力における損失がない。同一光源を使用
しかつ同一の放物線鏡を使用すれば、検知器に焦点を合
せる入射光線(比較の目的で試料セルは全ての場合、空
とする)は第2図、第3図、第4図および第6図におい
て同じ強度を有し、第1表面鏡からの損失は無視できる
。
かくして、本発明の新規性は小型エンベロブにおける任
意の形状の光学系から放出される光束密度を制御し、か
くして小型鏡にも使用しうろことである。さらに、小型
エンベロブは、多くの試料セルおよび複数光路配置を介
して、焦点合せすることなく直接に送ることができる。
意の形状の光学系から放出される光束密度を制御し、か
くして小型鏡にも使用しうろことである。さらに、小型
エンベロブは、多くの試料セルおよび複数光路配置を介
して、焦点合せすることなく直接に送ることができる。
さらに、二重光路系で使用することもできる。
第8図は第6図の装置と同様な装置600を示し、ただ
し、この場合は固定鏡630が隣接する二重鎖630の
単位列とすることができ、さらに可動性鏡632は固定
鏡に対し補完関係で対向する隣接三面鏡632′の同様
な単位列とすることができる。
し、この場合は固定鏡630が隣接する二重鎖630の
単位列とすることができ、さらに可動性鏡632は固定
鏡に対し補完関係で対向する隣接三面鏡632′の同様
な単位列とすることができる。
この図面は、ビームB1 よりモ狭いビームBλがどの
ようにして小さい空間中で極めて長い光路差を達成しう
るかを示している。可動性鏡を1cmの光路差で移動さ
せると、光路差は配置における1つ少ない鏡数の2倍と
なり、すなわち0、P、D、−2(n−1)となる(こ
こでnば鏡数に等しい)。使用する鏡数を装置設計者の
希望に応じて増加させうろことが当業者には明らかであ
ろう。極めて狭いビームは小型鎮を可能にするので、多
数の鏡を容易に使用して極めて長い光路差を形成しうろ
ことが明らかである。このことは、cmの逆数で表わし
て、解像カーI 10. P、 Dcm−1の関係が、
干渉計における長い光路を有することが極めて望ましい
ことを示すので重要である。
ようにして小さい空間中で極めて長い光路差を達成しう
るかを示している。可動性鏡を1cmの光路差で移動さ
せると、光路差は配置における1つ少ない鏡数の2倍と
なり、すなわち0、P、D、−2(n−1)となる(こ
こでnば鏡数に等しい)。使用する鏡数を装置設計者の
希望に応じて増加させうろことが当業者には明らかであ
ろう。極めて狭いビームは小型鎮を可能にするので、多
数の鏡を容易に使用して極めて長い光路差を形成しうろ
ことが明らかである。このことは、cmの逆数で表わし
て、解像カーI 10. P、 Dcm−1の関係が、
干渉計における長い光路を有することが極めて望ましい
ことを示すので重要である。
反復再現性については、上記三面鏡の単位列は容易に作
成できる。
成できる。
この図面における基本的思想を盛り込んだ他の方式も当
業者により使用することができる。
業者により使用することができる。
これら実施例において、図示した凹面鏡は慣用の抛物面
とすることができ、ただし第1図に示したように、焦点
部材は楕円形である。
とすることができ、ただし第1図に示したように、焦点
部材は楕円形である。
入射ビームの大きさの減少は、鏡の動揺または傾斜を比
例的に改善する。ビームの強度は、幅狭になると1/R
2−だけ増大して、ビームを衝突させる可動性鎮を第1
集光光学系の有効口径の95%よりもずっと低い値まで
狭くするので、幅狭となる程ゲインが下限値まで増大す
るという顕著な利点をもたらす。
例的に改善する。ビームの強度は、幅狭になると1/R
2−だけ増大して、ビームを衝突させる可動性鎮を第1
集光光学系の有効口径の95%よりもずっと低い値まで
狭くするので、幅狭となる程ゲインが下限値まで増大す
るという顕著な利点をもたらす。
ビームを狭くする際のゲインに対する下限値は口径の回
折依存性により付与され、円形の口径については1,2
2λ/aにおいて最初の最小値が生ずる。円形の口径に
おりる波長依存性は当業者に対し明白な事実である。
折依存性により付与され、円形の口径については1,2
2λ/aにおいて最初の最小値が生ずる。円形の口径に
おりる波長依存性は当業者に対し明白な事実である。
以上、本発明を好適実施例につき説明したが本発明はこ
れらのみに限定されず、本発明の思想および範囲を逸脱
することなく多くの設計変更をなしうろことが了解され
よう。
れらのみに限定されず、本発明の思想および範囲を逸脱
することなく多くの設計変更をなしうろことが了解され
よう。
本発明の」二記構成によれば、可動性鏡の角運動により
生ずる波長誤差を減少させ、強度を増大させるのに極め
て有効な光学系が得られる。
生ずる波長誤差を減少させ、強度を増大させるのに極め
て有効な光学系が得られる。
第1図は本発明による装置の好適実施例の略図であり、
第2図は従来の干渉計の略図であり、
第3図は従来の干渉計における他の具体例の略図であり
、 第4図は従来の干渉針におけるさらに他の具体例の略図
であり、 第5図は光学表面の口径を計算するだめの説明図であり
、 第6図は本発明による他の好適実施例の略図であり、 第7図はミソシェルソン干渉針におけるような可動性鏡
の2つの角度位置と狭いビームに対する広いビームによ
り生ずる比例的波長誤差を示す略図であり、 第8図は本発明の装置の実施例を示す略図である。 io、、、装置 20.、、干渉針 22、、、焦点鏡 24.、、視準鏡 2611、ビームスプリッタ 28.、、固定鏡30、
、、可動鏡 32.、、斜行鏡 34、、、焦点鏡 40.、、装置 50、、、干渉計 52. 、 、視準鏡54、、、焦
点鏡 56.、、視準鏡 58、、、ビームスプリンタ 60.、、固定鏡62、
、、可動性鏡 64.、、斜行鏡66、、、焦点鏡 6
00.、、装置 630、、、固定鏡 630.、、二重鎖632、、可
動性鏡 632. 、 、二重鎖1.−・“′! ′、・之;゛j
、 第4図は従来の干渉針におけるさらに他の具体例の略図
であり、 第5図は光学表面の口径を計算するだめの説明図であり
、 第6図は本発明による他の好適実施例の略図であり、 第7図はミソシェルソン干渉針におけるような可動性鏡
の2つの角度位置と狭いビームに対する広いビームによ
り生ずる比例的波長誤差を示す略図であり、 第8図は本発明の装置の実施例を示す略図である。 io、、、装置 20.、、干渉針 22、、、焦点鏡 24.、、視準鏡 2611、ビームスプリッタ 28.、、固定鏡30、
、、可動鏡 32.、、斜行鏡 34、、、焦点鏡 40.、、装置 50、、、干渉計 52. 、 、視準鏡54、、、焦
点鏡 56.、、視準鏡 58、、、ビームスプリンタ 60.、、固定鏡62、
、、可動性鏡 64.、、斜行鏡66、、、焦点鏡 6
00.、、装置 630、、、固定鏡 630.、、二重鎖632、、可
動性鏡 632. 、 、二重鎖1.−・“′! ′、・之;゛j
Claims (6)
- (1)可動性鏡に照射線源からの平行照射線ビームを指
向させる手段を組み合せて備えるミ、7シエルシン干渉
計における可動性鏡の角運すJによりタトする波長歪み
を減少させる装置において、前記指向手段は第1平向ビ
ームをその全照射線と共に発生する手段と、前記第1平
向ビームにおける前記全照射線を焦点に合せる手段と、
焦点合せされた照射線から第2平向ビームをその全照射
線と共に所定位置で先付−シてミソシェルソン干渉計の
前記可動性tflに衝突させる手段とを組み合せて備え
、前記第1および第2平向ビームばそれぞれのビーノー
幅を有し、かつ第2平向ビームのビーム幅は第1平向ビ
ームのビーム幅よりも実質的に小さく、それにより前記
可動性鏡の角運動により生ずる波長歪みを減少さ−せる
ことを特許とする波長歪みの減少装置。 - (2)第1平向ビームの発生手段が照射線源からの照射
線を受けるよう位置せしめた第1凹面鏡であり、前記焦
点合せ手段が前記受は入れた照射線を焦点合せする輪郭
を有した第2凹面鏡であり、かつ所定位置に第2平向ヒ
ームを発生して前記可動性鏡に衝突させる手段が第3凹
面鏡である特許請求の範囲第1項記載の装置。 - (3)輻射エネルギのビームを反射するミ・7シエルシ
ン干渉計における可動性鏡の動揺により生ずる輻射エネ
ルギのビームにおける波長誤差を減少する装置において
、前記全ての輻射エネルギを含む第1幅の平向ビームを
発生ずる第1手段と、第1幅の前記平向ビームにおける
全幅躬エネルギを焦点合せする手段と、全輻射エネルギ
を含む第1幅よりも狭い第2幅の平向ビームを発生して
これを前記ミノシェルソン干渉計の可動性鏡に衝突させ
る手段とを組み合せて備えることを特徴とする特許誤差
の減少装置。 - (4) 平向ビームを発生ずる第1手段が第1凹面鏡で
あり、前記焦点合せ手段が第2凹面鏡であり、かつ平向
ビームを発生する第2手段が第3凹面鏡である特許請求
の範囲第3項記載の装置。 - (5)集光器の照射線源に関連する有効口径を介して輻
射エネルギのビームを受け入れて、これを平向ビームと
して可動性鏡に衝突させる、干渉計における可動性鏡の
運動誤差により生ずる波長歪みを減少させる方法におい
て、(a)有効口径よりも実質的に狭い幅を有する平向
ビームを有効口径を介して前記受は入れた輻射エネルギ
のビームから形成し、 (b)前記第1平向ビームではなく、前記幅狭の平向ビ
ームを前記可動性鏡に衝突させ、それにより可動性鏡の
運動誤差により生ずる波長歪みを減少させることを特徴
とする波長歪みの減少方法。 3 - (6) ミソシェルソン型干渉計の可動性鏡に衝突させ
るための輻射エネルギのビームにおけるエネルギ含有量
を保持すると共に、可動性鏡の運動に対し入射する波長
歪みを減少させる方法において、 (a)立体角を介し輻射エネルギのビームを集めて、そ
れに特性的である幅とエネルギ含有量とを有する第1平
向ビームを発生させ、 (b)前記第1平向ビームから、減少した幅と保持され
たエネルギ含有量とを有する第2平向ビームを発生させ
、かつ (c)前記可動性鏡の幅と整列する前記減少幅を有する
第2平向ビームを前記可動性鏡に衝突させ、前記輻射エ
ネルギのビームのエネルギ含有量を保持すると共に、前
記可動性鏡の運動に対し入射する波長歪みを減少させる ことを特徴とするエネルギ含有量の保持力、法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/548,667 US4601579A (en) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | High intensity Fourier spectrometer |
US548667 | 1995-10-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60113101A true JPS60113101A (ja) | 1985-06-19 |
JPH0360367B2 JPH0360367B2 (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=24189865
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59230442A Granted JPS60113101A (ja) | 1983-11-04 | 1984-11-02 | 波長歪みの減少装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4601579A (ja) |
JP (1) | JPS60113101A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH01107905U (ja) * | 1988-01-13 | 1989-07-20 | ||
JP2007285872A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Mitsutoyo Corp | 光路差増倍装置 |
JP2012524295A (ja) * | 2009-04-17 | 2012-10-11 | シーウェア システムズ | 光mems用途のためのオプトメカニカル光路遅延乗算器 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63502617A (ja) * | 1986-02-21 | 1988-09-29 | マイダック・コ−ポレ−ション | 簡易化された構造を有する経済的な分光計装置 |
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US5644125A (en) * | 1994-11-23 | 1997-07-01 | Research Foundation Of State University Ny | Spectrometer employing a Mach Zehnder interferometer created by etching a waveguide on a substrate |
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JP4642525B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2011-03-02 | オリンパス株式会社 | 多光子励起型観察装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3216314A (en) * | 1961-09-21 | 1965-11-09 | Olympus Optical Co | Interference comparator system having beam splitter means and reference reflector means |
DE2418931A1 (de) * | 1973-04-20 | 1974-11-21 | Carn Patrick | Verfahren zum formen eines pneumatischen reifens mit breiter laufflaeche |
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-
1983
- 1983-11-04 US US06/548,667 patent/US4601579A/en not_active Expired - Fee Related
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1984
- 1984-11-02 JP JP59230442A patent/JPS60113101A/ja active Granted
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0360367B2 (ja) | 1991-09-13 |
US4601579A (en) | 1986-07-22 |
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