JPS6010614B2 - 露光フレ−ム - Google Patents
露光フレ−ムInfo
- Publication number
- JPS6010614B2 JPS6010614B2 JP52142121A JP14212177A JPS6010614B2 JP S6010614 B2 JPS6010614 B2 JP S6010614B2 JP 52142121 A JP52142121 A JP 52142121A JP 14212177 A JP14212177 A JP 14212177A JP S6010614 B2 JPS6010614 B2 JP S6010614B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strip
- frame
- circuit board
- holder
- spacer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
- Screen Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、活性線に露出するための感光性材料を被覆し
た基板上に像担持透明体を整列し整合保持するのに有用
な露光フレームに関するものである。
た基板上に像担持透明体を整列し整合保持するのに有用
な露光フレームに関するものである。
透明画からの像を感光性受像要素上へ露光させることが
いよいよ必要である。
いよいよ必要である。
このような受像要素は、印刷回路板、導電性箔、エッチ
ングに使用するェレメント等である。実際には、この種
の受像要素は、焼付けフレームまたはそれに類似する装
置における像担持透明体と接触させられ特殊な光源に露
光される。印刷回路板の場合には、その回路板は一般に
は所定の配列の孔を有するように予め加工される。特に
、いくつかの回路板を連続的に露光するような場合は、
良好な整合すなわち透明体と回路板との間の正確な整合
を確実に行なうのが難しい。両面印刷回路板ともなると
問題が複雑である。これらの場合には、一般には2つの
透明体を使用して両面から同時に露光を行なう。従って
、回路板の両面において良好な整合がなされねばならな
い。そのような良好な整合を得るためには、印刷回路板
と透明体(通常、当業分野では光マスクと称される)と
を目視しながら整列させ、透明体を接着テープで回路板
に固定する方法がとられた。
ングに使用するェレメント等である。実際には、この種
の受像要素は、焼付けフレームまたはそれに類似する装
置における像担持透明体と接触させられ特殊な光源に露
光される。印刷回路板の場合には、その回路板は一般に
は所定の配列の孔を有するように予め加工される。特に
、いくつかの回路板を連続的に露光するような場合は、
良好な整合すなわち透明体と回路板との間の正確な整合
を確実に行なうのが難しい。両面印刷回路板ともなると
問題が複雑である。これらの場合には、一般には2つの
透明体を使用して両面から同時に露光を行なう。従って
、回路板の両面において良好な整合がなされねばならな
い。そのような良好な整合を得るためには、印刷回路板
と透明体(通常、当業分野では光マスクと称される)と
を目視しながら整列させ、透明体を接着テープで回路板
に固定する方法がとられた。
しかしながら、この方法はそれほど正確ではなくある程
度は作業者の技術に依存している。その上、この方法は
めんどうであり能率の低いものである。このような目視
による整列方法の欠点を一部でも除去するために、光マ
スクおよび回路板とをそれらの各々に設けた整列孔を介
して一緒に保持するための保持ピンを使用する方法が提
案されている。
度は作業者の技術に依存している。その上、この方法は
めんどうであり能率の低いものである。このような目視
による整列方法の欠点を一部でも除去するために、光マ
スクおよび回路板とをそれらの各々に設けた整列孔を介
して一緒に保持するための保持ピンを使用する方法が提
案されている。
勿論、複写されるべきパターンが回路板の孔と一致した
状態に維持されるように十分な精度で整列孔が印刷回路
板と光マスクとに配設されていろはらば、少なくとも原
理的には、回路板を置き換える時の所望な整合再現性は
この方法で達成されうる。しかし、この方法の欠点は、
一旦孔あげさると、光マスクはもはや回路板に対して調
整することができず「従って、孔あげおよび印刷回路板
と透明体との間の製造公差による不整列を修正すること
ができないということである。このような欠点のため、
非常に多くの廃棄作業や再仕上げ作業が必要とされてし
まう。ドイツ国特許出願公開公報第2330726号に
は、単一および両面印刷回路板を露光するための装置が
開示されている。
状態に維持されるように十分な精度で整列孔が印刷回路
板と光マスクとに配設されていろはらば、少なくとも原
理的には、回路板を置き換える時の所望な整合再現性は
この方法で達成されうる。しかし、この方法の欠点は、
一旦孔あげさると、光マスクはもはや回路板に対して調
整することができず「従って、孔あげおよび印刷回路板
と透明体との間の製造公差による不整列を修正すること
ができないということである。このような欠点のため、
非常に多くの廃棄作業や再仕上げ作業が必要とされてし
まう。ドイツ国特許出願公開公報第2330726号に
は、単一および両面印刷回路板を露光するための装置が
開示されている。
この装置は透明体を取り付ける手段を含む暁付けフレー
ムを備えている。この取付け手段は、透明体を接着しう
るフレーム内に作用面を備えており、その作用面は取付
けフレームの調整ねじによって一平面内にて2つの方向
に移動されうる。作用面を通る孔に整合ピンを通すこと
によって、露光されるべき印刷回路板を作用面に接着さ
れた透明体上で中心合せする。従って、整合ピンを挿入
しうるように印刷回路板と共に底部作用面に特別な整合
孔を形成しなければならない。この方法の欠点は、競付
けフレームの排除が複雑であり、新しい透明体を使用す
る度に再整合させ作用面に接着しなければならないとい
うことである。更に、透明体を保持する作用面を移動さ
せるのに使用されるちようねじはやつかし、なものであ
る。印刷回路板の整合孔は公差を全く有しないわけでは
ないので、回路板がいくらかずれてしまい、最初の良好
に整合された配置がくずれてしまうことがある。従って
、この装置では、実際の露光を行なう前に、試めし露光
を行なうのがよい。
ムを備えている。この取付け手段は、透明体を接着しう
るフレーム内に作用面を備えており、その作用面は取付
けフレームの調整ねじによって一平面内にて2つの方向
に移動されうる。作用面を通る孔に整合ピンを通すこと
によって、露光されるべき印刷回路板を作用面に接着さ
れた透明体上で中心合せする。従って、整合ピンを挿入
しうるように印刷回路板と共に底部作用面に特別な整合
孔を形成しなければならない。この方法の欠点は、競付
けフレームの排除が複雑であり、新しい透明体を使用す
る度に再整合させ作用面に接着しなければならないとい
うことである。更に、透明体を保持する作用面を移動さ
せるのに使用されるちようねじはやつかし、なものであ
る。印刷回路板の整合孔は公差を全く有しないわけでは
ないので、回路板がいくらかずれてしまい、最初の良好
に整合された配置がくずれてしまうことがある。従って
、この装置では、実際の露光を行なう前に、試めし露光
を行なうのがよい。
この装置を使用すると、特に、各整合後に1回またはそ
れ以上の試めし露光を必要とするならば、回路板の製造
公差を迅速且つ正確に補償するのが難しい。この方法の
もう1つ別の欠点は、印刷回路板のサイズが変わるたび
に底部作用面に再度孔あげして保持ピンを新たな位置に
挿通しなければならないということである。この結果、
底部作用面には露光領域内に常にくるようなきE常に多
くの孔を設けねさまならなくなる。このため、特に、小
さな印刷回路板からより大きな印刷回路板へ変えるよう
な場合には、露光の局部的変動が生じてしまう。本発明
の目的は、感光性層を有する印刷回路板の如き部材と透
明体とを目で調べながら手で整合するのを改良した装層
を提供することである。
れ以上の試めし露光を必要とするならば、回路板の製造
公差を迅速且つ正確に補償するのが難しい。この方法の
もう1つ別の欠点は、印刷回路板のサイズが変わるたび
に底部作用面に再度孔あげして保持ピンを新たな位置に
挿通しなければならないということである。この結果、
底部作用面には露光領域内に常にくるようなきE常に多
くの孔を設けねさまならなくなる。このため、特に、小
さな印刷回路板からより大きな印刷回路板へ変えるよう
な場合には、露光の局部的変動が生じてしまう。本発明
の目的は、感光性層を有する印刷回路板の如き部材と透
明体とを目で調べながら手で整合するのを改良した装層
を提供することである。
本発明による装置によれば、単一面露光でも両面同時露
光の場合でも、従来の装置よりも一層容易に且つより正
確に整合させることができる。また、本発明の装置によ
れば、謎めし露光の必要が減ぜられ、大量生産によって
予め孔あげした回路板を使用することができ、製造公差
を補償することができる。本発明によれば、これらの目
的を達成するために光マスクまたはマスクのためのホル
ダと印刷回路板ホルダとを含む頂部フレームおよび底部
フレームを有する凝付けフレームが使用される。
光の場合でも、従来の装置よりも一層容易に且つより正
確に整合させることができる。また、本発明の装置によ
れば、謎めし露光の必要が減ぜられ、大量生産によって
予め孔あげした回路板を使用することができ、製造公差
を補償することができる。本発明によれば、これらの目
的を達成するために光マスクまたはマスクのためのホル
ダと印刷回路板ホルダとを含む頂部フレームおよび底部
フレームを有する凝付けフレームが使用される。
光マスクホルダは回路板ホルダに対して独立に調整しう
るものであり、また、光マスクホルダと回路板ホルダと
はいずれも底部フレームに対して独立に調整しうるもの
である。回路板ホルダは、印刷回路板を光マスクに対し
てずらし回転させるように手動で操作されうる本質的に
自己ロック型の調整手段を備えている。光マスクホルダ
は、一方の縁部に沿って印刷回路板に衝接するスベーサ
を含んでいる。従って本発明によれば、従来装置と比較
してまず競付けフレームにおいて光マスクと印刷回路板
とをだいたい整列させ、この粗い整合状態を維持するよ
うに碗付けフレームに設けられた案内装置をロックし、
それから、回路板保持装置に設けられる微調整型機構を
目で見ながら手動調整によって精密な整合を達成するこ
とができる。
るものであり、また、光マスクホルダと回路板ホルダと
はいずれも底部フレームに対して独立に調整しうるもの
である。回路板ホルダは、印刷回路板を光マスクに対し
てずらし回転させるように手動で操作されうる本質的に
自己ロック型の調整手段を備えている。光マスクホルダ
は、一方の縁部に沿って印刷回路板に衝接するスベーサ
を含んでいる。従って本発明によれば、従来装置と比較
してまず競付けフレームにおいて光マスクと印刷回路板
とをだいたい整列させ、この粗い整合状態を維持するよ
うに碗付けフレームに設けられた案内装置をロックし、
それから、回路板保持装置に設けられる微調整型機構を
目で見ながら手動調整によって精密な整合を達成するこ
とができる。
本発明の更に別の効果は、印刷回路板の両面を同時露光
する場合、すなわち、1つの光マスクを回路板の一方の
面に配置しもう1つの光マスクを回路板の他方の面に配
置する場合に、それら2つの光マスが互いに対して整列
され印刷回路板が上部光マスクと正確に整列するまでず
らされまた回転されるようにそれら2つの光マスクが光
マスクホルダに設置され一緒に保持されるということで
ある。それら2つの光マスクは移動されずすでに予め整
合されているので、底部光マスクと印刷回路板との整合
が自動的になされる。光マスクに対して回路板を一度だ
け整列させる必要があることは別にして、この回路板の
整列中に他方の光マスクが回路板に対してずれてしまう
可能性は少なくなる。燐付けフレームの底部パネルにも
カバーパネルにも全く孔が設けられないので、そのよう
な孔のために露光欠陥の生ずることがなくなる。また、
塵挨粒子がそのような孔の中またはそのまわりに付着し
て除去し得なくなるようなこともなくなる。操作者は、
整合させるために基本的に自己ロック型の調整手段を操
作するだけでよい。本発明による装置は、例えばドイツ
国特許出願公告公報第2060827号に開示された装
置のような種々な型の露光複写装置と関連して使用して
有用である。作用領域内に孔がないので、装置を真空フ
レームに使用し真空を引く時に光マスクと燐付けフレー
ムパネルとの間に気泡が形成されるという問題がない。
本発明の好ましい実施例では、光マスクホルダと回路板
ホルダとが組み合せられた回路板と光マスクとの対向端
に配設される。
する場合、すなわち、1つの光マスクを回路板の一方の
面に配置しもう1つの光マスクを回路板の他方の面に配
置する場合に、それら2つの光マスが互いに対して整列
され印刷回路板が上部光マスクと正確に整列するまでず
らされまた回転されるようにそれら2つの光マスクが光
マスクホルダに設置され一緒に保持されるということで
ある。それら2つの光マスクは移動されずすでに予め整
合されているので、底部光マスクと印刷回路板との整合
が自動的になされる。光マスクに対して回路板を一度だ
け整列させる必要があることは別にして、この回路板の
整列中に他方の光マスクが回路板に対してずれてしまう
可能性は少なくなる。燐付けフレームの底部パネルにも
カバーパネルにも全く孔が設けられないので、そのよう
な孔のために露光欠陥の生ずることがなくなる。また、
塵挨粒子がそのような孔の中またはそのまわりに付着し
て除去し得なくなるようなこともなくなる。操作者は、
整合させるために基本的に自己ロック型の調整手段を操
作するだけでよい。本発明による装置は、例えばドイツ
国特許出願公告公報第2060827号に開示された装
置のような種々な型の露光複写装置と関連して使用して
有用である。作用領域内に孔がないので、装置を真空フ
レームに使用し真空を引く時に光マスクと燐付けフレー
ムパネルとの間に気泡が形成されるという問題がない。
本発明の好ましい実施例では、光マスクホルダと回路板
ホルダとが組み合せられた回路板と光マスクとの対向端
に配設される。
このようにすると、光マスクホルダおよび印刷回路板保
持装置に対する案内の特に好ましい相互作用が得られる
。その上、露光領域外にすべての保持装置を配置するこ
とが容易とされるので、保持装置の影が作用領域上へ投
射されてしまうようなことをなくすることができる。光
マスクホルダは「少なくとも2つの外側に延長する保持
ピンを有する薄い保持ストリップを備えている。
持装置に対する案内の特に好ましい相互作用が得られる
。その上、露光領域外にすべての保持装置を配置するこ
とが容易とされるので、保持装置の影が作用領域上へ投
射されてしまうようなことをなくすることができる。光
マスクホルダは「少なくとも2つの外側に延長する保持
ピンを有する薄い保持ストリップを備えている。
そのストリップは、底部フレームの2つの平行な縁部に
移動しうるように取り付けられ、印刷回路板ホルダを担
持したその第3の縁部と実質的に平行に底部フレームに
沿って移動されるようになっている。従って、接着手段
を必要とせずに光マスクホルダに光マスクを正確にしっ
かりと取り付けることができる。種々なサイズの光マス
クを使用する場合には、光マスクホルダに多数の保持ピ
ンを設け、光マスクの一方の側に孔あげして「光マスク
をそのホルダに配置する時にそれら保持ピンにそれらの
孔をはめるようにすることができる。必要ならば「その
ために光マスクに補強縁部を形成してもよい。更に本発
明によれば、印刷回路板と実質的に同じ厚さを有し実際
の保持ストリップと実質的に平行に延長するスべ−サが
光マスクホルダに設けられる。
移動しうるように取り付けられ、印刷回路板ホルダを担
持したその第3の縁部と実質的に平行に底部フレームに
沿って移動されるようになっている。従って、接着手段
を必要とせずに光マスクホルダに光マスクを正確にしっ
かりと取り付けることができる。種々なサイズの光マス
クを使用する場合には、光マスクホルダに多数の保持ピ
ンを設け、光マスクの一方の側に孔あげして「光マスク
をそのホルダに配置する時にそれら保持ピンにそれらの
孔をはめるようにすることができる。必要ならば「その
ために光マスクに補強縁部を形成してもよい。更に本発
明によれば、印刷回路板と実質的に同じ厚さを有し実際
の保持ストリップと実質的に平行に延長するスべ−サが
光マスクホルダに設けられる。
このスベーサは〜一組の平行なストリップ(互いに移動
しうるように相対した)であってよい。より詳細に述べ
るならば、このスベーサは、2つの部分、すなわち互い
に分離し同じ平面にて互いに平行に延長し取付けストリ
ップと接触ストリップとからなる。このスベーサにより
、上部光マスクは、光マスクと印刷回路板との取付け点
の間に遷移領域を与えることにより印刷回路上へ滑らか
にのせられるようにされる。印刷回路板は、正しい位置
に配置される時には「接触ストリップに衝接する。接触
ストリップは取付けストリップから外されるので、印刷
回路板を回転させたり移動させたりまたはその他の調整
を行なっても、光マスクと印刷回路板との間の遷移領域
の滑らかさはそこなわれない。従って、印刷回路板は、
光マスクをずらさずに整合のため上部光マスクの下に移
動されうる。また、暁付けフレームに真空を引く時にも
、光マスクと印刷回路板との間にはどんな相対移動も生
じない。接触ストリップがあるため回路板の綾部での可
榛‘性光マスクの引込みが防止される。スベーサを形成
している2つのストリップは、これらストリップを少し
だけ分離させておく圧縮ばねの如き可操性コネクタを使
用して互いに接続されるのが好ましい。そうすると、印
刷回路板の挿入が相当容易とされる。また、印刷回路板
は、ある圧力が及ぼされる回路板ホルダの保持素子と確
実に連続的に接触するようにされる。本発明の好ましい
実施例では、印刷回路板ホルダは、底部フレームの一方
の縁部上を走行するクロススライドのための2つの平行
な好ましくは滑動しうる支持体を備えている。各クロス
スライドは、印刷回路板を取り付けるための保持ピンを
担持している。印刷回路板は、各クロススライドのピン
を通すための孔をその縁部に備えるとよい。各スライド
は、燐付けフレーム内で底部フレームの平面と平行な平
面内にて2つの直行方向に保持ピソを微少移動させうる
調整機構を組み込んでいる。次に、添付図面に基づいて
本発明の実施例について本発明を詳細に説明する。
しうるように相対した)であってよい。より詳細に述べ
るならば、このスベーサは、2つの部分、すなわち互い
に分離し同じ平面にて互いに平行に延長し取付けストリ
ップと接触ストリップとからなる。このスベーサにより
、上部光マスクは、光マスクと印刷回路板との取付け点
の間に遷移領域を与えることにより印刷回路上へ滑らか
にのせられるようにされる。印刷回路板は、正しい位置
に配置される時には「接触ストリップに衝接する。接触
ストリップは取付けストリップから外されるので、印刷
回路板を回転させたり移動させたりまたはその他の調整
を行なっても、光マスクと印刷回路板との間の遷移領域
の滑らかさはそこなわれない。従って、印刷回路板は、
光マスクをずらさずに整合のため上部光マスクの下に移
動されうる。また、暁付けフレームに真空を引く時にも
、光マスクと印刷回路板との間にはどんな相対移動も生
じない。接触ストリップがあるため回路板の綾部での可
榛‘性光マスクの引込みが防止される。スベーサを形成
している2つのストリップは、これらストリップを少し
だけ分離させておく圧縮ばねの如き可操性コネクタを使
用して互いに接続されるのが好ましい。そうすると、印
刷回路板の挿入が相当容易とされる。また、印刷回路板
は、ある圧力が及ぼされる回路板ホルダの保持素子と確
実に連続的に接触するようにされる。本発明の好ましい
実施例では、印刷回路板ホルダは、底部フレームの一方
の縁部上を走行するクロススライドのための2つの平行
な好ましくは滑動しうる支持体を備えている。各クロス
スライドは、印刷回路板を取り付けるための保持ピンを
担持している。印刷回路板は、各クロススライドのピン
を通すための孔をその縁部に備えるとよい。各スライド
は、燐付けフレーム内で底部フレームの平面と平行な平
面内にて2つの直行方向に保持ピソを微少移動させうる
調整機構を組み込んでいる。次に、添付図面に基づいて
本発明の実施例について本発明を詳細に説明する。
図面に示した実施例においては、整列装置は、競付けフ
レーム1川こ設置されている。
レーム1川こ設置されている。
焼付けフレームIQ‘ま、底部フレーム11と「頂部フ
レ−0ム13とを備えている。底部フレーム】1さま極
久的に設置された光透過性剛性底部パネル12を有して
いる。頂部フレーム13は、極久的に設置された可榛‘
怪力バーパネル14を有している。頂部フレーム13は
、ヒンジアーム15によって底部タフレーム11に枢着
されており、底部フレーム11に対して気密関係を維持
するように置くことができる。底部パネル12の両側に
沿って、底部フレーム1 1の側片の一体部分として案
内溝16が延長し0ている。
レ−0ム13とを備えている。底部フレーム】1さま極
久的に設置された光透過性剛性底部パネル12を有して
いる。頂部フレーム13は、極久的に設置された可榛‘
怪力バーパネル14を有している。頂部フレーム13は
、ヒンジアーム15によって底部タフレーム11に枢着
されており、底部フレーム11に対して気密関係を維持
するように置くことができる。底部パネル12の両側に
沿って、底部フレーム1 1の側片の一体部分として案
内溝16が延長し0ている。
各側片にはガィまたはスライド17が滑動しうるように
設置され、そのスライド17は、底部パネル12上を横
切って延長したストリップ状光マスクホルダー8を挺持
するようになっている。案内溝16は、T字形断面形を
有しており、各スライド17も案内溝16に挿入され細
いヘッド22を有するねじボルトを使用して所定位置に
クロックされるようなT字形断面形を有している。この
ような構成は第3図により良く示されている。更に、各
スライド17は、カバーストリップ20が光マスクホル
ダ18に取り付けられうるように、取付けピン19を担
持している。光マスクホルダ18は、この実施例に示さ
れるように、底部パネル12上を横切って延長する約3
/1仇舷の厚さの薄い保持ストリップ21を備えている
。
設置され、そのスライド17は、底部パネル12上を横
切って延長したストリップ状光マスクホルダー8を挺持
するようになっている。案内溝16は、T字形断面形を
有しており、各スライド17も案内溝16に挿入され細
いヘッド22を有するねじボルトを使用して所定位置に
クロックされるようなT字形断面形を有している。この
ような構成は第3図により良く示されている。更に、各
スライド17は、カバーストリップ20が光マスクホル
ダ18に取り付けられうるように、取付けピン19を担
持している。光マスクホルダ18は、この実施例に示さ
れるように、底部パネル12上を横切って延長する約3
/1仇舷の厚さの薄い保持ストリップ21を備えている
。
保持ストリップ21は底部フレーム11に取り付けられ
た底部パネル12にのっている。保持ストリップ21の
頂部側には、上方にとがった多数の保持ピン23が担持
されている。光マスクホルダ18は付加的にスべ−サ2
4を備えている。このスベーサ24は、好ましい実施例
では、一対の平行ストリップ、詳細には、保持ピン23
の位置に対応した一連の細長い開孔26を有する燐付け
ストリップ25および接触ストリップ27を備えている
。縁部を互いに対向させている取付けストリップ25と
接触ストリップ27とは、間にジグザグ形のギャップ2
8を作り出すようにスカラップ形状の切込みを有するの
がよい。
た底部パネル12にのっている。保持ストリップ21の
頂部側には、上方にとがった多数の保持ピン23が担持
されている。光マスクホルダ18は付加的にスべ−サ2
4を備えている。このスベーサ24は、好ましい実施例
では、一対の平行ストリップ、詳細には、保持ピン23
の位置に対応した一連の細長い開孔26を有する燐付け
ストリップ25および接触ストリップ27を備えている
。縁部を互いに対向させている取付けストリップ25と
接触ストリップ27とは、間にジグザグ形のギャップ2
8を作り出すようにスカラップ形状の切込みを有するの
がよい。
このギャップ28のため、取付けストリップ25および
接触ストリップ27は、ある限定された仕方で互いの方
へ移動されうる。これらの取付けストリップ25および
接触ストリップ27は分離ギャップ28の各側の対称位
置に挿入されたスプリング30によつ離間した状態に保
持される。光マスクホルダ18は、保持ピン23の位置
に対応する一連の細長い関孔31を設けたカバーストリ
ップ20であってもよい。カバーストリップ20の各端
部には、スライド17に配設された取付けピン19上に
置かれうる円形閥孔32がある。更に、中央に配設され
る保持ピン23を取り付けるための中心整列関孔が設け
られるとよい。好ましい実施例では、底部フレーム1
1の前縁には一体的案内溝33が形成されており、この
案内溝33にはスライド34が猪動的に配置される。
接触ストリップ27は、ある限定された仕方で互いの方
へ移動されうる。これらの取付けストリップ25および
接触ストリップ27は分離ギャップ28の各側の対称位
置に挿入されたスプリング30によつ離間した状態に保
持される。光マスクホルダ18は、保持ピン23の位置
に対応する一連の細長い関孔31を設けたカバーストリ
ップ20であってもよい。カバーストリップ20の各端
部には、スライド17に配設された取付けピン19上に
置かれうる円形閥孔32がある。更に、中央に配設され
る保持ピン23を取り付けるための中心整列関孔が設け
られるとよい。好ましい実施例では、底部フレーム1
1の前縁には一体的案内溝33が形成されており、この
案内溝33にはスライド34が猪動的に配置される。
頂部が広がった梯形状横断面形の案内レール35が、第
5図に示すように、案内溝33の底部に取り付けられて
いる。案内レール35は各スライド34の下側の対応す
るあり溝形凹部にはまり込む。この好ましい実施例では
、2つのスライド34が示されている。しかしながら、
いくつかの板を同時に露光するためには、案内溝33に
2つより多くのスライドを設けることも可能である。こ
の場合には、各回路板50に対して一組のスライド34
を使用することができる。第5図を参照するに、スライ
ド34の各々は、案内レール35上を糟敷しねじスピン
ドルおよびナール付作動ノブ38を組み込んだ調整機構
37(第2図に示す)を担持した外側本体36を有して
いる。
5図に示すように、案内溝33の底部に取り付けられて
いる。案内レール35は各スライド34の下側の対応す
るあり溝形凹部にはまり込む。この好ましい実施例では
、2つのスライド34が示されている。しかしながら、
いくつかの板を同時に露光するためには、案内溝33に
2つより多くのスライドを設けることも可能である。こ
の場合には、各回路板50に対して一組のスライド34
を使用することができる。第5図を参照するに、スライ
ド34の各々は、案内レール35上を糟敷しねじスピン
ドルおよびナール付作動ノブ38を組み込んだ調整機構
37(第2図に示す)を担持した外側本体36を有して
いる。
この調整機構37のためのねじスピンドルは、浮動支持
体39の内側にねじを切った空所にはまり込み、ノプ3
8を光マスクホルダの方へまたは光マスクホルダから遠
ざかる方向に回転させることによって支持体39はスラ
イド36内で移動されうるようになっている。更に、支
持体39は、ナール付調整ノブ41およびねじスピンド
ル42を含む第2の調整機構40を担持している。ねじ
スピンドル42は、浮動保持ピンキャリア43の内部に
ねじを切られた孔にはまり込み、保持ピンキャリァ43
はノブ41を回転することにより案内溝33に沿った方
向において支持体39に沿って滑動するように調整され
うるようになっている。調整可能性および方向は、矢印
44によって第1図および第2図に示されている。各保
持ピンキャリア43は保持ピン45を有している。スラ
イド34は、更に、案内レール36にスライドをロック
するように手動操作されうる締付けねじ47を有する縦
付けジョー46を備えている。好ましい実施例では、こ
の板の両側面には、例えば銅の如き導電性材料層が被覆
されている。
体39の内側にねじを切った空所にはまり込み、ノプ3
8を光マスクホルダの方へまたは光マスクホルダから遠
ざかる方向に回転させることによって支持体39はスラ
イド36内で移動されうるようになっている。更に、支
持体39は、ナール付調整ノブ41およびねじスピンド
ル42を含む第2の調整機構40を担持している。ねじ
スピンドル42は、浮動保持ピンキャリア43の内部に
ねじを切られた孔にはまり込み、保持ピンキャリァ43
はノブ41を回転することにより案内溝33に沿った方
向において支持体39に沿って滑動するように調整され
うるようになっている。調整可能性および方向は、矢印
44によって第1図および第2図に示されている。各保
持ピンキャリア43は保持ピン45を有している。スラ
イド34は、更に、案内レール36にスライドをロック
するように手動操作されうる締付けねじ47を有する縦
付けジョー46を備えている。好ましい実施例では、こ
の板の両側面には、例えば銅の如き導電性材料層が被覆
されている。
この導電性材料層上には、ホトレジスト層の如き感光性
複写層が積層されており、これは電子部品を最終的に取
り付けるための孔あげが予めなされているとよい。感光
性層は、所望位置の銅被覆を除去する前に、板の各側に
配設される光マスク51および光マスク52を用いて像
露光される。この板をスライドピン45に取り付けるた
めに、板にはその緑部の一方に沿って2つの整列孔53
が設けられている。光マスク51および52は、板の両
側に配段されるもので、その各々には整列孔55が配設
される保持縁54が設けられている。必要ならば、光マ
スクの孔のまわりには薄い箔補強が施されるとよい。こ
のような補強は金属またはプラスチックまたはその他の
適当な材料であってよい。本装置は次のようにして使用
されうる。
複写層が積層されており、これは電子部品を最終的に取
り付けるための孔あげが予めなされているとよい。感光
性層は、所望位置の銅被覆を除去する前に、板の各側に
配設される光マスク51および光マスク52を用いて像
露光される。この板をスライドピン45に取り付けるた
めに、板にはその緑部の一方に沿って2つの整列孔53
が設けられている。光マスク51および52は、板の両
側に配段されるもので、その各々には整列孔55が配設
される保持縁54が設けられている。必要ならば、光マ
スクの孔のまわりには薄い箔補強が施されるとよい。こ
のような補強は金属またはプラスチックまたはその他の
適当な材料であってよい。本装置は次のようにして使用
されうる。
1 光マスクマスク51,52の準備
両側被覆された印刷回路板50の両面露光のために必要
とされる光マスク51および52は、まず、光ボックス
またはこれに類似する装置の前に配置され互いに対して
整列される。
とされる光マスク51および52は、まず、光ボックス
またはこれに類似する装置の前に配置され互いに対して
整列される。
これを容易にするためには光マスクにマークを施してお
くとよい。このような整列を行なった後、光マスク51
および52は、保持ストリップ21の保持ピン23の配
置に対応する位置に、精密せん孔器で一緒に保持された
状態でせん孔される。このせん孔後、印刷回路板の下側
に対応する下方光マスク51が、孔26を整列させるた
め保持ストリップ21の保持ピン23に配置される。次
に、他方(上方)の光マスク52がスべ−サ24を2つ
の光マスクの間に入れた状態で、保持ピン23蔓こ配置
される。カバーストリップ20が、最後にしサンドイッ
チ状構造体の上部上に配置され「ガラススライド亀7の
取付けピン19上へ円形端孔32を挿入することによっ
て固定される。ロ 露光されるべき材料の第1の印刷回
路板50の取付けおよび調整感光性ホトレジスト層を上
面に有する銅層を両側面に備えたェポキシまたはファイ
バガラス板からなる印刷回路に有用なホトレジスト板で
あってよい回路板50‘ま、本体36に配置されたピン
45に整列孔を用いて配置される。
くとよい。このような整列を行なった後、光マスク51
および52は、保持ストリップ21の保持ピン23の配
置に対応する位置に、精密せん孔器で一緒に保持された
状態でせん孔される。このせん孔後、印刷回路板の下側
に対応する下方光マスク51が、孔26を整列させるた
め保持ストリップ21の保持ピン23に配置される。次
に、他方(上方)の光マスク52がスべ−サ24を2つ
の光マスクの間に入れた状態で、保持ピン23蔓こ配置
される。カバーストリップ20が、最後にしサンドイッ
チ状構造体の上部上に配置され「ガラススライド亀7の
取付けピン19上へ円形端孔32を挿入することによっ
て固定される。ロ 露光されるべき材料の第1の印刷回
路板50の取付けおよび調整感光性ホトレジスト層を上
面に有する銅層を両側面に備えたェポキシまたはファイ
バガラス板からなる印刷回路に有用なホトレジスト板で
あってよい回路板50‘ま、本体36に配置されたピン
45に整列孔を用いて配置される。
第1の段階として、ガイドレール35に沿って両スライ
ド34を滑動させ且つストリップ状光マスクホルダ亀8
を移動させることによって、光マスクと板とがフレーム
の中央にだいたい整列するように回路板を光マスクに対
してだいたい整列させる。そして、スライド17はT字
形クランプおよびねじ47(第3図参照)を使用してロ
ックされ、スライド34はクランプ46を使用して所定
位置にロックされる。このような準備段階としての粗い
整列の後、2つのスライド34の微調整型整列手段37
および40は、回路板50の予め設けられた孔またはそ
の他の指示手段が光マスク52の対応するマークと正確
に整列するように調整される。
ド34を滑動させ且つストリップ状光マスクホルダ亀8
を移動させることによって、光マスクと板とがフレーム
の中央にだいたい整列するように回路板を光マスクに対
してだいたい整列させる。そして、スライド17はT字
形クランプおよびねじ47(第3図参照)を使用してロ
ックされ、スライド34はクランプ46を使用して所定
位置にロックされる。このような準備段階としての粗い
整列の後、2つのスライド34の微調整型整列手段37
および40は、回路板50の予め設けられた孔またはそ
の他の指示手段が光マスク52の対応するマークと正確
に整列するように調整される。
光マスクは、活性領域において不透明な領域において可
視光波長に対して透明でもよく透明でなくてもよい。必
要な時には、2つのスライド34の一方を他方よりも一
方向により多く移動させることによって回路板50を回
転させることができる。このような微調整中、接触スト
リップ27は回路板から決して離れずに移動しうる。何
故ならば、その接触綾部29がスプリング30を介して
印刷回路板に対して偏橋されているからである。スライ
ド34にて調整機構37および40が不必要に移動して
しまうのを防止するため、これらの調整機構は比較的重
くまたはわずかに縦りばめとなるようにされるとよい。
また、整列が行なわれた時に締め付けられうるような付
加的なロックナットまたはその他の締付け手段(図示し
ていない)を調整スピンドル42に設置することもでき
る。皿 複写されるべき材料の露光 頂部フレーム13は閉じられ露光のために底部フレーム
11にロックされる。
視光波長に対して透明でもよく透明でなくてもよい。必
要な時には、2つのスライド34の一方を他方よりも一
方向により多く移動させることによって回路板50を回
転させることができる。このような微調整中、接触スト
リップ27は回路板から決して離れずに移動しうる。何
故ならば、その接触綾部29がスプリング30を介して
印刷回路板に対して偏橋されているからである。スライ
ド34にて調整機構37および40が不必要に移動して
しまうのを防止するため、これらの調整機構は比較的重
くまたはわずかに縦りばめとなるようにされるとよい。
また、整列が行なわれた時に締め付けられうるような付
加的なロックナットまたはその他の締付け手段(図示し
ていない)を調整スピンドル42に設置することもでき
る。皿 複写されるべき材料の露光 頂部フレーム13は閉じられ露光のために底部フレーム
11にロックされる。
このような露光の前に焼付けフレームに対して真空がひ
かれる。真空引きの結果、可榛性カバーパネル14は2
つの光マスク51,52およびこれらの間に配置された
回路板50の組合せ体に押圧される。接触縁29を有す
る接触ストリップ27が回路板50の縁部に対してしっ
かりと配談され分離ギャップ28がスカラップ形または
ジグザグ形とされているので、真空引きによる頂部光マ
スクのたれ込みは防止される。底部フレーム11上のガ
ラス板であってよい底部パネル12および頂部フレーム
13上の透明な可榛・性カバーパネル14を通して両側
から露光が行なわれる。この露光後、真空を解除し、次
の処理のためフレームから回路板50を取り外す。N
スべ−サ24の機館 スべ−サ24は最初に真空が引かれる時に整列状態がず
れてしまうようになる整列マスクの曲りを防止するため
積層回路板50と同じ厚さを有している。
かれる。真空引きの結果、可榛性カバーパネル14は2
つの光マスク51,52およびこれらの間に配置された
回路板50の組合せ体に押圧される。接触縁29を有す
る接触ストリップ27が回路板50の縁部に対してしっ
かりと配談され分離ギャップ28がスカラップ形または
ジグザグ形とされているので、真空引きによる頂部光マ
スクのたれ込みは防止される。底部フレーム11上のガ
ラス板であってよい底部パネル12および頂部フレーム
13上の透明な可榛・性カバーパネル14を通して両側
から露光が行なわれる。この露光後、真空を解除し、次
の処理のためフレームから回路板50を取り外す。N
スべ−サ24の機館 スべ−サ24は最初に真空が引かれる時に整列状態がず
れてしまうようになる整列マスクの曲りを防止するため
積層回路板50と同じ厚さを有している。
スベーサ24と回路板50との間に空間がないようにし
なければならない。上述したような2片スベーサ24を
使って取付けストリップ25がピン23にしっかりと保
持されるようにすることによって、空間がないようにす
ることができる。接触ストリップ27が取付けストリッ
プ25に対してスプリング偏俗されその後鰍縁29が回
路板50の縁に対綾するようにして配置されているので
、回路板とスベーサ24との間には空間はほとんどまた
は全く生じない。更に、好ましい実施例に示した分離ギ
ャップ28のジグザグ形状のために真空引き中に頂部光
マスク52の曲がりや引張りが最4・となる。この分離
ギャップ28の形状を種々変形することができる。例え
ば、のこぎり歯状、正弦波状またはその他の類似の形状
とすることができる。しかしながら、ストリップ接触縁
29と平行な長い部分から離れているのが好ましい。V
別の回路板50の整列 1つの回路板50を露光して取り外した後、同じ型の更
に別の回路板がその装置に置かれる。
なければならない。上述したような2片スベーサ24を
使って取付けストリップ25がピン23にしっかりと保
持されるようにすることによって、空間がないようにす
ることができる。接触ストリップ27が取付けストリッ
プ25に対してスプリング偏俗されその後鰍縁29が回
路板50の縁に対綾するようにして配置されているので
、回路板とスベーサ24との間には空間はほとんどまた
は全く生じない。更に、好ましい実施例に示した分離ギ
ャップ28のジグザグ形状のために真空引き中に頂部光
マスク52の曲がりや引張りが最4・となる。この分離
ギャップ28の形状を種々変形することができる。例え
ば、のこぎり歯状、正弦波状またはその他の類似の形状
とすることができる。しかしながら、ストリップ接触縁
29と平行な長い部分から離れているのが好ましい。V
別の回路板50の整列 1つの回路板50を露光して取り外した後、同じ型の更
に別の回路板がその装置に置かれる。
この場合に、回路板の整列孔が正確に配設されているな
らばそれ以上調整する必要は全くない。しかしながら、
もしずれることがあるならば、スライド34上の調整機
構37および40をちよつと調整するだけですばやく修
正を行なうことができる。好ましい実施例では、ホトレ
ジスト板の両面露光する場合について説明したが、同じ
装置を使って片面露光を行なうこともできる。
らばそれ以上調整する必要は全くない。しかしながら、
もしずれることがあるならば、スライド34上の調整機
構37および40をちよつと調整するだけですばやく修
正を行なうことができる。好ましい実施例では、ホトレ
ジスト板の両面露光する場合について説明したが、同じ
装置を使って片面露光を行なうこともできる。
この場合には、底部光マスク51を省略でき、または、
その代りに、底部パネル12上に保護用フィルム片を配
置することができる。しかしながら、その整列は、頂部
光マスク52のみを使って前述したのと全く同じ‘こ行
なわれる。更に、本装置は、印刷回路のためのホトレジ
スト板の露光に使用するのに限らず、感光性受像素子に
対して整合させて濠担持透明体を複写する必要のあるよ
うなすべての種類の露光に使用しうるものである。
その代りに、底部パネル12上に保護用フィルム片を配
置することができる。しかしながら、その整列は、頂部
光マスク52のみを使って前述したのと全く同じ‘こ行
なわれる。更に、本装置は、印刷回路のためのホトレジ
スト板の露光に使用するのに限らず、感光性受像素子に
対して整合させて濠担持透明体を複写する必要のあるよ
うなすべての種類の露光に使用しうるものである。
添付図面の第1図は本発明の型の整列装置を有する競付
けフレームを内部をよく示すため一部を切り欠いて示し
た斜視図、第2図は第1図の一部拡大図、第3図は第2
図の3一3線断面図、第4図は第2図の4−4線断面図
、第5図はクロススライドハウジングを通して延長する
第1図の5一5線に沿った断面図であって明瞭とするた
め内側クロススライド部分を除去して示す断面図である
。 10・・「燐付けフレーム、11・・・底部フレーム、
12・・・底部パネル、13・・・頂部フレーム、14
・・・カバーパネル、15…ヒンジアーム、16…案内
溝、17…スライド、18…光マスクホルダ、19・・
・取付けピン、20・・・カバーストリップ、21・・
・保持ストリップ、22・・・ヘッド、23・・・保持
ピン、24・・・スべ−サ、25・・・取付けストリッ
プ、26,31…細長い孔、27・・・接触ストリップ
、28・・・分離ギャップ、29・・・接触綾部、30
・・・スプリング、32・・・円形孔、33・・・案内
溝、34・・・スライド、35・・・案内レール、36
・・・外側本体、37・・・調整機構、38・・・作動
ノブ、39・・・浮動支持体、40・・・調整機構、4
1・・・調整/ブ、42・・・ねじスピンドル、43・
・・浮動保持ピンキャリア、45・・・保持ピン、46
・・・縦付けジョ−、47・・・締付けねじ、50・・
・印刷回路板、51,52…光マスク、53,55・・
・整列孔、54・・・保持緑部。 内蜜.ブ拘り.2 行93 片9・ム 斤り.5
けフレームを内部をよく示すため一部を切り欠いて示し
た斜視図、第2図は第1図の一部拡大図、第3図は第2
図の3一3線断面図、第4図は第2図の4−4線断面図
、第5図はクロススライドハウジングを通して延長する
第1図の5一5線に沿った断面図であって明瞭とするた
め内側クロススライド部分を除去して示す断面図である
。 10・・「燐付けフレーム、11・・・底部フレーム、
12・・・底部パネル、13・・・頂部フレーム、14
・・・カバーパネル、15…ヒンジアーム、16…案内
溝、17…スライド、18…光マスクホルダ、19・・
・取付けピン、20・・・カバーストリップ、21・・
・保持ストリップ、22・・・ヘッド、23・・・保持
ピン、24・・・スべ−サ、25・・・取付けストリッ
プ、26,31…細長い孔、27・・・接触ストリップ
、28・・・分離ギャップ、29・・・接触綾部、30
・・・スプリング、32・・・円形孔、33・・・案内
溝、34・・・スライド、35・・・案内レール、36
・・・外側本体、37・・・調整機構、38・・・作動
ノブ、39・・・浮動支持体、40・・・調整機構、4
1・・・調整/ブ、42・・・ねじスピンドル、43・
・・浮動保持ピンキャリア、45・・・保持ピン、46
・・・縦付けジョ−、47・・・締付けねじ、50・・
・印刷回路板、51,52…光マスク、53,55・・
・整列孔、54・・・保持緑部。 内蜜.ブ拘り.2 行93 片9・ム 斤り.5
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 焼付フレーム内において真空が適用され続いて活性
線放射に露出されている間ずっとマスター像担持コピー
に隣接して一方の側面に少なくとも1つの感光性層を有
する積層部材を正しく重ね合せて置くように目視で且つ
手動で整列させて保持するための装置であって、 底部
フレームで該底部フレームに装着された底部パネルを備
えている底部フレームと、頂部フレームで前記底部フレ
ーム上に覆って置くことができるカバーパネルを備えて
いる頂部フレームとを有する真空焼付フレームと、 前
記積層部材を保持し且つ前記底部フレームと前記マスタ
ー像担持コピーとの両者に関して前記フレーム内で前記
積層部材の位置づけとを調整するための調整装置であっ
て該調整装置によって前記マスター像担持コピーと前記
積層部材とを正確に重ね合せて置くことができる調整装
置を備えた積層部材保持装置と、 前記積層部材には無
関係であるようにして前記マスター像担持コピーを装着
するために前記底部フレームに関して調整可能にされて
いるマスター像担持コピーホルダであって該ホルダには
前記積層部材に衝接するためのスペーサを含みそれによ
って該スペーサは前記マスター像担持コピーのための前
記ホルダから前記積層部材への円滑な遷移領域を形成し
ていて前記焼付フレーム内部に真空が適用される間ずっ
と前記マスター像担持コピーと前記積層部材との間の相
対的移動を阻止するためのマスター像担持コピーホルダ
とを備えていることを特徴とする装置。 2 前記マスターコピーホルダおよび積層部材保持装置
は、積層部材とマスターコピーとの組合せ体の対向縁部
に配設された特許請求の範囲第1項に記載の装置。 3 前記マスターコピーホルダは、上方に向いた少なく
とも2つの保持ピンを有する薄い保持ストリツを備えて
おり、この保持ストリツプは、前記底部フレームの2つ
の側縁に移動しうるように支持され且つ前記積層部材保
持装置を担持する前記底部フレームの縁部とほぼ平行に
前記底部パネル上に延長している特許請求の範囲第2項
に記載の装置。 4 前記マスターコピーホルダを移動しうるように支持
するための装置は前記底部フレームにロツクされうる特
許請求の範囲第3項に記載の装置。 5 前記底部フレームにはT字形断面を有する案内溝が
形成され、各案内溝には前記底部フレームに取り付けら
れうるT字形案内片を有する案内片が配置された特許請
求の範囲第4項に記載の装置。 6 前記マスターコピーホルダには前記積層部材と同じ
厚さを有し且つ実際の保持ストリツプとほぼ平行に延長
するスペーサが設けられ、このスペーサは、互いに対し
て移動しうる一対のストリツプ、すなわち、取付けスト
リツプおよび接触ストリツプからなり、前記取付けスト
リツプとの間には、その接触ストリツプの縁部と平行に
延長する領域から実質的に離れた分離キヤツプが形成さ
れている特許請求の範囲第3項、第4項または第5項に
記載の装置。 7 前記スペーサの前記2つのストリツプは、可撓性装
置によって互いに接続されている特許請求の範囲第6項
に記載の装置。 8 前記分離ギヤツプはジグザグ形状、のこぎり歯形状
またはその類似形状である特許請求の範囲第6項または
第7項に記載の装置。 9 前記マスターコピーホルダは、保持ピン列を有する
薄い保持ストリツプと、前記保持ピン配列に対応する好
ましくは細長い孔を有する2つの平行ストリツプによっ
て形成されるスペーサと、前記保持ストリツプおよびス
ペーサをカバーし且つ同じ配列の孔と少なくとも1つの
はめあいボアホールが設けられたカバーストリツプとを
備えた特許請求の範囲第1項ないし第8項のいずれかに
記載の装置。 10 前記カバーストリツプは両端部に付加的なボアホ
ールが設けられた特許請求の範囲第9項に記載の装置。 11 前記積層部材保持装置は、前記底部フレームの1
つの縁部にて移動しうる好ましくは同軸で平行な2つの
クロススライドを備え、各クロススライドは、前記積層
部材の縁領域に設けられたボアホールを用いてその積層
部材を取り付けるための保持ピンを担持しており、且つ
、前記底部パネルの平面と平行な2つの直交方向に各保
持ピンを移動させる2つの調整機構を有する特許請求の
範囲第1項ないし第9項のいずれかに記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2653707A DE2653707C3 (de) | 1976-11-26 | 1976-11-26 | Vorrichtung zum genauen visuell- manuellen Einrichten und zum Halten eines plattenförmigen Werkstücks mit lichtempfindlicher Schicht gegenüber einer oder zwei Vorlagen |
DE2653707.5 | 1976-11-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5368226A JPS5368226A (en) | 1978-06-17 |
JPS6010614B2 true JPS6010614B2 (ja) | 1985-03-19 |
Family
ID=5994015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP52142121A Expired JPS6010614B2 (ja) | 1976-11-26 | 1977-11-26 | 露光フレ−ム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4159176A (ja) |
JP (1) | JPS6010614B2 (ja) |
DE (1) | DE2653707C3 (ja) |
FR (1) | FR2372455A1 (ja) |
GB (1) | GB1597708A (ja) |
IT (1) | IT1087915B (ja) |
NL (1) | NL7712998A (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4284349A (en) * | 1979-06-07 | 1981-08-18 | Beasley Thomas T | Means for imaging a lithographic plate |
US4412739A (en) * | 1981-01-13 | 1983-11-01 | Ppg Industries, Inc. | Hinged glass photomask assembly |
DE3143358A1 (de) * | 1981-11-02 | 1983-05-11 | Basf Ag, 6700 Ludwigshafen | Kopierrahmen zum genauen, visuell-manuellen einrichten und zum halten eines plattenfoermigen werkstuecks |
US4445775A (en) * | 1982-03-29 | 1984-05-01 | Ppg Industries, Inc. | Registration blocks for a photomask assembly |
JPS58217936A (ja) * | 1982-06-14 | 1983-12-19 | Oak Seisakusho:Kk | 被露光板と枠板との組合せ |
US4526463A (en) * | 1982-07-30 | 1985-07-02 | CH2 M Hill, Inc. | Apparatus for exposing photosensitive media |
US4600298A (en) * | 1984-03-01 | 1986-07-15 | Ppg Industries, Inc. | Pivotal locking arm for phototool assembly |
DE3417221C2 (de) * | 1984-05-10 | 1986-04-10 | Hans 6052 Mühlheim Keller | Vorrichtung zum gegenseitigen Ausrichten von Kopiervorlagen und zu belichtenden Werkstücken |
US4833051A (en) * | 1984-08-20 | 1989-05-23 | Nippon Kogaku K.K. | Protective device for photographic masks |
JPH043308Y2 (ja) * | 1985-07-18 | 1992-02-03 | ||
US4707124A (en) * | 1985-09-03 | 1987-11-17 | CH2 M Hill, Inc. | Apparatus for exposing photosensitive media |
US4764795A (en) * | 1987-04-27 | 1988-08-16 | Burbey Mark J | Prepress graphic registration system |
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